JP2010025601A - 回路基板検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】保持部によって短絡板が保持されている状態において、制御部が、保持部に対する接近方向に検査用治具を移動させる第1の処理(ステップ71,74,76)と、測定部を制御して電気的パラメータを測定させる第2の処理(ステップ72,78)とを交互に実行すると共に、第2の処理の実行開始の度に保持部に対して検査用治具が徐々に接近するように第1の処理において検査用治具を移動させ、かつ、第2の処理時において検査用プローブと短絡板との接続を示す電気的パラメータが規定数の検査用プローブ(一例として、すべての検査用プローブ)について測定されたときに(ステップ79)、その第2の処理時における検査用治具の位置に基づいて、検査用治具を待避位置から検査位置まで移動させる移動量を特定可能な移動量情報を取得する。
【選択図】図5
Description
2 保持部
3 上側検査用治具
4 下側検査用治具
6a,6b 移動機構
7 測定部
8 操作部
9 表示部
10 制御部
11 記憶部
20 調整用基板
33,43 検査用プローブ
60 プレス位置自動調整処理
70 最適プレス位置取得処理
P 検査対象基板
Claims (4)
- 検査対象基板および短絡板のいずれか選択された一方の板体を保持する保持部と、複数の検査用プローブが植設された検査用治具と、前記保持部に対して前記検査用治具を移動させる移動機構と、前記複数の検査用プローブを介して電気的パラメータを測定する測定部と、前記移動機構を制御して前記検査用治具を待避位置から検査位置まで移動させて前記保持部によって保持されている前記一方の板体に前記複数の検査用プローブを接触させると共に前記測定部を制御して前記電気的パラメータを測定させる制御部とを備えた回路基板検査装置であって、
前記制御部は、前記保持部によって前記短絡板が保持されている状態において、前記移動機構を制御して前記保持部に対する接近方向に前記検査用治具を移動させる第1の処理と、前記測定部を制御して前記電気的パラメータを測定させる第2の処理とを交互に実行すると共に、当該第2の処理の実行開始の度に前記保持部に対して前記検査用治具が徐々に接近するように前記第1の処理において当該検査用治具を移動させ、かつ、前記第2の処理時において前記検査用プローブと前記短絡板との接続を示す前記電気的パラメータが規定数の前記検査用プローブについて測定されたときに、当該第2の処理時における前記検査用治具の位置に基づいて、前記検査用治具を前記待避位置から前記検査位置まで移動させる移動量を特定可能な移動量情報を取得する回路基板検査装置。 - 前記制御部は、前記第2の処理時において前記規定数よりも少数の所定数の前記検査用プローブについて当該検査用プローブと前記短絡板との接続を示す前記電気的パラメータが測定されたときに、その後に実行する前記第1の処理時において前記保持部に対して前記検査用治具を接近させる移動量が小さくなるように前記移動機構を制御する請求項1記載の回路基板検査装置。
- 前記制御部は、2回目以降の前記第1の処理時において、直前の前記第1の処理時に前記検査用治具を移動させた位置から前記保持部に対する前記接近方向に当該検査用治具を移動させる請求項1または2記載の回路基板検査装置。
- 前記制御部は、最初の前記第1の処理時における前記待避位置からの前記検査用治具の移動量が、当該最初の第1の処理時における前記待避位置からの前記検査用治具の移動量と2回目の前記第1の処理時における当該待避位置からの当該検査用治具の移動量との差の量よりも大きくなるように前記移動機構を制御する請求項1から3のいずれかに記載の回路基板検査装置。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPH0737941A (ja) * | 1993-07-22 | 1995-02-07 | Tokyo Electron Ltd | プローブ装置 |
JPH09119961A (ja) * | 1995-10-24 | 1997-05-06 | Advantest Corp | 荷電粒子線試験装置 |
JP2001235505A (ja) * | 2000-02-25 | 2001-08-31 | Hioki Ee Corp | 回路基板検査装置 |
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