JP2010243544A - Droplet discharge apparatus - Google Patents

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a droplet discharge apparatus capable of uniformizing the discharge amount of droplets discharged from a droplet discharge head between respective carriages. <P>SOLUTION: In the droplet discharge apparatus 1, a plurality of carriage units 31, constituted by loading the plurality of droplet discharge heads 72 on the carriage 73, are arrayed and the droplets of functional liquid are discharged from the respective droplet discharge heads 72 to a work, while relatively moving the work and the carriage units 31; and the droplet discharge apparatus is provided with an air flow generating mechanism 140 for generating air flow along the array direction of the carriage units 31. <P>COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT

Description

本発明は、液滴吐出装置に関するものである。   The present invention relates to a droplet discharge device.

従来、インクジェット方式で微小な液滴を吐出可能な液滴吐出ヘッドを用いて、液晶表示装置や有機ＥＬ装置等のカラーフィルターに代表される各種の電気光学装置（フラットパネルディスプレイ：ＦＰＤ）を製造する液滴吐出装置が知られている。   Conventionally, various electro-optical devices (flat panel displays: FPD) represented by color filters such as liquid crystal display devices and organic EL devices are manufactured using a droplet discharge head capable of discharging minute droplets by an inkjet method. There is known a droplet discharge device that performs the above-described operation.

上述した液滴吐出装置としては、副走査に起因する吐出精度低下を回避するとともにタクトタイムを短縮すべく、いわゆるラインプリンターのように、キャリッジに対して複数の液滴吐出ヘッドを搭載しているものも知られている（例えば、特許文献１参照）。この構成によれば、キャリッジに搭載された複数の液滴吐出ヘッドの各ノズルにより、ワークの吐出走査方向に直交する方向における描画対象幅をカバーすることができるので、幅広の描画ラインを効率的に形成することができるとされている。なお、ワークの吐出走査方向に直交する方向における描画対象幅をカバーするために、吐出走査方向に直交する方向に沿って上述したキャリッジが複数配列されているものもある。   As the above-described droplet discharge device, a plurality of droplet discharge heads are mounted on the carriage like a so-called line printer in order to avoid a decrease in discharge accuracy due to sub-scanning and to shorten the tact time. The thing is also known (for example, refer patent document 1). According to this configuration, each of the nozzles of the plurality of droplet discharge heads mounted on the carriage can cover the drawing target width in the direction perpendicular to the discharge scanning direction of the workpiece, so that a wide drawing line can be efficiently used. It can be formed into. In some cases, a plurality of the above-described carriages are arranged along a direction orthogonal to the discharge scanning direction in order to cover a drawing target width in a direction orthogonal to the discharge scanning direction of the workpiece.

特開２００４−２０９４２９号公報JP 2004-209429 A

ところで、上述した液滴吐出装置にあっては、液滴吐出ヘッドを駆動するための圧電素子（駆動素子）や電子回路等において動作中に自己発熱を起こす。そのため、複数のキャリッジの使用頻度や液滴吐出ヘッドの搭載場所等によって、各キャリッジ間で温度差が生じる。
すなわち、液滴吐出ヘッドで発生した熱の滞留等により、複数のキャリッジの温度勾配は、配列方向両側のキャリッジから中央部のキャリッジにかけて高くなる。その結果、液滴吐出ヘッド内の温度が、各キャリッジ間で異なる、いわゆる温度むらが生じるという問題がある。 By the way, in the above-described droplet discharge device, self-heating occurs during operation in a piezoelectric element (drive element) for driving the droplet discharge head, an electronic circuit, or the like. Therefore, a temperature difference occurs between the carriages depending on the usage frequency of a plurality of carriages, the mounting position of the droplet discharge head, and the like.
That is, the temperature gradient of the plurality of carriages increases from the carriages on both sides in the arrangement direction to the central carriage due to the retention of heat generated in the droplet discharge head. As a result, there is a problem that the temperature in the droplet discharge head is different among the carriages, so-called temperature unevenness occurs.

この場合、液滴吐出ヘッド内に充填された機能液は、温度変動に伴い粘度が変動するため、各キャリッジ間に温度むらが生じることで、液滴吐出ヘッドのノズルから吐出される液滴の吐出量が変動する虞がある。
その結果、吐出量の変動に起因して膜厚むら（色むら）等の品質低下を招いてしまうという問題がある。 In this case, since the viscosity of the functional liquid filled in the droplet discharge head varies with temperature variation, temperature unevenness occurs between the carriages, so that the droplet discharged from the nozzle of the droplet discharge head There is a possibility that the discharge amount may fluctuate.
As a result, there is a problem that quality deterioration such as film thickness unevenness (color unevenness) is caused due to fluctuations in the discharge amount.

そこで、上述した問題に対処するために、液滴を吐出させない程度の微振動で圧電素子を駆動し、液滴吐出ヘッド内（機能液）を加熱することで、各キャリッジの液滴吐出ヘッド間での温度むらを抑制し、各液滴吐出ヘッドから吐出される液滴の吐出量を均一に保つようなことも考えられる。
しかしながら、上述した構成にあっては、圧電素子の駆動波形の制御が複雑になるとともに、装置コストも増加するという問題がある。 Therefore, in order to cope with the above-described problems, the piezoelectric elements are driven with a slight vibration that does not cause the liquid droplets to be ejected, and the inside of the liquid droplet ejection head (functional liquid) is heated, so that the liquid droplet ejection heads of each carriage It is also conceivable that the temperature unevenness in the liquid crystal is suppressed and the discharge amount of the droplets discharged from each droplet discharge head is kept uniform.
However, in the above-described configuration, there is a problem that control of the drive waveform of the piezoelectric element becomes complicated and the apparatus cost increases.

本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、各キャリッジ間における液滴吐出ヘッドから吐出される液滴の吐出量の均一化を図ることができる液滴吐出装置を提供することを目的としている。   The present invention has been made in view of such circumstances, and provides a droplet discharge device capable of equalizing the amount of droplets discharged from the droplet discharge head between the carriages. The purpose is that.

上記課題を解決するために、本発明の液滴吐出装置は、複数の液滴吐出ヘッドがキャリッジに搭載されてなるキャリッジユニットが複数配列され、ワークと前記キャリッジユニットとを相対的に移動させながら、前記各液滴吐出ヘッドから前記ワークに向けて機能液の液滴を吐出する液滴吐出装置において、前記キャリッジユニットの配列方向に沿って気流を発生させる気流発生機構を備えていることを特徴とする。   In order to solve the above-described problems, a droplet discharge device according to the present invention includes a plurality of carriage units in which a plurality of droplet discharge heads are mounted on a carriage, while relatively moving a workpiece and the carriage unit. In the droplet discharge device that discharges droplets of the functional liquid from each droplet discharge head toward the workpiece, the droplet discharge device includes an airflow generation mechanism that generates an airflow along the arrangement direction of the carriage units. And

本発明によれば、気流発生機構によりキャリッジユニットの配列方向に沿って気流を発生させることで、発生した気流は、各キャリッジユニットと熱交換を行いながら下流側へ流通する。この時、各キャリッジユニットは気流との平衡温度に近づくように温度制御されることになり、各キャリッジユニット間における温度差（温度むら）を縮小することができる。具体的には、気流の上流側では、気流とキャリッジユニットから発生した熱との熱交換により、キャリッジユニットを冷却することができる。さらに、下流側に配置されたキャリッジユニットは、上流側のキャリッジユニットとの熱交換で加熱された気流との間で熱交換が行われる。これにより、気流の流通方向において、各キャリッジユニット間における温度差が縮小されるため、各キャリッジユニット間の液滴吐出ヘッドの温度を均一化することができる。
そして、各キャリッジユニット上における各液滴吐出ヘッドの温度が均一化されるため、各液滴吐出ヘッドを駆動するための駆動素子や機能液の温度むらを抑制することができる。その結果、各キャリッジユニット上における液滴吐出ヘッドの機能液の粘度の均一化を図り、液滴の吐出量の均一化を図ることができる。
したがって、吐出量の変動に起因する膜厚むら（色むら）を抑制して、吐出精度を向上させることができるので、製品の品質向上を図ることができる。
さらに、従来のように駆動素子を微振動させて液滴吐出ヘッドの温度制御を行う場合に比べて、駆動素子の駆動波形等を調整する必要がないので、機能液の温度制御を容易に行うことができる。 According to the present invention, the airflow is generated along the arrangement direction of the carriage units by the airflow generation mechanism, so that the generated airflow flows downstream while performing heat exchange with each carriage unit. At this time, the temperature of each carriage unit is controlled so as to approach the equilibrium temperature with the airflow, and the temperature difference (temperature unevenness) between the carriage units can be reduced. Specifically, on the upstream side of the airflow, the carriage unit can be cooled by heat exchange between the airflow and the heat generated from the carriage unit. Further, the carriage unit disposed on the downstream side performs heat exchange with the airflow heated by heat exchange with the upstream carriage unit. As a result, the temperature difference between the carriage units is reduced in the flow direction of the airflow, so that the temperature of the droplet discharge head between the carriage units can be made uniform.
And since the temperature of each droplet discharge head on each carriage unit is made uniform, the temperature unevenness of the drive element and the functional liquid for driving each droplet discharge head can be suppressed. As a result, the viscosity of the functional liquid of the droplet discharge head on each carriage unit can be made uniform, and the droplet discharge amount can be made uniform.
Therefore, the film thickness unevenness (color unevenness) due to the variation in the discharge amount can be suppressed and the discharge accuracy can be improved, so that the quality of the product can be improved.
Furthermore, it is not necessary to adjust the drive waveform of the drive element, etc., compared to the conventional case where the drive element is slightly vibrated to control the temperature of the droplet discharge head, so that the temperature control of the functional liquid is easily performed. be able to.

上記課題を解決するために、本発明の液滴吐出装置は、前記気流発生機構は、前記キャリッジユニットの配列方向における中央部から前記キャリッジユニットの配列方向における両側に向けて気流を発生させることを特徴とする。   In order to solve the above problems, in the droplet discharge device of the present invention, the airflow generation mechanism generates an airflow from a central portion in the carriage unit arrangement direction toward both sides in the carriage unit arrangement direction. Features.

ところで、上述したように、液滴吐出ヘッドで発生した熱の滞留等により、複数配列されたキャリッジユニットの温度は、配列方向両側から中央部に向かうにつれが高くなる。
そこで、本発明によれば、キャリッジユニットの配列方向中央部から両側に向けて気流を発生させることで、気流の流通方向と各キャリッジユニット間における温度勾配とを一致させることができる。
この場合、気流によって中央部のキャリッジユニット周辺に滞留した熱を取り去って、中央部のキャリッジユニットを冷却することができる。これに伴い、キャリッジユニットの配列方向に沿って流れる気流は、中央部のキャリッジユニットで熱交換が行われた後、ある程度の熱気となって下流側へ送出される。
そして、加熱された気流が下流側のキャリッジユニット上を流通する際に、気流と下流側のキャリッジユニットとの間で熱交換が行われ、気流とキャリッジユニットとが平衡温度に近づいていく。これにより、各キャリッジユニット間における温度差を縮小して、各キャリッジユニット間における温度の均一化を図ることができる。 By the way, as described above, the temperature of the plurality of carriage units arranged increases from the both sides in the arrangement direction toward the central part due to the retention of heat generated in the droplet discharge head.
Therefore, according to the present invention, the air flow direction and the temperature gradient between the carriage units can be matched by generating the air flow from the central portion in the arrangement direction of the carriage units toward both sides.
In this case, it is possible to cool the central carriage unit by removing the heat accumulated around the central carriage unit by the airflow. Along with this, the airflow flowing along the arrangement direction of the carriage units undergoes heat exchange in the central carriage unit, and then is sent to the downstream side as a certain amount of hot air.
When the heated airflow flows on the downstream carriage unit, heat exchange is performed between the airflow and the downstream carriage unit, and the airflow and the carriage unit approach the equilibrium temperature. As a result, the temperature difference between the carriage units can be reduced to make the temperature uniform between the carriage units.

上記課題を解決するために、本発明の液滴吐出装置は、前記気流発生機構は、気流を発生させる送風機と、前記複数のキャリッジユニットを一括して覆うように配置され、前記キャリッジユニットの配列方向に沿って気流を案内する気流ガイドとを備えていることを特徴とする。   In order to solve the above problems, in the droplet discharge device of the present invention, the air flow generation mechanism is disposed so as to collectively cover the blower that generates an air flow and the plurality of carriage units, and the arrangement of the carriage units. And an airflow guide for guiding the airflow along the direction.

本発明によれば、送風機で発生させた気流を効率良く流通させることができるので、各キャリッジユニット間における温度を速やかに均一化することができる。   According to the present invention, since the air flow generated by the blower can be efficiently circulated, the temperature between the carriage units can be quickly uniformized.

上記課題を解決するために、本発明の液滴吐出装置は、前記気流ガイドは、前記キャリッジユニットの配列方向における両側に配置された前記キャリッジユニットの側方に至るまでを覆うように配置されていることを特徴とする。   In order to solve the above-described problem, in the droplet discharge device of the present invention, the airflow guide is arranged so as to cover up to the side of the carriage unit arranged on both sides in the arrangement direction of the carriage unit. It is characterized by being.

本発明によれば、各キャリッジユニットの下方を除く周囲が気流ガイドによって覆われることになる。そのため、各キャリッジユニット間全域に気流を行渡らせることができ、より効率的に各キャリッジユニット間における温度の均一化を図ることができる。   According to the present invention, the periphery except for the lower part of each carriage unit is covered with the airflow guide. For this reason, the airflow can be distributed over the entire area between the carriage units, and the temperature can be made uniform between the carriage units more efficiently.

上記課題を解決するために、本発明の液滴吐出装置は、前記各キャリッジにおける中央に搭載された前記液滴吐出ヘッドに、前記液滴吐出ヘッドの温度を検出するための温度センサが設けられていることを特徴とする。   In order to solve the above problems, in the droplet discharge device of the present invention, a temperature sensor for detecting the temperature of the droplet discharge head is provided in the droplet discharge head mounted in the center of each carriage. It is characterized by.

一般的に、同一キャリッジ上において、キャリッジの両側に搭載された液滴吐出ヘッドの温度よりも、中央部に搭載された液滴吐出ヘッドの温度の方が高くなる。
そこで、本発明によれば、キャリッジの中央部に搭載された液滴吐出ヘッドのみに温度センサを設けることで、部品コストを低減した上で、キャリッジユニット毎の最高温度を検出することができる。そして、温度センサによる検出結果に基づいて気流発生機構の出力を制御することで、効率的に各キャリッジユニット間における温度の均一化を図ることができる。 Generally, on the same carriage, the temperature of the droplet discharge heads mounted at the center is higher than the temperature of the droplet discharge heads mounted on both sides of the carriage.
Therefore, according to the present invention, the temperature sensor is provided only in the droplet discharge head mounted on the central portion of the carriage, so that the maximum temperature for each carriage unit can be detected while reducing the component cost. Then, by controlling the output of the airflow generation mechanism based on the detection result by the temperature sensor, it is possible to efficiently equalize the temperature between the carriage units.

液滴吐出装置の外観斜視図である。It is an external appearance perspective view of a droplet discharge device. 液滴吐出装置の平面図である。It is a top view of a droplet discharge device. 液滴吐出装置の側面図である。It is a side view of a droplet discharge device. メンテナンス手段の外観斜視図である。It is an external appearance perspective view of a maintenance means. 複数のキャリッジユニット及び気流発生機構の説明図である。It is explanatory drawing of a some carriage unit and an airflow generation mechanism. 液滴吐出ヘッドの外観斜視図である。It is an external perspective view of a droplet discharge head. 液滴吐出ヘッドを説明するための図であり、（ａ）は部分斜視図、（ｂ）は断面図である。It is a figure for demonstrating a droplet discharge head, (a) is a fragmentary perspective view, (b) is sectional drawing. 複数のキャリッジユニット及び気流発生機構を示す概略構成図（側面図）である。It is a schematic block diagram (side view) showing a plurality of carriage units and an airflow generation mechanism.

以下、図面に基づいて本発明の実施形態について説明する。なお、以下の説明に用いる各図面では、各部材を認識可能な大きさとするため、各部材の縮尺を適宜変更している。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In each drawing used for the following description, the scale of each member is appropriately changed to make each member a recognizable size.

（液滴吐出装置）
図１は液滴吐出装置の外観斜視図である。また、図２は液滴吐出装置の平面図であり、図３は液滴吐出装置の側面図である。
図１〜３に示すように、液滴吐出装置１は、床上に設置した大型の共通架台２１と、共通架台２１上の全域に広く載置された描画装置２２と、描画装置２２に添設されたメンテナンス手段２３とを備え、メンテナンス手段２３により液滴吐出ヘッド７２（図６，７参照）の機能維持・回復を行うとともに、描画装置２２によりワークＷ上に機能液Ｌ（図７参照）を吐出する描画処理を行うようにしている。なお、この液滴吐出装置１には、図示しない制御装置が搭載されており、描画装置２２及びメンテナンス手段２３を統括的に制御している。また、液滴吐出装置１に導入されるワークＷ（図１参照）は、例えば石英ガラスやポリイミド樹脂等で構成された透明基板である。 (Droplet discharge device)
FIG. 1 is an external perspective view of a droplet discharge device. 2 is a plan view of the droplet discharge device, and FIG. 3 is a side view of the droplet discharge device.
As shown in FIGS. 1 to 3, the droplet discharge device 1 includes a large common frame 21 installed on the floor, a drawing device 22 widely placed on the entire area of the common frame 21, and an attachment to the drawing device 22. The maintenance unit 23 maintains and recovers the function of the droplet discharge head 72 (see FIGS. 6 and 7), and the functional liquid L (see FIG. 7) on the workpiece W by the drawing device 22. A drawing process for discharging the ink is performed. The droplet discharge device 1 is equipped with a control device (not shown), and comprehensively controls the drawing device 22 and the maintenance means 23. Moreover, the workpiece | work W (refer FIG. 1) introduce | transduced into the droplet discharge apparatus 1 is a transparent substrate comprised, for example with quartz glass, a polyimide resin, etc.

（描画装置）
まず、液滴吐出装置１における描画装置２２について説明する。
描画装置２２は、複数（例えば、１２個）の液滴吐出ヘッド７２とこれを搭載したキャリッジ７３とから成る複数（例えば、７個）のキャリッジユニット３１と、共通架台２１上に設置され、ワークＷを載置するセットテーブル５１（図３参照）を有し、ワークＷをＸ軸方向に移動させるＸ軸テーブル３２と、Ｘ軸テーブル３２を跨ぐようにして配設され、各キャリッジユニット３１を個々にＹ軸方向に移動させるＹ軸テーブル３３と、これらキャリッジユニット３１に搭載された液滴吐出ヘッド７２に機能液Ｌをそれぞれ供給する７個の機能液供給ユニット１０１とを備えている。 (Drawing device)
First, the drawing device 22 in the droplet discharge device 1 will be described.
The drawing device 22 is installed on a plurality of (for example, seven) carriage units 31 including a plurality of (for example, twelve) droplet discharge heads 72 and a carriage 73 on which the droplet discharging heads 72 are mounted, and the common gantry 21. There is a set table 51 (see FIG. 3) on which W is placed, and an X-axis table 32 for moving the workpiece W in the X-axis direction, and an X-axis table 32 are disposed so as to straddle each carriage unit 31. A Y-axis table 33 that individually moves in the Y-axis direction and seven functional liquid supply units 101 that respectively supply the functional liquid L to the droplet discharge heads 72 mounted on the carriage unit 31 are provided.

そして、図２に示すように、Ｘ軸テーブル３２によるワークＷの移動軌跡と、Ｙ軸テーブル３３によるキャリッジユニット３１の移動軌跡とが交わる領域が、描画処理を行う描画エリア４１となっておいる。また、Ｙ軸テーブル３３によるキャリッジユニット３１の移動軌跡上のＸ軸テーブル３２から外側に外れた領域が、メンテナンスエリア４２となっており、このメンテナンスエリア４２に上述したメンテナンス手段２３が設置されている。一方、Ｘ軸テーブル３２の手前側の領域は、液滴吐出装置１に対するワークＷの搬出入を行うワーク搬出入エリア４３となっている。   As shown in FIG. 2, a region where the movement locus of the workpiece W by the X-axis table 32 and the movement locus of the carriage unit 31 by the Y-axis table 33 intersect is a drawing area 41 for performing drawing processing. . An area outside the X-axis table 32 on the movement locus of the carriage unit 31 by the Y-axis table 33 is a maintenance area 42, and the maintenance means 23 described above is installed in the maintenance area 42. . On the other hand, the area on the near side of the X-axis table 32 is a work carry-in / out area 43 where the work W is carried into and out of the droplet discharge device 1.

図１〜３に示すように、Ｘ軸テーブル３２は、導入されたワークＷをセットするセットテーブル５１と、セットテーブル５１をＸ軸方向にスライド自在に支持するＸ軸エアースライダー（図３参照）５２と、Ｘ軸方向に延在し、セットテーブル５１を介してワークＷをＸ軸方向に移動させる左右一対のＸ軸リニアモーター５３，５３と、Ｘ軸リニアモーター５３に並設され、Ｘ軸エアースライダー５２の移動を案内する一対のＸ軸ガイドレール５４，５４と、セットテーブル５１の位置を把握するためのＸ軸リニアスケール（不図示）とを備えている。そして、一対のＸ軸リニアモーター５３，５３を駆動すると、一対のＸ軸ガイドレール５４，５４をガイドにしながら、Ｘ軸エアースライダー５２をＸ軸方向に移動し、セットテーブル５１にセットされたワークＷがＸ軸方向に移動する。   As shown in FIGS. 1 to 3, the X-axis table 32 includes a set table 51 for setting the introduced work W, and an X-axis air slider for slidably supporting the set table 51 in the X-axis direction (see FIG. 3). 52, a pair of left and right X-axis linear motors 53, 53 that extend in the X-axis direction and move the workpiece W in the X-axis direction via the set table 51, and the X-axis linear motor 53 are arranged in parallel. A pair of X-axis guide rails 54 and 54 for guiding the movement of the air slider 52 and an X-axis linear scale (not shown) for grasping the position of the set table 51 are provided. When the pair of X-axis linear motors 53 and 53 are driven, the X-axis air slider 52 is moved in the X-axis direction while the pair of X-axis guide rails 54 and 54 are used as guides, and the workpiece set on the set table 51 W moves in the X-axis direction.

図３に示すように、セットテーブル５１は、ワークＷを直接吸着セットする吸着テーブル５６と、吸着テーブル５６の下部に接続された回転部５８、及び回転部５８の下部に接続されＸ軸エアースライダー５２上に配設された固定部５９で構成され、吸着テーブル５６を介してワークＷのθ位置を微調整（θ補正）するワークθ軸テーブル５７とを有している。   As shown in FIG. 3, the set table 51 includes a suction table 56 for directly sucking and setting the workpiece W, a rotating unit 58 connected to the lower part of the suction table 56, and an X-axis air slider connected to the lower part of the rotating unit 58. And a work θ axis table 57 that finely adjusts (θ correction) the θ position of the work W via the suction table 56.

図１〜３に示すように、吸着テーブル５６は、平面視略正方形に形成され、その一辺の長さは、最大サイズのワークＷの長辺の長さに合わせて設定されており、ワークＷを縦置き（ワークＷの長辺をＸ軸方向と平行にする）及び横置き（ワークＷの長辺をＹ軸方向と平行にする）のいずれか任意の向きでセット可能になっている。また、いずれのサイズのワークＷも、センター合わせでセットされる。   As shown in FIGS. 1 to 3, the suction table 56 is formed in a substantially square shape in plan view, and the length of one side thereof is set according to the length of the long side of the workpiece W having the maximum size. Can be set in any orientation of vertical placement (the long side of the work W is parallel to the X-axis direction) and horizontal placement (the long side of the work W is parallel to the Y-axis direction). In addition, the workpieces W of any size are set center-aligned.

ワークθ軸テーブル５７の固定部５９上には、吸着テーブル５６の描画エリア４１側（図３の右側）に隣接して、メンテナンス手段２３の定期フラッシングボックス１１６が設置されている。定期フラッシングボックス１１６は、液滴吐出ヘッド７２による液滴吐出動作（描画動作）が行われない待機状態のときに、セットテーブル５１の移動により液滴吐出ヘッド７２と対向する位置に配置される。   On the fixed portion 59 of the work θ-axis table 57, a regular flushing box 116 of the maintenance means 23 is installed adjacent to the drawing area 41 side (right side in FIG. 3) of the suction table 56. The regular flushing box 116 is disposed at a position facing the droplet discharge head 72 by the movement of the set table 51 in a standby state where the droplet discharge operation (drawing operation) by the droplet discharge head 72 is not performed.

一方、Ｙ軸テーブル３３は、Ｙ軸方向に延在する前後一対の支持スタンド６６，６６（図３参照）上に支持され、描画エリア４１及びメンテナンスエリア４２間を架け渡すとともに、描画エリア４１とメンテナンスエリア４２との間で各キャリッジユニット３１を個々に移動（走査）させるものである。Ｙ軸テーブル３３は、各キャリッジユニット３１をそれぞれ垂設する複数のブリッジプレート６１と、各ブリッジプレート６１がＹ軸方向に整列するよう、これを両持ちで支持する複数組のＹ軸スライドテーブル６２と、Ｙ軸方向に延在し、各組のＹ軸スライドテーブル６２を介して各ブリッジプレート６１をＹ軸方向に移動させる前後一対のＹ軸リニアモーター６３，６３と、Ｙ軸方向に延在し、各ブリッジプレート６１の移動を案内する前後各２本（計４本）のＹ軸ガイドレール６４と、各キャリッジユニット３１の移動位置を検出するＹ軸リニアスケール（不図示）とを備えている。   On the other hand, the Y-axis table 33 is supported on a pair of front and rear support stands 66, 66 (see FIG. 3) extending in the Y-axis direction, spans between the drawing area 41 and the maintenance area 42, and Each carriage unit 31 is individually moved (scanned) to and from the maintenance area 42. The Y-axis table 33 includes a plurality of bridge plates 61 that respectively suspend the carriage units 31 and a plurality of sets of Y-axis slide tables 62 that support the bridge plates 61 by holding them so that the bridge plates 61 are aligned in the Y-axis direction. A pair of front and rear Y-axis linear motors 63, 63 extending in the Y-axis direction and moving each bridge plate 61 in the Y-axis direction via each pair of Y-axis slide tables 62, and extending in the Y-axis direction And two Y-axis guide rails 64 for guiding the movement of each bridge plate 61 before and after (four in total) and a Y-axis linear scale (not shown) for detecting the movement position of each carriage unit 31. Yes.

そして、一対のＹ軸リニアモーター６３，６３を駆動すると、各Ｙ軸スライドテーブル６２をそれぞれ独立して移動させ、各キャリッジユニット３１を個別にＹ軸方向へ移動させることができる。これによれば、各キャリッジユニット３１に対する個々の移動を、単純な構造で且つ精度良く行うことができる。   When the pair of Y-axis linear motors 63 and 63 are driven, each Y-axis slide table 62 can be moved independently, and each carriage unit 31 can be individually moved in the Y-axis direction. According to this, each movement with respect to each carriage unit 31 can be performed with a simple structure and high accuracy.

さらに、各組のＹ軸スライドテーブル６２に支持されたブリッジプレート６１上には、各液滴吐出ヘッド７２を駆動するヘッド用電装ユニット９７が設けられている。各ヘッド用電装ユニット９７は、相互に干渉することがないよう（ノイズ防止）、千鳥状に配置されている。また、前後一対の支持スタンド６６，６６には、それぞれ前後側面にブラケット６７が外向きに固定されており、各ブラケット６７上にＹ軸収容ボックス６８が支持されている。２個のＹ軸収容ボックス６８には、各ヘッド用電装ユニット９７の千鳥配置に対応して、各Ｙ軸ケーブル担持体６９（ケーブルベア：登録商標）が、４個と３個に二分されて収容されている。各Ｙ軸ケーブル担持体６９は、ヘッド用電装ユニット９７に接続するフレキシブルフラットケーブル（不図示）を各キャリッジユニット３１の移動に追従可能に構成されている。
また、図示しないが、各機能液供給ユニット１０１のタンクユニットは、各ヘッド用電装ユニット９７に対峙するようにして、千鳥状に配置されている。 Further, on the bridge plate 61 supported by each pair of Y-axis slide tables 62, a head electrical unit 97 for driving each droplet discharge head 72 is provided. The head electrical units 97 are arranged in a staggered manner so as not to interfere with each other (noise prevention). In addition, brackets 67 are fixed outwardly on the front and rear side surfaces of the pair of front and rear support stands 66 and 66, and a Y-axis accommodation box 68 is supported on each bracket 67. In the two Y-axis housing boxes 68, each Y-axis cable carrier 69 (cable bear: registered trademark) is divided into four and three parts corresponding to the staggered arrangement of the head electrical units 97. Contained. Each Y-axis cable carrier 69 is configured such that a flexible flat cable (not shown) connected to the head electrical unit 97 can follow the movement of each carriage unit 31.
Although not shown, the tank units of the functional liquid supply units 101 are arranged in a staggered manner so as to face the electrical unit 97 for each head.

（メンテナンス手段）
図４は、メンテナンス手段の外観斜視図である。
図２，４に示すように、メンテナンス手段２３は、吐出機能を維持した状態で液滴吐出ヘッド７２を保管するとともに、吐出機能を維持・回復するものであり、アングル架台１１８上に支持されてメンテナンスエリア４２に配設されている。
メンテナンス手段２３は、液滴吐出ヘッド７２を吸引して、液滴吐出ヘッド７２から機能液Ｌ（図７（ｂ）参照）を強制的に排出させる吸引ユニット１１１と、機能液Ｌが付着して汚れた液滴吐出ヘッド７２の後述するノズル面９３（図７参照）を払拭するワイピングユニット１１３と、吸引ユニット１１１の分割吸引ユニット１１２及びワイピングユニット１１３をそれぞれ個別に昇降可能に支持するユニット昇降機構１１５から構成されるユニット昇降手段１１４とを有している。さらに、メンテナンス手段２３は、上述したワークθ軸テーブル５７上に配設された定期フラッシングボックス１１６を有している。 (Maintenance means)
FIG. 4 is an external perspective view of the maintenance means.
As shown in FIGS. 2 and 4, the maintenance unit 23 stores the droplet discharge head 72 while maintaining the discharge function, and maintains / recovers the discharge function, and is supported on the angle mount 118. It is disposed in the maintenance area 42.
The maintenance unit 23 sucks the droplet discharge head 72 and forcibly discharges the functional liquid L (see FIG. 7B) from the droplet discharge head 72, and the functional liquid L adheres to the maintenance unit 23. A wiping unit 113 for wiping a later-described nozzle surface 93 (see FIG. 7) of the dirty droplet discharge head 72, and a unit lifting mechanism for supporting the divided suction unit 112 and the wiping unit 113 of the suction unit 111 so that they can be moved up and down individually. And unit lifting / lowering means 114 constituted by 115. Further, the maintenance means 23 has a regular flushing box 116 disposed on the workpiece θ-axis table 57 described above.

吸引ユニット１１１は、各キャリッジユニット３１に対応して、Ｙ軸方向に配列された分割吸引ユニット１１２を有している。各分割吸引ユニット１１２は、キャリッジユニット３１に対して下側から臨み、各液滴吐出ヘッド７２における後述するノズルプレート９２のノズル面９３にそれぞれ気密に封止させるキャップ１２１と、キャップ１２１を昇降自在に支持するキャップ支持部材１２２と、封止させたキャップ１２１を介して液滴吐出ヘッド７２に吸引力を作用させるエゼクタ（不図示）とを備えている。   The suction unit 111 has divided suction units 112 arranged in the Y-axis direction corresponding to the carriage units 31. Each divided suction unit 112 faces the carriage unit 31 from the lower side, and a cap 121 for hermetically sealing a nozzle surface 93 of a later-described nozzle plate 92 in each droplet discharge head 72, and the cap 121 can be raised and lowered. And an ejector (not shown) that applies a suction force to the droplet discharge head 72 via the sealed cap 121.

キャップ１２１は、各キャリッジ７３に搭載された液滴吐出ヘッド７２の並びに対応させて、キャップ支持部材１２２に配設されている。そして、キャップ１２１をノズル面９３に封止させた状態でエゼクタを駆動することにより、ノズル９５から機能液Ｌを吸引することで、液滴吐出ヘッド７２内で増粘した機能液Ｌを除去することができる。   The cap 121 is disposed on the cap support member 122 so as to correspond to the arrangement of the droplet discharge heads 72 mounted on each carriage 73. Then, by driving the ejector with the cap 121 sealed to the nozzle surface 93, the functional liquid L that has been thickened in the droplet discharge head 72 is removed by sucking the functional liquid L from the nozzle 95. be able to.

ワイピングユニット１１３は、メンテナンスエリア４２の描画エリア４１側、すなわち描画エリア４１と吸引ユニット１１１との間に配置されており、液滴吐出ヘッド７２の吸引等により、機能液Ｌが付着して汚れたノズル面９３を、洗浄液を含浸させたワイピングシート１２３を用いて拭き取るものである。そして、吸引ユニット１１１による吸引処理と、吸引処理によりノズル面９３に付着した機能液Ｌを拭き取るワイピングとにより、ノズル詰まりの生じた液滴吐出ヘッド７２の吐出機能を回復させることができる。   The wiping unit 113 is arranged on the drawing area 41 side of the maintenance area 42, that is, between the drawing area 41 and the suction unit 111, and the functional liquid L adheres and becomes dirty due to the suction of the droplet discharge head 72 or the like. The nozzle surface 93 is wiped using a wiping sheet 123 impregnated with a cleaning liquid. Then, the discharge function of the droplet discharge head 72 in which nozzle clogging has occurred can be recovered by the suction processing by the suction unit 111 and wiping to wipe off the functional liquid L adhering to the nozzle surface 93 by the suction processing.

図３に示すように、上述した定期フラッシングボックス１１６は、ワークＷに対する描画を一時的に停止するときに行うフラッシングを受けるためのものであり、上記のワークθ軸テーブル５７上に設けられている。そして、ワークＷの交換のためにセットテーブル５１がワーク搬出入エリア４３に臨むとき、定期フラッシングボックス１１６が描画エリア４１に臨み、液滴吐出ヘッド７２からのフラッシングを受けるようになっている。   As shown in FIG. 3, the above-described regular flushing box 116 is for receiving flushing that is performed when drawing on the workpiece W is temporarily stopped, and is provided on the workpiece θ-axis table 57. . When the set table 51 faces the workpiece carry-in / out area 43 for exchanging the workpiece W, the regular flushing box 116 faces the drawing area 41 and receives the flushing from the droplet discharge head 72.

（キャリッジユニット）
図５は、複数のキャリッジユニットの説明図である。
図１，５に示すように、描画装置２２の各キャリッジユニット３１は、Ｙ軸テーブル３３の各ブリッジプレート６１によりそれぞれ垂設されてＹ軸方向に沿って並んでいる。各キャリッジユニット３１は、各液滴吐出ヘッド７２からなるヘッドユニット７１と、ヘッドユニット７１及び機能液供給ユニット１０１の後述するバルブユニット１０４を搭載するキャリッジ７３とから構成されている。 (Carriage unit)
FIG. 5 is an explanatory diagram of a plurality of carriage units.
As shown in FIGS. 1 and 5, the carriage units 31 of the drawing device 22 are respectively suspended by the bridge plates 61 of the Y-axis table 33 and aligned along the Y-axis direction. Each carriage unit 31 includes a head unit 71 including each droplet discharge head 72 and a carriage 73 on which a later-described valve unit 104 of the head unit 71 and the functional liquid supply unit 101 is mounted.

図３，５に示すように、各キャリッジ７３は、ヘッドユニット７１及びバルブユニット１０４を位置決め固定する平面視略平行四辺形の支持プレート７６と、支持プレート７６を保持するキャリッジ本体７７（図３参照）と、キャリッジ本体７７を吊設するとともに、キャリッジ本体７７の上部に連結され、キャリッジ本体７７を介してヘッドユニット７１のθ位置を微調整（θ軸補正）するヘッドθ軸テーブル７８と、ヘッドθ軸テーブル７８の上部に連結され、ヘッドθ軸テーブル７８及びキャリッジ本体７７を介してヘッドユニット７１のＺ位置を微調整（Ｚ軸補正）するヘッドＺ軸テーブル７９とを有している。   As shown in FIGS. 3 and 5, each carriage 73 includes a support plate 76 having a substantially parallelogram in plan view for positioning and fixing the head unit 71 and the valve unit 104, and a carriage body 77 for holding the support plate 76 (see FIG. 3). ) And a head θ-axis table 78 which is suspended from the carriage main body 77 and is coupled to the upper portion of the carriage main body 77 and finely adjusts the θ position of the head unit 71 via the carriage main body 77 (θ-axis correction). The head Z-axis table 79 is coupled to the upper portion of the θ-axis table 78 and finely adjusts the Z position of the head unit 71 (Z-axis correction) via the head θ-axis table 78 and the carriage body 77.

支持プレート７６は、ステンレス等から成る平面視略平行四辺形の厚板で構成されており、各液滴吐出ヘッド７２を位置決めするとともに、ヘッド保持部材（不図示）により各液滴吐出ヘッド７２を裏面側から固定するための各装着開口（不図示）が形成されている。そして、支持プレート７６は、キャリッジ本体７７に着脱自在に支持され、ヘッドユニット７１は、バルブユニット１０４とともに支持プレート７６を介してキャリッジ７３に搭載される。   The support plate 76 is formed of a thick plate having a substantially parallelogram shape in plan view made of stainless steel or the like. The support plate 76 positions each droplet discharge head 72, and each droplet discharge head 72 is fixed by a head holding member (not shown). Each mounting opening (not shown) for fixing from the back side is formed. The support plate 76 is detachably supported by the carriage body 77, and the head unit 71 is mounted on the carriage 73 via the support plate 76 together with the valve unit 104.

（液滴吐出ヘッド）
図６は液滴吐出ヘッドの外観斜視図である。
図６に示すように、液滴吐出ヘッド７２は、いわゆる２連のものであり、２連の接続針８２を有する機能液導入部８１と、機能液導入部８１に連なる２連のヘッド基板８３と、機能液導入部８１の下方（同図では上方）に連なり、内部に機能液Ｌで満たされるヘッド内流路１２８（図７参照）が形成されたヘッド本体８４とを備えている。接続針８２は、後述する圧力調整弁１０５（図５参照）を介して機能液タンク（不図示）に接続され、液滴吐出ヘッド７２のヘッド内流路１２８に機能液Ｌを供給する。また、ヘッド本体８４は、ピエゾ素子等で構成されたキャビティ９１と、複数のノズル９５がそれぞれ平行に配列されてなる２本のノズル列９４，９４を有するノズルプレート９２とを有している。 (Droplet ejection head)
FIG. 6 is an external perspective view of the droplet discharge head.
As shown in FIG. 6, the droplet discharge heads 72 are so-called two-units, a functional liquid introduction unit 81 having two connection needles 82, and a dual head substrate 83 that is continuous with the functional liquid introduction unit 81. And a head main body 84 which is connected to the lower side (upper side in the figure) of the functional liquid introduction portion 81 and has an in-head flow path 128 (see FIG. 7) filled with the functional liquid L therein. The connection needle 82 is connected to a functional liquid tank (not shown) via a pressure adjustment valve 105 (see FIG. 5) described later, and supplies the functional liquid L to the in-head flow path 128 of the droplet discharge head 72. The head main body 84 includes a cavity 91 formed of a piezoelectric element or the like, and a nozzle plate 92 having two nozzle rows 94 and 94 in which a plurality of nozzles 95 are arranged in parallel.

図７は液滴吐出ヘッドの説明図であり、（ａ）は液滴吐出ヘッドの部分斜視図、（ｃ）は液滴吐出ヘッドの１ノズル分の部分断面図である。なお、図７においては、図６に対して液滴吐出ヘッド７２が上下逆に図示されている。
液滴吐出ヘッド７２は、例えばピエゾ素子によって液室を圧縮してその圧力波で機能液Ｌの液滴Ｌ１を吐出させるものであって、上述したように複数列に配列された複数のノズル９５を有している。 7A and 7B are explanatory views of the droplet discharge head. FIG. 7A is a partial perspective view of the droplet discharge head, and FIG. 7C is a partial cross-sectional view of one nozzle of the droplet discharge head. In FIG. 7, the droplet discharge head 72 is shown upside down with respect to FIG.
The droplet discharge head 72 compresses the liquid chamber with, for example, a piezo element and discharges the droplet L1 of the functional liquid L with its pressure wave. The plurality of nozzles 95 arranged in a plurality of rows as described above. have.

液滴吐出ヘッド７２は、図７（ａ）に示すように、例えば、ステンレス製のノズルプレート９２と振動板１２３とを備え、両者を仕切部材１２４を介して接合したものである。ノズルプレート９２と流路形成部としての振動板１２３との間には、仕切部材１２４によって複数の空間１２５と液溜部１２６とが形成されている。各空間１２５及び液溜部１２６の内部には、機能液Ｌが充填されており、各空間１２５と液溜部１２６とは供給口１２７を介して連通している。すなわち、空間１２５及び供給口１２７は、液溜部１２６に満たされた機能液Ｌをノズル９５に導くためのヘッド内流路１２８を形成している。
また、ヘッド内流路１２８は、一端側（吐出側）がノズルプレート９２の各ノズル９５に連通している一方、他端側（供給側）が液溜部１２６を介して振動板１２３に形成された機能液供給孔１２９に連通している。 As shown in FIG. 7A, the droplet discharge head 72 includes, for example, a stainless steel nozzle plate 92 and a vibration plate 123, which are joined via a partition member 124. A plurality of spaces 125 and a liquid reservoir 126 are formed by the partition member 124 between the nozzle plate 92 and the diaphragm 123 as a flow path forming unit. Each space 125 and the liquid reservoir 126 are filled with a functional liquid L, and each space 125 and the liquid reservoir 126 communicate with each other via a supply port 127. That is, the space 125 and the supply port 127 form an in-head flow path 128 for guiding the functional liquid L filled in the liquid reservoir 126 to the nozzle 95.
In addition, one end side (discharge side) of the in-head flow path 128 communicates with each nozzle 95 of the nozzle plate 92, while the other end side (supply side) is formed in the diaphragm 123 via the liquid reservoir 126. The functional fluid supply hole 129 is communicated with.

また、振動板１２３の空間１２５に対向する面と反対側の面（振動板１２３の上面）上には、図７（ｂ）に示すように、圧電素子（ピエゾ素子）１２０が接合されている。この圧電素子１２０は、圧電材料を一対の電極１３０で挟持したものであり、ノズル９５毎に設けられている。圧電素子１２０は、一対の電極１３０に駆動信号を印加すると収縮するよう構成されたものである。   Further, as shown in FIG. 7B, a piezoelectric element (piezo element) 120 is joined on the surface opposite to the surface facing the space 125 of the diaphragm 123 (the upper surface of the diaphragm 123). . The piezoelectric element 120 is obtained by sandwiching a piezoelectric material between a pair of electrodes 130, and is provided for each nozzle 95. The piezoelectric element 120 is configured to contract when a drive signal is applied to the pair of electrodes 130.

また、図６に示すように、上述したヘッド基板８３には、２連のコネクタ９６，９６が設けられており、各コネクタ９６は、フレキシブルフラットケーブルを介して上述したヘッド用電装ユニット９７（図３参照）に接続されている。ヘッド用電装ユニット９７には、上述した制御装置から描画データが出力されるようになっており、この描画データに基づいて圧電素子１２０の電極１３０に駆動信号が出力されるようになっている。なお、本実施形態では、各キャリッジユニット３１のうち少なくとも１つのキャリッジユニット３１を、Ｘ軸方向に沿ってワークＷに対して相対的に移動させながら、描画エリア４１においてその液滴吐出ヘッド７２からワークＷ上に液滴Ｌ１を吐出して描画処理を行う構成となっている。   As shown in FIG. 6, the head substrate 83 described above is provided with two connectors 96, 96, and each connector 96 is connected to the above-described head electrical unit 97 (see FIG. 6) via a flexible flat cable. 3). Drawing data is output from the above-described control device to the head electrical unit 97, and a drive signal is output to the electrode 130 of the piezoelectric element 120 based on the drawing data. In the present embodiment, at least one of the carriage units 31 is moved relative to the workpiece W along the X-axis direction while being moved from the droplet discharge head 72 in the drawing area 41. The drawing process is performed by discharging the droplet L1 onto the workpiece W.

また、図５に示すように、各キャリッジ７３に搭載された各機能液供給ユニット１０１は、機能液Ｌを貯留する機能液タンクから成るタンクユニットと、機能液タンク及び液滴吐出ヘッド７２間の水頭圧を調整する圧力調整弁１０５から成るバルブユニット１０４と、機能液タンクと圧力調整弁１０５とをそれぞれ接続するタンク側給液チューブ（不図示）と、圧力調整弁１０５及び液滴吐出ヘッド７２（の各２連の接続針８２）をそれぞれ分岐継手（不図示）を介して接続するヘッド側給液チューブ（不図示）とを有している。   As shown in FIG. 5, each functional liquid supply unit 101 mounted on each carriage 73 includes a tank unit composed of a functional liquid tank that stores the functional liquid L, and between the functional liquid tank and the droplet discharge head 72. A valve unit 104 including a pressure adjustment valve 105 that adjusts the water head pressure, a tank-side liquid supply tube (not shown) that connects the functional liquid tank and the pressure adjustment valve 105, a pressure adjustment valve 105, and a droplet discharge head 72. (Each of the two connecting needles 82) has a head-side liquid supply tube (not shown) for connecting via a branch joint (not shown).

（気流発生機構）
図８は、複数のキャリッジユニット及び気流発生機構を示す概略構成図（側面図）である。
ここで、図１，８に示すように、描画装置２２は、気流発生機構１４０を備えている。気流発生機構１４０は、各キャリッジユニット３１（キャリッジユニット群１３１）を一括して覆うように配置されたフード（気流ガイド）１４１と、フード１４１内に設けられ、キャリッジユニット群１３１とフード１４１との間に気流を発生させる一対のファン（送風機）１４２とを備えている。 (Airflow generation mechanism)
FIG. 8 is a schematic configuration diagram (side view) showing a plurality of carriage units and an airflow generation mechanism.
Here, as shown in FIGS. 1 and 8, the drawing device 22 includes an airflow generation mechanism 140. The airflow generation mechanism 140 is provided in the hood 141 and a hood (airflow guide) 141 disposed so as to cover each carriage unit 31 (carriage unit group 131) in a lump, and the carriage unit group 131 and the hood 141. A pair of fans (blowers) 142 that generate an airflow therebetween are provided.

フード１４１は、描画エリア４１において、描画エリア４１の略全面、すなわち各キャリッジユニット３１の上方を一括して覆う天板部１４３と、天板部１４３のＸ軸方向及びＹ軸方向の端部から下方に向けて延出する側壁部１４４とを備え、キャリッジユニット群１３１を取り囲むように形成されている。フード１４１の側壁部１４４のうち、Ｘ軸方向両端における側壁部１４４ａは、その下端部がＹ軸テーブル３３のブラケット６７に当接する位置まで延出している（図３参照）。
一方、側壁部１４４のうち、Ｙ軸方向両端における側壁部１４４ｂは、ブラケット６７間を下方に向けて延出し、高さ方向（Ｚ軸方向）において各キャリッジ７３に搭載された液滴吐出ヘッド７２よりも下方に至るまで延出している。これにより、キャリッジユニット群１３１の下方を除く周囲がフード１４１によって覆われた状態となっている。なお、天板部１４３と側壁部１４４との稜線部分は曲面形状をなしている。 In the drawing area 41, the hood 141 includes a top plate portion 143 that covers substantially the entire surface of the drawing area 41, that is, above the carriage units 31, and ends of the top plate portion 143 in the X-axis direction and the Y-axis direction. The side wall portion 144 extends downward and is formed so as to surround the carriage unit group 131. Of the side wall 144 of the hood 141, the side wall 144a at both ends in the X-axis direction extends to a position where the lower end of the side wall 144 abuts against the bracket 67 of the Y-axis table 33 (see FIG. 3).
On the other hand, of the side wall portion 144, the side wall portions 144b at both ends in the Y-axis direction extend downward between the brackets 67 and are mounted on each carriage 73 in the height direction (Z-axis direction). It extends to the lower than. As a result, the periphery of the carriage unit group 131 excluding the lower side is covered with the hood 141. In addition, the ridgeline part of the top-plate part 143 and the side wall part 144 has comprised the curved surface shape.

また、天板部１４３の下面（内面）には、そのＸ軸方向及びＹ軸方向における中央部から下方に向けて連結部材１４５が延出しており、この連結部材１４５を介して一対のファン１４２が接続されている。これら各ファン１４２は、キャリッジユニット群１３１の中央部において、キャリッジユニット３１の配列方向両側に向いた状態、すなわち各ファン１４２はそれぞれ逆方向（Ｙ軸方向両側）に向けて配置されている。また、ファン１４２の上方に相当する天板部１４３には、フード１４１の外部からフード１４１の内部に空気を取り込むための空気取り込み口１４６が形成されている。そして、各ファン１４２は、空気取り込み口１４６からフード１４１の内側に取り込んだ空気により、フード１４１の内側において気流Ｋ（図８中矢印参照）を発生させ、この気流Ｋとともにキャリッジユニット群１３１とフード１４１との間に滞留する熱をＹ軸方向両端に向けて送出するように構成されている。   Further, on the lower surface (inner surface) of the top plate portion 143, a connecting member 145 extends downward from the central portion in the X-axis direction and the Y-axis direction, and the pair of fans 142 is connected via the connecting member 145. Is connected. These fans 142 are arranged in the central part of the carriage unit group 131 so as to face both sides of the carriage unit 31 in the arrangement direction, that is, the fans 142 are arranged in opposite directions (both sides in the Y-axis direction). In addition, an air intake port 146 for taking in air from the outside of the hood 141 to the inside of the hood 141 is formed in the top plate portion 143 corresponding to the upper side of the fan 142. Each fan 142 generates an air flow K (see an arrow in FIG. 8) inside the hood 141 by the air taken into the hood 141 from the air intake port 146, and the carriage unit group 131 and the hood together with the air flow K. 141 is configured to send out the heat staying between the two ends in the Y-axis direction.

このような気流発生機構１４０には、図示しない駆動手段が設けられており、気流発生機構１４０は下端位置において上述したようにキャリッジユニット群１３１の周囲を覆う描画ポジションＰ１と、上端位置においてキャリッジユニット群１３１を開放する開放ポジションＰ２との間をＺ軸方向に沿って上下動可能に支持されている。すなわち、開放ポジションＰ２において、気流発生機構１４０は、キャリッジユニット３１のメンテナンスエリア４２への移動時に干渉しない位置まで上昇するようになっている。   Such an airflow generation mechanism 140 is provided with a driving means (not shown). The airflow generation mechanism 140 has a drawing position P1 covering the periphery of the carriage unit group 131 at the lower end position and a carriage unit at the upper end position. Between the opening position P2 which opens the group 131, it is supported so that it can move up and down along the Z-axis direction. That is, at the open position P2, the airflow generation mechanism 140 is raised to a position where it does not interfere when the carriage unit 31 moves to the maintenance area 42.

なお、本実施形態では、各キャリッジ７３に搭載された各液滴吐出ヘッド７２のうち、キャリッジ７３の中央部に配置された液滴吐出ヘッド７２には、各キャリッジ７３上における液滴吐出ヘッド７２の温度をそれぞれ検出するための温度センサ（不図示）が取り付けられている。そして、制御装置は、各温度センサで検出された液滴吐出ヘッド７２の温度に基づいて、各キャリッジユニット３１の温度を判断し、各ファン１４２の出力を調整できるようになっている。なお、一般的に、同一キャリッジ７３上において、キャリッジ７３の両側に搭載された液滴吐出ヘッド７２の温度よりも、中央部に搭載された液滴吐出ヘッド７２の温度の方が高くなる。
そこで、本実施形態のように、キャリッジ７３の中央部に搭載された液滴吐出ヘッド７２のみに温度センサを設けることで、部品コストを低減した上で、各キャリッジユニット３１毎の最高温度を検出することができる。なお、温度センサの取り付け位置は適宜変更が可能であり、各キャリッジ７３の各液滴吐出ヘッド７２にそれぞれ温度センサを設けてもよく、またキャリッジ７３に温度センサを設けてもよい。 In the present embodiment, among the droplet discharge heads 72 mounted on each carriage 73, the droplet discharge head 72 disposed at the center of the carriage 73 includes the droplet discharge head 72 on each carriage 73. A temperature sensor (not shown) for detecting each temperature is attached. The control device can adjust the output of each fan 142 by determining the temperature of each carriage unit 31 based on the temperature of the droplet discharge head 72 detected by each temperature sensor. In general, on the same carriage 73, the temperature of the droplet discharge heads 72 mounted at the center is higher than the temperature of the droplet discharge heads 72 mounted on both sides of the carriage 73.
Therefore, as in the present embodiment, the temperature sensor is provided only for the droplet discharge head 72 mounted at the center of the carriage 73 to reduce the component cost and detect the maximum temperature for each carriage unit 31. can do. Note that the mounting position of the temperature sensor can be changed as appropriate, and each droplet discharge head 72 of each carriage 73 may be provided with a temperature sensor, or the carriage 73 may be provided with a temperature sensor.

（描画装置の動作方法）
次に、図１〜３を参照して、描画装置２２によるワークＷへの吐出動作、すなわち描画動作について簡単に説明する。
まず、機能液Ｌの液滴Ｌ１を吐出する前の準備として、吸着テーブル５６にワークＷをセットし、そのワークＷの位置補正が、ワークθ軸テーブル５７によるθ軸方向の位置補正と、ワークＷのＸ軸方向及びＹ軸方向の位置データ補正とにより行われる。相前後して、気流発生機構１４０を上昇させ開放ポジションＰ２（図８参照）に位置させる。この状態で、描画エリア４１に移動するキャリッジユニット３１（稼動ユニット群）と、メンテナンスエリア４２に移動するキャリッジユニット３１（描画待機ユニット群）との仕分けが行われる。また、描画エリア４１に移動したキャリッジユニット３１の各ヘッドユニット７１の位置補正が、ヘッドθ軸テーブル７８によるθ軸方向の位置補正及びＹ軸テーブル３３によるＹ軸方向の位置補正と、ヘッドユニット７１のＸ軸方向の位置データ補正とにより行われる。 (Drawing device operation method)
Next, with reference to FIGS. 1-3, the discharge operation | movement to the workpiece | work W by the drawing apparatus 22, ie, a drawing operation | movement, is demonstrated easily.
First, as preparation before discharging the droplet L1 of the functional liquid L, the work W is set on the suction table 56, and the position correction of the work W is performed by correcting the position in the θ-axis direction by the work θ-axis table 57, and the work This is performed by correcting the position data of W in the X-axis direction and the Y-axis direction. Before and after, the airflow generation mechanism 140 is raised and positioned at the open position P2 (see FIG. 8). In this state, the carriage unit 31 (operating unit group) that moves to the drawing area 41 and the carriage unit 31 (drawing standby unit group) that moves to the maintenance area 42 are sorted. Further, the position correction of each head unit 71 of the carriage unit 31 moved to the drawing area 41 includes the position correction in the θ-axis direction by the head θ-axis table 78, the position correction in the Y-axis direction by the Y-axis table 33, and the head unit 71. This is performed by correcting the position data in the X-axis direction.

ワークＷやヘッドユニット７１の位置補正が行われた後、気流発生機構１４０を下降させ描画ポジションＰ１（図８参照）に位置させる。この状態で、描画装置２２は、制御装置による制御を受けながら、ワークＷをＸ軸テーブル３２によりＸ軸方向に往復移動動させるとともに、これに同期して稼動ユニット群の液滴吐出ヘッド７２を選択的に駆動させて、ワークＷに対する液滴Ｌ１の吐出が行われる。   After the position correction of the workpiece W and the head unit 71 is performed, the airflow generation mechanism 140 is lowered and positioned at the drawing position P1 (see FIG. 8). In this state, the drawing device 22 reciprocates the workpiece W in the X-axis direction by the X-axis table 32 while being controlled by the control device, and the droplet discharge head 72 of the operating unit group is moved in synchronization with this. By selectively driving, the droplet L1 is discharged to the workpiece W.

具体的には、図６，７に示すように、上述した制御装置（不図示）からヘッド用電装ユニット９７を介して電極１３０に駆動波形が印加されると、圧電素子１２０の圧電材料が収縮する。すると、圧電素子１２０が接合されている振動板１２３は、圧電素子１２０と一体になって同時に外側へ撓曲し、これによって空間１２５の容積が増大する。したがって、空間１２５内に増大した容積分に相当する機能液Ｌが、液溜部１２６から供給口１２７を介して流入する。また、このような状態から電極１３０への通電を解除すると、圧電素子１２０と振動板１２３はともに元の形状に戻る。したがって、空間１２５も元の容積に戻ることから、空間１２５内部の機能液Ｌの圧力が上昇し、ノズル９５からワークＷに向けて機能液Ｌの液滴Ｌ１が吐出される。
このように、振動板１２３の撓曲によるキャビティ９１のポンプ作用により、各ノズル９５から機能液Ｌの液滴Ｌ１が吐出される。そして、ワークＷのＸ軸方向への往復移動と液滴吐出ヘッド７２の駆動とを複数回繰り返すことで、ワークＷに対する描画が行われる。すなわち、描画エリア４１に臨むワークＷに対し、描画エリア４１のキャリッジユニット３１をＸ軸方向に相対的に移動させながら、キャリッジユニット３１に搭載された液滴吐出ヘッド７２からワークＷ上に機能液Ｌの液滴Ｌ１を吐出して描画処理が行われる。なお、キャビティ９１に印加する駆動波形の大きさ（印加電圧値の大きさ）や周期を制御することで、液滴Ｌ１の吐出量や吐出タイミングがノズル９５毎に独立して制御される。 Specifically, as shown in FIGS. 6 and 7, when a drive waveform is applied to the electrode 130 via the head electrical unit 97 from the control device (not shown), the piezoelectric material of the piezoelectric element 120 contracts. To do. Then, the diaphragm 123 to which the piezoelectric element 120 is bonded is integrally bent with the piezoelectric element 120 and bent outward, thereby increasing the volume of the space 125. Therefore, the functional liquid L corresponding to the increased volume in the space 125 flows from the liquid reservoir 126 through the supply port 127. Further, when the energization to the electrode 130 is released from such a state, both the piezoelectric element 120 and the diaphragm 123 return to their original shapes. Accordingly, since the space 125 also returns to the original volume, the pressure of the functional liquid L inside the space 125 increases, and the droplet L1 of the functional liquid L is discharged from the nozzle 95 toward the work W.
As described above, the liquid droplet L <b> 1 of the functional liquid L is discharged from each nozzle 95 by the pumping action of the cavity 91 due to the bending of the diaphragm 123. Then, drawing on the workpiece W is performed by repeating the reciprocating movement of the workpiece W in the X-axis direction and the driving of the droplet discharge head 72 a plurality of times. That is, the functional liquid is applied onto the work W from the droplet discharge head 72 mounted on the carriage unit 31 while moving the carriage unit 31 in the drawing area 41 relative to the work W facing the drawing area 41 in the X-axis direction. The drawing process is performed by discharging the L droplet L1. In addition, by controlling the magnitude of the drive waveform applied to the cavity 91 (the magnitude of the applied voltage value) and the period, the ejection amount and ejection timing of the droplet L1 are independently controlled for each nozzle 95.

ところで、上述した液滴吐出装置１（描画装置２２）の描画時にあっては、ヘッド用電装ユニット９７や圧電素子１２０等の動作に伴って自己発熱を起こす。そのため、複数のキャリッジ７３間において温度差が生じ、各キャリッジ７３の液滴吐出ヘッド７２内に充填された機能液Ｌに温度差が生じる。
その結果、各液滴吐出ヘッド７２による液滴Ｌ１の吐出量が変動し、この吐出量の変動に起因して膜厚むら（色むら）等の品質低下を招いてしまうという問題がある。 By the way, at the time of drawing by the above-described droplet discharge device 1 (drawing device 22), self-heating occurs with the operation of the head electrical unit 97, the piezoelectric element 120, and the like. Therefore, a temperature difference is generated between the plurality of carriages 73, and a temperature difference is generated in the functional liquid L filled in the droplet discharge head 72 of each carriage 73.
As a result, there is a problem that the discharge amount of the droplet L1 by each droplet discharge head 72 varies, resulting in a decrease in quality such as film thickness unevenness (color unevenness) due to the variation in the discharge amount.

そこで、本実施形態では、図８に示すように、各キャリッジユニット３１間での温度の均一化を図るために、まず制御装置は、各キャリッジ７３の液滴吐出ヘッド７２に取り付けられた温度センサにより、液滴吐出ヘッド７２の温度を検出する。そして、制御装置は、各温度センサで検出された液滴吐出ヘッド７２の温度に基づいて、各キャリッジユニット３１の温度を判断する。なお、各液滴吐出ヘッド７２の使用頻度等にも依るが、一般的に複数のキャリッジユニット３１のうち、液滴吐出ヘッド７２で発生した熱の滞留等により、複数のキャリッジユニット３１の温度勾配は、配列方向両側のキャリッジユニット３１から中央部のキャリッジユニット３１に向かうにつれ高くなる。そのため、各キャリッジ７３に搭載された各液滴吐出ヘッド７２の温度は、両側のキャリッジ７３に搭載された各液滴吐出ヘッド７２から、中央部のキャリッジ７３に搭載された各液滴吐出ヘッド７２にかけて高温になる。すなわち、気流Ｋの流通方向における上流から下流に向かうにつれ、キャリッジユニット３１毎の温度は低温になる。   Therefore, in the present embodiment, as shown in FIG. 8, in order to make the temperature uniform between the carriage units 31, first, the control device is a temperature sensor attached to the droplet discharge head 72 of each carriage 73. Thus, the temperature of the droplet discharge head 72 is detected. Then, the control device determines the temperature of each carriage unit 31 based on the temperature of the droplet discharge head 72 detected by each temperature sensor. Although depending on the frequency of use of each droplet discharge head 72, the temperature gradient of the plurality of carriage units 31 is generally due to the retention of heat generated in the droplet discharge head 72 among the plurality of carriage units 31. Becomes higher from the carriage units 31 on both sides in the arrangement direction toward the carriage unit 31 in the center. Therefore, the temperature of each droplet discharge head 72 mounted on each carriage 73 is changed from each droplet discharge head 72 mounted on the carriage 73 on both sides to each droplet discharge head 72 mounted on the central carriage 73. It becomes hot over time. That is, as the airflow K flows from upstream to downstream in the flow direction, the temperature of each carriage unit 31 decreases.

そして、液滴吐出ヘッド７２による描画が開始されると、制御装置は、気流発生機構１４０の各ファン１４２に動作信号を出力し、各ファン１４２を作動させる。各ファン１４２が作動すると、フード１４１外の空気が空気取り込み口１４６通してフード１４１内に供給される。そして、フード１４１内に供給された空気により、各ファン１４２からキャリッジユニット３１の配列方向に沿って、それぞれ逆方向（Ｙ軸方向両端）に向けて気流Ｋが発生する。各ファン１４２によって発生した気流Ｋは、まず中央部のキャリッジユニット３１（液滴吐出ヘッド７２）で発生した熱との間で熱交換を行う。これにより、気流Ｋは、中央部のキャリッジユニット３１で発生した熱を取り去るようにして、各キャリッジユニット３１の上方とフード１４１との間をＹ軸方向両端側に向かって送出される。一方、中央部のキャリッジユニット３１（各液滴吐出ヘッド７２）は、気流Ｋとの平衡温度に近づくようにして冷却されることになる。   When drawing by the droplet discharge head 72 is started, the control device outputs an operation signal to each fan 142 of the airflow generation mechanism 140 to operate each fan 142. When each fan 142 is operated, air outside the hood 141 is supplied into the hood 141 through the air intake port 146. Then, the air supplied into the hood 141 generates airflow K from the fans 142 in the opposite direction (both ends in the Y-axis direction) along the arrangement direction of the carriage units 31. The airflow K generated by each fan 142 first exchanges heat with the heat generated in the carriage unit 31 (droplet discharge head 72) in the center. As a result, the airflow K is sent toward the both ends in the Y-axis direction between each carriage unit 31 and the hood 141 so as to remove the heat generated in the central carriage unit 31. On the other hand, the central carriage unit 31 (each droplet discharge head 72) is cooled so as to approach the equilibrium temperature with the airflow K.

ところで、Ｙ軸方向中央部から両側に向かって流れる気流Ｋは、中央部のキャリッジユニット３１で熱交換が行われることで加熱され、ある程度の熱気となって下流側へ送出される。
この場合、加熱された気流Ｋが下流側のキャリッジユニット３１上を流通する際に、気流Ｋと下流側のキャリッジユニット３１との間で熱交換が行われ、気流Ｋとキャリッジユニット３１とが平衡温度に近づいていく。例えば、下流側のキャリッジユニット３１は、気流Ｋの熱により加熱される。その後も、気流Ｋは、下流側のキャリッジユニット３１と熱交換を行いながら、配列方向両側のキャリッジユニット３１に向かって流通する。これにより、気流Ｋの流通方向において、各キャリッジユニット３１間における温度差が縮小される。なお、本実施形態の各ファン１４２は、温度センサによる検出結果に基づいて出力を調整できるようになっている。すなわち、中央部のキャリッジユニット３１が高温となり、各キャリッジユニット３１間の温度差が大きい場合には各ファン１４２の出力を高出力に制御する一方、各キャリッジユニット３１間の温度差が小さい場合には各ファン１４２の出力を低出力に制御することができる。 By the way, the airflow K flowing from the central portion in the Y-axis direction toward both sides is heated by heat exchange in the carriage unit 31 in the central portion, and is sent to the downstream side as a certain amount of hot air.
In this case, when the heated airflow K flows on the downstream carriage unit 31, heat exchange is performed between the airflow K and the downstream carriage unit 31, and the airflow K and the carriage unit 31 are balanced. It approaches the temperature. For example, the downstream carriage unit 31 is heated by the heat of the airflow K. After that, the air flow K flows toward the carriage units 31 on both sides in the arrangement direction while exchanging heat with the carriage unit 31 on the downstream side. Thereby, the temperature difference between the carriage units 31 is reduced in the flow direction of the airflow K. In addition, each fan 142 of this embodiment can adjust an output based on the detection result by a temperature sensor. That is, when the temperature of the central carriage unit 31 is high and the temperature difference between the carriage units 31 is large, the output of each fan 142 is controlled to a high output, while the temperature difference between the carriage units 31 is small. Can control the output of each fan 142 to a low output.

また、液滴吐出装置１の描画時において、ワークＷに向けてノズル９５から液滴Ｌ１を吐出した場合、液滴吐出ヘッド７２の周辺にミスト状の液体（以下、ミストという）が浮遊する。そして、このミストが拡散してノズル面９３に付着すると、ミスト中の溶媒や分散媒が蒸発してノズル９５の開口縁にミストの固化物が形成される。この場合、固化物の付着によってノズル径が狭まりノズル９５から吐出される液滴Ｌ１の量が減少したり、ノズル９５の開口形状が歪むことで液滴Ｌ１の飛び散りや飛行曲がりが生じ、液滴Ｌ１が所望の位置に着弾しなかったりするという問題がある。   Further, when the droplet L1 is ejected from the nozzle 95 toward the workpiece W during drawing by the droplet ejection apparatus 1, a mist-like liquid (hereinafter referred to as mist) floats around the droplet ejection head 72. When this mist diffuses and adheres to the nozzle surface 93, the solvent or dispersion medium in the mist evaporates and a solidified mist is formed at the opening edge of the nozzle 95. In this case, the nozzle diameter is narrowed due to the adhesion of the solidified material, the amount of the droplet L1 ejected from the nozzle 95 is reduced, or the opening shape of the nozzle 95 is distorted to cause the droplet L1 to scatter and bend. There is a problem that L1 does not land at a desired position.

そこで、本実施形態では、両側のキャリッジユニット３１まで送出された気流Ｋは、フード１４１における天板部１４３と側壁部１４４との境界部において下方に向けて指向される。下方に向けて指向された気流Ｋは、側壁部１４４を沿って流れた後、ダウンフローとなってフード１４１外へ送出される。この場合、フード１４１外へ送出された気流Ｋは、液滴吐出ヘッド７２の周辺に拡散するミストとともに、下方に向けて流れる。そのため、液滴吐出ヘッド７２の周囲で浮遊するミストの拡散を防止して、ミストがノズル面９３に付着することを防ぐことができる。そのため、ノズル面９３を良好な状態に維持することができる。   Therefore, in the present embodiment, the airflow K sent to the carriage units 31 on both sides is directed downward at the boundary between the top plate part 143 and the side wall part 144 in the hood 141. The airflow K directed downward is flowed along the side wall 144 and then sent out of the hood 141 as a downflow. In this case, the airflow K sent out of the hood 141 flows downward together with the mist that diffuses around the droplet discharge head 72. Therefore, it is possible to prevent the mist from floating around the droplet discharge head 72 from diffusing and prevent the mist from adhering to the nozzle surface 93. Therefore, the nozzle surface 93 can be maintained in a good state.

このように、本実施形態では、キャリッジユニット３１の配列方向に沿って気流を発生させる気流発生機構１４０を備えている構成とした。
この構成によれば、各ファン１４２を作動させることで、キャリッジユニット３１の配列方向（Ｙ軸方向）に沿って気流Ｋを発生させることができる。そして、発生した気流Ｋは、各キャリッジユニット３１と熱交換を行いながら下流側へ流通する。この時、各キャリッジユニット３１は気流Ｋとの平衡温度に近づくように温度制御されるため、各キャリッジユニット３１間における温度差（温度むら）を縮小することができる。よって、各キャリッジユニット３１間における温度の均一化を図ることができる。
したがって、各キャリッジ７３上における各液滴吐出ヘッド７２の温度が所定温後で均一化されるため、各液滴吐出ヘッド７２を駆動するための圧電素子１２０や機能液Ｌの温度むらを抑制することができる。その結果、各キャリッジ７３上における液滴吐出ヘッド７２の機能液Ｌの粘度の均一化を図り、液滴Ｌ１の吐出量の均一化を図ることができる。
その結果、吐出量の変動に起因する膜厚むら（色むら）を抑制して、吐出精度を向上させることができるので、製品の品質向上を図ることができる。 Thus, in this embodiment, the airflow generation mechanism 140 that generates the airflow along the arrangement direction of the carriage units 31 is provided.
According to this configuration, the airflow K can be generated along the arrangement direction (Y-axis direction) of the carriage units 31 by operating each fan 142. The generated air flow K flows downstream while exchanging heat with each carriage unit 31. At this time, the temperature of each carriage unit 31 is controlled so as to approach the equilibrium temperature with the airflow K, so that the temperature difference (temperature unevenness) between the carriage units 31 can be reduced. Therefore, the temperature can be made uniform between the carriage units 31.
Accordingly, the temperature of each droplet discharge head 72 on each carriage 73 is equalized after a predetermined temperature, so that temperature unevenness of the piezoelectric element 120 and the functional liquid L for driving each droplet discharge head 72 is suppressed. be able to. As a result, the viscosity of the functional liquid L of the droplet discharge head 72 on each carriage 73 can be made uniform, and the discharge amount of the droplets L1 can be made uniform.
As a result, the film thickness unevenness (color unevenness) due to the variation in the discharge amount can be suppressed and the discharge accuracy can be improved, so that the quality of the product can be improved.

さらに、従来のように圧電素子１２０を微振動させて液滴吐出ヘッド７２の温度制御を行う場合に比べて、圧電素子１２０の駆動波形等を調整する必要がないので、機能液Ｌの温度制御を容易に行うことができる。   Furthermore, compared with the conventional case where the piezoelectric element 120 is finely vibrated to control the temperature of the droplet discharge head 72, it is not necessary to adjust the drive waveform of the piezoelectric element 120 and the like. Can be easily performed.

この場合、各ファン１４２をフード１４１の中央部に配置することで、気流Ｋの流通方向と各キャリッジユニット３１間における温度勾配とを一致させることができる。これにより、キャリッジユニット群１３１のうち、高温となり易い中央部のキャリッジユニット３１（液滴吐出ヘッド７２）を効率的に冷却することができるとともに、両側のキャリッジユニット３１（液滴吐出ヘッド７２）を均一に加熱することができる。よって、各キャリッジ７３における液滴吐出ヘッド７２における温度のさらなる均一化を図ることができる。
しかも、フード１４１によって各キャリッジユニット３１の下方を除く周囲を一括して覆うことで、各キャリッジユニット３１間全域に気流Ｋを流通させることができ、より効率的に各キャリッジユニット３１間における温度の均一化を図ることができる。 In this case, by arranging each fan 142 in the center of the hood 141, the flow direction of the airflow K and the temperature gradient between the carriage units 31 can be matched. Thereby, in the carriage unit group 131, the central carriage unit 31 (droplet discharge head 72), which is likely to become high temperature, can be efficiently cooled, and the carriage units 31 (droplet discharge head 72) on both sides can be efficiently cooled. It can be heated uniformly. Therefore, the temperature in the droplet discharge head 72 in each carriage 73 can be made more uniform.
In addition, by covering the periphery of the carriage unit 31 except the lower part with the hood 141, the airflow K can be circulated through the entire area between the carriage units 31, and the temperature between the carriage units 31 can be more efficiently increased. Uniformity can be achieved.

なお、本発明は上述した実施形態に限定されず、発明の趣旨を逸脱しない範囲内において適宜変更可能である。
上述した実施形態では、描画時において、キャリッジユニット３１に対してワークＷを移動させる場合に本発明を適用したが、ワークＷに対してキャリッジユニット３１を移動させる場合や、ワークＷとキャリッジユニット３１とをともに移動させる場合にも本発明を適用することができる。キャリッジユニット３１を移動させる場合には、キャリッジユニット３１の移動領域全域を覆うようなフードを設けたり、キャリッジユニットとともにフードを移動させたりする構成が可能である。
また、ファン１４２の個数や取り付け位置は適宜設計変更が可能である。
また、上述した実施形態に加えて、液滴Ｌ１を吐出させない程度に圧電素子１２０を微振動させ、機能液Ｌを加熱しても構わない。 In addition, this invention is not limited to embodiment mentioned above, In the range which does not deviate from the meaning of invention, it can change suitably.
In the above-described embodiment, the present invention is applied when the workpiece W is moved with respect to the carriage unit 31 at the time of drawing. However, when the carriage unit 31 is moved with respect to the workpiece W, or when the workpiece W and the carriage unit 31 are moved. The present invention can also be applied to a case where both are moved together. When the carriage unit 31 is moved, a hood that covers the entire movement region of the carriage unit 31 can be provided, or the hood can be moved together with the carriage unit.
In addition, the number of fans 142 and their mounting positions can be changed as appropriate.
In addition to the above-described embodiment, the functional liquid L may be heated by slightly vibrating the piezoelectric element 120 to such an extent that the droplet L1 is not discharged.

さらに、キャリッジ７３の個数や、キャリッジ７３に搭載される液滴吐出ヘッド７２の個数は適宜設計変更が可能である。
上述した実施形態では、電気光学装置を製造するための工業用の液滴吐出装置１に本発明を適用した場合を例にして説明したが、画像印刷に用いられる民生品の液滴吐出装置に本発明を適用することも可能である。 Further, the number of carriages 73 and the number of droplet discharge heads 72 mounted on the carriage 73 can be appropriately changed in design.
In the above-described embodiment, the case where the present invention is applied to the industrial liquid droplet ejection apparatus 1 for manufacturing the electro-optical device has been described as an example. However, the consumer liquid droplet ejection apparatus used for image printing is described as an example. It is also possible to apply the present invention.

１…液滴吐出装置 ３１…キャリッジユニット ７２…液滴吐出ヘッド ７３…キャリッジ ９５…ノズル １４０…気流発生機構 １４１…フード（気流ガイド） １４２…送風機（ファン） Ｌ…機能液 Ｌ１…液滴 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Droplet discharge device 31 ... Carriage unit 72 ... Droplet discharge head 73 ... Carriage 95 ... Nozzle 140 ... Airflow generation mechanism 141 ... Hood (airflow guide) 142 ... Blower (fan) L ... Functional liquid L1 ... Droplet

Claims (5)

複数の液滴吐出ヘッドがキャリッジに搭載されてなるキャリッジユニットが複数配列され、ワークと前記キャリッジユニットとを相対的に移動させながら、前記各液滴吐出ヘッドから前記ワークに向けて機能液の液滴を吐出する液滴吐出装置において、
前記キャリッジユニットの配列方向に沿って気流を発生させる気流発生機構を備えていることを特徴とする液滴吐出装置。 A plurality of carriage units in which a plurality of droplet discharge heads are mounted on a carriage are arranged, and the liquid of the functional liquid is directed from the respective droplet discharge heads toward the workpiece while relatively moving the workpiece and the carriage unit. In a droplet discharge device that discharges droplets,
A droplet discharge device comprising an airflow generation mechanism for generating an airflow along an arrangement direction of the carriage units. 前記気流発生機構は、前記キャリッジユニットの配列方向における中央部から前記キャリッジユニットの配列方向における両側に向けて気流を発生させることを特徴とする請求項１記載の液滴吐出装置。   The droplet discharge device according to claim 1, wherein the airflow generation mechanism generates an airflow from a central portion in the arrangement direction of the carriage units toward both sides in the arrangement direction of the carriage units. 前記気流発生機構は、気流を発生させる送風機と、
前記複数のキャリッジユニットを一括して覆うように配置され、前記キャリッジユニットの配列方向に沿って気流を案内する気流ガイドとを備えていることを特徴とする請求項１または請求項２記載の液滴吐出装置。 The airflow generation mechanism includes a blower that generates an airflow,
The liquid according to claim 1, further comprising: an airflow guide disposed so as to collectively cover the plurality of carriage units and guiding an airflow along an arrangement direction of the carriage units. Drop ejection device. 前記気流ガイドは、前記キャリッジユニットの配列方向における両側に配置された前記キャリッジユニットの側方に至るまでを覆うように配置されていることを特徴とする請求項３記載の液滴吐出装置。   The droplet discharge device according to claim 3, wherein the airflow guide is disposed so as to cover up to a side of the carriage unit disposed on both sides in the arrangement direction of the carriage units. 前記各キャリッジにおける中央に搭載された前記液滴吐出ヘッドに、前記液滴吐出ヘッドの温度を検出するための温度センサが設けられていることを特徴とする請求項１ないし請求項４の何れか１項に記載の液滴吐出装置。   The temperature sensor for detecting the temperature of the said droplet discharge head is provided in the said droplet discharge head mounted in the center in each said carriage, The Claim 1 thru | or 4 characterized by the above-mentioned. 2. A droplet discharge device according to item 1.

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