JP2010204590A - 感光性樹脂組成物及びこれを用いた回路配線基板 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】感光性樹脂組成物は、(A)シロキサン含有ポリアミド酸樹脂、(B)二官能の(メタ)アクリレート及び(C)光重合開始剤を含有する。(A)成分は、芳香族テトラカルボン酸無水物を含む酸無水物成分と、シロキサンジアミンを含むジアミン成分とを反応させて得られるシロキサン変性率が85〜100%の範囲内のシロキサン含有ポリアミド酸樹脂であり、(A)成分100重量部に対し、(B)成分を5〜60重量部、(C)成分を0.5〜20重量部含有する。さらに、(D)有機ホスフィン酸の金属塩を20〜40重量部含有することにより、難燃性を持たせることができる。
【選択図】なし
Description
(A)シロキサン含有ポリアミド酸樹脂、
(B)二官能の(メタ)アクリレート、及び
(C)光重合開始剤
を含有する感光性樹脂組成物であって、
(A)成分は、芳香族テトラカルボン酸無水物を含む酸無水物成分と、シロキサンジアミンを含むジアミン成分とを反応させて得られるシロキサン変性率が85〜100%の範囲内のシロキサン含有ポリアミド酸樹脂であり、(A)成分100重量部に対し、(B)成分を5〜60重量部、(C)成分を0.5〜20重量部含有することを特徴とする。
(A)シロキサン含有ポリアミド酸樹脂、
(B)二官能の(メタ)アクリレート、
(C)光重合開始剤、及び
(D)有機ホスフィン酸の金属塩
を含有する難燃性感光性樹脂組成物であって、
(A)成分は、芳香族テトラカルボン酸無水物を含む酸無水物成分と、シロキサンジアミンを含むジアミン成分とを反応させて得られるシロキサン変性率が85〜100%の範囲内のシロキサン含有ポリアミド酸樹脂であり、(A)成分100重量部に対し、(B)成分を5〜60重量部、(C)成分を0.5〜20重量部、(D)成分を20〜40重量部含有することを特徴とする。
本発明の感光性樹脂組成物(又は難燃性感光性樹脂組成物)は、公知の方法に従って使用することができるが、回路配線基板に適用する場合には、スクリーン印刷機やコーターを用いて回路配線基板に5〜100μmの厚さ、好ましくは10〜40μmの厚さで直接塗工することが可能である。塗工された組成物は、50〜120℃の温度で適度に予備乾燥し、その後、所定のマスクパターンを形成したフォトマスクを用いて選択的に露光し、アルカリ水溶液にて現像することにより未露光部を除去し、例えば120〜200℃の温度で20〜120分間熱処理を行うことにより、残存した露光部を硬化させ、パターニングされたネガ型の絶縁被膜とすることが可能である。本発明の感光性樹脂組成物を光重合させる際の光の波長は、例えば200〜400nmの範囲内であり、特に300〜400nmの範囲内の波長の光を用いることが好ましい。
本発明の感光性樹脂組成物は、予め離型処理されたPETフィルム等の基材に、例えば5〜100μmの厚さ、好ましくは10〜50μmの厚さで感光性樹脂組成物の溶液を塗工し、50〜210℃、好ましくは80〜140℃で仮乾燥を行うことによって、フィルム状感光性樹脂組成物とすることが可能である。なお、フィルム状感光性樹脂組成物を回路配線基板に適用する場合には、ラミネーターを用い、配線基板に熱圧着する方法が一般的であり、その場合のラミネート温度は20〜100℃の温度範囲が好ましい。
光硬化性の評価は、以下の方法で行った。感光性樹脂組成物を乾燥後の膜厚が25μmとなるように基材上にキャストし、評価用マスクを用いて露光機(株式会社ハイテック製、高圧水銀灯)を用いて365nmの波長の光で露光した。現像は1%炭酸ナトリウム水溶液を用いて、30℃、40〜200秒で行い、高圧リンスにて洗浄を行った。露光量が500mJ以下で、膜減りすることなく、径500μmのビアホールが解像できた場合を「良」とし、できなかったものを「不可」とした。
アルカリ現像液溶解性の評価は、以下の方法で行った。感光性樹脂組成物を乾燥後の膜厚が25μmとなるように基材上にキャストし、1%炭酸ナトリウム水溶液を用いて30℃で処理した後、高圧リンスにて洗浄を行い、感光性樹脂層が300秒以内に完全に溶解した場合を「良」とし、できなかったものを「不可」とした。
タック性の評価は、以下の方法で行った。感光性樹脂組成物を乾燥後の膜厚が25μmとなるように基材上にキャストしたものについて、表面にべたつきがないものを「良」、べたつきがあるものを「不可」とした。
難燃性の評価は、以下の方法で行った。銅箔の厚さが12μm、ポリイミド樹脂層の厚さが25μmのフレキシブル基板(新日鐵化学株式会社製;商品名エスパネックス)の銅箔をエッチングして除去した。残ったポリイミドフィルムに、厚さ25μmの感光性樹脂フィルム(感光性樹脂組成物をフィルム状に塗布、乾燥させたもの)を真空ラミネートで貼り合わせ、50mm×200mmの短冊状にカットした積層フィルムを試験片とした。この試験片を用いて、UL−94規格(米国Underwriters Laboratories, Inc)に基づく燃焼試験による難燃性の度合のレベルによって評価した。試験に合格し、かつ、最初の接炎後の燃焼時間が3秒以内のものを「良」、4秒以上10秒以下で試験自体には合格なものを「可」、試験に不合格なものを「不可」とした。
引張り伸度の評価は、以下の方法で行った。25μmのフィルム状感光性樹脂組成物に100mJの光をあて、160℃で1時間硬化させたものを幅12.7mm、長さ60mmにカットして試験片とした。この試験片を引張試験器(RTA―250)を用いて、チャック間距離40mmにて、荷重25N、速度5.0mm/分の条件で長さ方向に引張り、測定をおこなった。元のチャック間距離を基準にし、破断するまで伸長した距離の割合を伸度とし、10%未満を「不可」、10〜20%を「可」、20%以上を「良」とした。
反りの評価は、以下の方法で行った。銅箔の厚さが12μm、ポリイミド樹脂層の厚さが25μmのフレキシブル基板(新日鐵化学株式会社製;商品名エスパネックス)の銅箔をエッチングして除去した。残ったポリイミドフィルムに、厚さ25μmの感光性樹脂フィルム(フィルム状の感光性樹脂組成物)を真空ラミネートで貼り合わせ、50mm×50mmの正方形にカットした積層フィルムとした。この積層フィルムの感光性樹脂層を160℃で1時間かけて硬化させ、さらにIR(赤外線式)リフロー炉(最高温度:260℃、最高温度保持時間:10秒)を通過させた。その後、平らな板上に試験片のポリイミドフィルムが下面になるように置き、フィルムの4隅の反り上がっている高さの平均を測定し、5mm以下を「良」、5mmを超える場合を「不可」とした。
耐酸性の評価は、以下の方法で行った。銅箔の厚さが12μm、ポリイミド樹脂層の厚さが25μmのフレキシブル基板(新日鐵化学株式会社製;商品名エスパネックス)に、厚さ25μmの感光性樹脂フィルム(フィルム状の感光性樹脂組成物)を真空ラミネートで貼り合わせ、20mm×20mmの正方形にカットした積層フィルムとした。この積層フィルムの感光性樹脂層を160℃で1時間かけて硬化させ、試験片とした。この試験片を、2N塩酸水溶液中に、試験片の硬化樹脂層が下面になるように15分間浮かべた後、硬化樹脂層の表面を目視で観察し、荒れや剥がれがない場合を「良」、荒れや剥がれがある場合を「不可」とした。
耐アルカリ性の評価は、以下の方法で行った。銅箔の厚さが12μm、ポリイミド樹脂層の厚さが25μmのフレキシブル基板(新日鐵化学株式会社製;商品名エスパネックス)に、厚さ25μmの感光性樹脂フィルム(フィルム状の感光性樹脂組成物)を真空ラミネートで貼り合わせ、20mm×20mmの正方形にカットした積層フィルムとした。この積層フィルムの感光性樹脂層を160℃で1時間かけて硬化させ、試験片とした。この試験片を2N水酸化ナトリウム水溶液中に、硬化樹脂層が下面になるように15分間浮かべた後、硬化樹脂層の表面を目視で観察し、荒れや剥がれがない場合を「良」、荒れや剥がれがある場合を「不可」とした。
窒素注入管を装備した反応器中で、式(2)のR6が単結合、パラ位にアミノ基が位置し、メタ位にビニル基が位置するジアミン{2,2’−ジビニル−4,4’−ジアミノ-ビフェニル(VAB)}の7.1g(0.03モル)を368.4gのN−メチルピロリドン(NMP)に溶解し、式(1)における、R1〜R4がCH3、R5がC3H6で、nが7〜8、アミン等量415のシロキサンジアミン(信越化学社製:KF−8010)を255.2g(0.303モル)加えて攪拌した後、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物(BPDA)の19.7g(0.067モル)、ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物(BTDA)の86.4g(0.267モル)およびN−メチルピロリドンの164.9gをこの順に加え、窒素雰囲気下室温中で5時間攪拌することによって目的であるシロキサン含有ポリアミド酸樹脂1の溶液を得た。このシロキサン含有ポリアミド酸樹脂1のNMP溶液(樹脂濃度:40.0重量%)の25℃における粘度を、E型粘度計を用いて測定したところ6,800cPa・sであった。なお、シロキサン含有ポリアミド酸樹脂1のシロキサン変性率は91%である。
窒素注入管を装備した反応器中で、VABの3.0g(0.013モル)を202.3g のNMPに溶解し、式(1)における、R1〜R4がCH3、R5がC3H6で、nが7〜8、アミン等量415のシロキサンジアミン(信越化学社製:KF−8010)を141.7g(0.17モル)加えて攪拌した後、BPDAの10.7g(0.036モル)、BTDAの46.9g(0.145モル)およびNMPの101.2gをこの順に加え、窒素雰囲気下室温中で5時間攪拌することによって目的であるシロキサン含有ポリアミド酸樹脂2の溶液を得た。このシロキサン含有ポリアミド酸樹脂2のNMP溶液(樹脂濃度:40.0重量%)の25℃における粘度を、E型粘度計を用いて測定したところ5,600cPa・sであった。なお、シロキサン含有ポリアミド酸樹脂2のシロキサン変性率は93%である。
窒素注入管を装備した反応器中で、VABの1.2g(0.005モル)を290.9g のNMPに溶解し、式(1)における、R1〜R4がCH3、R5がC3H6で、nが7〜8、アミン等量415のシロキサンジアミン(信越化学社製:KF−8010)を209.0g(0.249モル)加えて攪拌した後、BPDAの15.0g(0.051モル)、BTDAの65.7g(0.20モル)およびNMPの145.4gをこの順に加え、窒素雰囲気下室温中で5時間攪拌することによって目的であるシロキサン含有ポリアミド酸樹脂3の溶液を得た。このシロキサン含有ポリアミド酸樹脂3のNMP溶液(樹脂濃度:40.0重量%)の25℃における粘度を、E型粘度計を用いて測定したところ4,500cPa・sであった。なお、シロキサン含有ポリアミド酸樹脂3のシロキサン変性率は98%である。
窒素注入管を装備した反応器中で、286.4gのNMPに、式(1)における、R1〜R4がCH3、R5がC3H6で、nが7〜8、アミン等量415のシロキサンジアミン(信越化学社製:KF−8010)を207.5g(0.247モル)加えて攪拌した後、BPDAの14.6g(0.049モル)、BTDAの64.3g(0.198モル)およびNMPの143.2gをこの順に加え、窒素雰囲気下室温中で5時間攪拌することによって目的であるシロキサン含有ポリアミド酸樹脂4の溶液を得た。このシロキサン含有ポリアミド酸樹脂4のNMP溶液(樹脂濃度:40.0重量%)の25℃における粘度を、E型粘度計を用いて測定したところ3,900cPa・sであった。なお、シロキサン含有ポリアミド酸樹脂4のシロキサン変性率は100%である。
窒素注入管を装備した反応器中で、VABの7.1g(0.030モル)を155.8gのNMPに溶解し、式(1)における、R1〜R4がCH3、R5がC3H6で、nが7〜8、アミン等量415のシロキサンジアミン(信越化学社製:KF−8010)を99.6g(0.120モル)加えて攪拌した後、BPDAの8.9g(0.030モル)、BTDAの38.9g(0.120モル)およびNMPの77.9gをこの順に加え、窒素雰囲気下室温中で5時間攪拌することによって目的であるシロキサン含有ポリアミド酸樹脂5の溶液を得た。このシロキサン含有ポリアミド酸樹脂5のNMP溶液(樹脂濃度:40.0重量%)の25℃における粘度を、E型粘度計を用いて測定したところ7,600cPa・sであった。なお、シロキサン含有ポリアミド酸樹脂5のシロキサン変性率は80%である。
合成例1で得られたシロキサン含有ポリアミド酸樹脂1の溶液(シロキサン含有ポリアミド酸樹脂として100重量部。以下、同じ)に対して、ビスフェノールAのエチレンオキサイド平均4モル付加物のジアクリレート(日本化薬株式会社製、商品名:R−551)20重量部、ペンタエリスリトールトリアクリレート(日本化薬株式会社製、商品名:PET−30)10重量部、光重合開始剤(Ciba Specialty Chemicals Inc.製、商品名:OXE−02)1重量部を配合し、ワニス状の感光性樹脂組成物を得た。これを予め離型処理されたPETフィルム上に塗工し、120℃で8分間乾燥させることで、フィルム状感光性樹脂組成物とした。この感光性樹脂組成物の配合割合と特性の評価結果を表1に示す。
実施例1において、ビスフェノールAのエチレンオキサイド平均4モル付加物のジアクリレート(R−551)20重量部配合の代わりに、カプロラクトン変性ヒドロキシピバリン酸エステルネオペンチルグリコールジアクリレート(日本化薬株式会社製、商品名:HX−620)20重量部配合したこと以外は実施例1と同様にして、ワニス状の感光性樹脂組成物を得、フィルム状の感光性樹脂組成物とした。この感光性樹脂組成物の配合割合と特性の評価結果を表1に示す。
実施例1において、ビスフェノールAのエチレンオキサイド平均4モル付加物のジアクリレート(R−551)20重量部配合の代わりに、ネオペンチルグリコールジアクリレート(日本化薬株式会社製、商品名:NPGDA)20重量部配合したこと以外は実施例1と同様にして、ワニス状の感光性樹脂組成物を得、フィルム状の感光性樹脂組成物とした。この感光性樹脂組成物の配合割合と特性の評価結果を表1に示す。
実施例1において、ビスフェノールAのエチレンオキサイド平均4モル付加物のジアクリレート(R−551)20重量部配合の代わりに、1,6−ヘキサンジオールジグリシジルエーテルジアクリレート(日本化薬株式会社製、商品名:KAYARAD R−167)20重量部配合したこと以外は実施例1と同様にして、ワニス状の感光性樹脂組成物を得、フィルム状の感光性樹脂組成物とした。この感光性樹脂組成物の配合割合と特性の評価結果を表1に示す。
実施例1において、シロキサン含有ポリアミド酸樹脂1の溶液の代わりに、合成例2で得られたシロキサン含有ポリアミド酸樹脂2の溶液を使用したこと以外は実施例1と同様にして、ワニス状の感光性樹脂組成物を得、フィルム状の感光性樹脂組成物とした。この感光性樹脂組成物の配合割合と特性の評価結果を表1に示す。
実施例1において、シロキサン含有ポリアミド酸樹脂1の溶液の代わりに、合成例2で得られたシロキサン含有ポリアミド酸樹脂2の溶液を使用したこと、及びビスフェノールAのエチレンオキサイド平均4モル付加物のジアクリレート(R−551)20重量部配合の代わりに、1,6−ヘキサンジオールジグリシジルエーテルジアクリレート(R−167)20重量部配合したこと以外は実施例1と同様にして、ワニス状の感光性樹脂組成物を得、フィルム状の感光性樹脂組成物とした。この感光性樹脂組成物の配合割合と特性の評価結果を表1に示す。
実施例1において、シロキサン含有ポリアミド酸樹脂1の溶液の代わりに、合成例3で得られたシロキサン含有ポリアミド酸樹脂3の溶液を使用したこと以外は実施例1と同様にして、ワニス状の感光性樹脂組成物を得、フィルム状の感光性樹脂組成物とした。この感光性樹脂組成物の配合割合と特性の評価結果を表2に示す。
実施例1において、シロキサン含有ポリアミド酸樹脂1の溶液の代わりに、合成例3で得られたシロキサン含有ポリアミド酸樹脂3の溶液を使用したこと、及びビスフェノールAのエチレンオキサイド平均4モル付加物のジアクリレート(R−551)20重量部配合の代わりに、1,6−ヘキサンジオールジグリシジルエーテルジアクリレート(R−167)20重量部配合したこと以外は実施例1と同様にして、ワニス状の感光性樹脂組成物を得、フィルム状の感光性樹脂組成物とした。この感光性樹脂組成物の配合割合と特性の評価結果を表2に示す。
実施例1において、シロキサン含有ポリアミド酸樹脂1の溶液の代わりに、合成例4で得られたシロキサン含有ポリアミド酸樹脂4の溶液を使用したこと以外は実施例1と同様にして、ワニス状の感光性樹脂組成物を得、フィルム状の感光性樹脂組成物とした。この感光性樹脂組成物の配合割合と特性の評価結果を表2に示す。
実施例1において、シロキサン含有ポリアミド酸樹脂1の溶液の代わりに、合成例4で得られたシロキサン含有ポリアミド酸樹脂4の溶液を使用したこと、及びビスフェノールAのエチレンオキサイド平均4モル付加物のジアクリレート(R−551)20重量部配合の代わりに、1,6−ヘキサンジオールジグリシジルエーテルジアクリレート(R−167)20重量部配合したこと以外は実施例1と同様にして、ワニス状の感光性樹脂組成物を得、フィルム状の感光性樹脂組成物とした。この感光性樹脂組成物の配合割合と特性の評価結果を表2に示す。
実施例1において、ビスフェノールAのエチレンオキサイド平均4モル付加物のジアクリレート(R−551)20重量部配合の代わりに、1,6−ヘキサンジオールジグリシジルエーテルジアクリレート(R−167)15重量部配合したこと、及びペンタエリスリトールトリアクリレート(PET−30)10重量部配合の代わりに、ペンタエリスリトールトリアクリレート(PET−30)15重量部配合したこと以外は実施例1と同様にして、ワニス状の感光性樹脂組成物を得、フィルム状の感光性樹脂組成物とした。この感光性樹脂組成物の配合割合と特性の評価結果を表2に示す。
実施例1において、ビスフェノールAのエチレンオキサイド平均4モル付加物のジアクリレート(R−551)20重量部配合の代わりに、1,6−ヘキサンジオールジグリシジルエーテルジアクリレート(R−167)10重量部配合したこと、及びペンタエリスリトールトリアクリレート(PET−30)10重量部配合の代わりに、ペンタエリスリトールトリアクリレート(PET−30)20重量部配合したこと以外は実施例1と同様にして、ワニス状の感光性樹脂組成物を得、フィルム状の感光性樹脂組成物とした。この感光性樹脂組成物の配合割合と特性の評価結果を表2に示す。
合成例1で得られたシロキサン含有ポリアミド酸樹脂1の溶液(シロキサン含有ポリアミド酸樹脂として100重量部)に対して、ビスフェノールAのエチレンオキサイド平均4モル付加物のジアクリレート(日本化薬株式会社製、商品名:R−551)20重量部、ペンタエリスリトールトリアクリレート(日本化薬株式会社製、商品名:PET−30)10重量部、光重合開始剤(Ciba Specialty Chemicals Inc.製、商品名:OXE−02)1重量部、イントメッセント系難燃剤(ADEKA社製、商品名:アデカスタブFP−2100)40重量部を配合し、ワニス状の感光性樹脂組成物を得た。これを予め離型処理されたPETフィルム上に塗工し、120℃で8分間乾燥させることで、フィルム状感光性樹脂組成物とした。この感光性樹脂組成物の配合割合と特性の評価結果を表3に示す。
実施例13において、ビスフェノールAのエチレンオキサイド平均4モル付加物のジアクリレート(R−551)20重量部配合の代わりに、1,6−ヘキサンジオールジグリシジルエーテルジアクリレート(日本化薬株式会社製、商品名:KAYARAD R−167)20重量部配合したこと以外は実施例13と同様にして、ワニス状の感光性樹脂組成物を得、フィルム状の感光性樹脂組成物とした。この感光性樹脂組成物の配合割合と特性の評価結果を表3に示す。
実施例13において、イントメッセント系難燃剤(FP−2100)40重量部配合の代わりに、ホスフィン酸のアルミニウム塩(クラリアントジャパン株式会社製、商品名:エクソリットOP935、ジエチルホスフィン酸アルミニウム、リン含有量23%、平均粒径2μm)30重量部配合したこと以外は実施例13と同様にして、ワニス状の感光性樹脂組成物を得、フィルム状の感光性樹脂組成物とした。この感光性樹脂組成物の配合割合と特性の評価結果を表3に示す。
実施例13において、ビスフェノールAのエチレンオキサイド平均4モル付加物のジアクリレート(R−551)20重量部配合の代わりに、1,6−ヘキサンジオールジグリシジルエーテルジアクリレート(R−167)20重量部配合したこと、及びイントメッセント系難燃剤(FP−2100)40重量部配合の代わりに、ホスフィン酸のアルミニウム塩(OP935)30重量部配合したこと以外は実施例1と同様にして、ワニス状の感光性樹脂組成物を得、フィルム状の感光性樹脂組成物とした。この感光性樹脂組成物の配合割合と特性の評価結果を表3に示す。
実施例1において、シロキサン含有ポリアミド酸樹脂1の溶液の代わりに、合成例5で得られたシロキサン含有ポリアミド酸樹脂5の溶液を使用したこと以外は実施例1と同様にして、ワニス状の感光性樹脂組成物を得、フィルム状の感光性樹脂組成物とした。この感光性樹脂組成物の配合割合と特性の評価結果を表4に示す。
実施例1において、ビスフェノールAのエチレンオキサイド平均4モル付加物のジアクリレート(R−551)を使用しなかったこと、及びペンタエリスリトールトリアクリレート(PET−30)10重量部配合の代わりに、ペンタエリスリトールトリアクリレート(PET−30)30重量部配合したこと以外は実施例1と同様にして、ワニス状の感光性樹脂組成物を得、フィルム状の感光性樹脂組成物とした。この感光性樹脂組成物の配合割合と特性の評価結果を表4に示す。
合成例5で得られたシロキサン含有ポリアミド酸樹脂5の溶液(シロキサン含有ポリアミド酸樹脂として100重量部。以下、同じ)に対して、ペンタエリスリトールトリアクリレート(PET−30)30重量部、光重合開始剤(OXE−02)1重量部、ホスフィン酸のアルミニウム塩(OP935)30重量部配合し、ワニス状の感光性樹脂組成物を得た。これを予め離型処理されたPETフィルム上に塗工し、120℃で8分間乾燥させることで、フィルム状感光性樹脂組成物とした。この感光性樹脂組成物の配合割合と特性の評価結果を表4に示す。
Claims (12)
- 下記成分(A)〜(C)、
(A)シロキサン含有ポリアミド酸樹脂、
(B)二官能の(メタ)アクリレート、及び
(C)光重合開始剤
を含有する感光性樹脂組成物であって、
(A)成分は、芳香族テトラカルボン酸無水物を含む酸無水物成分と、シロキサンジアミンを含むジアミン成分とを反応させて得られるシロキサン変性率が85〜100%の範囲内のシロキサン含有ポリアミド酸樹脂であり、(A)成分100重量部に対し、(B)成分を5〜60重量部、(C)成分を0.5〜20重量部含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。 - (A)成分の原料であるジアミン成分が、シロキサンジアミンと、ラジカル重合性の不飽和結合を有する芳香族ジアミンと、を含有し、全ジアミン成分100モルに対し、シロキサンジアミンを85〜95モル含有するものであることを特徴とする請求項1に記載の感光性樹脂組成物。
- (B)成分が、水酸基を有する二官能の(メタ)アクリレートであることを特徴とする請求項2に記載の感光性樹脂組成物。
- 請求項1〜3のいずれかに記載の感光性樹脂組成物を、溶剤に溶解してなるワニス状の感光性樹脂組成物。
- 請求項4に記載のワニス状の感光性樹脂組成物を、基材フィルム上に塗布、乾燥してなるフィルム状の感光性樹脂組成物。
- 請求項1〜3のいずれかに記載の感光性樹脂組成物を、パターニングされた導体層を有する回路配線基板上に被膜として形成した後、露光、現像、硬化してネガ型の絶縁被膜を形成してなる回路配線基板。
- 下記成分(A)〜(D)、
(A)シロキサン含有ポリアミド酸樹脂、
(B)二官能の(メタ)アクリレート、
(C)光重合開始剤、及び
(D)有機ホスフィン酸の金属塩
を含有する難燃性感光性樹脂組成物であって、
(A)成分は、芳香族テトラカルボン酸無水物を含む酸無水物成分と、シロキサンジアミンを含むジアミン成分とを反応させて得られるシロキサン変性率が85〜100%の範囲内のシロキサン含有ポリアミド酸樹脂であり、(A)成分100重量部に対し、(B)成分を5〜60重量部、(C)成分を0.5〜20重量部、(D)成分を20〜40重量部含有することを特徴とする難燃性感光性樹脂組成物。 - (A)成分の原料であるジアミン成分が、シロキサンジアミンと、ラジカル重合性の不飽和結合を有する芳香族ジアミンと、を含有し、全ジアミン成分100モルに対し、シロキサンジアミンを85〜95モル含有するものであることを特徴とする請求項7に記載の難燃性感光性樹脂組成物。
- (B)成分が、水酸基を有する二官能の(メタ)アクリレートであることを特徴とする請求項8に記載の難燃性感光性樹脂組成物。
- 請求項7〜9のいずれかに記載の難燃性感光性樹脂組成物を、溶剤に溶解してなるワニス状の難燃性感光性樹脂組成物。
- 請求項10に記載のワニス状の難燃性感光性樹脂組成物を、基材フィルム上に塗布、乾燥してなるフィルム状の難燃性感光性樹脂組成物。
- 請求項7〜9のいずれかに記載の難燃性感光性樹脂組成物を、パターニングされた導体層を有する回路配線基板上に被膜として形成した後、露光、現像、硬化してネガ型の絶縁被膜を形成してなる回路配線基板。
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