JP2010210410A - 三次元形状測定装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 測定対象物40の三次元形状を測定する三次元形状測定装置1において、
パターン素子14の格子パターンを測定対象物40に対して投影する投影部10と、測定対象物40に投影された格子パターンを撮像する撮像部20とを含み、前記格子パターンを基準面SPに対して投影した場合に基準面SP上において等間隔なパターンが形成されるように、前記格子パターンの間隔を不等間隔としたことを特徴とする。
【選択図】 図1
Description
格子パターンを前記測定対象物に対して投影する投影部と、
前記測定対象物に投影された格子パターンを撮像する撮像部とを含み、
前記格子パターンを基準面に対して投影した場合に基準面上において等間隔なパターンが形成されるように、前記格子パターンの間隔を不等間隔としたことを特徴とする。
前記投影部は、
格子パターンを有するパターン素子と、投影レンズとを含み、
前記格子パターンを、前記投影レンズを介して前記測定対象物に対して投影することを特徴とする。
前記パターン素子と前記投影レンズと前記基準面とが、シャインプルークの条件を満たすように配置されたことを特徴とする。
前記投影部は、
光源からの光を前記測定対象物に対して走査する走査部を含み、
前記光源からの光が前記測定対象物を走査する際に、前記光源の光強度を制御することにより、前記基準面上において等間隔のパターンとなるような格子パターンを前記測定対象物に対して投影することを特徴とする。
光源からの光を前記測定対象物に対して走査する走査部を含み、
前記光源からの光が前記測定対象物を走査する際に、走査速度を制御することにより、前記基準面上において等間隔のパターンとなるような格子パターンを前記測定対象物に対して投影することを特徴とする。
前記格子パターンを基準面に対して投影した場合に基準面上において等間隔なパターンが形成されるように、前記格子パターンの間隔を不等間隔としたことを特徴とする。
図1は、本実施形態の三次元形状測定装置の構成の一例を示す図である。
なお、本発明の適用は上述した実施例に限定されず、種々の変形が可能である。
Claims (6)
- 測定対象物の三次元形状を測定する三次元形状測定装置において、
格子パターンを前記測定対象物に対して投影する投影部と、
前記測定対象物に投影された格子パターンを撮像する撮像部とを含み、
前記格子パターンを基準面に対して投影した場合に基準面上において等間隔なパターンが形成されるように、前記格子パターンの間隔を不等間隔としたことを特徴とする三次元形状測定装置。 - 請求項1において、
前記投影部は、
格子パターンを有するパターン素子と、投影レンズとを含み、
前記格子パターンを、前記投影レンズを介して前記測定対象物に対して投影することを特徴とする三次元形状測定装置。 - 請求項2において、
前記パターン素子と前記投影レンズと前記基準面とが、シャインプルークの条件を満たすように配置されたことを特徴とする三次元形状測定装置。 - 請求項1において、
前記投影部は、
光源からの光を前記測定対象物に対して走査する走査部を含み、
前記光源からの光が前記測定対象物を走査する際に、前記光源の光強度を制御することにより、前記基準面上において等間隔のパターンとなるような格子パターンを前記測定対象物に対して投影することを特徴とする三次元形状測定装置。 - 請求項1において、
光源からの光を前記測定対象物に対して走査する走査部を含み、
前記光源からの光が前記測定対象物を走査する際に、走査速度を制御することにより、前記基準面上において等間隔のパターンとなるような格子パターンを前記測定対象物に対して投影することを特徴とする三次元形状測定装置。 - 格子パターンを測定対象物に対して投影し、投影された格子パターンを撮像し、撮像された格子パターンから前記測定対象物の三次元形状を測定する三次元形状測定方法において、
前記格子パターンを基準面に対して投影した場合に基準面上において等間隔なパターンが形成されるように、前記格子パターンの間隔を不等間隔としたことを特徴とする三次元形状測定方法。
Priority Applications (1)
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011064482A (ja) * | 2009-09-15 | 2011-03-31 | Kurabo Ind Ltd | 高速三次元計測装置及び高速三次元計測方法 |
JP2014006133A (ja) * | 2012-06-22 | 2014-01-16 | Fujitsu Ltd | 表面欠陥検査装置および表面欠陥検査方法 |
CN109551472A (zh) * | 2017-09-27 | 2019-04-02 | 精工爱普生株式会社 | 机器人*** |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08285559A (ja) * | 1995-04-17 | 1996-11-01 | Nissan Motor Co Ltd | 表面欠陥検査装置 |
JPH11148810A (ja) * | 1997-09-09 | 1999-06-02 | Ckd Corp | 形状計測装置 |
JP2009036631A (ja) * | 2007-08-01 | 2009-02-19 | Omron Corp | 三次元形状計測装置、および当該三次元形状計測装置の製造方法 |
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2009
- 2009-03-10 JP JP2009056756A patent/JP2010210410A/ja active Pending
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08285559A (ja) * | 1995-04-17 | 1996-11-01 | Nissan Motor Co Ltd | 表面欠陥検査装置 |
JPH11148810A (ja) * | 1997-09-09 | 1999-06-02 | Ckd Corp | 形状計測装置 |
JP2009036631A (ja) * | 2007-08-01 | 2009-02-19 | Omron Corp | 三次元形状計測装置、および当該三次元形状計測装置の製造方法 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011064482A (ja) * | 2009-09-15 | 2011-03-31 | Kurabo Ind Ltd | 高速三次元計測装置及び高速三次元計測方法 |
JP2014006133A (ja) * | 2012-06-22 | 2014-01-16 | Fujitsu Ltd | 表面欠陥検査装置および表面欠陥検査方法 |
CN109551472A (zh) * | 2017-09-27 | 2019-04-02 | 精工爱普生株式会社 | 机器人*** |
JP2019058993A (ja) * | 2017-09-27 | 2019-04-18 | セイコーエプソン株式会社 | ロボットシステム |
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