JP2010194672A - 被加工物の研削方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】半導体ウェーハ等の被加工物の研削時における研削砥石のドレッシングを不要として研削の生産性をより向上させる。
【解決手段】研削液供給手段22から研削砥石213bに研削液を供給しながらチャックテーブル20に保持された被加工物に対して研削砥石213bを作用させて研削を行う被加工物の研削方法において、研削砥石213bは、ダイヤモンド砥粒をビトリファイドボンドで固めたビトリファイド砥石とし、研削液供給手段22から供給される研削液は、ビトリファイドボンドを浸食して研削砥石の自生発刃作用を促進する二酸化珪素溶融液とする。
【選択図】図2
【解決手段】研削液供給手段22から研削砥石213bに研削液を供給しながらチャックテーブル20に保持された被加工物に対して研削砥石213bを作用させて研削を行う被加工物の研削方法において、研削砥石213bは、ダイヤモンド砥粒をビトリファイドボンドで固めたビトリファイド砥石とし、研削液供給手段22から供給される研削液は、ビトリファイドボンドを浸食して研削砥石の自生発刃作用を促進する二酸化珪素溶融液とする。
【選択図】図2
Description
本発明は、半導体ウェーハ等の被加工物の面を研削する方法に関するものである。
半導体ウェーハ等の被加工物の面を研削する場合においては、粗研削、仕上げ研削という2段階の研削が行われている。
粗研削用には、粒径が比較的大きい砥粒がビトリファイドボンドによって結合されて構成され、砥粒保持力が高く研削能力が高いビトリファイド砥石が用いられている。一方、仕上げ研削用には、粒径が比較的小さい砥粒がレジンボンドによって結合され、砥粒保持力が比較的弱く被加工物に対する当たりが柔軟なレジンボンド砥石が用いられている。
ところが、レジンボンド砥石で仕上げ研削を行うと、砥粒がレジンボンド内に押し込まれるため、頻繁にドレッシング(目立て)をしなければならず、生産性が低いという問題がある。そこで、仕上げ研削用砥石のボンド剤としてビトリファイドボンドを使用し、ビトリファイドボンドに微細な気孔を備えることにより、ビトリファイドボンドを使用しつつも被加工物に対する当たりをソフトとした仕上げ研削用砥石が提案されている(例えば特許文献1参照)。
しかし、気孔を備えたビトリファイドボンド砥石を使用すると、ドレッシングの回数を低減することはできるものの、定期的にドレッシングを行わなければならないことに変わりはなく、依然として生産性改善の余地がある。
そこで、本発明が解決しようとする課題は、研削砥石のドレッシングを不要として研削の生産性をより向上させることである。
本発明は、被加工物を保持するチャックテーブルと、チャックテーブルに保持された被加工物を研削する研削砥石を備えた研削手段と、研削砥石に研削液を供給する研削液供給手段とを少なくとも備えた研削装置を用い、研削液供給手段から研削砥石に研削液を供給しながらチャックテーブルに保持された被加工物に対して研削砥石を作用させて研削を行う被加工物の研削方法に関するもので、研削砥石は、ダイヤモンド砥粒をビトリファイドボンドで固めたビトリファイド砥石であり、研削液供給手段から供給される研削液は、ビトリファイドボンドを浸食して研削砥石の自生発刃作用を促進する二酸化珪素溶融液であることを特徴とする。
二酸化珪素溶融液としては、例えば、希フッ酸または水酸化アルカリ溶液を使用することができる。
本発明では、希フッ酸、KOH、NaOH等の二酸化珪素溶融液を研削液として使用することにより、研削液が、研削砥石の結合剤であるビトリファイドボンドを浸食して自生発刃作用を促進するため、実質的にドレッシングが不要となり、生産性が向上する。
図1に示すウェーハWの表面W1には、ストリートSに区画されて複数のデバイスDが形成されており、このウェーハWの裏面W2を研削して所望の厚さとした後に、ストリートSを切断することにより、個々のデバイスDに分割される。
図1に示すように、表面W1にはデバイスDを保護するための保護部材1が貼着される。そして、例えば図2に示す研削装置2を使用して裏面W2の研削を行う。
研削装置2は、ウェーハWを保持して回転及び水平方向に移動可能なチャックテーブル20と、チャックテーブル20に保持された被加工物を研削する研削手段21と、研削手段21に研削液を供給する研削液供給手段22と、研削手段21を垂直方向に研削送りする研削送り手段23とを備えている。
研削手段21は、垂直方向の軸心を有するスピンドル210と、スピンドル210を回転駆動するモータ211と、スピンドル210の下端に形成されたホイールマウント212と、ホイールマウント212に装着された研削ホイール213とから構成される。
研削手段21のスピンドル210には、研削液供給手段22が連結されている。研削液供給手段22は、研削液を貯留する供給源220と、研削液の流量を調整するバルブ221とから構成される。供給源220に貯留される研削液は、二酸化珪素溶融液、例えば、pHが5〜6の希フッ酸(弗化水素酸)や、pH10〜12のKOH、NaOH等の水酸化アルカリ溶液である。
研削送り手段23は、垂直方向の軸心を有するボールネジ230と、ボールネジ230と平行に配設された一対のガイドレール231と、ボールネジ230に連結されボールネジ230を回転駆動するパルスモータ232と、内部のナットがボールネジ230に螺合すると共に側部がガイドレール231に摺接し研削手段21を支持して昇降する昇降部233とから構成される。研削送り手段23は、パルスモータ232がボールネジ230を回転駆動し、これに伴い昇降部233がガイドレール231にガイドされて昇降することにより、研削手段21を昇降させることができる。
図3に示すように、研削ホイール213は、リング状の基台213aと、基台213aの下面に固着された複数の研削砥石213bとから構成され、基台213aには、図4に示すように、垂直方向に貫通する研削液流通孔213cが複数形成されている。研削砥石213bは、ダイヤモンド砥粒をビトリファイドボンドで固めたビトリファイド砥石であり、ダイヤモンド砥粒を保持する力が強く、研削能力が高い。このビトリファイド砥石は、例えば、二酸化珪素を93%、酸化カリウムを7%の割合で混合させたガラス質のビトリファイドボンドを結合材としてダイヤモンド砥粒と結合させ、高温焼成することにより形成される。
図4に示すように、研削液流通孔213cにおける研削液の出口部においては、研削砥石213bに向けて傾斜する斜面213dが形成されており、研削液流通孔213cから流出した研削液が、斜面213dに沿って研削砥石213bに導かれる構成となっている。
表面W1に保護部材1が貼着されたウェーハWは、図5に示すように、保護部材1側が研削装置2のチャックテーブル20に保持され、裏面W2が露出した状態となる。そして、チャックテーブル20の水平方向の移動によりウェーハWが研削ホイール213の下方に移動した後、チャックテーブル20を例えば300RPMの回転速度で回転させてウェーハWを回転させる。そして、スピンドル20を例えば6000RPMの回転速度で回転させ、その回転に伴い研削砥石213bが回転した状態で、研削手段21を例えば1μm/sの送り速度で下降させ、回転する研削砥石213bをウェーハWの裏面W2に接触させることにより、裏面W2を研削する。
研削時は、研削砥石213bの回転軌跡が常にウェーハWの回転中心を通るようにする。そうすると、図6に示すように、ウェーハWの中心から外周に向けて研削痕W3が形成され、裏面W2を均一な面に加工することができる。
このようにして行う研削中は、図7に示すように、研削液供給手段22からスピンドル内部及び図4に示した研削液流通孔213cを通じて研削砥石213bに対して、常に研削液3が供給され、研削砥石213bとウェーハWの裏面W2との接触部位が冷却される。
この研削液3は、二酸化珪素溶融液であるため、研削砥石213bとウェーハWの裏面W2との接触部位を冷却するだけでなく、ビトリファイドボンドを浸食する作用も有している。そして、ビトリファイドボンドが浸食されることにより、研削砥石213bの自生発刃作用が促進されるため、研削を続けても研削砥石213bの研削能力が低下しない。したがって、ドレッシングが不要となり研削の生産性が向上する。
W:ウェーハ
W1:表面 S:ストリート D:デバイス
W2:裏面
W3:研削痕
1:保護部材
2:研削装置
20:チャックテーブル
21:研削手段
210:スピンドル 211:モータ 212:ホイールマウント
213:研削ホイール
213a:基台 213b:研削砥石 213c:研削液流通孔 213d:斜面
22:研削液供給手段
220:供給源 221:バルブ
23:研削送り手段
230:ボールネジ 231:ガイドレール 232:パルスモータ 233:昇降部
3:研削液
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Claims (2)
- 被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を研削する研削砥石を備えた研削手段と、該研削砥石に研削液を供給する研削液供給手段とを少なくとも備えた研削装置を用い、該研削液供給手段から該研削砥石に研削液を供給しながら該チャックテーブルに保持された被加工物に対して該研削砥石を作用させて研削を行う被加工物の研削方法であって、
該研削砥石は、ダイヤモンド砥粒をビトリファイドボンドで固めたビトリファイド砥石であり、
該研削液供給手段から供給される研削液は、該ビトリファイドボンドを浸食して該研削砥石の自生発刃作用を促進する二酸化珪素溶融液である
被加工物の研削方法。 - 前記二酸化珪素溶融液は、希フッ酸または水酸化アルカリ溶液である
請求項1に記載の被加工物の研削方法。
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JP2009042141A JP2010194672A (ja) | 2009-02-25 | 2009-02-25 | 被加工物の研削方法 |
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018062051A (ja) * | 2016-10-14 | 2018-04-19 | 株式会社ディスコ | 加工方法 |
US10809105B2 (en) | 2017-07-05 | 2020-10-20 | Disco Corporation | Measuring instrument and processing apparatus |
JP2021115645A (ja) * | 2020-01-23 | 2021-08-10 | 株式会社ミズホ | ビトリファイド超仕上げ砥石 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05285826A (ja) * | 1992-04-14 | 1993-11-02 | Nippon Steel Corp | 研削・研磨方法 |
JPH08257915A (ja) * | 1995-03-23 | 1996-10-08 | Honda Motor Co Ltd | ビトリファイド研削砥石の砥石片から超砥粒を回収する方法 |
JP2008221353A (ja) * | 2007-03-09 | 2008-09-25 | Ricoh Co Ltd | 研磨具及びその製造方法 |
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2009
- 2009-02-25 JP JP2009042141A patent/JP2010194672A/ja active Pending
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05285826A (ja) * | 1992-04-14 | 1993-11-02 | Nippon Steel Corp | 研削・研磨方法 |
JPH08257915A (ja) * | 1995-03-23 | 1996-10-08 | Honda Motor Co Ltd | ビトリファイド研削砥石の砥石片から超砥粒を回収する方法 |
JP2008221353A (ja) * | 2007-03-09 | 2008-09-25 | Ricoh Co Ltd | 研磨具及びその製造方法 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018062051A (ja) * | 2016-10-14 | 2018-04-19 | 株式会社ディスコ | 加工方法 |
US10809105B2 (en) | 2017-07-05 | 2020-10-20 | Disco Corporation | Measuring instrument and processing apparatus |
JP2021115645A (ja) * | 2020-01-23 | 2021-08-10 | 株式会社ミズホ | ビトリファイド超仕上げ砥石 |
JP7340254B2 (ja) | 2020-01-23 | 2023-09-07 | 株式会社ミズホ | ビトリファイド超仕上げ砥石 |
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