JP2009518784A - 3次の開口誤差及び1次1グレード(Grade)の軸上色誤差を除去するための補正装置 - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、補正装置のフォーカシングエレメントの配置構成をxz面、及び、yz面で示した図、
図2は、図1のシステムでの8重極フィールドの配置構成を示す図、
図3は、図1のシステムでの外部8重極フィールドの配置構成を示す図である。
Claims (13)
- 光軸方向に前後連続して設けられた2つの補正部材から構成されている3次(Ordnung)の開口誤差及び1次(Ordnung)1グレード(Grade)の軸上色誤差を除去するための補正装置であって、前記各補正部材は、複数の4重極フィールド(QP)と少なくとも1つの8重極フィールド(OP)から構成されていて、前記各補正部材は、当該補正部材の真ん中の面(S,S’)に対して対称に構成されている補正装置において、
各補正部材は、奇数の、少なくとも5つの4重極フィールド(QP)と、少なくとも1つの8重極フィールド(OP)とから構成されており、
真ん中の4重極フィールド(QP3)は、前記補正部材(S,S’)の真ん中の面に対してセンタリングされて設けられていて電磁性であり、
前記両補正部材の4重極フィールド(QP)は、逆対称であり、
前記各補正部材間に、トランスファレンズ系(TL)が、補正装置の真ん中の面(M)に対して対称に設けられており、
前記トランスファレンズ系(TL)は、少なくとも1つの丸形レンズを有しており、前記トランスファレンズ系(TL)の調整は、前記両補正部材の前記真ん中の面(S,S’)が相互にアナモルフィックに結像されるように行われ、一方の主平面内での倍率は、他方の主平面での倍率の逆数(Reziproke)であり、前記各補正部材の真ん中の4重極フィールド(QP3,QP3’)は、8重極フィールド(OP1,OP1’)によって重畳されていることを特徴とする補正装置。 - トランスファレンズ系は、焦点距離fの2つの丸形レンズ(TL21,TL22)から構成されており、前記2つの丸形レンズは、各々、第1及び第2の補正部材の隣接した4重極フィールド(QP1’,QP1’’)に対して間隔fをおいて設けられ、間隔2fをおいて相互に設けられている請求項1記載の補正装置。
- 4重極フィールド(QP)は、第1の4重極フィールド(QP1)及び最後の4重極フィールド(QP1’)内で、各補正部材に中間結像が形成されるように調整される請求項1又は2記載の補正装置。
- トランスファレンズ系(TL)は、補正装置の真ん中の面(M)を中心にしてセンタリングされて設けられている付加的な8重極フィールド(OP2)を有している請求項1から3迄の何れか1記載の補正装置。
- 補正装置の外側で、補正部材の真ん中の面(S,S’)に対して光学的に共役の(konjugierten)面内に、8重極フィールド(OP5)が設けられている請求項1から4迄の何れか1記載の補正装置。
- 真ん中の4重極フィールド(QP3)が、重畳された8重極フィールド(OP1)としてもマルチポールエレメント内に形成される請求項1から5迄の何れか1記載の補正装置。
- マルチポールエレメントは、12重極(ドデカポール)エレメントである請求項6記載の補正装置。
- トランスファレンズ系(TL)は、補正装置の真ん中の面(M)の前後に等距離で設けられている付加的な2つの8重極フィールド(OP4,OP4’)を有している請求項1から7迄の何れか1記載の補正装置。
- 付加的な8重極フィールド及び/又は12重極(ドデカポール)フィールドは、重畳されている請求項1から8迄の何れか1記載の補正装置。
- 各補正部材に、各々真ん中の4重極フィールド(QP3)の直ぐ前及び後に、8重極フィールド(OP3,OP3’)が設けられている請求項1から9迄の何れか1記載の補正装置。
- 請求項1から10迄の何れか1記載の補正装置を用いた電子顕微鏡において、補正装置の前後に対物レンズが設けられており、前記補正装置と前記対物レンズとの間にトランスファレンズ系が設けられており、前記トランスファレンズ系は、対象面を拡大して、前記対物レンズの入口結像面の領域内に結像し、補正部材(S,S’)の真ん中の面及び前記対物レンズの、前記補正装置側の焦点面は、共役面にされることを特徴とする電子顕微鏡。
- 請求項1から10迄の何れか1記載の補正装置を用いた電子顕微鏡において、補正装置の前後に別のトランスファレンズ(TL3)及び8重極フィールド(OP5)が設けられており、前記別のトランスファレンズ(TL3)は、補正部材(S,S’)の真ん中の面を前記8重極フィールド(OP5)の真ん中の面に結像することを特徴とする電子顕微鏡。
- 請求項1から10迄の何れか1記載の補正装置を用いた電子顕微鏡において、各8重極フィールドの各々を、対物レンズの、補正装置側の焦点面に対して共役である面に位置付けることを特徴とする電子顕微鏡。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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Families Citing this family (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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DE102007007923A1 (de) * | 2007-02-14 | 2008-08-21 | Carl Zeiss Nts Gmbh | Phasenschiebendes Element und Teilchenstrahlgerät mit phasenschiebenden Element |
DE102007045874A1 (de) | 2007-09-25 | 2009-04-02 | Ceos Corrected Electron Optical Systems Gmbh | Multipolspulen |
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DE102009010774A1 (de) * | 2009-02-26 | 2010-11-11 | Ceos Corrected Electron Optical Systems Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur Bildkontrasterzeugung durch Phasenschiebung |
US8373136B2 (en) * | 2009-10-15 | 2013-02-12 | Ict Integrated Circuit Testing Gesellschaft Fur Halbleiterpruftechnik Mbh | Achromatic beam deflector, achromatic beam separator, charged particle device, method of operating an achromatic beam deflector, and method of operating an achromatic beam separator |
DE102010054541A1 (de) * | 2010-12-15 | 2012-06-21 | Ceos Corrected Electron Optical Systems Gmbh | Korrektor |
DE102011009954A1 (de) * | 2011-02-01 | 2012-08-02 | Ceos Corrected Electron Optical Systems Gmbh | Korrektor |
US8536538B2 (en) * | 2011-02-16 | 2013-09-17 | Kla-Tencor Corporation | Multiple-pole electrostatic deflector for improving throughput of focused electron beam instruments |
JP5934517B2 (ja) * | 2012-02-24 | 2016-06-15 | 日本電子株式会社 | 色収差補正装置及び色収差補正装置の制御方法 |
US9275817B2 (en) | 2012-04-09 | 2016-03-01 | Frederick Wight Martin | Particle-beam column corrected for both chromatic and spherical aberration |
US8541755B1 (en) * | 2012-05-09 | 2013-09-24 | Jeol Ltd. | Electron microscope |
US10103004B2 (en) * | 2015-07-02 | 2018-10-16 | ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft für Halbleiterprüftechnik mbH | System and method for imaging a secondary charged particle beam with adaptive secondary charged particle optics |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003520427A (ja) * | 2000-01-14 | 2003-07-02 | レオ イレクトロネンミクロスコピィ ゲーエムベーハー | 3次収差を除く電子光学補正器 |
JP2003187731A (ja) * | 2001-12-04 | 2003-07-04 | Leo Elektronenmikroskopie Gmbh | 1階、1次の色収差を補正する補正装置 |
JP2004087460A (ja) * | 2002-06-28 | 2004-03-18 | Jeol Ltd | 収差補正装置を備えた荷電粒子ビーム装置 |
JP2005512282A (ja) * | 2001-12-04 | 2005-04-28 | ツェーエーオーエス コレクテッド エレクトロン オプチカル システムズ ゲーエムベーハー | 粒子光学補正器 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6770887B2 (en) * | 2002-07-08 | 2004-08-03 | Ondrej L. Krivanek | Aberration-corrected charged-particle optical apparatus |
-
2005
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Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003520427A (ja) * | 2000-01-14 | 2003-07-02 | レオ イレクトロネンミクロスコピィ ゲーエムベーハー | 3次収差を除く電子光学補正器 |
JP2003187731A (ja) * | 2001-12-04 | 2003-07-04 | Leo Elektronenmikroskopie Gmbh | 1階、1次の色収差を補正する補正装置 |
JP2005512282A (ja) * | 2001-12-04 | 2005-04-28 | ツェーエーオーエス コレクテッド エレクトロン オプチカル システムズ ゲーエムベーハー | 粒子光学補正器 |
JP2004087460A (ja) * | 2002-06-28 | 2004-03-18 | Jeol Ltd | 収差補正装置を備えた荷電粒子ビーム装置 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013030374A (ja) * | 2011-07-29 | 2013-02-07 | Jeol Ltd | 電子顕微鏡 |
JP2017117567A (ja) * | 2015-12-22 | 2017-06-29 | 日本電子株式会社 | 収差補正方法および荷電粒子線装置 |
Also Published As
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DE112005003818A5 (de) | 2008-11-13 |
US7989776B2 (en) | 2011-08-02 |
EP1958231A1 (de) | 2008-08-20 |
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