JP2010025843A - 圧力センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】シリコン基板11の一方の表面Saに、平坦な底面を有する凹部11tが形成され、圧力によって変形可能なダイヤフラム12が、凹部11tを蓋するようにして配置され、凹部11tとダイヤフラム12とで密閉空間Vcが形成され、密閉空間Vc内にガスが封入されてなり、凹部11tの底面側に、加熱素子Hと測温素子M1,M2とが配置され、シリコン基板11のもう一方の表面Sbに、加熱素子Hおよび測温素子M1,M2に接続する電極13が配置されてなり、ダイヤフラム12に印加される圧力を、加熱素子Hにより熱せられた前記ガスを媒体として、測温素子M1,M2の温度変化から検知する圧力センサ10とする。
【選択図】図1
Description
該電極やボンディングワイヤ6等を酸性や腐蝕性の圧力媒体
から保護するため、フッ素系ゲルからなる保護部材7を凹部3内に充填して保護している。
11 シリコン基板
11t 凹部
12 ダイヤフラム
Vc 密閉空間
H 加熱素子
M1〜M4 測温素子
13 電極
7 保護部材(ゲル)
110 圧力センサ装置
Claims (12)
- シリコン基板の一方の表面に、平坦な底面を有する凹部が形成され、
圧力によって変形可能なダイヤフラムが、前記凹部を蓋するようにして配置され、
前記凹部と前記ダイヤフラムとで密閉空間が形成され、前記密閉空間内にガスが封入されてなり、
前記凹部の底面側に、加熱素子と測温素子とが配置され、
前記シリコン基板のもう一方の表面に、前記加熱素子および前記測温素子に接続する電極が配置されてなり、
前記ダイヤフラムに印加される圧力を、前記加熱素子により熱せられた前記ガスを媒体として、前記測温素子の温度変化から検知することを特徴とする圧力センサ。 - 前記ダイヤフラムが、ポリイミドからなることを特徴とする請求項1に記載の圧力センサ。
- 前記ガスが、ヘリウムであることを特徴とする請求項1または2に記載の圧力センサ。
- 前記加熱素子が、前記シリコン基板に形成された不純物拡散領域からなることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の圧力センサ。
- 前記測温素子が、熱電対からなることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載の圧力センサ。
- 前記電極が、アルミニウムからなることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか一項に記載の圧力センサ。
- 前記圧力センサが、前記電極を除いて、ゲル中に封入されてなることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか一項に記載の圧力センサ。
- 前記測温素子が、前記凹部の底面側に、複数個配置されてなることを特徴とする請求項1乃至7のいずれか一項に記載の圧力センサ。
- 前記測温素子が、前記加熱素子に対して、対称的に配置されてなることを特徴とする請求項8に記載の圧力センサ。
- 前記圧力センサが、加速度検出にも用いられることを特徴とする請求項8または9に記載の圧力センサ。
- 前記圧力センサが、車載用であることを特徴とする請求項1乃至10のいずれか一項に記載の圧力センサ。
- 前記圧力センサが、インテークマニホールドの吸気圧測定に用いられることを特徴とする請求項11に記載の圧力センサ。
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Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4750221B1 (ja) * | 2010-11-18 | 2011-08-17 | マークテック株式会社 | 湿式蛍光磁粉探傷試験に用いる検査液における各成分濃度の測定方法および測定装置 |
WO2011138843A1 (ja) * | 2010-05-07 | 2011-11-10 | マークテック株式会社 | 湿式蛍光磁粉探傷試験に用いる検査液における成分濃度の測定方法および測定装置 |
JP2011237227A (ja) * | 2010-05-07 | 2011-11-24 | Marktec Corp | 湿式蛍光磁粉探傷試験に用いる検査液における成分濃度の測定方法および測定装置 |
JP2014159977A (ja) * | 2013-02-19 | 2014-09-04 | Renesas Electronics Corp | 圧力センサ、及び半導体装置 |
JP2015129688A (ja) * | 2014-01-08 | 2015-07-16 | 新日本無線株式会社 | センサ装置およびその製造方法 |
JP2019158717A (ja) * | 2018-03-15 | 2019-09-19 | オムロン株式会社 | 静電容量式圧力センサ |
Citations (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63236967A (ja) * | 1987-03-26 | 1988-10-03 | Yamatake Honeywell Co Ltd | 検出装置 |
JPH026786A (ja) * | 1988-06-22 | 1990-01-10 | Hitachi Ltd | 沸騰水型原子炉用の燃料棒及び燃料集合体 |
JPH04215027A (ja) * | 1990-12-13 | 1992-08-05 | Anritsu Corp | 圧力センサおよびそれを用いた半導体製造装置 |
JPH05149821A (ja) * | 1991-11-28 | 1993-06-15 | Fuji Electric Co Ltd | 絶対圧圧力センサおよびその気密度検査方法 |
JPH07209324A (ja) * | 1994-01-24 | 1995-08-11 | Honda Motor Co Ltd | ヒートワイヤ型加速度検出器 |
JPH0964378A (ja) * | 1995-08-28 | 1997-03-07 | Matsushita Electric Works Ltd | ダイアフラム構造の半導体素子 |
JPH09257618A (ja) * | 1996-03-26 | 1997-10-03 | Toyota Central Res & Dev Lab Inc | 静電容量型圧力センサおよびその製造方法 |
JP2000065850A (ja) * | 1998-08-26 | 2000-03-03 | Nissan Motor Co Ltd | 熱型加速度センサ |
JP2001174355A (ja) * | 1999-10-07 | 2001-06-29 | Denso Corp | 圧力検出装置 |
JP2001304999A (ja) * | 2000-04-27 | 2001-10-31 | Denso Corp | 圧力センサ |
JP2002131158A (ja) * | 2000-10-27 | 2002-05-09 | Denso Corp | 温度センサ付圧力スイッチ |
JP2003217412A (ja) * | 2002-01-18 | 2003-07-31 | Asa Denshi Kogyo Kk | 圧力スイッチ |
JP2006030102A (ja) * | 2004-07-21 | 2006-02-02 | Alps Electric Co Ltd | 静電容量型圧力センサ |
JP2006200926A (ja) * | 2005-01-18 | 2006-08-03 | Denso Corp | 圧力センサ |
JP2007285996A (ja) * | 2006-04-20 | 2007-11-01 | Ritsumeikan | 熱感知型加速度センサ |
-
2008
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Patent Citations (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63236967A (ja) * | 1987-03-26 | 1988-10-03 | Yamatake Honeywell Co Ltd | 検出装置 |
JPH026786A (ja) * | 1988-06-22 | 1990-01-10 | Hitachi Ltd | 沸騰水型原子炉用の燃料棒及び燃料集合体 |
JPH04215027A (ja) * | 1990-12-13 | 1992-08-05 | Anritsu Corp | 圧力センサおよびそれを用いた半導体製造装置 |
JPH05149821A (ja) * | 1991-11-28 | 1993-06-15 | Fuji Electric Co Ltd | 絶対圧圧力センサおよびその気密度検査方法 |
JPH07209324A (ja) * | 1994-01-24 | 1995-08-11 | Honda Motor Co Ltd | ヒートワイヤ型加速度検出器 |
JPH0964378A (ja) * | 1995-08-28 | 1997-03-07 | Matsushita Electric Works Ltd | ダイアフラム構造の半導体素子 |
JPH09257618A (ja) * | 1996-03-26 | 1997-10-03 | Toyota Central Res & Dev Lab Inc | 静電容量型圧力センサおよびその製造方法 |
JP2000065850A (ja) * | 1998-08-26 | 2000-03-03 | Nissan Motor Co Ltd | 熱型加速度センサ |
JP2001174355A (ja) * | 1999-10-07 | 2001-06-29 | Denso Corp | 圧力検出装置 |
JP2001304999A (ja) * | 2000-04-27 | 2001-10-31 | Denso Corp | 圧力センサ |
JP2002131158A (ja) * | 2000-10-27 | 2002-05-09 | Denso Corp | 温度センサ付圧力スイッチ |
JP2003217412A (ja) * | 2002-01-18 | 2003-07-31 | Asa Denshi Kogyo Kk | 圧力スイッチ |
JP2006030102A (ja) * | 2004-07-21 | 2006-02-02 | Alps Electric Co Ltd | 静電容量型圧力センサ |
JP2006200926A (ja) * | 2005-01-18 | 2006-08-03 | Denso Corp | 圧力センサ |
JP2007285996A (ja) * | 2006-04-20 | 2007-11-01 | Ritsumeikan | 熱感知型加速度センサ |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2011138843A1 (ja) * | 2010-05-07 | 2011-11-10 | マークテック株式会社 | 湿式蛍光磁粉探傷試験に用いる検査液における成分濃度の測定方法および測定装置 |
JP2011237227A (ja) * | 2010-05-07 | 2011-11-24 | Marktec Corp | 湿式蛍光磁粉探傷試験に用いる検査液における成分濃度の測定方法および測定装置 |
JP4750221B1 (ja) * | 2010-11-18 | 2011-08-17 | マークテック株式会社 | 湿式蛍光磁粉探傷試験に用いる検査液における各成分濃度の測定方法および測定装置 |
JP2014159977A (ja) * | 2013-02-19 | 2014-09-04 | Renesas Electronics Corp | 圧力センサ、及び半導体装置 |
JP2015129688A (ja) * | 2014-01-08 | 2015-07-16 | 新日本無線株式会社 | センサ装置およびその製造方法 |
JP2019158717A (ja) * | 2018-03-15 | 2019-09-19 | オムロン株式会社 | 静電容量式圧力センサ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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