JP2010034481A - 半導体装置の製造方法および半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体装置としてのMOSFETの製造方法は、炭化珪素からなるウェハ3を準備する工程と、ウェハ3を加熱することにより、活性化アニールを実施する活性化アニール工程とを備えている。そして、活性化アニール工程では、ウェハ3の主面に沿って、SiC基板61が配置された状態で、ウェハ3が加熱される。
【選択図】図10
Description
図1は、本発明の一実施の形態である実施の形態1における半導体装置としてのMOSFET(Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistor;酸化膜電界効果トランジスタ)の構成を示す概略断面図である。図1を参照して、実施の形態1におけるMOSFETについて説明する。
次に、本発明の他の実施の形態である実施の形態2における半導体装置の製造方法について説明する。図12は、実施の形態2の活性化アニール工程において実施される熱処理を説明するための概略図である。実施の形態2における半導体装置としてのMOSFETの製造方法は、基本的には実施の形態1の場合と同様に実施される。しかし、図2を参照して、工程(S60)として実施される活性化アニール工程において、実施の形態2は実施の形態1とは異なっている。
Claims (9)
- 少なくとも一方の主面が炭化珪素からなるウェハを準備する工程と、
前記ウェハを加熱することにより、前記ウェハを熱処理する工程とを備え、
前記ウェハを熱処理する工程では、前記一方の主面に沿って、表面が炭化珪素、炭化タンタル、炭化タングステンおよび炭素からなる群から選択される少なくともいずれか1つを含む昇華抑制部材が配置された状態で、前記ウェハが加熱される、半導体装置の製造方法。 - 前記ウェハを準備する工程よりも後であって、前記ウェハを熱処理する工程よりも前に、前記ウェハに対してイオン注入を行なう工程をさらに備えた、請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記ウェハを準備する工程よりも後であって、前記ウェハを熱処理する工程よりも前に、前記一方の主面上にキャップ層が形成される工程をさらに備えた、請求項1または2に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記ウェハを熱処理する工程では、前記ウェハが1700℃以上2000℃以下に加熱される、請求項1〜3のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記昇華抑制部材の厚みは0.5mm以上10mm以下である、請求項1〜4のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記ウェハを熱処理する工程では、前記昇華抑制部材は前記ウェハ上に載置される、請求項1〜5のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記ウェハを熱処理する工程では、前記昇華抑制部材は、前記ウェハを、間隔をおいて覆うように配置される、請求項1〜5のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記間隔は0.1mm以上5mm未満である、請求項7に記載の半導体装置の製造方法。
- 請求項1〜8のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法により製造された、半導体装置。
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