JP2004243187A

JP2004243187A - Droplet discharge device, electro-optical device, method for producing electro-optical device, and electronic equipment

Info

Publication number: JP2004243187A
Application number: JP2003034412A
Authority: JP
Inventors: Kenji Kojima; 健嗣小島; Yoshihiro Ito; 芳博伊藤; Masayuki Okuyama; 正幸奥山; Toshiaki Moribe; 淑彰森部
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2003-02-12
Filing date: 2003-02-12
Publication date: 2004-09-02

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a droplet discharge device where the formation of a pattern (drawing) can be performed without depending on the position of an index in a work, to provide an electro-optical device produced by using the droplet discharge device, to provide a method for producing the electro-optical device using the droplet discharge device, and to provide an electronic equipment provided with the electro-optical device. <P>SOLUTION: The droplet discharge device is provided with a device body, a substrate transport table, an Y-axis direction movement mechanism for moving the substrate transport table in a Y-axis direction, a head unit 11 having a droplet discharge head, and an X-axis direction movement mechanism 6 for moving the head unit 11 in an X-axis direction. The X-axis direction movement mechanism 6 moves an alignment camera 17 in the X-axis direction independently from the head unit 11. <P>COPYRIGHT: (C)2004,JPO&NCIPI

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液滴吐出装置、電気光学装置、電気光学装置の製造方法および電子機器に関する。
【０００２】
【従来の技術】
インクジェットプリンターのインクジェット方式（液滴吐出方式）を応用して、例えば液晶表示装置におけるカラーフィルタや有機ＥＬ表示装置等を製造したり、基板上に金属配線を形成したりするのに使用する産業用の液滴吐出装置（インクジェット描画装置）が提案されている。
【０００３】
このような液滴吐出装置では、微細で精密なパターンを形成（描画）する必要があるため、基板等のワークに付されたアライメントマーク（指標）をアライメントカメラによって画像認識し、その認識結果に基づいて、ワークの姿勢を修正したり、ワークと液滴吐出ヘッド（インクジェットヘッド）との相対移動（走査）を制御したりすることとしている。
【０００４】
従来の液滴吐出装置では、アライメントカメラは、装置本体に対し固定的に設置されていることから、製造するワークの種類や仕様が変更されてアライメントマークの位置が変わると、アライメントカメラを移設するとともにその位置を微調整する作業が必要となり、多大な工数を要している。また、アライメントマークの位置によっては、ワークの変更に対応できない場合もある。
【０００５】
また、液滴吐出ヘッドを備えたヘッドユニットにアライメントカメラを設置した液滴吐出装置（例えば、特許文献１参照）も提案されているが、この構成の場合には、アライメントを行っている最中には、液滴吐出ヘッドのキャッピング、クリーニング、フラッシング等を行うことができないので、アライメント中に液滴吐出ヘッドのノズル形成面が乾燥し、吐出ノズルが詰まってしまうという問題がある。
【０００６】
【特許文献１】
特開２０００−１８７１１５号公報
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、ワークにおける指標の位置にかかわらずパターンの形成（描画）を行うことができる液滴吐出装置、かかる液滴吐出装置を用いて製造される電気光学装置、かかる液滴吐出装置を用いる電気光学装置の製造方法、および、かかる電気光学装置を備える電子機器を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
このような目的は、下記の本発明により達成される。
本発明の液滴吐出装置は、装置本体と、
ワークが載置されるワーク載置部と、
前記ワーク載置部を前記装置本体に対し水平な一方向（以下、「Ｙ軸方向」と言う）に移動させるＹ軸方向移動機構と、
ワークに対して吐出対象液の液滴を吐出する少なくとも１個の液滴吐出ヘッドを有するヘッドユニットと、
前記ヘッドユニットを前記装置本体に対し前記Ｙ軸方向に垂直かつ水平な方向（以下、「Ｘ軸方向」と言う）に移動させるヘッドユニット移動機構と、
前記ワーク載置部に位置決めして載置されたワークの指標の位置を検出する位置検出手段と、
前記位置検出手段を前記装置本体に対し前記ヘッドユニットと独立して前記Ｘ軸方向に移動させる位置検出手段移動機構と、
前記液滴吐出ヘッド、前記Ｙ軸方向移動機構、前記ヘッドユニット移動機構および前記位置検出手段移動機構の作動を制御する制御手段とを備え、
前記制御手段は、前記制御手段の記憶部に予め記憶された前記ワーク上での前記指標の位置情報に基づいて前記Ｙ軸方向移動機構および前記位置検出手段移動機構を作動することにより前記位置検出手段を前記指標の付近に相対的に移動させて前記指標の位置を検出させ、前記位置検出手段によって検出された前記指標の位置に基づいて、前記ワーク載置部と前記ヘッドユニットとを相対的に移動させつつ、前記液滴吐出ヘッドから前記ワークに対し液滴を吐出することにより、前記ワークに所定のパターンを形成するように制御することを特徴とする。
これにより、ワークにおける指標の位置にかかわらずパターンの形成（描画）を行うことができる液滴吐出装置を提供することができる。このような液滴吐出装置によれば、ワークの仕様や種類の変更に容易に対応することができ、汎用性が高い。また、ワークの指標の位置が変更されても、位置検出手段が固定式の場合と異なり、位置検出手段を移設したりその位置を微調整したりする作業が不要であり、工数を削減することができ、ワークの生産性向上および製造コスト低減が図れる。
【０００９】
本発明の液滴吐出装置では、前記位置検出手段は、前記指標の位置を光学的に検出するものであることが好ましい。
これにより、簡単な構成で精度良く指標の位置を検出することができる。
本発明の液滴吐出装置では、前記位置検出手段は、撮像素子を有するカメラで構成されていることが好ましい。
これにより、簡単な構成で精度良く指標の位置を検出することができる。
本発明の液滴吐出装置では、前記位置検出手段の高さを調整する高さ調整機構をさらに備えることが好ましい。
これにより、ワークの厚さに合わせて、位置検出手段の焦点等を調整することができる。
【００１０】
本発明の液滴吐出装置では、前記制御手段は、前記制御手段の記憶部に予め記憶された前記ワーク上での前記指標の位置情報に基づいて前記Ｙ軸方向移動機構および前記位置検出手段移動機構を作動することにより前記位置検出手段を前記指標の付近に相対的に移動させた結果、前記指標が前記位置検出手段の検出領域内に入らなかった場合、前記位置検出手段が前記ワークに対し相対的に徐々に移動するように前記Ｙ軸方向移動機構および／または前記位置検出手段移動機構を作動して、前記指標が前記位置検出手段の検出領域内に入るように制御することが好ましい。
これにより、ワークの位置決め（プリアライメント）の精度が多少悪かった場合であっても、アライメントを続行することができる。
【００１１】
本発明の液滴吐出装置では、前記ワーク載置部を鉛直方向の軸回りに所定範囲で回転させるθ軸回転機構をさらに備え、
前記制御手段は、前記ワークに所定のパターンを形成する前に、前記位置検出手段によって検出した前記指標の位置に基づいて前記θ軸回転機構を作動して前記ワークの姿勢を修正することが好ましい。
これにより、ワークのアライメントの精度をより向上することができ、その結果、パターンをより高い精度で形成（描画）することができる。
【００１２】
本発明の液滴吐出装置では、前記制御手段は、前記位置検出手段によって検出した前記指標の位置に基づいて前記θ軸回転機構を作動して前記ワークの姿勢を修正した後、前記位置検出手段によって前記指標の位置を再度検出し、この検出結果に基づいて、前記ワーク載置部と前記ヘッドユニットとを相対的に移動させつつ、前記液滴吐出ヘッドから前記ワークに対し液滴を吐出することにより、前記ワークに所定のパターンを形成するように制御することが好ましい。
これにより、ワークのアライメントの精度をさらに向上することができ、その結果、パターンをさらに高い精度で形成（描画）することができる。
【００１３】
本発明の液滴吐出装置では、前記制御手段は、前記θ軸回転機構を作動して前記ワークの姿勢を修正した後に前記位置検出手段によって前記指標の位置を再度検出するとき、前記ワークの姿勢を修正したときの前記θ軸回転機構による前記ワーク載置部の回転角度と前回検出した前記指標の位置とから前記ワークの姿勢の修正後における前記指標の位置を算出し、この算出された位置に基づいて、前記指標が前記位置検出手段の検出領域のほぼ中央に来るように前記位置検出手段移動機構の作動を制御することが好ましい。
これにより、ワークのアライメントの精度をさらに向上することができ、その結果、パターンをさらに高い精度で形成（描画）することができる。
【００１４】
本発明の液滴吐出装置では、前記ヘッドユニット移動機構および前記位置検出手段移動機構の駆動源は、前記ヘッドユニットを移動させる可動部と、前記位置検出手段を移動させる可動部とを同軸上に有するとともに前記両可動部をそれぞれ独立して移動可能なリニアモータで構成されていることが好ましい。
これにより、クリーン化、描画精度の向上、省スペース化、高効率化および高信頼性化が図れる。
【００１５】
本発明の液滴吐出装置では、前記ワーク載置部の移動領域の一方の側方に、前記液滴吐出ヘッドのノズル形成面を清掃するクリーニングユニット、前記液滴吐出ヘッドが待機時に捨て吐出した液体を受ける液受け部を有するフラッシングユニット、前記液滴吐出ヘッドから流体を吸引する際に前記液滴吐出ヘッドのノズル形成面を覆うキャップを有するキャッピングユニット、のうちの少なくとも１つをさらに備え、
前記ヘッドユニットは、前記位置検出手段に対し前記一方の側に位置していることが好ましい。
これにより、位置検出手段の移動中に、液滴吐出ヘッドのキャッピング、クリーニングまたはフラッシングを行うことができるので、液滴吐出ヘッドのノズル形成面が乾燥したり、吐出ノズルが詰まったりするのを防止することができる。また、位置検出手段の移動と、液滴吐出ヘッドのキャッピング、クリーニングまたはフラッシングとを平行して行うことができるので、サイクルタイムを短縮することができ、スループットが向上し、ワークの製造コストの低減に寄与する。
【００１６】
本発明の液滴吐出装置では、前記ワークに所定のパターンを形成する際、前記Ｙ軸方向と前記Ｘ軸方向とのいずれか一方を主走査方向とし他方を副走査方向として前記ワーク載置部と前記ヘッドユニットとを相対的に移動させることが好ましい。
これにより、目的に合わせてワーク上に多彩なパターンを形成（描画）することができる。
本発明の電気光学装置は、本発明の液滴吐出装置を用いて製造されたことを特徴とする。
これにより、高い精度でパターンが形成（描画）された高性能の部品を備えるとともに、製造コストの低い電気光学装置を提供することができる。
【００１７】
本発明電気光学装置の製造方法は、本発明の液滴吐出装置を用いることを特徴とする。
これにより、ワークに対するパターンの形成（描画）を高い精度で行うことができるとともに、製造コストの低減が図れる電気光学装置の製造方法を提供することができる。
本発明の電子機器は、本発明の電気光学装置を備えることを特徴とする。
これにより、高い精度でパターンが形成（描画）された高性能の部品を備えるとともに、製造コストの低い電子機器を提供することができる。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の液滴吐出装置を添付図面に示す好適な実施形態に基づいて詳細に説明する。
図１および図２は、それぞれ、本発明の液滴吐出装置の実施形態を示す平面図および側面図である。なお、以下では、説明の便宜上、水平な一方向（図１および図２中の左右方向に相当する方向）を「Ｙ軸方向」と言い、このＹ軸方向に垂直であって水平な方向（図１中の上下方向に相当する方向）を「Ｘ軸方向」と言う。また、Ｙ軸方向であって図１および図２中の右方向への移動を「Ｙ軸方向に前進」、Ｙ軸方向であって図１および図２中の左方向への移動を「Ｙ軸方向に後退」と言い、Ｘ軸方向であって図１中の下方向への移動を「Ｘ軸方向に前進」、Ｘ軸方向であって図１中の上方向への移動を「Ｘ軸方向に後退」と言う。
【００１９】
図１および図２に示す液滴吐出システム（液滴吐出系）１０は、本発明の液滴吐出装置（インクジェット描画装置）１と、この液滴吐出装置１を収容するチャンバ（チャンバルーム）９１とを備えている。
【００２０】
液滴吐出装置１は、ワークとしての基板Ｗに対し、例えばインクや、目的とする材料を含む機能液等の液体（吐出対象液）をインクジェット方式（液滴吐出方式）により微小な液滴の状態で吐出し、吐出した液滴を基板Ｗに着弾させて所定のパターンを形成（描画）する装置であり、例えば液晶表示装置におけるカラーフィルタや有機ＥＬ表示装置等を製造したり、基板上に金属配線を形成したりするのに用いることができるものである。液滴吐出装置１が対象とする基板Ｗの素材は、特に限定されず、板状の部材であればいかなるものでもよいが、例えば、ガラス基板、シリコン基板、フレキシブル基板等を対象とすることができる。
【００２１】
また、本発明で対象とするワークは、板状の部材に限らず、底面が平らな部材であればいかなるものでもよい。例えば、本発明は、レンズをワークとし、このレンズに液滴を吐出することにより光学薄膜等のコーティングを形成する液滴吐出装置などにも適用することができる。また、本発明は、比較的大型のワーク（例えば、長さ、幅がそれぞれ数十ｃｍ〜数ｍ程度のもの）にも対応することができる比較的大型の液滴吐出装置１に特に好ましく適用することができる。
【００２２】
この液滴吐出装置１は、装置本体２と、ワーク載置部としての基板搬送テーブル（基板搬送ステージ）３と、基板搬送テーブル３を装置本体２に対しＹ軸方向に移動させるＹ軸方向移動機構５と、基板搬送テーブル３を回転させるθ軸回転機構１０５と、複数の液滴吐出ヘッド（インクジェットヘッド）１１１を有するヘッドユニット１１と、アライメントカメラ１７と、描画確認カメラ１８と、ヘッドユニット１１、アライメントカメラ１７および描画確認カメラ１８を装置本体２に対しＸ軸方向に移動させるＸ軸方向移動機構６とを備えている。
【００２３】
また、液滴吐出装置１は、液滴吐出装置１の各部の作動を制御する制御装置（制御手段）１６をさらに備えている。図１２は、図１および図２に示す液滴吐出装置のブロック図である。図１２に示すように、制御装置１６は、ＣＰＵ（ＣｅｎｔｒａｌＰｒｏｃｅｓｓｉｎｇＵｎｉｔ）１６１と、液滴吐出装置１の制御動作を実行するためのプログラム等の各種プログラムおよび各種データを記憶（格納）する記憶部１６２とを有している。
【００２４】
制御装置１６には、Ｙ軸方向移動機構５、Ｘ軸方向移動機構６およびθ軸回転機構１０５がそれぞれ図示しない駆動回路（ドライバ）を介して接続されている。また、制御装置１６には、各液滴吐出ヘッド１１１の作動を制御するヘッド駆動制御部１３０を介してヘッドユニット１１が接続されている。さらに、制御装置１６には、後述するレーザー測長器１５、アライメントカメラ１７および描画確認カメラ１８がそれぞれ接続されているとともに、図１２に示す以外にも液滴吐出装置１の各部が電気的に接続されているが、図１２中では図示を省略する。この制御装置１６は、好ましくは、チャンバ９１の外部に設置される（図１参照）。
【００２５】
本発明の液滴吐出装置１では、液滴吐出ヘッド１１１から吐出する液体としては、特に限定されず、カラーフィルタのフィルタ材料を含むインクの他、例えば以下のような各種の材料を含む液体（サスペンション、エマルション等の分散液を含む）とすることができる。・有機ＥＬ（ｅｌｅｃｔｒｏｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）装置におけるＥＬ発光層を形成するための発光材料。・電子放出装置における電極上に蛍光体を形成するための蛍光材料。・ＰＤＰ（ＰｌａｓｍａＤｉｓｐｌａｙＰａｎｅｌ）装置における蛍光体を形成するための蛍光材料。・電気泳動表示装置における泳動体を形成する泳動体材料。・基板Ｗの表面にバンクを形成するためのバンク材料。・各種コーティング材料。・電極を形成するための液状電極材料。・２枚の基板間に微小なセルギャップを構成するためのスペーサを構成する粒子材料。・金属配線を形成するための液状金属材料。・マイクロレンズを形成するためのレンズ材料。・レジスト材料。・光拡散体を形成するための光拡散材料。
【００２６】
図２に示すように、装置本体２は、床上に設置された架台２１と、架台２１上に設置された石定盤（定盤）２２とを有している。石定盤２２の上には、基板搬送テーブル３が装置本体２に対しＹ軸方向に移動可能に設置されている。基板搬送テーブル３は、リニアモータ５１の駆動により、Ｙ軸方向に前進・後退する。基板Ｗは、基板搬送テーブル３上に載置される。
【００２７】
液滴吐出装置１では、基板搬送テーブル３と同程度の大きさの比較的大型の基板Ｗから、基板搬送テーブル３より小さい比較的小型の基板Ｗまで、様々な大きさおよび形状の基板Ｗを対象にすることができる。基板Ｗは、原則としては基板搬送テーブル３と中心を一致させるように位置決めした状態で液滴吐出動作をすることが好ましいが、比較的小型の基板Ｗの場合には、基板搬送テーブル３の端に寄せた位置に位置決めして液滴吐出動作をしてもよい。
【００２８】
図１に示すように、基板搬送テーブル３のＸ軸方向に沿った２つの辺の付近には、それぞれ、基板Ｗに対する液滴吐出（描画）前に液滴吐出ヘッド１１１から捨て吐出（予備吐出、フラッシング、または捨て打ちとも呼ばれる）された液滴を受ける描画前フラッシングユニット１０４が設置されている。描画前フラッシングユニット１０４には、吸引チューブ（図示せず）が接続されており、捨て吐出された吐出対象液は、この吸引チューブを通って回収され、タンク収納部１３に設置された排液タンク内に貯留される。
【００２９】
基板搬送テーブル３のＹ軸方向の移動距離は、移動距離検出手段としてのレーザー測長器１５により測定される。レーザー測長器１５は、装置本体２側に設置されたレーザー測長器センサヘッド１５１、ミラー１５２およびレーザー測長器本体１５３と、基板搬送テーブル３側に設置されたコーナーキューブ１５４とを有している。レーザー測長器センサヘッド１５１からＸ軸方向に沿って出射したレーザー光は、ミラー１５２で屈曲してＹ軸方向に進み、コーナーキューブ１５４に照射される。コーナーキューブ１５４での反射光は、ミラー１５２を経て、レーザー測長器センサヘッド１５１に戻る。液滴吐出装置１では、このようなレーザー測長器１５によって検出された基板搬送テーブル３の移動距離（現在位置）に基づいて、液滴吐出ヘッド１１１からの吐出タイミングが生成される。
【００３０】
装置本体２には、ヘッドユニット１１を支持するメインキャリッジ６１が、基板搬送テーブル３の上方空間においてＸ軸方向に移動可能に設置されている。複数の液滴吐出ヘッド１１１を有するヘッドユニット１１は、リニアモータとガイドとを備えたリニアモータアクチュエータ６２の駆動により、メインキャリッジ６１とともにＸ軸方向に前進・後退する。
【００３１】
また、装置本体２には、基板Ｗ上に吐出された液滴を半乾燥させるブロー装置１４が設置されている。ブロー装置１４は、Ｘ軸方向に沿ってスリット状に開口するノズルを有しており、基板Ｗを基板搬送テーブル３によりＹ軸方向に搬送しつつ、このノズルより基板Ｗへ向けてガスを吹き付ける。本実施形態の液滴吐出装置１では、Ｙ軸方向に互いに離れた個所に位置する２個のブロー装置１４が設けられている。
【００３２】
石定盤２２上における基板搬送テーブル３の移動領域と重ならない場所であって、ヘッドユニット１１の移動領域の下方に位置する場所には、ドット抜け検出ユニット１９が固定的に設置されている。ドット抜け検出ユニット１９は、液滴吐出ヘッド１１１のノズルの目詰まりが原因となって生じるドット抜けを検出するものであり、例えばレーザー光を投光・受光する投光部および受光部を備えている。
【００３３】
ドット抜け検出を行う際には、ヘッドユニット１１がドット抜け検出ユニット１９の上方空間をＸ軸方向に移動しつつ、各ノズルから液滴を捨て吐出し、ドット抜け検出ユニット１９は、この捨て吐出された液滴に対し投光・受光を行って、目詰まりしているノズルの有無および個所を光学的に検出する。この際に液滴吐出ヘッド１１１から吐出された吐出対象液は、ドット抜け検出ユニット１９が備える受け皿に溜まり、この受け皿の底部に接続された吸引チューブ（図示せず）を通って回収され、タンク収納部１３に設置された排液タンク内に貯留される。
【００３４】
タンク収納部１３には、液滴吐出ヘッド１１１へ供給される吐出対象液を貯留する吐出対象液タンク（一次タンク）、洗浄液タンク、再利用タンクおよび排液タンク（いずれも図示せず）がそれぞれ設置されている。前記洗浄液タンクには、後述するクリーニングユニット８１へ供給される洗浄液が貯留される。前記再利用タンクには、後述するキャッピングユニット８３から回収された吐出対象液が貯留される。前記排液タンクには、描画前フラッシングユニット１０４、ドット抜け検出ユニット１９および後述する定期フラッシングユニット８２からそれぞれ回収された吐出対象液が貯留される。
【００３５】
また、前記吐出対象液タンクおよび洗浄液タンク内は、それぞれ、液滴吐出装置１の近傍（好ましくは後述するチャンバ９１の外）に設置された図示しない加圧気体供給源から供給された例えば窒素ガス等の加圧気体により加圧され、この圧力によって、吐出対象液および洗浄液が送出される。
また、図１に示すように、基板搬送テーブル３の移動領域をまたぐようにして、イオナイザーユニット１０９が設置されている。イオナイザーユニット１０９は、基板Ｗの帯電を除電する。
【００３６】
このような液滴吐出装置１は、好ましくは、チャンバ装置９により雰囲気の温度および湿度が管理された環境下で基板Ｗに対する液滴の吐出（描画）を行う。チャンバ装置９は、液滴吐出装置１を収容（収納）するチャンバ９１と、チャンバ９１の外部に設置された空調装置９２とを有している。空調装置９２は、公知のエアーコンディショナー装置を内蔵しており、空気の温度および湿度を調節（調整）して、この空気を導入ダクト９３を介してチャンバ９１の天井裏９１１に送り込む。空調装置９２から天井裏９１１に送り込まれた空気は、天井に設置されたフィルタ９１２を透過して、チャンバ９１の主室９１３に導入される。
【００３７】
チャンバ９１内には、主室９１３のほかに、隔壁９１４、９１５により副室９１６が設けられており、タンク収納部１３は、この副室９１６内に設置されている。隔壁９１４には、主室９１３と副室９１６とを連通する連通部（開口）９１７が形成されている。
副室９１６には、チャンバ９１の外部に対する開閉扉（開閉部）９１８が設けられている（図１参照）。なお、副室９１６の開閉部は、開閉扉９１８のような開き戸に限らず、引き戸、シャッターなどでもよい。
また、副室９１６には、副室９１６内の気体を排出する排気口が形成され、この排気口には、外部へ伸びる排気ダクト９４が接続されている。主室９１３内の空気は、連通部９１７を通過して副室９１６に流入した後、排気ダクト９４を通過してチャンバ装置９の外部に排出される。
【００３８】
このようなチャンバ装置９によって液滴吐出装置１の周囲の温度および湿度が管理されることにより、温度変化による基板Ｗや装置各部の膨張・収縮が原因となって誤差が生じるのを防止することができ、基板Ｗ上に描画（形成）されるパターンの精度をより高くすることができる。また、タンク収納部１３も温度および湿度が管理された環境に置かれるので、吐出対象液の粘度等の特性も安定し、パターンの形成（描画）をより高い精度で行うことができる。また、チャンバ９１内へのチリ、ホコリ等の侵入を防止することができ、基板Ｗを清浄に維持することができる。
なお、チャンバ９１内には、空気以外のガス（例えば窒素、二酸化炭素、ヘリウム、ネオン、アルゴン、クリプトン、キセノン、ラドン等の不活性ガスなど）を空調して供給・充填し、このガスの雰囲気中で液滴吐出装置１を稼動することとしてもよい。
【００３９】
また、このような液滴吐出システム１０では、開閉扉９１８を開くことにより、主室９１３を外部に開放することなく、タンク収納部１３にアクセスすることができる。これにより、タンク収納部１３へのアクセス時に液滴吐出装置１の周囲（環境）の管理された温度および湿度を乱すことがないので、タンクの交換、液体の補充または回収を行った直後でも、高い精度でパターンの形成（描画）を行うことができる。また、タンクの交換、液体の補充または回収を行った後でも、主室９１３内の温度や液滴吐出装置１の各部の温度が管理された値に戻るのを待たずに済むので、スループット（生産能率）の向上が図れる。このようなことから、基板Ｗ等のワークを高い精度で量産するのに極めて有利であり、製造コスト低減が図れる。
【００４０】
図３は、図１および図２に示す液滴吐出装置における架台、石定盤および基板搬送テーブルを示す平面図、図４は、図１および図２に示す液滴吐出装置における架台、石定盤および基板搬送テーブルを示す側面図である。
図３および図４に示すように、石定盤２２の上には、基板搬送テーブル３と、基板搬送テーブル３をＹ軸方向に移動させるＹ軸方向移動機構５とが設置されている。図３に示すように、基板搬送テーブル３には、載置された基板Ｗを吸着して固定するための複数の吸引口（吸引部）３３２が形成されている。
【００４１】
図４に示すように、Ｙ軸方向移動機構５は、リニアモータ５１と、エアスライダ５２とを有している。エアスライダ５２は、石定盤２２上でＹ軸方向に沿って延在するスライドガイド５２１と、このスライドガイド５２１に沿って移動するスライドブロック５２２とを有している。スライドブロック５２２は、スライドガイド５２１との間に空気を吹き出す吹き出し口を有しており、この吹き出し口から吹き出す空気をスライドガイド５２１との間に介在させることにより、円滑に移動可能になっている。
【００４２】
スライドブロック５２２上には、ベース１０８が固定され、このベース１０８の上に、基板搬送テーブル３がθ軸回転機構１０５を介して固定されている。このようにして、基板搬送テーブル３は、エアスライダ５２によってＹ軸方向に円滑に移動可能に支持され、リニアモータ５１の駆動によりＹ軸方向に移動するようになっている。
【００４３】
θ軸回転機構１０５は、基板搬送テーブル３を、基板搬送テーブル３の中心を通る鉛直方向の軸（θ軸）を回転中心として所定範囲で回転可能に支持するベアリングと、基板搬送テーブル３を回転させるアクチュエータとを有しており、制御装置１６の制御に基づいて作動する。
【００４４】
Ｙ軸方向移動機構５の上方には、例えばステンレス鋼等の金属材料で構成された一対の帯状の薄板１０１がＹ軸方向移動機構５を上側から覆うように張り渡されている。薄板１０１は、ベース１０８の上面に形成された凹部（溝）内を通ってベース１０８とθ軸回転機構１０５との間を挿通している。この薄板１０１が設けられていることにより、液滴吐出ヘッド１１１から吐出された吐出対象液がＹ軸方向移動機構５に付着するのを防止することができ、Ｙ軸方向移動機構５を保護することができる。
【００４５】
石定盤２２は、無垢の石材で構成され、その上面は、高い平面度を有している。この石定盤２２は、環境温度変化に対する安定性、振動に対する減衰性、経年変化（劣化）に対する安定性、吐出対象液に対する耐食性等の各種の特性に優れている。本実施形態では、このような石定盤２２によってＹ軸方向移動機構５および後述するＸ軸方向移動機構６を支持したことにより、環境温度変化、振動、経年変化（劣化）等の影響による誤差が少なく、基板搬送テーブル３とヘッドユニット１１（液滴吐出ヘッド１１１）との相対的な移動に高い精度が得られるとともに、その高い精度を常に安定して維持することができる。その結果、パターンの形成（描画）をより高い精度で、かつ常に安定して行うことができる。
石定盤２２を構成する石材は、特に限定されないが、ベルファストブラック、ラステンバーグ、クルヌールおよびインディアンブラックのいずれかであるのが好ましい。これにより、石定盤２２の上記の各特性をより優れたものとすることができる。
【００４６】
このような石定盤２２は、架台２１に支持されている。架台２１は、アングル材等を方形に組んで構成された枠体２１１と、枠体２１１の下部に分散配置された複数の支持脚２１２とを有している。架台２１は、好ましくは空気バネまたはゴムブッシュ等による防振構造を有しており、床からの振動を石定盤２２に極力伝達しないように構成されている。
また、石定盤２２は、好ましくは架台２１と非締結状態（非固定状態）で架台２１に支持（載置）されている。これにより、架台２１に生じる熱膨張等が石定盤２２に影響するのを回避することができ、その結果、パターンの形成（描画）をさらに高い精度で行うことができる。
【００４７】
また、本実施形態では、石定盤２２は、平面視で、Ｙ軸方向に長い長方形をなすＹ軸方向移動機構支持部２２１と、このＹ軸方向移動機構支持部２２１の長手方向の途中の部分からＸ軸方向に両側にそれぞれ突出する支柱支持部２２２および２２３とで構成されており、その結果、石定盤２２の形状は、平面視で十字状をなしている。換言すれば、石定盤２２は、平面視で、長方形から４つの隅部付近を除去したような形状をなしている。支柱支持部２２２および２２３上には、後述する４本の支柱２３が設置される。すなわち、石定盤２２は、平面視で、長方形から、Ｙ軸方向移動機構５および支柱２３を設置しない部分を除去したような形状をなすものとなっている。
【００４８】
これにより、石定盤２２の重量を軽減することができ、また、石定盤２２が占める領域を少なくできるので、液滴吐出装置１の据え付け場所への輸送が容易になるとともに、工場の据え付け場所の床の耐荷重も小さくて済み、また、工場内での液滴吐出システム１０の占有面積を小さくすることができる。なお、このような本実施形態における石定盤２２は、１個の石材で構成されていても、複数個の石材を組み合わせて構成されていてもよい。
【００４９】
図５は、図１および図２に示す液滴吐出装置におけるヘッドユニットおよびＸ軸方向移動機構を示す平面図、図６は、図５中の矢印Ａ方向から見た側面図、図７は、図１および図２に示す液滴吐出装置におけるヘッドユニットおよびＸ軸方向移動機構を示す斜視図である。
図６および図７に示すように、石定盤２２（支柱支持部２２２および２２３）の上には、Ｙ軸方向移動機構５を挟んで２本ずつ対峙する計４本の支柱２３と、これらの支柱２３に支持されたＸ軸方向に沿って延びる互いに平行な２本の桁（梁）２４および２５とが設置されている。基板搬送テーブル３は、この桁２４および２５の下を通過可能になっている。
【００５０】
Ｘ軸方向移動機構６は、桁２４および２５を介して、４本の支柱２３に支持されている。図５に示すように、Ｘ軸方向移動機構６は、ヘッドユニット１１を支持するメインキャリッジ（ヘッドユニット支持体）６１と、アライメントカメラ１７および描画確認カメラ１８を支持するカメラキャリッジ（カメラ支持体）６４と、桁２４上に設置されたリニアモータアクチュエータ６２と、桁２５上に設置され、メインキャリッジ６１およびカメラキャリッジ６４をそれぞれＸ軸方向に案内するガイド６３とを有している。メインキャリッジ６１およびカメラキャリッジ６４は、それぞれ、リニアモータアクチュエータ６２とガイド６３との間に架け渡されるようにして設置されている。
【００５１】
リニアモータアクチュエータ６２は、メインキャリッジ６１およびカメラキャリッジ６４をそれぞれＸ軸方向に案内するガイドと、メインキャリッジ６１およびカメラキャリッジ６４をそれぞれＸ軸方向に駆動するリニアモータとを備えた構成になっている。リニアモータアクチュエータ６２のリニアモータは、同軸上に２個の可動部（図示せず）を有しており、これらの可動部をそれぞれ独立して移動可能になっている。そして、これらの可動部のうちの図５中下側に位置する可動部には、メインキャリッジ６１が連結され、図５中上側に位置する可動部には、カメラキャリッジ６４が連結されている。このような構成により、Ｘ軸方向移動機構６は、メインキャリッジ６１と、カメラキャリッジ６４とを同軸で支持するとともに、これらをＸ軸方向に互いに独立して移動させることができる。
【００５２】
このように、本実施形態では、Ｘ軸方向移動機構６によって、ヘッドユニット１１をＸ軸方向に移動させるヘッドユニット移動機構と、アライメントカメラ１７（位置検出手段）をヘッドユニット１１と独立してＸ軸方向に移動させる位置検出手段移動機構とが構成される。なお、このような構成に限らず、ヘッドユニット移動機構と、位置検出手段移動機構とは、別々の軸で構成されていてもよい。また、駆動源としては、リニアモータに限らず、例えば、２本のボールねじを利用した構成や、ボールねじのシャフトを固定し、このシャフトに同軸で２つの可動部を設けるような構成などであってもよい。
【００５３】
ヘッドユニット１１は、メインキャリッジ６１に対し着脱可能に支持されている。また、ヘッドユニット１１は、ヘッドユニット高さ調整機構２０を介してメインキャリッジ６１に支持されている。これにより、基板Ｗの厚さに合わせて、液滴吐出ヘッド１１１のノズル形成面と、基板Ｗとの距離を調整することができる。また、本実施形態では、メインキャリッジ６１には、ヘッド駆動制御部１３０が搭載されている。
図７に示すように、リニアモータアクチュエータ６２およびガイド６３は、支柱２３を超えてさらに外側（付帯装置１２側）に延長して設けられている。これにより、ヘッドユニット１１は、後述する付帯装置１２の上方にまで移動することができるようになっている。
【００５４】
また、図７に示すように、アライメントカメラ１７および描画確認カメラ１８は、カメラ高さ調整機構１０３を介してカメラキャリッジ６４に支持されている。
図１０および図１１は、それぞれ、アライメントカメラ１７、描画確認カメラ１８およびカメラ高さ調整機構１０３を示す斜視図および底面図である。
【００５５】
図１１に示すように、アライメントカメラ１７は、例えばＣＣＤ等の撮像素子を有するカメラ本体１７１と、レンズ鏡筒１７２と、光軸を下向きに屈曲させるプリズム１７３とを備えている。アライメントカメラ１７は、基板搬送テーブル３に位置決め（プリアライメント）して載置された基板Ｗの所定位置に付された１箇所または複数箇所のアライメントマーク（指標）の位置を画像認識して検出する位置検出手段として機能するものである。
【００５６】
なお、本発明では、位置検出手段としては、アライメントカメラ１７のような光学的に指標を検出するものに限らず、他のいかなるものであってもよい。また、基板Ｗの指標とする部分は、アライメントマークに限らず、基板Ｗのエッジ部分を指標として検出してもよい。また、カメラキャリッジ６４に複数のアライメントカメラ１７が設置されていてもよい。
【００５７】
描画確認カメラ１８は、例えばＣＣＤ等の撮像素子を有するカメラ本体１８１と、レンズ鏡筒１８２と、光軸を下向きに屈曲させるプリズム１８３とを備えている。この描画確認カメラ１８は、基板Ｗに形成（描画）したパターンの描画状態（液滴の着弾状態）を確認するためのものである。基板Ｗ上にパターンを形成（描画）した後、基板Ｗと描画確認カメラ１８とをＸ軸方向およびＹ軸方向に相対的に移動させつつ、基板Ｗの表面を描画確認カメラ１８で光学的に検出（撮影）することにより、基板Ｗへの描画状態を容易かつ迅速に確認することができる。
図１０に示すカメラ高さ調整機構１０３は、ボールねじとサーボモータ（パルスモータ）とにより、アライメントカメラ１７および描画確認カメラ１８の高さを調整可能になっている。これにより、厚さの異なる基板Ｗに対しても、アライメントカメラ１７および描画確認カメラ１８の焦点を合わせることができる。
【００５８】
ここで、液滴吐出装置１における基板Ｗのアライメントについて説明する。作業者により、基板搬送テーブル３上に基板Ｗが給材（搬入）されると、液滴吐出装置１が備える基板位置決め装置（説明省略）が作動して、基板搬送テーブル３上で基板Ｗが所定の位置に位置決め（プリアライメント）される。なお、プリアライメントは、産業用ロボットにより、必要な精度で基板Ｗを位置決めして給材することとしてもよい。
基板Ｗをプリアライメントしたら、基板搬送テーブル３の各吸引口３３２からエアー吸引することにより、基板Ｗを基板搬送テーブル３に吸着・固定する。その後、本アライメントが行われる。
【００５９】
本アライメントでは、Ｙ軸方向移動機構５およびＸ軸方向移動機構６を作動することによりアライメントカメラ１７を基板Ｗの１箇所または複数箇所のアライメントマークの付近に相対的に移動させて、アライメントカメラ１７に各アライメントマークの位置を検出させる。このとき、制御装置１６の記憶部１６２には、予め入力された基板Ｗ上での各アライメントマークの位置情報が記憶されており、制御装置１６は、この位置情報に基づいて、Ｙ軸方向移動機構５およびＸ軸方向移動機構６の作動を制御する。
【００６０】
このように、液滴吐出装置１では、アライメントカメラ１７が移動可能に設置されていることにより、基板Ｗとアライメントカメラ１７とを相対的に移動して、基板Ｗの全領域をアライメントカメラ１７の視野Ｖ（検出領域）内におさめることができる。よって、液滴吐出装置１は、アライメントマークがどの位置にある基板Ｗであっても、その位置情報を予め入力しておけばアライメントすることができるので、基板Ｗの仕様や種類の変更に容易に対応することができ、汎用性が高い。
また、基板Ｗのアライメントマークの位置が変更されても、アライメントカメラが固定式の場合と異なり、アライメントカメラを移設したりその位置を微調整したりする作業が不要であり、工数を削減することができる。よって、基板Ｗの生産性向上および製造コスト低減が図れる。
【００６１】
また、基板Ｗと、アライメントカメラ１７とを相対的に移動することにより、１台のアライメントカメラ１７で複数箇所のアライメントマークを容易に検出することができるので、複数箇所のアライメントマークを検出するのにアライメントカメラ１７が１台で済む。よって、液滴吐出装置１の構造の簡素化および製造コストの低減が図れる。これに対し、アライメントカメラが固定式の場合には、複数箇所のアライメントマークを検出するには、複数のアライメントカメラを設置する必要がある。
【００６２】
また、描画中に、アライメントカメラ１７が基板Ｗ上に位置しないで済むため、他のユニット（例えばイオナイザーユニット１０９、ブロー装置１４等）の設置スペースの確保がし易く、配置が容易となる。また、基板Ｗの給材・除材を産業用ロボットによって行う場合にも、アライメントカメラ１７との干渉を考慮する必要がなく、容易に行うことができる。
【００６３】
制御装置１６は、アライメントカメラ１７によって撮影した画像を画像処理することにより、アライメントマークの位置を認識し、この認識結果に基づいて、基板Ｗの位置補正をデータ上で行う。そして、制御装置１６は、このような本アライメント結果に基づいて、液滴吐出ヘッド１１１、Ｙ軸方向移動機構５およびＸ軸方向移動機構６の作動を制御して、基板Ｗに所定のパターンを形成（描画）する。これにより、液滴吐出装置１では、基板Ｗ上の正確な位置にパターンを形成（描画）することができる。
【００６４】
なお、制御装置１６は、記憶部１６２に予め記憶されたアライメントマークの位置情報に基づいてアライメントカメラ１７をアライメントマークの付近に相対的に移動させた結果、アライメントマークがアライメントカメラ１７の視野Ｖ（検出領域）内に入らなかった場合、アライメントカメラ１７が基板Ｗに対し相対的に徐々に移動するようにＹ軸方向移動機構５およびＸ軸方向移動機構６の少なくとも一方を作動して、アライメントマークがアライメントカメラ１７の視野Ｖ内に入るように制御してもよい。これにより、基板Ｗのプリアライメントの精度が多少悪かった場合であっても、アライメントを続行することができる。
【００６５】
また、制御装置１６は、基板Ｗにパターンを形成（描画）する前に、アライメントカメラ１７によって検出したアライメントマークの位置に基づいてθ軸回転機構１０５を作動し、基板Ｗの姿勢を修正してもよい。これにより、基板Ｗのθ軸回りの傾斜を補正することができるので、より高い精度で基板Ｗにパターンを形成（描画）することができる。
【００６６】
さらに、θ軸回転機構１０５を作動して基板Ｗの姿勢を修正した後、アライメントカメラ１７によってアライメントマークの位置を再度検出してもよい。このように、基板Ｗの姿勢の修正後にアライメントマークの位置を再度検出し、この検出結果に基づいてパターンの形成（描画）を行うことにより、さらに高い描画精度が得られる。
また、制御装置１６は、θ軸回転機構１０５を作動して基板Ｗの姿勢を修正した後にアライメントカメラ１７によってアライメントマークの位置を再度検出するとき、次のように制御してもよい。
【００６７】
図１３は、液滴吐出装置１におけるアライメント方法の一例を説明するための図である。図１３の▲１▼は、アライメントカメラ１７が、基板Ｗに付された２箇所のアライメントマークＭ_１およびＭ_２を１回目に検出した状態を示している。この状態では、アライメントマークＭ_１およびＭ_２は、いずれも、アライメントカメラ１７の視野Ｖの中心からずれた位置にある。
【００６８】
制御装置１６は、このような１回目のアライメントマークＭ_１およびＭ_２の検出結果に基づき、θ軸回転機構１０５を作動して基板搬送テーブル３を図１３中時計回りに回転させ、基板Ｗの姿勢を修正する。これにより、図１３の▲２▼に示すように、アライメントマークＭ_１およびＭ_２は、それぞれ、破線で示すもとの位置から、黒丸で示す位置に移動する。
【００６９】
この後、アライメントカメラ１７を移動させてアライメントマークＭ_１およびＭ_２を再度検出するとき、制御装置１６は、基板Ｗの姿勢を修正したときのθ軸回転機構１０５による基板搬送テーブル３の回転角度と前回検出したアライメントマークＭ_１およびＭ_２の位置とから基板Ｗの姿勢の修正後におけるアライメントマークＭ_１およびＭ_２の位置を算出する。そして、制御装置１６は、この算出された位置に基づいて、アライメントマークＭ_１およびＭ_２が、それぞれ、アライメントカメラ１７の視野Ｖのほぼ中央（中心）に来るようにＸ軸方向移動機構６の作動を制御する。すなわち、視野Ｖの位置が、破線で示す１回目の位置から実線で示す２回目の位置となるように、アライメントカメラ１７の移動位置を制御する。
このような制御を行うことにより、アライメントカメラ１７の視野Ｖのほぼ中央（中心）でアライメントマークＭ_１およびＭ_２を検出することとなるので、画像認識においてアライメントマークＭ_１およびＭ_２の位置をより高い精度で認識することができる。すなわち、本アライメントの精度をより高くすることができ、その結果、パターンをより高い精度で形成（描画）することができる。
【００７０】
図６に示すように、メインキャリッジ６１上には、二次タンク４１２が設置されており、この二次タンク４１２には、タンク収納部１３に設置された吐出対象液タンク（一次タンク）から延びる給液配管４１１が接続されている。給液配管４１１は、可撓性を有するチューブで構成されている。この給液配管４１１の途中には、メインキャリッジ６１とともに移動する二次タンク４１２の移動に合わせて給液配管４１１の二次タンク４１２側の部分が移動可能となるように給液配管４１１を中継する中継部４１３が設けられている。
【００７１】
二次タンク４１２には、ヘッドユニット１１が備える１２個の液滴吐出ヘッド１１１の各々に対応する１２本の分岐配管４１４の一端がそれぞれ接続されており、これらの分岐配管４１４の他端は、ヘッドユニット１１に設けられた、各液滴吐出ヘッド１１１に対応する１２個の流入口１１２にそれぞれ接続されている。なお、図６中では、見易くするため、１２本の分岐配管４１４のうちの２本のみを図示する。
【００７２】
各分岐配管４１４の途中には、遮断弁４１５が設けられている。給液配管４１１を通った吐出対象液は、二次タンク４１２に流入し、二次タンク４１２内で圧力調整された後、各分岐配管４１４を通って各液滴吐出ヘッド１１１に供給される。遮断弁４１５は、二次タンク４１２内の圧力を調整する負圧制御ユニットが何らかの原因で機能しない場合、分岐配管４１４の流路を遮断し、二次タンク４１２より低い位置にある液滴吐出ヘッド１１１に二次タンク４１２から吐出対象液が流れ続けて液滴吐出ヘッド１１１から漏出するのを防止する。
【００７３】
図８は、図１および図２に示す液滴吐出装置におけるパターン形成動作（描画動作）を説明するための模式図である。図８に示すように、ヘッドユニット１１には、液滴吐出ヘッド１１１が複数個（本実施形態では１２個）設置されている。各液滴吐出ヘッド１１１のノズル形成面には、液滴を吐出する多数の吐出ノズル（開口）が一列または二列以上に並んで形成されている。ヘッドユニット１１において、１２個の液滴吐出ヘッド１１１は、６個ずつ二列に副走査方向（Ｘ軸方向）に並んで配置されるとともに、各液滴吐出ヘッド１１１は、そのノズル列が副走査方向に対し傾斜した姿勢になっている。
【００７４】
液滴吐出ヘッド１１１には、各吐出ノズルに対し、それぞれ、駆動素子としての図示しない圧電素子（ピエゾ素子）を有する駆動部が設けられている。制御装置１６は、ヘッドユニット１１の各液滴吐出ヘッド１１１に対し、ヘッド駆動制御部１３０を介して前記各駆動部の駆動を制御する。これにより、各液滴吐出ヘッド１１１は、所定の吐出ノズルからそれぞれ液滴を吐出する。この場合、例えば、圧電素子に所定の電圧が印加されると、その圧電素子が変形（伸縮）し、これにより対応する圧力室（液室）内が加圧され、対応する吐出ノズル（当該圧力室に連通する吐出ノズル）から所定量の液滴が吐出される。
【００７５】
なお、本発明では、液滴吐出ヘッド１１１は、上記のような構成に限らず、例えば、吐出対象液を駆動素子としてのヒータで加熱して沸騰させ、その圧力によって液滴を吐出ノズルから吐出するように構成されたようなものであってもよい。
また、ヘッドユニット１１における各液滴吐出ヘッド１１１の上述した配列パターンは一例であり、例えば、各ヘッド列における隣接する液滴吐出ヘッド１１１同士を９０°の角度を持って配置（隣接ヘッド同士が「ハ」字状）したり、各ヘッド列間における液滴吐出ヘッド１１１を９０°の角度を持って配置（列間ヘッド同士が「ハ」字状）したりしてもよい。いずれにしても、複数個の液滴吐出ヘッド１１１の全吐出ノズルによるドットが副走査方向において連続していればよい。
【００７６】
さらに、液滴吐出ヘッド１１１は、副走査方向に対し傾斜した姿勢で設置されていなくてもよく、また、複数個の液滴吐出ヘッド１１１が千鳥状、階段状に配設されていてもよい。また、所定長さのノズル列（ドット列）を構成できる限り、これを単一の液滴吐出ヘッド１１１で構成してもよい。また、メインキャリッジ６１に複数のヘッドユニット１１が設置されていてもよい。
【００７７】
前述したような基板Ｗのアライメントが完了した後、液滴吐出装置１は、基板Ｗ上に所定のパターンを形成（描画）する動作を開始する。この動作は、液滴吐出ヘッド１１１（ヘッドユニット１１）を基板Ｗに対し相対的に主走査および副走査することにより行われる。
本実施形態の液滴吐出装置１では、主走査は、ヘッドユニット１１を装置本体２に対し停止した（移動しない）状態で、基板搬送テーブル３の移動により基板ＷをＹ軸方向に移動させながら、基板Ｗに対し各液滴吐出ヘッド１１１から液滴を吐出することにより行う。すなわち、本実施形態では、Ｙ軸方向が主走査方向となる。
【００７８】
この主走査は、基板搬送テーブル３の前進（往動）中に行っても、後退（復動）中に行っても、前進および後退の両方（往復）で行ってもよい。また、基板搬送テーブル３を複数回往復させて、複数回繰り返し行ってもよい。このような主走査により、基板Ｗ上の、所定の幅（ヘッドユニット１１により吐出可能な幅）で主走査方向に沿って延びる領域に、液滴の吐出が終了する。
【００７９】
このような主走査の後、副走査を行う。副走査は、液滴の非吐出時に、メインキャリッジ６１の移動により、ヘッドユニット１１を前記所定の幅の分だけＸ軸方向に移動させることにより行う。すなわち、本実施形態では、Ｘ軸方向が副走査方向となる。
このような副走査の後、前記と同様の主走査を行う。これにより、前回の主走査で液滴が吐出された領域に隣接する領域に対し、液滴が吐出される。
このようにして、主走査と副走査とを交互に繰り返し行うことにより、基板Ｗの全領域に対して液滴が吐出され、基板Ｗ上に、吐出された液滴（液体）による所定のパターンを形成（描画）することができる。
【００８０】
なお、本発明では、主走査方向と副走査方向とは、上述したのと逆になっていてもよい。すなわち、基板Ｗ（基板搬送テーブル３）を停止させた状態で液滴吐出ヘッド１１１（ヘッドユニット１１）をＸ軸方向に移動させながら基板Ｗに対して液滴を吐出することによって主走査を行い、液滴の非吐出時に基板Ｗ（基板搬送テーブル３）をＹ軸方向に移動させることによって副走査を行うように構成されていてもよい。
【００８１】
図９は、図１および図２に示す液滴吐出装置における付帯装置を示す斜視図である。
付帯装置１２は、装置本体２の架台２１および石定盤２２の側方（装置本体２に対しＸ軸方向前方側）に設置されている。図９に示すように、この付帯装置１２は、クリーニングユニット（ワイピングユニット）８１と、定期フラッシングユニット８２と、キャッピングユニット８３と、吐出量測定用ユニット（重量測定用ユニット）８４とを有している。
【００８２】
ヘッドユニット１１は、例えば基板Ｗの給材時および除材時などには、付帯装置１２の上方の位置で待機する。そして、この待機中には、各液滴吐出ヘッド１１１のノズル形成面の清掃（クリーニング）やキャッピングを行ったり、定期的な捨て吐出（定期フラッシング）を行ったりする。以下、付帯装置１２が備える各ユニットについて順次説明する。
【００８３】
クリーニングユニット８１は、洗浄液を含ませたワイピングシートをローラーにより走行させ、このワイピングシートにより各液滴吐出ヘッド１１１のノズル形成面を拭き取るよう作動する。このクリーニングユニット８１によって液滴吐出ヘッド１１１のノズル形成面に付着した吐出対象液を拭い去ることにより、各吐出ノズルからの液滴の吐出方向（飛ばす方向）にヨレ（乱れ）を生じるようなことが防止され、真っ直ぐに液滴を飛ばすことができるので、基板Ｗに対するパターンの形成（描画）を高い精度を維持して行うことができる。
【００８４】
定期フラッシングユニット８２は、液滴吐出ヘッド１１１が捨て吐出した液滴を受ける液受け部を有しており、ヘッドユニット１１の待機時のフラッシングに使用される。定期フラッシングユニット８２には、吸引チューブ（図示せず）が接続されており、捨て吐出された吐出対象液は、この吸引チューブを通って回収され、タンク収納部１３に設置された排液タンク内に貯留される。
【００８５】
キャッピングユニット８３は、各液滴吐出ヘッド１１１に対応するように配置された複数のキャップとこれらキャップを昇降させる昇降機構とを有している。各キャップには、吸引チューブ（図示せず）が接続されており、キャッピングユニット８３は、各キャップで各液滴吐出ヘッド１１１のノズル形成面を覆うとともに、各吐出ノズルから吐出対象液を吸引することができるようになっている。このようなキャッピングユニット８３によるキャッピングを行うことにより、液滴吐出ヘッド１１１のノズル形成面が乾燥するのを防止したり、ノズル詰まりを回復（解消）したりすることができる。
【００８６】
このキャッピングは、ヘッドユニット１１の待機時のほか、ヘッドユニット１１に吐出対象液を初期充填する際、吐出対象液を異種のものに交換する場合にヘッドユニット１１から吐出対象液を排出する際、洗浄液によって流路を洗浄する際などにも行われる。
キャッピングユニット８３によるキャッピング中に液滴吐出ヘッド１１１から排出された吐出対象液は、前記吸引チューブを通ってタンク収納部１３に設置された再利用タンク内に流入し貯留される。この貯留された液体は、回収され、再利用に供される。ただし、流路の洗浄時に回収した洗浄液は再利用しない。
【００８７】
吐出量測定用ユニット８４は、基板Ｗに対する液滴吐出動作の準備段階として、液滴吐出ヘッド１１１からの１回の液滴吐出量（重量）を測定するのに利用するものである。すなわち、基板Ｗに対する液滴吐出動作前、ヘッドユニット１１は、吐出量測定用ユニット８４の上方に移動し、各液滴吐出ヘッド１１１の全吐出ノズルから１回または複数回液滴を吐出量測定用ユニット８４に対し吐出する。吐出量測定用ユニット８４は、吐出された液滴を受ける着脱可能な液受け部を備えており、この液受け部で受けた液体の重量を液滴吐出システム１０の外部に設置された電子天秤等の重量計で計測する。または、吐出量測定用ユニット８４に重量計を設け、ここで重量を計測してもよい。制御装置１６は、この重量計測結果に基づいて、吐出ノズルから吐出される１滴の液滴の量（重量）を算出し、その算出値が予め定められた設計値に等しくなるように、液滴吐出ヘッド１１１を駆動するヘッドドライバの印加電圧を補正する。
【００８８】
付帯装置１２は、床上に設置された付属台８５と、付属台８５上でＹ軸方向に移動可能な移動台８６とをさらに備えている。付属台８５は、Ｙ軸方向に長い形状をなしており、その上部には、移動台８６をＹ軸方向に案内する一対のガイド（レール）８５１が設けられている。また、付属台８５の上部には、ボールねじ８５２を有する駆動機構が設置されており、移動台８６は、この駆動機構に駆動され、ガイド８５１に沿ってＹ軸方向に移動する。
【００８９】
クリーニングユニット８１、定期フラッシングユニット８２、キャッピングユニット８３および吐出量測定用ユニット８４は、上述した移動台８６上にＹ軸方向に並んで設置されている。そして、ヘッドユニット１１が付帯装置１２の上方に位置した状態で移動台８６がＹ軸方向に移動することにより、クリーニングユニット８１、定期フラッシングユニット８２、キャッピングユニット８３および吐出量測定用ユニット８４のいずれかをヘッドユニット１１の下方に位置決めできるようになっている。これにより、ヘッドユニット１１は、上述したノズル形成面の清掃、定期フラッシング、キャッピング、および、後述する吐出量測定用ユニット８４への液滴の吐出のいずれかを、選択的に行うことができる。
【００９０】
以上説明したような付帯装置１２は、図１に示すように、基板搬送テーブル３の移動領域の一方の側方（図１中の下側）に設置されている。そして、ヘッドユニット１１（メインキャリッジ６１）は、アライメントカメラ１７（カメラキャリッジ６４）に対し、付帯装置１２側（図１中の下側）に位置している。
このような構成により、アライメントカメラ１７が移動してアライメントが行われている最中、ヘッドユニット１１は、付帯装置１２側に移動して、液滴吐出ヘッド１１１のキャッピング、クリーニング、フラッシングを行うことができる。これにより、基板Ｗのアライメントの最中に液滴吐出ヘッド１１１のノズル形成面が乾燥したり、吐出ノズルが詰まってしまったりするのを防止することができる。また、基板Ｗのアライメントと、液滴吐出ヘッド１１１のキャッピング、クリーニング、フラッシングとを平行して行うことができるので、１枚の基板Ｗへのパターンの形成（描画）に要するサイクルタイムを短縮することができ、スループットが向上し、基板Ｗの製造コストの低減に寄与する。
【００９１】
以上、本発明の液滴吐出装置を図示の実施形態について説明したが、本発明は、これに限定されるものではない。また、液滴吐出装置を構成する各部は、同様の機能を発揮し得る任意の構成のものと置換することができる。また、任意の構成物が付加されていてもよい。
また、Ｙ軸方向移動機構、Ｘ軸方向移動機構は、リニアモータを利用するものに代えて、例えばボールねじ（送りねじ）など利用するものでもよい。
【００９２】
また、本発明の電気光学装置は、以上説明したような本発明の液滴吐出装置を用いて製造されたことを特徴とする。本発明の電気光学装置の具体例としては、特に限定されないが、例えば、液晶表示装置、有機ＥＬ表示装置などが挙げられる。
また、本発明の電気光学装置の製造方法は、本発明の液滴吐出装置を用いることを特徴とする。本発明の電気光学装置の製造方法は、例えば、液晶表示装置の製造方法に適用することができる。すなわち、各色のフィルタ材料を含む液体を本発明の液滴吐出装置を用いて基板に対し選択的に吐出することにより、基板上に多数のフィルタエレメントを配列してなるカラーフィルタを製造し、このカラーフィルタを用いて液晶表示装置を製造することができる。この他、本発明の電気光学装置の製造方法は、例えば、有機ＥＬ表示装置の製造方法に適用することができる。すなわち、各色の発光材料を含む液体を本発明の液滴吐出装置を用いて基板に対し選択的に吐出することにより、ＥＬ発光層を含む多数の絵素ピクセルを基板上に配列してなる有機ＥＬ表示装置を製造することができる。
また、本発明の電子機器は、前述したようにして製造された電気光学装置を備えることを特徴とする。本発明の電子機器の具体例としては、特に限定されないが、前述したようにして製造された液晶表示装置や有機ＥＬ表示装置を搭載したパーソナルコンピュータや携帯電話機などが挙げられる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の液滴吐出装置の実施形態を示す平面図。
【図２】本発明の液滴吐出装置の実施形態を示す側面図。
【図３】架台、石定盤および基板搬送テーブルを示す平面図。
【図４】架台、石定盤および基板搬送テーブルを示す側面図。
【図５】ヘッドユニットおよびＸ軸方向移動機構を示す平面図。
【図６】図５中の矢印Ａ方向から見た側面図。
【図７】ヘッドユニットおよびＸ軸方向移動機構を示す斜視図。
【図８】パターン形成動作（描画動作）を説明するための模式図。
【図９】液滴吐出装置における付帯装置を示す斜視図。
【図１０】アライメントカメラ、描画確認カメラおよびカメラ高さ調整機構を示す斜視図。
【図１１】アライメントカメラ、描画確認カメラおよびカメラ高さ調整機構を示す底面図。
【図１２】図１および図２に示す液滴吐出装置のブロック図。
【図１３】アライメント方法の一例を説明するための図。
【符号の説明】
１……液滴吐出装置、１０……液滴吐出システム、１１……ヘッドユニット、１１１……液滴吐出ヘッド、１１２……流入口、１２……付帯装置、１３……タンク収納部、１４……ブロー装置、１５……レーザー測長器、１５１……レーザー測長器センサヘッド、１５２……ミラー、１５３……レーザー測長器本体、１５４……コーナーキューブ、１６……制御装置、１６１……ＣＰＵ、１６２……記憶部、１７……アライメントカメラ、１７１……カメラ本体、１７２……レンズ鏡筒、１７３……プリズム、１８……描画確認カメラ、１８１……カメラ本体、１８２……レンズ鏡筒、１８３……プリズム、１９……ドット抜け検出ユニット、２０……ヘッドユニット高さ調整機構、２……装置本体、２１……架台、２１１……枠体、２１２……支持脚、２２……石定盤、２２１……Ｙ軸方向移動機構支持部、２２２……支柱支持部、２２３……支柱支持部、２３……支柱、２４……桁、２５……桁、３……基板搬送テーブル、３３２……吸引口、５……Ｙ軸方向移動機構、５１……リニアモータ、５２……エアスライダ、５２１……スライドガイド、５２２……スライドブロック、６……Ｘ軸方向移動機構、６１……メインキャリッジ、６２……リニアモータアクチュエータ、６３……ガイド、６４……カメラキャリッジ、８１……クリーニングユニット、８２……定期フラッシングユニット、８３……キャッピングユニット、８４……吐出量測定用ユニット、８５……付属台、８６……移動台、９……チャンバ装置、９１……チャンバ、９１１……天井裏、９１２……フィルタ、９１３……主室、９１４……隔壁、９１５……隔壁、９１６……副室、９１７……連通部、９１８……扉、９２……空調装置、９３……導入ダクト、９４……排気ダクト、１０１……薄板、１０３……カメラ高さ調整機構、１０４……描画前フラッシングユニット、１０５……θ軸回転機構、１０８……ベース、１０９……イオナイザーユニット、１３０……ヘッド駆動制御部、４１１……給液配管、４１２……二次タンク、４１３……中継部、４１４……分岐配管、４１５……遮断弁、Ｍ_１……アライメントマーク、Ｍ_２……アライメントマーク、Ｖ……視野、Ｗ……基板[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to a droplet discharge device, an electro-optical device, a method for manufacturing an electro-optical device, and an electronic apparatus.
[0002]
[Prior art]
An industrial application used to manufacture, for example, a color filter or an organic EL display device in a liquid crystal display device or to form a metal wiring on a substrate by applying an ink jet method (droplet discharging method) of an ink jet printer. A droplet discharge device (inkjet drawing device) has been proposed.
[0003]
In such a droplet discharge device, it is necessary to form (draw) a fine and precise pattern. Therefore, an alignment camera (alignment mark) attached to a workpiece such as a substrate is image-recognized by an alignment camera, and the recognition result is obtained. Based on this, the posture of the work is corrected, and the relative movement (scanning) between the work and the droplet discharge head (inkjet head) is controlled.
[0004]
In the conventional droplet discharge device, since the alignment camera is fixedly installed with respect to the device main body, when the type or specification of the workpiece to be manufactured is changed and the position of the alignment mark is changed, the alignment camera is moved. At the same time, a work of finely adjusting the position is required, which requires a large number of man-hours. Further, depending on the position of the alignment mark, it may not be possible to cope with a change in the work.
[0005]
Further, a droplet discharge device in which an alignment camera is installed in a head unit having a droplet discharge head (for example, see Patent Document 1) has been proposed, but in this configuration, alignment is performed during alignment. However, since the capping, cleaning, flushing, and the like of the droplet discharge head cannot be performed, there is a problem that the nozzle formation surface of the droplet discharge head dries during alignment and the discharge nozzles are clogged.
[0006]
[Patent Document 1]
JP 2000-187115 A
[Problems to be solved by the invention]
An object of the present invention is to provide a droplet discharge device capable of forming (drawing) a pattern irrespective of the position of an index on a workpiece, an electro-optical device manufactured using such a droplet discharge device, and such a droplet discharge device. An object of the present invention is to provide a method of manufacturing an electro-optical device using the same, and an electronic apparatus including the electro-optical device.
[0008]
[Means for Solving the Problems]
Such an object is achieved by the present invention described below.
The droplet discharge device of the present invention, the device body,
A work placement part on which the work is placed,
A Y-axis direction moving mechanism for moving the work mounting section in one direction (hereinafter, referred to as “Y-axis direction”) horizontal to the apparatus body;
A head unit having at least one droplet discharge head that discharges droplets of a liquid to be discharged onto a work,
A head unit moving mechanism for moving the head unit in a direction perpendicular and horizontal to the Y-axis direction with respect to the apparatus main body (hereinafter, referred to as “X-axis direction”);
Position detecting means for detecting the position of the index of the work placed and positioned on the work mounting portion,
A position detecting means moving mechanism for moving the position detecting means in the X-axis direction independently of the head unit with respect to the apparatus main body;
Control means for controlling the operation of the droplet discharge head, the Y-axis direction moving mechanism, the head unit moving mechanism and the position detecting means moving mechanism,
The control unit detects the position by operating the Y-axis direction moving mechanism and the position detecting unit moving mechanism based on position information of the index on the work stored in the storage unit of the control unit in advance. Means is moved relatively to the vicinity of the index to detect the position of the index, and based on the position of the index detected by the position detecting means, the work mounting portion and the head unit are relatively moved. And discharging the droplets from the droplet discharge head to the workpiece while moving the workpiece so as to form a predetermined pattern on the workpiece.
Accordingly, it is possible to provide a droplet discharge device capable of forming (drawing) a pattern regardless of the position of the index on the work. According to such a droplet discharge device, it is possible to easily cope with a change in the specification and type of the work, and the versatility is high. Also, even if the position of the index of the work is changed, unlike the case where the position detecting means is of a fixed type, there is no need to relocate the position detecting means or fine-tune its position, thereby reducing man-hours. Thus, it is possible to improve the productivity of the work and reduce the production cost.
[0009]
In the droplet discharge device according to the aspect of the invention, it is preferable that the position detection unit optically detects the position of the index.
This makes it possible to accurately detect the position of the index with a simple configuration.
In the droplet discharge device according to the aspect of the invention, it is preferable that the position detection unit includes a camera having an image sensor.
This makes it possible to accurately detect the position of the index with a simple configuration.
It is preferable that the droplet discharge device of the present invention further includes a height adjusting mechanism for adjusting the height of the position detecting means.
This makes it possible to adjust the focus and the like of the position detecting means according to the thickness of the work.
[0010]
In the droplet discharge device according to the aspect of the invention, the control unit may move the Y-axis direction movement mechanism and the position detection unit based on position information of the index on the work stored in a storage unit of the control unit in advance. As a result of relatively moving the position detecting means near the index by operating a mechanism, if the index does not enter the detection area of the position detecting means, the position detecting means It is preferable that the Y-axis direction moving mechanism and / or the position detecting means moving mechanism be operated so as to relatively gradually move so as to control the index so as to enter the detection area of the position detecting means.
Thereby, even if the accuracy of the positioning (pre-alignment) of the work is somewhat poor, the alignment can be continued.
[0011]
The droplet discharge device of the present invention further includes a θ-axis rotation mechanism that rotates the work placement unit around a vertical axis within a predetermined range,
It is preferable that the control means corrects the posture of the work by operating the θ-axis rotation mechanism based on the position of the index detected by the position detection means before forming a predetermined pattern on the work. .
Thereby, the alignment accuracy of the workpiece can be further improved, and as a result, the pattern can be formed (drawn) with higher accuracy.
[0012]
In the droplet discharge device according to the aspect of the invention, the control unit may operate the θ-axis rotation mechanism based on the position of the index detected by the position detection unit to correct the posture of the work, and then, may adjust the position of the work. The position of the index is detected again, and based on the result of the detection, the droplet is discharged from the droplet discharge head to the work while relatively moving the work mounting portion and the head unit. Thereby, it is preferable to control so as to form a predetermined pattern on the work.
Thereby, the accuracy of the alignment of the workpiece can be further improved, and as a result, the pattern can be formed (drawn) with higher accuracy.
[0013]
In the droplet discharge device according to the aspect of the invention, when the control unit detects the position of the index again by the position detection unit after correcting the posture of the work by operating the θ-axis rotation mechanism, the posture of the work is The position of the index after correction of the posture of the work is calculated from the rotation angle of the work placement unit by the θ-axis rotation mechanism and the position of the index detected last time when the position is corrected, and the calculated position It is preferable to control the operation of the position detecting means moving mechanism such that the index is approximately at the center of the detection area of the position detecting means based on
Thereby, the accuracy of the alignment of the workpiece can be further improved, and as a result, the pattern can be formed (drawn) with higher accuracy.
[0014]
In the droplet discharge device according to the aspect of the invention, the driving source of the head unit moving mechanism and the position detecting unit moving mechanism may be configured such that a movable unit that moves the head unit and a movable unit that moves the position detecting unit are coaxial. It is preferable that each of the movable parts is constituted by a linear motor which can move independently of each other.
Thereby, cleanness, improvement of drawing accuracy, space saving, high efficiency, and high reliability can be achieved.
[0015]
In the droplet discharge device of the present invention, a cleaning unit that cleans a nozzle forming surface of the droplet discharge head on one side of the moving area of the work mounting portion, wherein the droplet discharge head is discarded and discharged during standby. A flushing unit having a liquid receiving portion for receiving a liquid, and at least one of a capping unit having a cap for covering a nozzle forming surface of the droplet discharge head when sucking fluid from the droplet discharge head,
It is preferable that the head unit is located on the one side with respect to the position detection unit.
Accordingly, the capping, cleaning, or flushing of the droplet discharge head can be performed while the position detecting unit is moving, thereby preventing the nozzle formation surface of the droplet discharge head from drying or clogging the discharge nozzle. can do. Further, since the movement of the position detecting means and the capping, cleaning, or flushing of the droplet discharge head can be performed in parallel, the cycle time can be reduced, the throughput is improved, and the production cost of the work is reduced. To contribute.
[0016]
In the droplet discharge device according to the aspect of the invention, when forming a predetermined pattern on the work, the work placement unit may set one of the Y-axis direction and the X-axis direction as a main scanning direction and the other as a sub-scanning direction. And the head unit are preferably relatively moved.
Thereby, various patterns can be formed (drawn) on the work according to the purpose.
An electro-optical device according to the present invention is manufactured using the droplet discharge device according to the present invention.
Thus, it is possible to provide an electro-optical device that includes a high-performance component on which a pattern is formed (drawn) with high accuracy and has low manufacturing costs.
[0017]
A method of manufacturing an electro-optical device according to the present invention uses the droplet discharge device according to the present invention.
Accordingly, it is possible to provide a method of manufacturing an electro-optical device that can form (draw) a pattern on a work with high accuracy and reduce manufacturing costs.
An electronic apparatus according to the present invention includes the electro-optical device according to the present invention.
Thus, it is possible to provide an electronic device having a high-performance component on which a pattern is formed (drawn) with high accuracy and at a low manufacturing cost.
[0018]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
Hereinafter, a droplet discharge device of the present invention will be described in detail based on a preferred embodiment shown in the accompanying drawings.
1 and 2 are a plan view and a side view, respectively, showing an embodiment of the droplet discharge device of the present invention. In the following, for convenience of explanation, one horizontal direction (a direction corresponding to the horizontal direction in FIGS. 1 and 2) is referred to as a “Y-axis direction”, and a direction perpendicular to the Y-axis direction and horizontal ( The direction corresponding to the up-down direction in FIG. 1) is referred to as “X-axis direction”. The movement in the Y-axis direction to the right in FIGS. 1 and 2 is “forward in the Y-axis direction”, and the movement in the Y-axis direction to the left in FIGS. 1 and 2 is “Y”. 1 is referred to as “retreat in the axial direction”, a downward movement in the X-axis direction in FIG. 1 is referred to as “forward in the X-axis direction”, and an upward movement in the X-axis direction in FIG. Retreat in the axial direction. "
[0019]
A droplet discharge system (droplet discharge system) 10 shown in FIGS. 1 and 2 includes a droplet discharge device (inkjet drawing device) 1 of the present invention and a chamber (chamber room) 91 that accommodates the droplet discharge device 1. And
[0020]
The droplet discharge device 1 applies a liquid (discharge target liquid) such as ink or a functional liquid containing a target material to a substrate W as a work by using an inkjet method (droplet discharge method). This is a device that discharges in a state and forms (draws) a predetermined pattern by landing the discharged droplets on the substrate W. For example, a color filter or an organic EL display device in a liquid crystal display device is manufactured, or a device is formed on the substrate. It can be used to form metal wiring. The material of the substrate W targeted by the droplet discharge device 1 is not particularly limited, and any material may be used as long as it is a plate-like member. For example, a glass substrate, a silicon substrate, a flexible substrate, and the like may be targeted. it can.
[0021]
Further, the work to be targeted in the present invention is not limited to a plate-shaped member, and may be any member as long as the member has a flat bottom surface. For example, the present invention can also be applied to a droplet discharge device that forms a coating such as an optical thin film by discharging a droplet to the lens using a lens as a work. In addition, the present invention is particularly preferably applied to a relatively large droplet discharge device 1 that can cope with a relatively large work (for example, each having a length and a width of about several tens cm to several meters). can do.
[0022]
The droplet discharge device 1 includes an apparatus main body 2, a substrate transfer table (substrate transfer stage) 3 as a work placement section, and a Y-axis direction movement that moves the substrate transfer table 3 relative to the apparatus main body 2 in the Y-axis direction. Mechanism 5, a θ-axis rotation mechanism 105 for rotating the substrate transfer table 3, a head unit 11 having a plurality of droplet discharge heads (ink-jet heads) 111, an alignment camera 17, a drawing confirmation camera 18, a head unit 11, And an X-axis direction moving mechanism 6 for moving the alignment camera 17 and the drawing confirmation camera 18 in the X-axis direction with respect to the apparatus main body 2.
[0023]
Further, the droplet discharge device 1 further includes a control device (control means) 16 for controlling the operation of each part of the droplet discharge device 1. FIG. 12 is a block diagram of the droplet discharge device shown in FIG. 1 and FIG. As illustrated in FIG. 12, the control device 16 includes a CPU (Central Processing Unit) 161 and a storage unit that stores (stores) various programs such as a program for executing a control operation of the droplet discharge device 1 and various data. 162.
[0024]
The Y-axis direction moving mechanism 5, the X-axis direction moving mechanism 6, and the θ-axis rotating mechanism 105 are connected to the control device 16 via a drive circuit (driver) (not shown). Further, the head unit 11 is connected to the control device 16 via a head drive control unit 130 that controls the operation of each droplet discharge head 111. Further, a laser length measuring device 15, an alignment camera 17, and a drawing confirmation camera 18, which will be described later, are connected to the control device 16, and each part of the droplet discharge device 1 is electrically connected to the components other than those shown in FIG. Although connected, illustration is omitted in FIG. The control device 16 is preferably installed outside the chamber 91 (see FIG. 1).
[0025]
In the droplet discharge device 1 of the present invention, the liquid discharged from the droplet discharge head 111 is not particularly limited, and in addition to the ink containing the filter material of the color filter, for example, the liquid containing the following various materials ( (Including dispersions such as suspensions and emulsions). A light emitting material for forming an EL light emitting layer in an organic EL (electroluminescence) device. A fluorescent material for forming a phosphor on an electrode in an electron emission device; -A fluorescent material for forming a phosphor in a PDP (Plasma Display Panel) device. -An electrophoretic material forming an electrophoretic body in an electrophoretic display device. A bank material for forming a bank on the surface of the substrate W;・ Various coating materials. A liquid electrode material for forming an electrode; A particle material forming a spacer for forming a minute cell gap between two substrates; A liquid metal material for forming metal wiring; A lens material for forming a microlens;・ Resist material. A light diffusion material for forming a light diffuser;
[0026]
As shown in FIG. 2, the apparatus main body 2 has a gantry 21 installed on the floor, and a stone surface plate (surface plate) 22 installed on the gantry 21. On the stone platen 22, the substrate transfer table 3 is installed movably in the Y-axis direction with respect to the apparatus main body 2. The substrate transport table 3 moves forward and backward in the Y-axis direction by driving of the linear motor 51. The substrate W is placed on the substrate transfer table 3.
[0027]
In the droplet discharge device 1, substrates W of various sizes and shapes from a relatively large substrate W having the same size as the substrate transfer table 3 to a relatively small substrate W smaller than the substrate transfer table 3 can be used. Can be targeted. In principle, it is preferable that the substrate W performs the droplet discharging operation in a state where the substrate W is positioned so as to be aligned with the center of the substrate transport table 3. The droplet discharging operation may be performed by positioning at a position close to the position.
[0028]
As shown in FIG. 1, in the vicinity of two sides along the X-axis direction of the substrate transfer table 3, before the droplet discharge (drawing) on the substrate W, the droplet discharge head 111 discards the discharge (preliminary discharge). , Flushing, or thrown away) is provided. A suction tube (not shown) is connected to the pre-drawing flushing unit 104, and the discharge target liquid discarded and discharged is collected through the suction tube, and the drainage tank set in the tank storage unit 13. Is stored within.
[0029]
The moving distance of the substrate transfer table 3 in the Y-axis direction is measured by a laser length measuring device 15 as a moving distance detecting means. The laser length measuring device 15 has a laser length measuring device sensor head 151, a mirror 152 and a laser length measuring device main body 153 installed on the apparatus main body 2 side, and a corner cube 154 installed on the substrate transfer table 3 side. ing. The laser light emitted from the laser length measuring device sensor head 151 along the X-axis direction is bent by the mirror 152, travels in the Y-axis direction, and is irradiated on the corner cube 154. The reflected light from the corner cube 154 returns to the laser length measuring device sensor head 151 via the mirror 152. In the droplet discharge device 1, discharge timing from the droplet discharge head 111 is generated based on the moving distance (current position) of the substrate transfer table 3 detected by the laser length measuring device 15 as described above.
[0030]
A main carriage 61 that supports the head unit 11 is installed in the apparatus main body 2 so as to be movable in the X-axis direction in a space above the substrate transfer table 3. The head unit 11 having the plurality of droplet discharge heads 111 advances and retreats in the X-axis direction together with the main carriage 61 by driving a linear motor actuator 62 having a linear motor and a guide.
[0031]
Further, the apparatus main body 2 is provided with a blow device 14 for semi-drying the droplets discharged on the substrate W. The blow device 14 has a nozzle that opens in a slit shape along the X-axis direction, and blows gas toward the substrate W from this nozzle while transporting the substrate W in the Y-axis direction by the substrate transport table 3. . In the droplet discharge device 1 of the present embodiment, two blow devices 14 are provided at positions separated from each other in the Y-axis direction.
[0032]
A dot missing detection unit 19 is fixedly installed in a place on the stone platen 22 that does not overlap with the moving area of the substrate transfer table 3 and that is located below the moving area of the head unit 11. The dot missing detection unit 19 detects a missing dot caused by clogging of a nozzle of the droplet discharge head 111, and includes, for example, a light emitting unit and a light receiving unit that emit and receive laser light. I have.
[0033]
When performing missing dot detection, the head unit 11 discards and discharges droplets from each nozzle while moving in the X-axis direction above the dot missing detection unit 19. By projecting and receiving the droplets, the presence or absence and location of a clogged nozzle are optically detected. At this time, the discharge target liquid discharged from the droplet discharge head 111 accumulates in a tray provided in the dot missing detection unit 19, is collected through a suction tube (not shown) connected to the bottom of the tray, and is collected in a tank. It is stored in a drainage tank installed in the storage unit 13.
[0034]
The tank storage unit 13 includes a discharge target liquid tank (primary tank) for storing the discharge target liquid supplied to the droplet discharge head 111, a cleaning liquid tank, a reuse tank, and a drainage tank (all not shown). is set up. The cleaning liquid tank stores a cleaning liquid supplied to a cleaning unit 81 described later. The target liquid collected from the capping unit 83 described below is stored in the reuse tank. In the drainage tank, the discharge target liquid collected from the pre-drawing flushing unit 104, the missing dot detection unit 19, and the periodic flushing unit 82 described later is stored.
[0035]
In addition, the discharge target liquid tank and the cleaning liquid tank are each provided with, for example, nitrogen gas supplied from a pressurized gas supply source (not shown) installed near the droplet discharge device 1 (preferably outside a chamber 91 described later). The discharge target liquid and the cleaning liquid are delivered by this pressure.
Further, as shown in FIG. 1, an ionizer unit 109 is provided so as to straddle the moving area of the substrate transfer table 3. The ionizer unit 109 eliminates the charge on the substrate W.
[0036]
Such a droplet discharge device 1 preferably discharges (draws) droplets onto the substrate W in an environment where the temperature and humidity of the atmosphere are controlled by the chamber device 9. The chamber device 9 includes a chamber 91 that houses (stores) the droplet discharge device 1, and an air conditioner 92 that is installed outside the chamber 91. The air conditioner 92 has a built-in known air conditioner device, adjusts (adjusts) the temperature and humidity of the air, and sends the air to the ceiling 911 of the chamber 91 via the introduction duct 93. The air sent from the air conditioner 92 to the ceiling 911 passes through a filter 912 installed on the ceiling, and is introduced into the main chamber 913 of the chamber 91.
[0037]
In the chamber 91, in addition to the main chamber 913, a sub chamber 916 is provided by partition walls 914 and 915, and the tank storage unit 13 is installed in the sub chamber 916. A communication portion (opening) 917 that connects the main chamber 913 and the sub chamber 916 is formed in the partition 914.
The sub chamber 916 is provided with an opening / closing door (opening / closing unit) 918 to the outside of the chamber 91 (see FIG. 1). Note that the opening / closing section of the sub chamber 916 is not limited to the opening door such as the opening / closing door 918, but may be a sliding door, a shutter, or the like.
The sub chamber 916 is provided with an exhaust port for discharging gas in the sub chamber 916, and the exhaust port is connected to an exhaust duct 94 extending to the outside. The air in the main chamber 913 flows into the sub-chamber 916 after passing through the communication portion 917, and then is discharged to the outside of the chamber device 9 through the exhaust duct 94.
[0038]
By controlling the temperature and humidity around the droplet discharge device 1 by such a chamber device 9, it is possible to prevent an error from occurring due to expansion and contraction of the substrate W and various parts of the device due to a temperature change. Thus, the accuracy of the pattern drawn (formed) on the substrate W can be further increased. In addition, since the tank storage unit 13 is also placed in an environment where the temperature and humidity are controlled, characteristics such as the viscosity of the liquid to be discharged are stabilized, and pattern formation (drawing) can be performed with higher accuracy. In addition, it is possible to prevent dust and the like from entering the chamber 91 and to keep the substrate W clean.
A gas other than air (for example, an inert gas such as nitrogen, carbon dioxide, helium, neon, argon, krypton, xenon, and radon) is supplied and filled into the chamber 91 by air conditioning. The droplet discharge device 1 may be operated inside.
[0039]
Further, in such a droplet discharge system 10, by opening the opening / closing door 918, it is possible to access the tank storage section 13 without opening the main chamber 913 to the outside. Thereby, the temperature and humidity controlled around the droplet discharge device 1 (environment) are not disturbed at the time of accessing the tank storage unit 13, and therefore, even immediately after replacing the tank, replenishing or recovering the liquid, A pattern can be formed (drawn) with high accuracy. Further, even after replacing the tank, replenishing or recovering the liquid, it is not necessary to wait for the temperature in the main chamber 913 or the temperature of each part of the droplet discharge device 1 to return to a controlled value. (Production efficiency) can be improved. For this reason, it is extremely advantageous to mass-produce the work such as the substrate W with high accuracy, and the manufacturing cost can be reduced.
[0040]
FIG. 3 is a plan view showing a gantry, a stone platen, and a substrate transfer table in the droplet discharge device shown in FIGS. 1 and 2, and FIG. 4 is a gantry, a stone plate in the droplet discharge device shown in FIGS. It is a side view which shows a board and a board | substrate conveyance table.
As shown in FIGS. 3 and 4, a substrate transfer table 3 and a Y-axis direction moving mechanism 5 for moving the substrate transfer table 3 in the Y-axis direction are provided on the stone platen 22. As shown in FIG. 3, a plurality of suction ports (suction units) 332 for sucking and fixing the placed substrate W are formed in the substrate transfer table 3.
[0041]
As shown in FIG. 4, the Y-axis direction moving mechanism 5 has a linear motor 51 and an air slider 52. The air slider 52 has a slide guide 521 that extends along the Y-axis direction on the stone platen 22 and a slide block 522 that moves along the slide guide 521. The slide block 522 has an outlet for blowing air between the slide block 521 and the slide guide 521, and the air blown out from the outlet is interposed between the slide block 522 and the slide guide 521 so that the slide block 522 can move smoothly. .
[0042]
The base 108 is fixed on the slide block 522, and the substrate transfer table 3 is fixed on the base 108 via the θ-axis rotation mechanism 105. Thus, the substrate transport table 3 is supported by the air slider 52 so as to be able to move smoothly in the Y-axis direction, and is moved in the Y-axis direction by driving the linear motor 51.
[0043]
The θ-axis rotation mechanism 105 supports the substrate transport table 3 so as to be rotatable within a predetermined range around a vertical axis (θ-axis) passing through the center of the substrate transport table 3, and rotates the substrate transport table 3. And operates based on the control of the control device 16.
[0044]
Above the Y-axis direction moving mechanism 5, a pair of band-shaped thin plates 101 made of a metal material such as stainless steel is stretched so as to cover the Y-axis direction moving mechanism 5 from above. The thin plate 101 is inserted between the base 108 and the θ-axis rotation mechanism 105 through a recess (groove) formed on the upper surface of the base 108. The provision of the thin plate 101 can prevent the target liquid discharged from the droplet discharge head 111 from adhering to the Y-axis direction moving mechanism 5 and protect the Y-axis direction moving mechanism 5. be able to.
[0045]
The stone platen 22 is made of solid stone, and the upper surface thereof has a high flatness. The stone surface plate 22 is excellent in various characteristics such as stability against environmental temperature change, damping against vibration, stability against aging (deterioration), and corrosion resistance against the liquid to be discharged. In the present embodiment, since the Y-axis direction moving mechanism 5 and the later-described X-axis direction moving mechanism 6 are supported by such a stone platen 22, errors due to environmental temperature changes, vibrations, aging (deterioration), and the like are caused. High precision is obtained in the relative movement between the substrate transport table 3 and the head unit 11 (the droplet discharge head 111), and the high precision can be always maintained stably. As a result, pattern formation (drawing) can be performed with higher accuracy and always stably.
The stone material constituting the stone surface plate 22 is not particularly limited, but is preferably any of Belfast Black, Rustenburg, Kurnool, and Indian Black. Thereby, each of the above characteristics of the stone surface plate 22 can be made more excellent.
[0046]
Such a stone surface plate 22 is supported by the gantry 21. The gantry 21 has a frame body 211 formed by assembling an angle material or the like in a rectangular shape, and a plurality of support legs 212 distributed below the frame body 211. The gantry 21 preferably has an anti-vibration structure using an air spring, a rubber bush, or the like, and is configured to transmit vibration from the floor to the stone surface plate 22 as little as possible.
The stone surface plate 22 is preferably supported (placed) on the gantry 21 in a non-fastened state (non-fixed state) with the gantry 21. Thus, it is possible to prevent the thermal expansion or the like occurring in the gantry 21 from affecting the stone surface plate 22, and as a result, it is possible to form (draw) the pattern with higher accuracy.
[0047]
Further, in the present embodiment, the stone surface plate 22 includes a Y-axis direction moving mechanism supporting portion 221 that forms a rectangle that is long in the Y-axis direction in plan view, and a halfway portion of the Y-axis direction moving mechanism supporting portion 221 in the longitudinal direction. The strut support portions 222 and 223 protrude from both sides in both directions in the X-axis direction, respectively. As a result, the shape of the stone platen 22 has a cross shape in plan view. In other words, the stone surface plate 22 has a shape in plan view, in which four corners are removed from a rectangle. On the support members 222 and 223, four support members 23 described later are provided. That is, the stone platen 22 has a shape as viewed from a plane, in which a portion where the Y-axis direction moving mechanism 5 and the column 23 are not installed is removed from a rectangle.
[0048]
Thus, the weight of the stone platen 22 can be reduced, and the area occupied by the stone platen 22 can be reduced, so that the droplet discharge device 1 can be easily transported to the installation location and the factory can be installed. The load capacity of the floor at the place can be small, and the area occupied by the droplet discharge system 10 in the factory can be reduced. In addition, the stone surface plate 22 in the present embodiment as described above may be configured by one stone material, or may be configured by combining a plurality of stone materials.
[0049]
5 is a plan view showing a head unit and an X-axis direction moving mechanism in the droplet discharge device shown in FIGS. 1 and 2, FIG. 6 is a side view seen from the direction of arrow A in FIG. 5, and FIG. FIG. 3 is a perspective view illustrating a head unit and an X-axis direction moving mechanism in the droplet discharge device illustrated in FIGS. 1 and 2.
As shown in FIGS. 6 and 7, a total of four pillars 23 facing each other with the Y-axis direction moving mechanism 5 interposed therebetween are provided on the stone surface plate 22 (the pillar support parts 222 and 223). And two parallel beams (beams) 24 and 25 extending along the X-axis direction supported by the support columns 23 are provided. The board transfer table 3 can pass below the girders 24 and 25.
[0050]
The X-axis direction moving mechanism 6 is supported by four columns 23 via beams 24 and 25. As shown in FIG. 5, the X-axis direction moving mechanism 6 includes a main carriage (head unit support) 61 supporting the head unit 11 and a camera carriage (camera support) supporting the alignment camera 17 and the drawing confirmation camera 18. 64, a linear motor actuator 62 installed on the spar 24, and a guide 63 installed on the spar 25 and guiding the main carriage 61 and the camera carriage 64 in the X-axis direction. The main carriage 61 and the camera carriage 64 are installed so as to be bridged between the linear motor actuator 62 and the guide 63, respectively.
[0051]
The linear motor actuator 62 includes a guide for guiding the main carriage 61 and the camera carriage 64 in the X-axis direction, respectively, and a linear motor for driving the main carriage 61 and the camera carriage 64 in the X-axis direction. . The linear motor of the linear motor actuator 62 has two movable parts (not shown) on the same axis, and these movable parts can be independently moved. The main carriage 61 is connected to the lower movable portion in FIG. 5, and the camera carriage 64 is connected to the upper movable portion in FIG. 5. With such a configuration, the X-axis direction moving mechanism 6 supports the main carriage 61 and the camera carriage 64 coaxially and can move them independently in the X-axis direction.
[0052]
As described above, in the present embodiment, the head unit moving mechanism for moving the head unit 11 in the X-axis direction by the X-axis direction moving mechanism 6 and the alignment camera 17 (position detecting means) are moved independently of the head unit 11 by the X-axis direction. And a position detecting means moving mechanism for moving in the axial direction. The present invention is not limited to such a configuration, and the head unit moving mechanism and the position detecting means moving mechanism may be configured by different axes. The drive source is not limited to a linear motor. For example, a configuration using two ball screws, a configuration in which a shaft of a ball screw is fixed, and two movable portions are coaxially provided on the shaft, or the like is used. There may be.
[0053]
The head unit 11 is detachably supported on the main carriage 61. The head unit 11 is supported by a main carriage 61 via a head unit height adjustment mechanism 20. Accordingly, the distance between the nozzle forming surface of the droplet discharge head 111 and the substrate W can be adjusted according to the thickness of the substrate W. In the present embodiment, the head drive control unit 130 is mounted on the main carriage 61.
As shown in FIG. 7, the linear motor actuator 62 and the guide 63 are provided so as to extend further beyond the support column 23 (toward the auxiliary device 12). Thus, the head unit 11 can move to a position above the auxiliary device 12 described later.
[0054]
As shown in FIG. 7, the alignment camera 17 and the drawing confirmation camera 18 are supported by a camera carriage 64 via a camera height adjustment mechanism 103.
FIGS. 10 and 11 are a perspective view and a bottom view, respectively, showing the alignment camera 17, the drawing confirmation camera 18, and the camera height adjustment mechanism 103.
[0055]
As shown in FIG. 11, the alignment camera 17 includes a camera body 171 having an image sensor such as a CCD, a lens barrel 172, and a prism 173 that bends the optical axis downward. The alignment camera 17 recognizes and detects the position of one or a plurality of alignment marks (indexes) attached to a predetermined position of the substrate W placed (pre-aligned) on the substrate transfer table 3 and placed thereon. It functions as a position detecting means.
[0056]
In the present invention, the position detecting means is not limited to the one that optically detects the index, such as the alignment camera 17, but may be any other one. In addition, the portion of the substrate W to be used as an index is not limited to the alignment mark, and an edge portion of the substrate W may be detected as an index. Further, a plurality of alignment cameras 17 may be installed on the camera carriage 64.
[0057]
The drawing confirmation camera 18 includes a camera body 181 having an image sensor such as a CCD, a lens barrel 182, and a prism 183 that bends the optical axis downward. This drawing confirmation camera 18 is for confirming the drawing state (droplet landing state) of the pattern formed (drawn) on the substrate W. After forming (drawing) a pattern on the substrate W, the surface of the substrate W is optically moved by the drawing confirmation camera 18 while the substrate W and the drawing confirmation camera 18 are relatively moved in the X-axis direction and the Y-axis direction. By detecting (photographing), the state of drawing on the substrate W can be easily and quickly confirmed.
The camera height adjustment mechanism 103 shown in FIG. 10 can adjust the height of the alignment camera 17 and the drawing confirmation camera 18 by using a ball screw and a servomotor (pulse motor). Accordingly, the alignment camera 17 and the drawing confirmation camera 18 can be focused on the substrates W having different thicknesses.
[0058]
Here, the alignment of the substrate W in the droplet discharge device 1 will be described. When an operator feeds (loads) the substrate W onto the substrate transfer table 3, a substrate positioning device (not shown) provided in the droplet discharge device 1 operates to move the substrate W on the substrate transfer table 3. It is positioned (pre-aligned) at a predetermined position. In the pre-alignment, the substrate W may be positioned and supplied with necessary accuracy by an industrial robot.
After the substrate W is pre-aligned, the substrate W is sucked and fixed to the substrate transfer table 3 by sucking air from each suction port 332 of the substrate transfer table 3. Thereafter, the main alignment is performed.
[0059]
In this alignment, the Y-axis direction moving mechanism 5 and the X-axis direction moving mechanism 6 are operated to relatively move the alignment camera 17 near one or more alignment marks on the substrate W. To detect the position of each alignment mark. At this time, the storage unit 162 of the control device 16 stores the position information of each alignment mark on the substrate W input in advance, and the control device 16 moves the Y-axis direction based on the position information. The operation of the mechanism 5 and the X-axis direction moving mechanism 6 is controlled.
[0060]
As described above, in the droplet discharge device 1, since the alignment camera 17 is movably installed, the substrate W and the alignment camera 17 are relatively moved, and the entire area of the substrate W is moved by the alignment camera 17. It can be kept within the visual field V (detection area). Accordingly, the droplet discharge device 1 can perform alignment by inputting the position information in advance, regardless of the position of the substrate W at which the alignment mark is located, so that the specification and type of the substrate W can be easily changed. , And high versatility.
Also, even if the position of the alignment mark on the substrate W is changed, unlike the case where the alignment camera is fixed, there is no need to relocate the alignment camera or finely adjust the position, thereby reducing man-hours. Can be. Therefore, the productivity of the substrate W can be improved and the manufacturing cost can be reduced.
[0061]
Further, by moving the substrate W and the alignment camera 17 relatively, a single alignment camera 17 can easily detect a plurality of alignment marks. Only one alignment camera 17 is required. Therefore, the structure of the droplet discharge device 1 can be simplified and the manufacturing cost can be reduced. On the other hand, when the alignment camera is fixed, it is necessary to install a plurality of alignment cameras to detect alignment marks at a plurality of locations.
[0062]
Further, since the alignment camera 17 does not need to be positioned on the substrate W during drawing, it is easy to secure an installation space for other units (for example, the ionizer unit 109, the blow device 14, and the like), and the arrangement is easy. In addition, even when the supply and removal of the substrate W are performed by the industrial robot, it is not necessary to consider the interference with the alignment camera 17 and the processing can be easily performed.
[0063]
The control device 16 recognizes the position of the alignment mark by performing image processing on an image captured by the alignment camera 17, and performs position correction of the substrate W on the data based on the recognition result. Then, the control device 16 controls the operations of the droplet discharge head 111, the Y-axis direction moving mechanism 5 and the X-axis direction moving mechanism 6 based on the result of the main alignment to form a predetermined pattern on the substrate W. Form (draw). Accordingly, in the droplet discharge device 1, a pattern can be formed (drawn) at an accurate position on the substrate W.
[0064]
Note that the control device 16 relatively moves the alignment camera 17 to the vicinity of the alignment mark based on the position information of the alignment mark stored in the storage unit 162 in advance. If the alignment camera 17 does not enter the detection area, at least one of the Y-axis direction moving mechanism 5 and the X-axis direction moving mechanism 6 is operated so that the alignment camera 17 gradually moves relative to the substrate W, and the alignment mark May be controlled to fall within the field of view V of the alignment camera 17. Thereby, even when the precision of the pre-alignment of the substrate W is somewhat poor, the alignment can be continued.
[0065]
Further, before forming (drawing) a pattern on the substrate W, the controller 16 operates the θ-axis rotation mechanism 105 based on the position of the alignment mark detected by the alignment camera 17 to correct the posture of the substrate W. Is also good. This makes it possible to correct the inclination of the substrate W around the θ axis, so that a pattern can be formed (drawn) on the substrate W with higher accuracy.
[0066]
Further, after correcting the attitude of the substrate W by operating the θ-axis rotation mechanism 105, the position of the alignment mark may be detected again by the alignment camera 17. As described above, the position of the alignment mark is detected again after the posture of the substrate W is corrected, and the pattern is formed (drawn) based on the detection result, whereby higher drawing accuracy can be obtained.
Further, the control device 16 may perform the following control when the alignment camera 17 detects the position of the alignment mark again after the orientation of the substrate W is corrected by operating the θ-axis rotation mechanism 105.
[0067]
FIG. 13 is a diagram for explaining an example of an alignment method in the droplet discharge device 1. ▲ 1 ▼ of 13, the alignment camera 17, and shows a state of detecting the alignment marks M ₁ and M ₂ of two points attached to the substrate W to the first. In this state, the alignment marks M ₁ and M ₂ are both located at a position shifted from the center of the field of view V of the alignment camera 17.
[0068]
Control unit 16, based on such first alignment marks M ₁ and M ₂ of the detection result, by operating the θ-axis rotation mechanism 105 to rotate the substrate carrying table 3 in FIG. 13 clockwise, the substrate W Correct posture. Thus, as shown in ▲ 2 ▼ of 13, the alignment marks M ₁ and M _2, respectively, from the original position indicated by a broken line, it is moved to the position indicated by the black circle.
[0069]
Thereafter, when moving the alignment camera 17 detects the alignment marks M ₁ and M ₂ again, the control device 16, the rotation angle of the substrate carrying table 3 by θ-axis rotation mechanism 105 when the fix the orientation of the substrate W and calculates the position of the alignment marks M ₁ and M ₂ from the position of the alignment marks M ₁ and M ₂ previously detected after correction of the attitude of the substrate W. Then, the control unit 16, based on the calculated position, the alignment marks M ₁ and M _2, respectively, substantially at the center to come to (center) of the X-axis direction moving mechanism 6 of the field of view V of the alignment cameras 17 Control the operation. That is, the movement position of the alignment camera 17 is controlled such that the position of the visual field V is changed from the first position indicated by the broken line to the second position indicated by the solid line.
By performing such control, since the detecting the alignment marks M ₁ and M ₂ approximately in the middle (center) of the field of view V of the alignment cameras 17, the position of the alignment marks M ₁ and M ₂ in the image recognition It can be recognized with higher accuracy. That is, the accuracy of the main alignment can be increased, and as a result, a pattern can be formed (drawn) with higher accuracy.
[0070]
As shown in FIG. 6, a secondary tank 412 is provided on the main carriage 61, and the secondary tank 412 extends from a target liquid tank (primary tank) provided in the tank storage unit 13. The liquid supply pipe 411 is connected. The liquid supply pipe 411 is formed of a flexible tube. In the middle of the liquid supply pipe 411, the liquid supply pipe 411 is relayed so that a portion of the liquid supply pipe 411 on the side of the secondary tank 412 can be moved in accordance with the movement of the secondary tank 412 moving with the main carriage 61. A relay unit 413 is provided.
[0071]
One end of each of twelve branch pipes 414 corresponding to each of the twelve droplet discharge heads 111 provided in the head unit 11 is connected to the secondary tank 412, and the other ends of these branch pipes 414 are The head unit 11 is connected to twelve inlets 112 corresponding to the respective droplet discharge heads 111 provided in the head unit 11. In FIG. 6, only two of the twelve branch pipes 414 are shown for easy viewing.
[0072]
In the middle of each branch pipe 414, a shutoff valve 415 is provided. The liquid to be discharged having passed through the liquid supply pipe 411 flows into the secondary tank 412, and after being adjusted in pressure in the secondary tank 412, is supplied to each droplet discharge head 111 through each branch pipe 414. When the negative pressure control unit that adjusts the pressure in the secondary tank 412 does not function for some reason, the shutoff valve 415 shuts off the flow path of the branch pipe 414, and the droplet discharge head located at a position lower than the secondary tank 412. The liquid to be discharged is prevented from continuing to flow from the secondary tank 412 to the liquid discharge head 111 and leaking from the liquid droplet discharge head 111.
[0073]
FIG. 8 is a schematic diagram for explaining a pattern forming operation (drawing operation) in the droplet discharge device shown in FIGS. 1 and 2. As shown in FIG. 8, the head unit 11 is provided with a plurality of (twelve in the present embodiment) droplet discharge heads 111. A large number of ejection nozzles (openings) for ejecting droplets are formed in one or more rows on the nozzle forming surface of each droplet ejection head 111. In the head unit 11, twelve droplet discharge heads 111 are arranged in two rows of six in the sub-scanning direction (X-axis direction). The posture is inclined with respect to the scanning direction.
[0074]
The droplet discharge head 111 is provided with a drive unit having a piezoelectric element (piezo element) (not shown) as a drive element for each discharge nozzle. The control device 16 controls the drive of each of the driving units for each of the droplet discharge heads 111 of the head unit 11 via the head drive control unit 130. Thus, each droplet discharge head 111 discharges a droplet from a predetermined discharge nozzle. In this case, for example, when a predetermined voltage is applied to the piezoelectric element, the piezoelectric element deforms (expands and contracts), whereby the inside of the corresponding pressure chamber (liquid chamber) is pressurized, and the corresponding discharge nozzle (the pressure A predetermined amount of droplets is discharged from a discharge nozzle communicating with the chamber).
[0075]
In the present invention, the droplet discharge head 111 is not limited to the above-described configuration. For example, the droplet to be discharged is discharged from the discharge nozzle by heating the liquid to be discharged by a heater as a driving element to boil the liquid. It may be configured such that
The above-described arrangement pattern of the droplet discharge heads 111 in the head unit 11 is an example. For example, adjacent droplet discharge heads 111 in each head row are arranged at an angle of 90 ° (when the adjacent heads are The liquid ejection heads 111 may be arranged at an angle of 90 ° between the head rows (the heads between rows may be arranged in a “C” shape). In any case, the dots by all the ejection nozzles of the plurality of droplet ejection heads 111 need only be continuous in the sub-scanning direction.
[0076]
Furthermore, the droplet discharge heads 111 do not have to be installed in a posture inclined with respect to the sub-scanning direction, and a plurality of droplet discharge heads 111 may be arranged in a staggered or stepwise manner. . Further, as long as a nozzle row (dot row) having a predetermined length can be formed, this may be formed by a single droplet discharge head 111. Further, a plurality of head units 11 may be installed on the main carriage 61.
[0077]
After the above-described alignment of the substrate W is completed, the droplet discharge device 1 starts an operation of forming (drawing) a predetermined pattern on the substrate W. This operation is performed by main scanning and sub-scanning of the droplet discharge head 111 (head unit 11) relative to the substrate W.
In the droplet discharge device 1 of the present embodiment, the main scanning is performed while moving the substrate W in the Y-axis direction by moving the substrate transfer table 3 in a state where the head unit 11 is stopped (not moved) with respect to the device main body 2. This is performed by discharging liquid droplets from each liquid droplet discharging head 111 to the substrate W. That is, in the present embodiment, the Y-axis direction is the main scanning direction.
[0078]
The main scanning may be performed during forward movement (forward movement) of the substrate transfer table 3, during backward movement (backward movement), or during both forward movement and backward movement (reciprocation). Further, the substrate transfer table 3 may be reciprocated a plurality of times, and may be repeatedly performed a plurality of times. By such a main scan, the discharge of the liquid droplets is completed in an area extending along the main scan direction with a predetermined width (a width that can be discharged by the head unit 11) on the substrate W.
[0079]
After such a main scan, a sub-scan is performed. The sub-scan is performed by moving the head unit 11 in the X-axis direction by the predetermined width by moving the main carriage 61 when the droplet is not ejected. That is, in the present embodiment, the X-axis direction is the sub-scanning direction.
After such sub-scanning, the same main scanning as described above is performed. As a result, the droplet is ejected to a region adjacent to the region where the droplet was ejected in the previous main scan.
By alternately repeating the main scanning and the sub-scanning in this manner, droplets are ejected to the entire region of the substrate W, and a predetermined pattern of the ejected droplets (liquid) is formed on the substrate W. Can be formed (drawn).
[0080]
In the present invention, the main scanning direction and the sub-scanning direction may be opposite to those described above. That is, main scanning is performed by discharging droplets onto the substrate W while moving the droplet discharge head 111 (head unit 11) in the X-axis direction with the substrate W (substrate transport table 3) stopped. Alternatively, the sub-scanning may be performed by moving the substrate W (substrate transport table 3) in the Y-axis direction when the droplet is not ejected.
[0081]
FIG. 9 is a perspective view showing an auxiliary device in the droplet discharge device shown in FIGS. 1 and 2.
The auxiliary device 12 is installed on the side of the gantry 21 and the stone surface plate 22 of the device main body 2 (on the X axis direction front side with respect to the device main body 2). As shown in FIG. 9, the auxiliary device 12 includes a cleaning unit (wiping unit) 81, a regular flushing unit 82, a capping unit 83, and a discharge amount measurement unit (weight measurement unit) 84. I have.
[0082]
The head unit 11 waits at a position above the auxiliary device 12 when, for example, supplying or removing the substrate W. Then, during this standby, cleaning (cleaning) and capping of the nozzle forming surface of each droplet discharge head 111, and periodic discard discharge (periodic flushing) are performed. Hereinafter, each unit included in the auxiliary device 12 will be sequentially described.
[0083]
The cleaning unit 81 operates so that the wiping sheet containing the cleaning liquid is run by a roller, and the nozzle forming surface of each droplet discharge head 111 is wiped by the wiping sheet. The cleaning unit 81 wipes off the liquid to be discharged adhered to the nozzle forming surface of the liquid droplet discharging head 111, thereby causing the liquid droplets to be distorted (disordered) in the discharging direction (flying direction) of each of the discharging nozzles. Is prevented and droplets can be ejected straight, so that pattern formation (drawing) on the substrate W can be performed with high accuracy.
[0084]
The periodic flushing unit 82 has a liquid receiving unit that receives the droplets discharged and discharged by the droplet discharge head 111, and is used for flushing the head unit 11 during standby. A suction tube (not shown) is connected to the regular flushing unit 82, and the liquid to be discharged, which has been discarded and discharged, is collected through the suction tube, and is discharged from the drainage tank installed in the tank storage unit 13. Is stored in
[0085]
The capping unit 83 has a plurality of caps arranged so as to correspond to the respective droplet discharge heads 111, and an elevating mechanism for elevating the caps. A suction tube (not shown) is connected to each cap, and the capping unit 83 covers the nozzle forming surface of each droplet discharge head 111 with each cap, and sucks the liquid to be discharged from each discharge nozzle. You can do it. By performing such capping by the capping unit 83, it is possible to prevent the nozzle forming surface of the droplet discharge head 111 from drying or to recover (eliminate) nozzle clogging.
[0086]
This capping is performed when the head unit 11 is discharged, and when the head unit 11 is initially filled with the liquid to be discharged, when the liquid to be discharged is replaced with a different liquid, the liquid to be discharged from the head unit 11 is discharged. It is also performed when the flow path is washed with a washing liquid.
The liquid to be discharged discharged from the droplet discharge head 111 during the capping by the capping unit 83 flows into the reuse tank provided in the tank storage unit 13 through the suction tube and is stored. The stored liquid is collected and provided for reuse. However, the washing liquid collected at the time of washing the channel is not reused.
[0087]
The discharge amount measuring unit 84 is used to measure a single droplet discharge amount (weight) from the droplet discharge head 111 as a preparation stage for the droplet discharge operation on the substrate W. That is, before the droplet discharge operation on the substrate W, the head unit 11 moves above the discharge amount measuring unit 84 and measures the discharge amount once or more than once from all the discharge nozzles of each droplet discharge head 111. To the application unit 84. The discharge amount measuring unit 84 includes a detachable liquid receiving portion that receives the discharged liquid droplets. The weight of the liquid received by the liquid receiving portion is measured by an electronic balance installed outside the liquid droplet discharging system 10. Measure with a weighing scale. Alternatively, a weight scale may be provided in the discharge amount measuring unit 84, and the weight may be measured here. The control device 16 calculates the amount (weight) of one droplet discharged from the discharge nozzle based on the result of the weight measurement, and controls the liquid so that the calculated value becomes equal to a predetermined design value. The voltage applied to the head driver that drives the droplet ejection head 111 is corrected.
[0088]
The attachment device 12 further includes an attachment table 85 installed on the floor, and a movable table 86 movable on the attachment table 85 in the Y-axis direction. The attachment base 85 has a long shape in the Y-axis direction, and a pair of guides (rails) 851 for guiding the movable base 86 in the Y-axis direction is provided at an upper portion thereof. A driving mechanism having a ball screw 852 is installed on the upper part of the attachment base 85. The moving base 86 is driven by the driving mechanism and moves in the Y-axis direction along the guide 851.
[0089]
The cleaning unit 81, the periodic flushing unit 82, the capping unit 83, and the discharge amount measuring unit 84 are installed on the above-mentioned moving table 86 in the Y-axis direction. When the moving table 86 moves in the Y-axis direction while the head unit 11 is positioned above the auxiliary device 12, any one of the cleaning unit 81, the periodic flushing unit 82, the capping unit 83, and the discharge amount measuring unit 84 is provided. Can be positioned below the head unit 11. Thus, the head unit 11 can selectively perform any of the above-described cleaning of the nozzle forming surface, periodic flushing, capping, and discharge of the droplet to the discharge amount measurement unit 84 described below.
[0090]
The auxiliary device 12 as described above is installed on one side (lower side in FIG. 1) of the moving area of the substrate transfer table 3, as shown in FIG. The head unit 11 (main carriage 61) is located on the auxiliary device 12 side (lower side in FIG. 1) with respect to the alignment camera 17 (camera carriage 64).
With such a configuration, while the alignment camera 17 is moving and performing alignment, the head unit 11 moves to the auxiliary device 12 side to perform capping, cleaning, and flushing of the droplet discharge head 111. Can be. Accordingly, it is possible to prevent the nozzle formation surface of the droplet discharge head 111 from drying or clogging the discharge nozzles during the alignment of the substrate W. In addition, since the alignment of the substrate W and the capping, cleaning, and flushing of the droplet discharge head 111 can be performed in parallel, the cycle time required to form (draw) a pattern on one substrate W is reduced. This improves the throughput and contributes to a reduction in the manufacturing cost of the substrate W.
[0091]
As described above, the droplet discharge device of the present invention has been described with respect to the illustrated embodiment, but the present invention is not limited to this. In addition, each part constituting the droplet discharge device can be replaced with an arbitrary configuration that can perform the same function. Further, an arbitrary component may be added.
Further, the Y-axis direction moving mechanism and the X-axis direction moving mechanism may use, for example, a ball screw (feed screw) instead of the one using a linear motor.
[0092]
Further, an electro-optical device according to the present invention is characterized by being manufactured using the above-described droplet discharge device according to the present invention. Specific examples of the electro-optical device according to the invention are not particularly limited, and examples thereof include a liquid crystal display device and an organic EL display device.
Further, a method of manufacturing an electro-optical device according to the present invention uses the droplet discharge device according to the present invention. The method for manufacturing an electro-optical device according to the invention can be applied to, for example, a method for manufacturing a liquid crystal display device. That is, by selectively discharging the liquid containing the filter material of each color onto the substrate using the droplet discharge device of the present invention, a color filter having a large number of filter elements arranged on the substrate is manufactured. A liquid crystal display device can be manufactured using a color filter. In addition, the method for manufacturing an electro-optical device according to the invention can be applied to, for example, a method for manufacturing an organic EL display device. That is, by selectively discharging a liquid containing a luminescent material of each color onto a substrate using the droplet discharge device of the present invention, an organic pixel having a large number of pixel pixels including an EL luminescent layer arranged on the substrate. An EL display device can be manufactured.
According to another aspect of the invention, there is provided an electronic apparatus including the electro-optical device manufactured as described above. Specific examples of the electronic apparatus of the present invention include, but are not particularly limited to, a personal computer and a mobile phone equipped with the liquid crystal display device and the organic EL display device manufactured as described above.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a plan view showing an embodiment of a droplet discharge device of the present invention.
FIG. 2 is a side view showing an embodiment of the droplet discharge device of the present invention.
FIG. 3 is a plan view showing a gantry, a stone surface plate, and a substrate transfer table.
FIG. 4 is a side view showing a gantry, a stone surface plate, and a substrate transfer table.
FIG. 5 is a plan view showing a head unit and an X-axis direction moving mechanism.
FIG. 6 is a side view as seen from the direction of arrow A in FIG. 5;
FIG. 7 is a perspective view showing a head unit and an X-axis direction moving mechanism.
FIG. 8 is a schematic diagram for explaining a pattern forming operation (drawing operation).
FIG. 9 is a perspective view showing an auxiliary device in the droplet discharge device.
FIG. 10 is a perspective view showing an alignment camera, a drawing confirmation camera, and a camera height adjustment mechanism.
FIG. 11 is a bottom view showing an alignment camera, a drawing confirmation camera, and a camera height adjustment mechanism.
FIG. 12 is a block diagram of the droplet discharge device shown in FIGS. 1 and 2;
FIG. 13 is a diagram illustrating an example of an alignment method.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Droplet discharge apparatus, 10 ... Droplet discharge system, 11 ... Head unit, 111 ... Droplet discharge head, 112 ... Inlet, 12 ... Accessory device, 13 ... Tank storage part, 14 …… Blower device, 15… Laser length measuring device, 151 …… Laser length measuring device sensor head, 152… Mirror, 153 …… Laser length measuring device main body, 154 …… Corner cube, 16 …… Control device, 161 ...... CPU, 162 ... storage unit, 17 ... alignment camera, 171 ... camera body, 172 ... lens barrel, 173 ... prism, 18 ... drawing confirmation camera, 181 ... camera body, 182 ... Lens barrel, 183 Prism, 19 Missing dot detection unit, 20 Head unit height adjustment mechanism, 2 Device body, 21 Stand, 211 Frame, 212 ... Support legs, 22. Stone surface plate, 221... Y-axis direction moving mechanism support portion, 222... Support column support portion, 223... Support column support portion, 23. , A substrate transfer table, 332 a suction port, 5 a Y-axis direction moving mechanism, 51 a linear motor, 52 an air slider, 521 a slide guide, 522 a slide block, 6 X-axis direction moving mechanism, 61: Main carriage, 62: Linear motor actuator, 63: Guide, 64: Camera carriage, 81: Cleaning unit, 82: Regular flushing unit, 83: Capping unit, 84 …… Discharge amount measurement unit, 85… Attached table, 86… Moving table, 9… Chamber device, 91 …… Chamber, 911 …… Ceiling, 912 …… Filter 913: Main room, 914: Partition wall, 915: Partition wall, 916: Sub chamber, 917: Communication part, 918: Door, 92: Air conditioner, 93: Introduction duct, 94: Exhaust duct 101, a thin plate, 103, a camera height adjustment mechanism, 104, a flushing unit before drawing, 105, a θ axis rotation mechanism, 108, a base, 109, an ionizer unit, 130, a head drive control unit, 411 liquid supply pipe 412 secondary tank 413 relay part 414 branch pipe 415 shutoff valve M ₁ alignment mark M ₂ alignment mark V field of view , W ... board

Claims

装置本体と、
ワークが載置されるワーク載置部と、
前記ワーク載置部を前記装置本体に対し水平な一方向（以下、「Ｙ軸方向」と言う）に移動させるＹ軸方向移動機構と、
ワークに対して吐出対象液の液滴を吐出する少なくとも１個の液滴吐出ヘッドを有するヘッドユニットと、
前記ヘッドユニットを前記装置本体に対し前記Ｙ軸方向に垂直かつ水平な方向（以下、「Ｘ軸方向」と言う）に移動させるヘッドユニット移動機構と、
前記ワーク載置部に位置決めして載置されたワークの指標の位置を検出する位置検出手段と、
前記位置検出手段を前記装置本体に対し前記ヘッドユニットと独立して前記Ｘ軸方向に移動させる位置検出手段移動機構と、
前記液滴吐出ヘッド、前記Ｙ軸方向移動機構、前記ヘッドユニット移動機構および前記位置検出手段移動機構の作動を制御する制御手段とを備え、
前記制御手段は、前記制御手段の記憶部に予め記憶された前記ワーク上での前記指標の位置情報に基づいて前記Ｙ軸方向移動機構および前記位置検出手段移動機構を作動することにより前記位置検出手段を前記指標の付近に相対的に移動させて前記指標の位置を検出させ、前記位置検出手段によって検出された前記指標の位置に基づいて、前記ワーク載置部と前記ヘッドユニットとを相対的に移動させつつ、前記液滴吐出ヘッドから前記ワークに対し液滴を吐出することにより、前記ワークに所定のパターンを形成するように制御することを特徴とする液滴吐出装置。The device body,
A work placement part on which the work is placed,
A Y-axis direction moving mechanism for moving the work mounting section in one direction (hereinafter, referred to as “Y-axis direction”) horizontal to the apparatus body;
A head unit having at least one droplet discharge head that discharges droplets of a liquid to be discharged onto a work,
A head unit moving mechanism for moving the head unit in a direction perpendicular and horizontal to the Y-axis direction with respect to the apparatus main body (hereinafter, referred to as “X-axis direction”);
Position detecting means for detecting the position of the index of the work placed and positioned on the work mounting portion,
A position detecting means moving mechanism for moving the position detecting means in the X-axis direction independently of the head unit with respect to the apparatus main body;
Control means for controlling the operation of the droplet discharge head, the Y-axis direction moving mechanism, the head unit moving mechanism and the position detecting means moving mechanism,
The control unit detects the position by operating the Y-axis direction moving mechanism and the position detecting unit moving mechanism based on position information of the index on the work stored in the storage unit of the control unit in advance. Means is moved relatively to the vicinity of the index to detect the position of the index, and based on the position of the index detected by the position detecting means, the work mounting portion and the head unit are relatively moved. A droplet discharge device that discharges droplets from the droplet discharge head to the workpiece while moving the workpiece to form a predetermined pattern on the workpiece.

前記位置検出手段は、前記指標の位置を光学的に検出するものである請求項１に記載の液滴吐出装置。2. The droplet discharge device according to claim 1, wherein the position detection unit optically detects the position of the index.

前記位置検出手段は、撮像素子を有するカメラで構成されている請求項２に記載の液滴吐出装置。3. The droplet discharge device according to claim 2, wherein the position detection unit is configured by a camera having an image sensor.

前記位置検出手段の高さを調整する高さ調整機構をさらに備える請求項１ないし３のいずれかに記載の液滴吐出装置。4. The droplet discharge device according to claim 1, further comprising a height adjustment mechanism for adjusting the height of the position detection unit.

前記制御手段は、前記制御手段の記憶部に予め記憶された前記ワーク上での前記指標の位置情報に基づいて前記Ｙ軸方向移動機構および前記位置検出手段移動機構を作動することにより前記位置検出手段を前記指標の付近に相対的に移動させた結果、前記指標が前記位置検出手段の検出領域内に入らなかった場合、前記位置検出手段が前記ワークに対し相対的に徐々に移動するように前記Ｙ軸方向移動機構および／または前記位置検出手段移動機構を作動して、前記指標が前記位置検出手段の検出領域内に入るように制御する請求項１ないし４のいずれかに記載の液滴吐出装置。The control unit detects the position by operating the Y-axis direction moving mechanism and the position detecting unit moving mechanism based on position information of the index on the work stored in the storage unit of the control unit in advance. As a result of moving the means relatively to the vicinity of the index, if the index does not enter the detection area of the position detection means, the position detection means moves gradually relative to the workpiece. The droplet according to any one of claims 1 to 4, wherein the Y-axis direction moving mechanism and / or the position detecting means moving mechanism are operated to control the index so as to enter the detection area of the position detecting means. Discharge device.

前記ワーク載置部を鉛直方向の軸回りに所定範囲で回転させるθ軸回転機構をさらに備え、
前記制御手段は、前記ワークに所定のパターンを形成する前に、前記位置検出手段によって検出した前記指標の位置に基づいて前記θ軸回転機構を作動して前記ワークの姿勢を修正する請求項１ないし５のいずれかに記載の液滴吐出装置。The apparatus further includes a θ-axis rotation mechanism that rotates the work mounting portion around a vertical axis within a predetermined range,
2. The controller according to claim 1, wherein the controller corrects a posture of the work by operating the θ-axis rotation mechanism based on a position of the index detected by the position detector before forming a predetermined pattern on the work. 3. 6. The droplet discharge device according to any one of items 5 to 5.

前記制御手段は、前記位置検出手段によって検出した前記指標の位置に基づいて前記θ軸回転機構を作動して前記ワークの姿勢を修正した後、前記位置検出手段によって前記指標の位置を再度検出し、この検出結果に基づいて、前記ワーク載置部と前記ヘッドユニットとを相対的に移動させつつ、前記液滴吐出ヘッドから前記ワークに対し液滴を吐出することにより、前記ワークに所定のパターンを形成するように制御する請求項６に記載の液滴吐出装置。The control unit operates the θ-axis rotation mechanism based on the position of the index detected by the position detection unit to correct the posture of the work, and then detects the position of the index again by the position detection unit. Based on the detection result, the droplet is discharged from the droplet discharge head onto the workpiece while the workpiece mounting portion and the head unit are relatively moved, thereby forming a predetermined pattern on the workpiece. The droplet discharge device according to claim 6, wherein the droplet discharge device is controlled to form a droplet.

前記制御手段は、前記θ軸回転機構を作動して前記ワークの姿勢を修正した後に前記位置検出手段によって前記指標の位置を再度検出するとき、前記ワークの姿勢を修正したときの前記θ軸回転機構による前記ワーク載置部の回転角度と前回検出した前記指標の位置とから前記ワークの姿勢の修正後における前記指標の位置を算出し、この算出された位置に基づいて、前記指標が前記位置検出手段の検出領域のほぼ中央に来るように前記位置検出手段移動機構の作動を制御する請求項７に記載の液滴吐出装置。The control means operates the θ-axis rotation mechanism to correct the posture of the work, and then detects the position of the index again by the position detection means. The position of the index after correction of the posture of the work is calculated from the rotation angle of the work placement unit by a mechanism and the position of the index detected last time, and based on the calculated position, the index is calculated based on the position of the index. 8. The droplet discharge device according to claim 7, wherein the operation of the position detecting means moving mechanism is controlled so as to be substantially at the center of the detection area of the detecting means.

前記ヘッドユニット移動機構および前記位置検出手段移動機構の駆動源は、前記ヘッドユニットを移動させる可動部と、前記位置検出手段を移動させる可動部とを同軸上に有するとともに前記両可動部をそれぞれ独立して移動可能なリニアモータで構成されている請求項１ないし８のいずれかに記載の液滴吐出装置。A driving source of the head unit moving mechanism and the position detecting means moving mechanism has a movable part for moving the head unit and a movable part for moving the position detecting means on the same axis, and the two movable parts are independent of each other. 9. The droplet discharge device according to claim 1, comprising a linear motor that can be moved.

前記ワーク載置部の移動領域の一方の側方に、前記液滴吐出ヘッドのノズル形成面を清掃するクリーニングユニット、前記液滴吐出ヘッドが待機時に捨て吐出した液体を受ける液受け部を有するフラッシングユニット、前記液滴吐出ヘッドから流体を吸引する際に前記液滴吐出ヘッドのノズル形成面を覆うキャップを有するキャッピングユニット、のうちの少なくとも１つをさらに備え、
前記ヘッドユニットは、前記位置検出手段に対し前記一方の側に位置している請求項１ないし９のいずれかに記載の液滴吐出装置。A flushing unit for cleaning a nozzle forming surface of the droplet discharge head on one side of a moving area of the work mounting unit, and a liquid receiving unit for receiving a liquid that the droplet discharge head discarded and discharged during standby The apparatus further includes at least one of a unit and a capping unit having a cap that covers a nozzle forming surface of the droplet discharge head when sucking a fluid from the droplet discharge head,
10. The droplet discharge device according to claim 1, wherein the head unit is located on the one side with respect to the position detection unit.

前記ワークに所定のパターンを形成する際、前記Ｙ軸方向と前記Ｘ軸方向とのいずれか一方を主走査方向とし他方を副走査方向として前記ワーク載置部と前記ヘッドユニットとを相対的に移動させる請求項１ないし１０のいずれかに記載の液滴吐出装置。When forming a predetermined pattern on the work, the work placement unit and the head unit are relatively positioned with one of the Y-axis direction and the X-axis direction being a main scanning direction and the other being a sub-scanning direction. The droplet discharging device according to claim 1, wherein the droplet discharging device is moved.

請求項１ないし１１のいずれかに記載の液滴吐出装置を用いて製造されたことを特徴とする電気光学装置。An electro-optical device manufactured using the droplet discharge device according to claim 1.

請求項１ないし１１のいずれかに記載の液滴吐出装置を用いることを特徴とする電気光学装置の製造方法。A method for manufacturing an electro-optical device, comprising using the droplet discharge device according to claim 1.

請求項１２に記載の電気光学装置を備えることを特徴とする電子機器。An electronic apparatus comprising the electro-optical device according to claim 12.