JP5441587B2 - ウエーハの加工方法 - Google Patents
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Description
11 半導体ウエーハ
12 スピンドル
17 デバイス領域
18 研削ホイール
18b 研削砥石
19 外周余剰領域
20 チャックテーブル
23 保護テープ
28 円形凹部
30 環状凸部
34 階段状の環状傾斜面
Claims (1)
- 複数のデバイスが形成されたデバイス領域と該デバイス領域を囲繞する外周余剰領域とを表面に備えたウエーハを加工するウエーハの加工方法であって、
ウエーハの表面側に保護部材を配設する保護部材配設ステップと、
保持面と該保持面に対して垂直な回転軸を備える保持手段で該保護部材が配設されたウエーハの表面側を保持する保持ステップと、
研削砥石を回転させつつ回転駆動される該保持手段で保持されたウエーハの裏面に当接させてウエーハの該デバイス領域に相当するウエーハの裏面を研削して裏面に円形凹部を形成するとともに、該外周余剰領域を該円形凹部を囲繞する環状凸部として残存させる研削ステップとを具備し、
該研削ステップは、該研削砥石と該保持手段とを相対移動させて該研削砥石をウエーハに接近する方向へ研削送りする鉛直方向研削ステップと、該研削砥石と該保持手段とを相対移動させて該研削砥石をウエーハの中心方向へ所定距離移動させる水平方向移動ステップとを含み、
該鉛直方向研削ステップと該水平方向移動ステップとを同一の該研削砥石によって複数回繰り返すとともに複数回の該鉛直方向研削ステップは同一の加工条件で実施することにより、該環状凸部の上面内周側から該円形凹部のウエーハ中心方向に向かって階段状に傾斜する環状傾斜面を形成することを特徴とするウエーハの加工方法。
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