JP2009509891A - 基板を分離搬送する装置及び方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 本発明は、分離が流体中で行われ、薄い流体膜に基づく付着力がグリッパ(108;208)と分離すべき基板(102;202)の間で発生し、基板をグリッパ(108;208)に付着可能とすることを特徴とする。
送り方向(105;205)と直交する方向、特に基板(102;202)の平面形状と平行な方向に沿ったアンローディングにより、極めて優しい取り扱いで且つ効率的なディスク状基板(102;202)の分離が、短いサイクル時間で可能となる。
【選択図】図1A
Description
102 202 基板
103 203 基板スタック
104 204 担持装置
105 205 送り方向
206 穿孔
107 207 アンローディング装置
108 208 グリッパ
209 操作装置
110 210 矢印の方向
211 矢印の方向
112 212 矢印の方向
113 213 搬送装置
114 214 コンベヤベルト
115 215 軸(アクスル)
116 216 矢印の方向
117 217 フロー装置
118 218 フローノズル
119 219 間隔スペース
220 位置検出装置
221 別の操作装置
122 222 押圧要素
123 223 押圧ピン
224 センサ要素
225 ヒンジ
226 矢印
227 自由端
228 他方の自由端
229 近接スイッチ
230 矢印の方向
a a 傾斜角
Claims (17)
- ディスク状基板の分離及び搬送を行う装置において、実質上以下のアセンブリ群を備えた装置:
− 流体内に配置された担持装置(104;204)で、個々の基板(102;202)が送り方向(105;205)に順次相前後して基板スタック(103;203)の形に起立して配置されている担持装置、
− 少なくとも1枚の基板(102;202)を分離及び搬送するためのアンローディング装置(107;207)で、前記基板(102;202)を引き付けて前記担持装置(104;204)から導出可能なグリッパ(108;208)を備えたアンローディング装置、
− 前記基板スタック(103;203)の少なくとも一部を吹き分けるフロー装置(117;217)、及び
− 前記吹き分けられた基板(102;202)に作用する押圧要素(122;222)。 - 前記押圧要素(122;222)は、分離すべき基板(102;202)の表面を押圧する複数の押圧ピン(123;233)を備えることを特徴とする請求の範囲第1項に記載の装置。
- 少なくとも前記分離すべき基板(202)の位置及び/又は向きを検出する位置検出装置(220)が設けられていることを特徴とする請求の範囲第1又は2項に記載の装置。
- 前記グリッパ(108;208)は、前記分離すべき基板(102;202)の取り出しが前記送り方向(105;205)に対して直交するあるいは少なくともほぼ垂直な方向に行われるように配置されていることを特徴とする請求の範囲第1項に記載の装置。
- 前記取り出しは、前記分離すべき基板(102;202)の表面平面と平行に行われることを特徴とする請求の範囲第4項に記載の装置。
- 前記グリッパ(108;208)は、流体を吸引または放出可能な開口を有することを特徴とする請求の範囲第1又は4項に記載の装置。
- 前記グリッパ(108;208)は平面視において、バー状、フィンガ状、o−状、u−状、v−状に形成されるか、あるいはフラット形状を有することを特徴とする請求の範囲第1又は4項に記載の装置。
- 前記担持装置(104;204)は、前記分離すべき基板(102;202)を傾斜角aの向きで配置可能な手段を有することを特徴とする請求の範囲第1項に記載の装置。
- 前記傾斜角aは、前記送り方向(105;205)と前記個々の基板(102;202)の前記送り方向を向いた基板表面の面法線との間の角度が正となるように選ばれ、前記基板が後方に傾斜していることと等価であることを特徴とする請求の範囲第8項に記載の装置。
- 前記担持装置(104;204)は少なくとも一方向に移動可能であることを特徴とする請求の範囲第1項に記載の装置。
- 前記担持装置(104;204)及び/又は前記基板スタック(103;203)は前記押圧要素(122;222)に対して移動可能であることを特徴とする請求の範囲第10項に記載の装置。
- 前記担持装置(104;204)及び/又は前記基板スタック(103;203)は前記位置検出装置(220)に対して移動可能であることを特徴とする請求の範囲第10項に記載の装置。
- 前記分離すべき基板(102;202)を含む前記基板スタック(103;203)の上方に配置された搬送装置(113;213)をさらに備えることを特徴とする前記請求の範囲のいずれか1項に記載の装置。
- 前記位置検出装置(220)は、基板(202)の接触をチェックするセンサ(222)を備えることを特徴とする請求の範囲第3項に記載の装置。
- 前記押圧要素(122;222)は、前記グリッパ(108;208)がその押圧ピン(123;223)相互間に位置可能に配置されていることを特徴とする請求の範囲第2項に記載の装置。
- ディスク状基板の吹き分け、分離及び搬送を、実質上以下のアセンブリ群を備えた装置を用いて行う方法において:
− 流体内に配置された担持装置(104;204)で、個々の基板(102;202)が送り方向(105;205)に順次相前後して基板スタック(103;203)の形に起立して配置されている担持装置、
− 少なくとも1枚の基板(102;202)を分離及び搬送するためのアンローディング装置(107;207)で、前記基板(102;202)を引き付けて前記担持装置(104;204)から導出可能なグリッパ(108;208)を備えたアンローディング装置、
− 前記基板スタック(103;203)の少なくとも一部を吹き分けるフロー装置(117;217)、及び
− 前記吹き分けられた基板(102;202)に作用する押圧要素(122;222)、
前記方法は:
a.前記担持装置(104;204)を前記基板スタック(103;203)と共に、あるいは前記基板スタック(103;203)自体をそれぞれ送り方向(105;205)に前記押圧要素(122、222)に向かって移動し、前記分離すべき基板(102;202)をアンローディング位置に配置する工程、
b.前記基板スタック(103;203)の少なくとも一部の領域を、間隔スペース(119;219)が生じるようにフロー装置(117;217)によって吹き分ける工程、
c.以下の工程によって基板を分離する工程、
− 前記基板(102;202)の平面形状とほぼ平行に前記グリッパ(108;208)を位置決めする工程、
− 前記基板(102;202)と前記グリッパ(108;208)の間に付着接触を生ぜしめる工程、及び
− 前記流体内の前記基板(102;202)を、前記送り方向(105;205)と直交する、もしくは前記基板(102;202)の平面形状と平行な方向に取り出す工程、
を有する方法。 - 前記フロー装置(117;217)による吹き分けによって前記基板スタック(103;203)内に間隔スペース(119;219)が発生され、前記フロー装置(117;217)からの流体ストリームによって前記間隔スペース(119;219)内に流体クッションが発生され、前記グリッパ(108;208)と接触する前記分離すべき基板(102;202)に対して緩衝効果をもたらすことを特徴とする請求の範囲第16項に記載の方法。
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