JP2010256090A - 表面検査用照明装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】照射光に対してウエハ等の基板を相対的に移動させることにより、検査対象部を走査しながら検査する検査装置の検査用照明装置において、照明用光源からの照射光のうち、基板の相対移動方向(走査方向)の照射光を基板表面に集光するように反射させるために、断面が放物線(または楕円)等の曲線形状の反射面を有する反射部材を備えており、光源からの光を基板表面の検査領域上に集光するように反射させることにより、照射光を有効に被検査対象部に照射する。これにより、光源からの走査方向の光を検査部に集光して、効率的な照明を行うことにより、検査部からの散乱光を増やしてより正確な検査を可能とする。
【選択図】図1
Description
例えば、シリコンウエハのエッジ部に傷、打痕、クラック等の欠陥がある場合には、熱処理行程においてシリコンウエハに熱が加えられると、これらの欠陥が原因となってシリコンウエハの半導体回路が形成される面にまでクラックが発生して不良品となる恐れがある。また、クラック部の一部が剥離して、半導体ウエハの加工表面に付着するおそれがある。さらに、シリコンウエハのエッジ部にパーティクルが付着している場合には、工程が進むにつれてこのパーティクルが半導体ウエハの加工表面に転移して付着するおそれもある。
尚、図1では、照射光90と反射光95の関係を分かり易く示すために、簡潔に示しており、各構成要素10、96,97、100等の配置や形状は以後説明する照明装置等とは異なっている。特に、後述する図2、図3における検査用照明装置と基板の位置関係は、図1とは異なっている。
第2の実施形態にかかる検査用照明装置20では、光源ブロック21に設けられた光源22からの照射光91を、光源ブロック21と対向する位置に設けられた反射部材27の曲線形状の反射面28に直接照射している。反射部材27の反射面28は、放物線であり、光源22は、反射面28を構成する放物線の焦点位置に配置されているので、反射面28の反射光が平行な照射光90として基板100のエッジ部分に照射される。
図3の実施形態の検査用照明装置は、図4(b)に示すように、放物線yの焦点位置に光源22を配置した構成である。
光源をこのように配置することにより、光源12、または22から出力されて放物線の反射面で反射された光は、放物線yの軸に平行な方向に進む平行光となる。
この実施形態の検査用照明装置30では、光源32と反射ブロック35が分離されている。光源32は反射ブロック35から離れた位置にあり、そこから照射光91が反射ブロック35に照射される。反射ブロック35では照射光91を反射させることにより、平行光に変換した照明光90を、基板100に照射する。基板100からの反射光95は、反射板96等を経て撮像手段97に入力されて、基板表面の傷等の欠陥の存在についての解析が行われる。
傷や異物の大きさによって散乱の状態が異なるため、傾斜角度は、検出したい傷(欠陥や異物)の大きさに応じて変えることができる。小さな傷や異物には、散乱方向にむらがあり、特定の方向に強く散乱する場合がある。このような傷等を検出するには、図9に示すように、照射方向に対して撮像手段を特に散乱する方向に向けて傾斜させて設置するのが好ましい。これにより特定の大きさの傷等の検出効率が向上する。
11、21、光源ブロック
12、22、32、42、52〜54 光源
15、35 反射ブロック
16 一次反射面
17、27、47 反射部材
18、28、48 反射面
90 照射光
91、92 照射光(出力光)
95 反射光(基板からの反射光)
97 撮像手段(CCDカメラ、ラインセンサ等)
100 基板(ウエハ)
y:放物線、 P:放物線の軸、 f:放物線の焦点
Claims (4)
- 基板表面に照明光を照射して、その反射光を受光することにより基板表面の欠陥を検出するために、検査対象部に照射される前記照射光及びその反射光に対して前記基板を相対的に移動させることにより、前記検査対象部を走査して検査する検査装置において、前記検査対象部の表面を照明するための照明装置であって、
前記検査対象部に照射する照明光を出力する光源と、
前記光源と前記検査対象部の間に配置され、前記光源から出力された前記照明光を前記基板の検査対象部に集光するように反射する断面形状が曲面である反射面を有する反射部材と、を備える表面検査用照明装置。 - 前記反射部材は、前記検査対象部の前記走査方向と直交する領域を覆うように、前記走査方向と直交する方向に延びていることを特徴する請求項1に記載の表面検査用照明装置。
- 前記光源は、前記走査方向と直行する方向に沿って伸びていることを特徴とする請求項1または2に記載の表面検査用照明装置。
- 前記光源が前記走査方向と直行する方向に沿って複数配列されていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の表明検査用照明装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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