JP2010047444A - 石英ガラスの成形方法および成形装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】カーボン繊維を主な固形成分とする透気性シートからなる離型層27を加圧部材17、23と石英ガラス25との間に介在させた状態で、石英ガラス25の加熱加圧動作を行う。これにより、石英ガラス25の上面や底面に反応ガスが発生しても、その反応ガスを離型層27経由で排出することができる。その結果、石英ガラス25の上面や底面に凹みや泡が生じる事態を未然に防止することができる。
【選択図】図1
Description
[発明の実施の形態1]
[発明のその他の実施の形態]
11……真空チャンバー
12……断熱材
13……カーボンヒータ
15……モールド
16……底板
17……受板(加圧部材)
18……底部
20……側壁部
21……中空部
23……天板(加圧部材)
23a……加圧面
23b……押圧面
25……石英ガラス
26……シリンダロッド
26a……押圧部位
27……離型層
28……凹み
29……泡
Claims (10)
- モールド内において、石英ガラスを一対のカーボン製の加圧部材で挟み込んで加熱加圧することにより、当該石英ガラスを所望の形状に成形する石英ガラスの成形方法であって、
カーボン繊維を主な固形成分とする透気性シートを前記加圧部材と前記石英ガラスとの間に介在させた状態で、前記石英ガラスの加熱加圧動作を行うことを特徴とする石英ガラスの成形方法。 - カーボン製のモールド内に石英ガラスを収容して加熱加圧することにより、当該石英ガラスを所望の形状に成形する石英ガラスの成形方法であって、
前記モールドの内壁面に、カーボン繊維を主な固形成分とする透気性シートを貼り付け、前記モールド内に前記石英ガラスを収容して加熱加圧することを特徴とする石英ガラスの成形方法。 - 前記透気性シートとして、カーボン繊維を織り込んだカーボンクロスを用いることを特徴とする請求項1または2に記載の石英ガラスの成形方法。
- 前記カーボンクロスは、厚さが0.1mm〜1.0mmであることを特徴とする請求項3に記載の石英ガラスの成形方法。
- 前記カーボンクロスは、前記カーボン繊維の直径が3μm〜50μmであることを特徴とする請求項3または4に記載の石英ガラスの成形方法。
- 純化処理を行なった前記モールドを用意する純化工程を含むことを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載の石英ガラスの成形方法。
- 前記純化処理として、真空雰囲気中で前記モールド内を加熱することにより、当該モールド内の不純物を気化させて除去することを特徴とする請求項6に記載の石英ガラスの成形方法。
- 前記純化処理として、塩素含有ガス雰囲気中で前記モールド内を加熱することにより、当該モールド内の金属不純物を塩素と反応させて除去することを特徴とする請求項6に記載の石英ガラスの成形方法。
- モールド内において、石英ガラスを一対のカーボン製の加圧部材で挟み込んで加熱加圧することにより、当該石英ガラスを所望の形状に成形する石英ガラスの成形装置であって、
カーボン繊維を主な固形成分とする透気性シートが前記加圧部材の内壁面に設けられていることを特徴とする石英ガラスの成形装置。 - カーボン製のモールド内に石英ガラスを収容して加熱加圧することにより、当該石英ガラスを所望の形状に成形する石英ガラスの成形装置であって、
前記モールドの内壁面に、カーボン繊維を主な固形成分とする透気性シートが貼り付けられて離型層が形成されていることを特徴とする石英ガラスの成形装置。
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