JP2010232431A - 容量式物理量検出装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】可動電極23の変位方向であるx軸方向には弾性的に変位しないがx軸とは直交するy軸方向には弾性的に変位可能な固定電極用バネ部32、42を介して、固定電極31、41を第1シリコン基板11に支持し、静電引力によって固定電極用バネ部32、42を弾性的に変位させることにより、y軸方向にて可動電極23と固定電極31、41との対向面積が増加する方向に、固定電極31、41を変位させる固定電極変位手段60を備え、この固定電極変位手段60によって、加速度検出時よりも可動電極23と固定電極31、41との対向面積を増加させた状態で自己診断を行うようにした。
【選択図】図1
Description
本発明の第1実施形態は、容量式物理量検出装置として、差動容量式の半導体加速度センサに本発明を適用したものである。この半導体加速度センサは、例えば、エアバッグ、ABS、VSC等の作動制御を行うための自動車用加速度センサやジャイロセンサ等に適用できる。
V0=(CS1−CS2)・V’/Cf
ここで、V’は両パッド31a及び41a間、即ち、両固定電極31及び41の間の電圧であり、Cfはコンデンサ212の容量である。
図10は、本発明の第2実施形態に係る半導体加速度センサの要部の概略平面構成を示す図であり、本センサにおける第2の固定部40および固定電極変位手段60の模式的な構成を示している。なお、第1の固定部30についても図10と同様である。
なお、上記第1実施形態に示した例では、通常動作時と自己診断時とで、可動電極23に印加する電圧を変えて可動電極23を擬似的に変位させているが、固定電極31、41に印加する搬送波P1、P2において電圧を変えることにより、可動電極23を擬似的に変位させ、自己診断を行うようにしてもよい。
21 錘部
22 検出用バネ部
23 可動電極
30a 固定電極支持部としての第1の固定部のアンカー部
31 第1の固定電極
32 第1の固定部の固定電極用バネ部
32a 第1の固定部の固定電極用バネ部における第1の梁
32b 第1の固定部の固定電極用バネ部における第2の梁
32c 第1の固定部の固定電極用バネ部における連結部
40a 固定電極支持部としての第2の固定部のアンカー部
41 第2の固定電極
42 第2の固定部の固定電極用バネ部
42a 第2の固定部の固定電極用バネ部における第1の梁
42b 第2の固定部の固定電極用バネ部における第2の梁
42c 第2の固定部の固定電極用バネ部における連結部
60 固定電極変位手段
61 静電引力発生用電極
210 C−V変換回路
220 信号印加手段
Claims (5)
- 支持基板(11)と、
前記支持基板(11)に支持され、物理量の印加に応じて所定方向(x)へ変位するバネ機能を有する検出用バネ部(22)と、
前記検出用バネ部(22)に一体に形成され前記検出用バネ部(22)の弾性的な変位によって前記所定方向(x)に変位可能な可動電極(23)と、
前記支持基板(11)に支持され、前記可動電極(23)に対向して配置された固定電極(31、41)と、
周期的に変化する信号であって前記物理量を検出するための検出信号と周期的に変化する信号であって自己診断を行うための自己診断信号とを切り替えて、前記可動電極(23)と前記固定電極(31、41)との間に印加する信号印加手段(220)と、
前記可動電極(23)と前記固定電極(31、41)とからなる容量の変化に応じた電圧を出力するC−V変換回路(210)とを備え、
前記検出信号の印加中に発生する前記容量の変化に応じて前記物理量を検出し、
前記自己診断信号の印加によって前記検出用バネ部(22)を弾性的に変位させることにより前記可動電極(23)に疑似的な物理量を発生させるようになっている容量式物理量検出装置において、
前記固定電極(31、41)は、前記可動電極(23)の変位方向である前記所定方向(x)には弾性的に変位しないが前記所定方向(x)とは直交する方向(y)には弾性的に変位可能な固定電極用バネ部(32、42)を介して、前記支持基板(11)に支持されており、
静電引力によって前記固定電極用バネ部(32、42)を弾性的に変位させることにより、前記所定方向(x)とは直交する方向(y)にて前記可動電極(23)と前記固定電極(31、41)との対向面積が増加する方向に、前記固定電極(31、41)を変位させる固定電極変位手段(60)が備えられており、
前記固定電極変位手段(60)によって、前記物理量を検出するときよりも前記可動電極(23)と前記固定電極(31、41)との対向面積を増加させた状態で前記自己診断を行うようにしたことを特徴とする容量式物理量検出装置。 - 前記可動電極(23)と一体に形成され、前記可動電極(23)とともに前記所定方向(x)に変位する錘部(21)が備えられており、
この錘部(21)と離れて対向するように、前記固定電極用バネ部(32、42)を前記支持基板(11)に支持する固定電極支持部(30a、40a)が備えられており、
前記可動電極(23)の変位方向である前記所定方向をx軸方向、前記所定方向とは直交する方向であって前記固定電極(31、41)が固定電極用バネ部(32、42)によって変位する方向をy軸方向とし、これらx軸方向およびy軸方向と直交する方向をz軸方向としたとき、
前記可動電極(23)は、前記錘部(21)から前記固定電極支持部(30a、40a)側に突出し前記y軸方向に沿って延びる柱状をなすものであり、
前記固定電極(31、41)は、前記固定電極用バネ部(32、42)から前記錘部(21)側に突出し前記y軸方向に沿って延びる柱状をなすものであり、
前記可動電極(23)および前記固定電極(31、41)において前記y軸方向に延びる側面同士が対向しており、当該対向する側面同士の間に前記容量が形成されるものであり、
前記x軸および前記y軸を含む平面であるxy平面に沿った前記可動電極(23)の平面形状および前記固定電極(31、41)の平面形状はともに、根元部と突出先端部との間で幅が一定である細長矩形状であることを特徴とする請求項1に記載の容量式物理量検出装置。 - 前記可動電極(23)と一体に形成され、前記可動電極(23)とともに前記所定方向(x)に変位する錘部(21)が備えられており、
この錘部(21)と離れて対向するように、前記固定電極用バネ部(32、42)を前記支持基板(11)に支持する固定電極支持部(30a、40a)が備えられており、
前記可動電極(23)の変位方向である前記所定方向をx軸方向、前記所定方向とは直交する方向であって前記固定電極(31、41)が固定電極用バネ部(32、42)によって変位する方向をy軸方向とし、これらx軸方向およびy軸方向と直交する方向をz軸方向としたとき、
前記可動電極(23)は、前記錘部(21)から前記固定電極支持部(30a、40a)側に突出し前記y軸方向に沿って延びる柱状をなすものであり、
前記固定電極(31、41)は、前記固定電極用バネ部(32、42)から前記錘部(21)側に突出し前記y軸方向に沿って延びる柱状をなすものであり、
前記可動電極(23)および前記固定電極(31、41)において前記y軸方向に延びる側面同士が対向しており、当該対向する側面同士の間に前記容量が形成されるものであり、
前記x軸および前記y軸を含む平面であるxy平面に沿った前記可動電極(23)の平面形状は、前記錘部(21)側から突出先端部側に行くにつれて細くなっている楔形状であり、
前記xy平面に沿った前記固定電極(31、41)の平面形状は、前記固定電極用バネ部(32、42)側から突出先端部側に行くにつれて細くなっている楔形状であることを特徴とする請求項1に記載の容量式物理量検出装置。 - 前記固定電極用バネ部(32、42)は、前記x軸方向に沿って延び前記固定電極支持部(30a、40a)に連結された第1の梁(32a、42a)と、この第1の梁(32a、42a)とは前記y軸方向にて離れて配置されるとともに前記x軸方向に沿って延び、前記固定電極(31、41)に連結された第2の梁(32b、42b)と、これら第1及び第2の梁の前記x軸方向における両端部を連結する連結部(32c、42c)とを備える細長の枠形状をなすものであって、
前記第1の梁(32a、42a)と前記第2の梁(32b、42b)との間隔が変化するように、弾性的に変位するものであることを特徴とする請求項2または3に記載の容量式物理量検出装置。 - 前記固定電極変位手段(60)は、固定電極用バネ部(32、42)の前記第2の梁(32b、42b)に対して前記y軸方向にて離間して対向配置された静電引力発生用電極(61)を備えており、
この静電引力発生用電極(61)に電圧を印加することにより、前記第2の梁(32b、42b)に前記静電引力を作用させて、前記固定電極用バネ部(32、42)を弾性的に変位させるものであることを特徴とする請求項4に記載の容量式物理量検出装置。
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