JPH1154462A - スライスベース剥離装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】種類の異なる複数のインゴットを切断機で多数
枚同時に切断して得られたウェーハを各種類ごとにスラ
イスベースから剥離することができるスライスベース剥
離装置の提供。 【解決手段】種類がＷａとＷｂのウェーハの間に第１仕
切板８２を挿入し、種類がＷｂとＷｃのウェーハの間に
第２仕切板８４を挿入する。挿入後、吸着パッド５２で
ウェーハの端面を吸着し、揺動させることによって一枚
ずつウェーハをスライスベースから剥離する。このウェ
ーハを一枚ずつスライスベースから剥離する工程で前記
第１仕切板８２と第２仕切板８４の存在をセンサ８６で
検出することにより、それ以後に剥離するウェーハが種
類の異なるウェーハであることを認識する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はスライスベース剥離
装置に係り、特に種類の異なる複数本のインゴットをワ
イヤソーで多数枚同時切断して得られたウェーハをスラ
イスベースから１枚ずつ剥離するスライスベース剥離装
置に関する。

【０００２】

【従来の技術】インゴットの切断装置の一つとしてワイ
ヤソーがある。ワイヤソーは、高速走行するワイヤ列に
インゴットを押し付け、その接触部にスラリを供給する
ことにより、ワイヤによる一種のラッピング作用によっ
てインゴットを多数枚のウェーハに切断する。

【０００３】このワイヤソーでは、通常、一回の切断に
対しては、一本のインゴットを切断するが、近年、その
切断効率を上げるために、マルチ切断と呼ばれる、多数
本のインゴットを同時に切断する切断方法が採用される
ようになっている。マルチ切断は、図４に示すように、
マウンティングプレートＭに複数のインゴットＩａ、Ｉ
ｂ、Ｉｃ（図では３本）を直列して接着し、そのマウン
ティングプレートＭをワイヤソーに装着することによっ
て、複数本のインゴットＩａ、Ｉｂ、Ｉｃを同時に切断
する。このマルチ切断によれば、複数本のインゴットを
一度にまとめて切断することができるため、効率的にイ
ンゴットを切断することができる。

【０００４】ところで、ワイヤソーでは、図４に示すよ
うに、切断されるウェーハが全てスライスベースＳａ、
Ｓｂ、Ｓｃに接着された状態で切り出されるため、これ
をスライスベースＳａ、Ｓｂ、Ｓｃから剥離して、枚葉
化する必要がある。従来、このワイヤソーで切断された
ウェーハをスライスベースから剥離する方法としては、
スライスベースに接着されているウェーハを熱水中に浸
漬させ、熱軟化による自然剥離によってウェーハを一度
に全部剥離する方法と、ウェーハをパッドで吸着し、そ
のパッドの揺動動作によってウェーハを一枚ずつ剥離す
る方法がある。そして、この剥離方法は、マルチ切断で
切断されたウェーハをスライスベースから剥離する場合
も同様である。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところで、前述したマ
ルチ切断では、種類の異なるインゴットを同時に切断す
ることができるが、この場合、切断したウェーハは、そ
の種類ごとに枚葉化して回収する必要がある。しかしな
がら、前記従来の剥離方法では、一度にすべてのウェー
ハが剥離されてしまうため、又は、一枚ずつ連続的に剥
離されてしまうため、各種類ごとに回収することができ
ず、種類の異なるウェーハが混入してしまうという問題
があった。

【０００６】本発明は、このような事情を鑑みてなされ
たもので、種類の異なる複数のインゴットを切断機で多
数枚同時に切断して得られたウェーハを各種類ごとにス
ライスベースから剥離することができるスライスベース
剥離装置を提供することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明は、前記目的を達
成するために、直列して配置された種類の異なる複数の
インゴットを切断機で多数枚同時に切断して得られたウ
ェーハを、そのウェーハが保持されているスライスベー
スから一枚ずつ剥離するスライスベース剥離装置におい
て、熱水が貯留される熱水槽と、前記熱水槽内に設置さ
れ、剥離対象のウェーハが取り付けられる取付台と、前
記ウェーハの一方側の端面を吸着保持する吸着パッド
と、前記吸着パッドを前記取付台に沿って移動させる移
動手段と、前記移動手段に設けられ、前記吸着パッドを
揺動させる揺動手段と、種類の異なるウェーハの間に挿
入される仕切板と、前記ウェーハ間に挿入された仕切板
を検出するセンサと、からなることを特徴とする。

【０００８】本発明によれば、熱水槽に貯留された熱水
中にスライスベースが浸漬されることにより、スライス
ベースとウェーハとの接着部は熱軟化する。一方、スラ
イスベースに接着された複数のウェーハのうち、一方側
端部に位置したウェーハは、その端面を吸着パッドに吸
着保持される。そして、揺動手段によって吸着パッドに
揺動が与えられ、これにより、ウェーハはスライスベー
スから剥離する。一枚目のウェーハの剥離が終了する
と、移動手段により吸着パッドが移動し、同様の作業で
二枚目以降のウェーハを剥離する。ここで、通常なら
ば、順次ウェーハが剥離されてゆく結果、種類の異なる
ウェーハも連続的に剥離されてしまうが、本発明におい
ては、種類の異なるウェーハの間に仕切板が挿入されて
いるため、これをセンサで検出することにより、剥離す
るウェーハの種類が変わることを認識することができ
る。したがって、ここで、たとえば、隔離したウェーハ
を回収するカセット等を交換することにより、種類の異
なるウェーハを混入させることなく回収することができ
る。

【０００９】

【発明の実施の形態】以下添付図面に従って本発明に係
るスライスベース剥離装置の好ましい実施の形態につい
て詳説する。なお、本実施の形態のスライスベース剥離
装置で剥離するウェーハは、図４に示すように、種類の
異なる３本のインゴットＩａ、Ｉｂ、Ｉｃをワイヤソー
でマルチ切断したウェーハＷａ、Ｗｂ、Ｗｃを対象とす
る。このウェーハＷａ、Ｗｂ、Ｗｃは、おのおのスライ
スベースＳａ、Ｓｂ、Ｓｃを介してマウンティングプレ
ートＭに接着保持されており、このマウンティングプレ
ートＭに保持された状態でワイヤソーから搬送されてく
る。

【００１０】図１、図２は、それぞれ本発明に係るスラ
イスベース剥離装置の第１の実施の形態の平面図と正面
図である。同図に示すように、前記スライスベース剥離
装置１０は、熱水槽１２、剥離装置１４及び仕切装置１
６を主要装置として構成されている。以下、各装置ごと
に分けて、その構成を説明する。

【００１１】前記熱水槽１２は、上部が開口された長方
形状の箱型に形成されており、その内部に熱水が貯留さ
れている。剥離対象であるウェーハＷａ〜Ｗｃは、この
熱水槽１２内に設けられた取付台１８上に取り付けられ
る。なお、ウェーハＷａ〜Ｗｃを取付台１８に取り付け
る方法は次の通りである。すなわち、ウェーハＷａ〜Ｗ
ｃが接着されたマウンティングプレートＭを取付台１８
上の所定の位置に載置し、その載置したマウンティング
プレートＭを図示しないロック手段で固定する。これに
より、各ウェーハＷａ、Ｗｂ、Ｗｃは、そのスライスベ
ースＳａ、Ｓｂ、Ｓｃとの接着部分を前記熱水槽１２内
に貯留された熱水中に浸漬される。

【００１２】次に、前記剥離装置１４の構成について説
明する。剥離装置１４は、前記熱水槽１２に沿って配設
されたベース２０を有している（図１中下側）。ベース
２０上には一対のガイドレール２２、２２が敷設されて
おり、該ガイドレール２２、２２上を二つのスライダ２
４、２６がスライド自在に支持されている。この二つの
スライダ２４、２６のうち図１中左側に位置するスライ
ダ２４は、ガイドレール２２に沿って配設された送りネ
ジ２８にナット部材３０を介して螺合されている。この
送りネジ２８には送りモータ３２が連結されており、こ
の送りモータ３２を駆動するこにより、前記スライダ２
４はガイドレール２２上を移動する。

【００１３】一方、図１中右側に位置するスライダ２６
は、手動でガイドレール２２上を移動し、図示しないロ
ック手段によって任意の位置に固定される。このスライ
ダ２６には、アーム３４を介して受板３６が設けられて
おり、該受板３６は、前記熱水槽１２内にセットされた
ウェーハＷｃの後面に添うように配置される。これは、
最後に剥離するウェーハＷｃが、何らかの原因によって
後述する吸着パッドによって剥離する前にスライスベー
スＳから剥離してしまった場合に、その剥離したウェー
ハＷｃが後方に倒れるのを防止するためのものである。
ウェーハＷｃが後方に倒れた場合は、この受板３２によ
って倒れたウェーハＷｃを支えることによって、ウェー
ハＷｃが回収できなくなるのを防止する。

【００１４】一方、図１中左側に位置するスライダ２４
には、ウェーハＷａ〜ＷｃをスライスベースＳａ〜Ｓｃ
から剥離するための剥離機構が設けられている。この剥
離機構は吸着パッドを用いてウェーハＷａ〜Ｗｃをスラ
イスベースＳａ〜Ｓｃから一枚ずつ剥離する。その構成
は、次の通りである。前記スライダ２４上には軸受３８
が設けられており、該軸受３８にはシャフト４０が回動
自在に支持されている。このシャフト４０の基端部に
は、揺動用モータ４２のスピンドルが連結されており、
この揺動用モータ４２を駆動することにより、前記シャ
フト４０が回動する。

【００１５】前記シャフト４０にはコラム４４が立設さ
れており、該コラム４４の先端部には昇降用モータ４６
が設置されている。この昇降用モータ４６のスピンドル
には、アーム４８の基端部が固着されており、この昇降
用モータ４６を駆動することにより前記アーム４８は垂
直方向に揺動する。前記アーム４８の先端部にはシリン
ダ５０が設置されており、該シリンダ５０のロッド先端
部には吸着パッド５２が固着されている。吸着パッド５
２は、前記シリンダ５０に駆動されることにより、その
軸線に沿って進退移動する。また、この吸着パッド５２
には、図示しないバキュームポンプが連結されており、
このバキュームポンプを駆動することによりウェーハを
吸着保持する。

【００１６】なお、以上の構成により、前記吸着パッド
５２は、前記揺動用モータ４２を駆動することによりウ
ェーハに沿って揺動し、前記昇降用モータ４６を駆動す
ることにより昇降移動する。そして、前記吸着パッド５
２でウェーハＷａ〜Ｗｃの端面を吸着保持した状態で、
吸着パッド５２に揺動を与えることにより、ウェーハＷ
ａ〜ＷｃをスライスベースＳａ〜Ｓｃから剥離する。

【００１７】前記吸着パッド５２の上方には、吸着パッ
ド５２で剥離したウェーハＷａ〜Ｗｃを受け取る受取パ
ッド５４が配置されている。この受取パッド５４は、ア
ーム５６の先端部にシリンダ５８を介して設置されてお
り、該シリンダ５８を駆動することにより、その軸線に
沿って進退移動する。また、この受取パッド５４には、
図示しないバキュームポンプが連結されており、このバ
キュームポンプを駆動することによりウェーハを吸着保
持する。

【００１８】前記受取パッド５４が設けられたアーム５
６は、その基端部をシャフト６０に連結されており、該
シャフト６０は、前記スライダ２４に立設された支持板
２４Ａに軸受６２を介して回動自在に支持されている。
このシャフト６０には、アーム揺動用モータ６４のスピ
ンドルが連結されており、該アーム揺動用モータ６４を
駆動することにより、前記アーム５６は、９０°の範囲
で図１中左側に揺動する。

【００１９】剥離機構は、以上のように構成される。そ
して、この剥離機構によれば、ウェーハＷａ〜Ｗｃは、
その端面中央部を吸着パッド５２に吸着され、この状態
で吸着パッド５２により揺動が与えられることによって
スライスベースＳａ〜Ｓｃから剥離される。剥離された
ウェーハは、吸着パッド５２によって上方へ運ばれ、受
取パッド５４に受け渡されたのち、該受取パッド５４が
９０°前方へ倒れることによって図示しない搬送装置に
受け渡される。なお、この作用については、後にさらに
詳述する。

【００２０】次に、仕切装置１６の構成について説明す
る。図１に示すように、仕切装置１６は、前記熱水槽１
２を挟んで剥離装置１４の対称位置に設置されており、
前記剥離装置１４と同様に熱水槽１２に沿って配設され
たベース６４を有している。このベース６４上には一対
のガイドレール６６、６６が敷設されており、該ガイド
レール６６、６６上を三つのスライダ６８、７０、７２
がスライド自在に支持されている。

【００２１】前記三つのスライダ６８、７０、７２のう
ち図１中左側に位置するスライダ６８（以下、「走行ス
ライダ」という。）は、前記剥離装置１４のスライダ２
４と連結バー７４を介して連結されている。したがっ
て、この走行スライダ６８は、前記スライダ２４が移動
すると、これに伴って移動する。前記走行スライダ６８
と連結する連結バー７４には、図２に示すように、ほぼ
矩形状に形成された倒止板７６が設けられている。この
倒止板７６は、熱水槽１２内にセットされたウェーハＷ
ａの正面に位置して、ウェーハＷａの剥離中にウェーハ
Ｗａが前方（図１中左方向）に倒れるのを防止する。

【００２２】なお、図２に示すように、この倒止板７６
には、Ｕ字状の切り欠き７６ａが形成されており、この
切り欠き７６ａを通って前記吸着パッド５２が上下動で
きるようにされている。また、この倒止板７６の上部に
は、倒止板７６の上部を９０°折り曲げて形成した曲部
が形成されており、該曲部にはウェーハＷａが一枚通れ
るだけのスリット７６ｂが形成されている。このスリッ
ト７６ｂは、前記吸着パッド５２で剥離したウェーハＷ
ａを上方に引き上げる際に、ウェーハＷａが二枚同時に
引き上げられるのを防止する役割を果たし、次のように
作用する。

【００２３】すなわち、何らかの原因によりウェーハＷ
ａが２枚同時に剥離された場合、その剥離された二枚の
ウェーハは、互いにくっつき合ってしまい、ウェーハを
引き上げる際に、二枚同時に引き上げられてしまう。し
かし、上記のように引き上げたウェーハをスリット７６
ｂに通すことによって、二枚同時に引き上げられたよう
な場合であっても、一緒に引き上げられたウェーハは、
スリット７６ｂを通過できず、結果として、１枚のみを
取り出すことができる。

【００２４】なお、スリット７６ｂを通過できず落下し
たウェーハは、前方又は後方に倒れることになるが、前
方に倒れた場合であっても倒止板７６が設置されている
ので、次の剥離作業時に回収され、回収不能になるよう
なことはない。また、図示しないが、前記倒止板７６に
は、ウェーハＷａと対向する面にタッチセンサが設けら
れており、このタッチセンサがウェーハＷａと接触する
ことによって吸着パッド５２で剥離するウェーハの位置
が確認される。

【００２５】走行スライダ６８は、以上のように剥離装
置１４のスライダ２４に伴って移動するが、図１中中央
に位置するスライダ７０（以下、「第１スライダ」とい
う。）と、右側に位置するスライダ７２（以下、「第２
スライダ」という。）は、ともに手動でガイドレール６
６上を移動する。この第１スライダ７０と第２スライダ
７２には、それぞれ第１シリンダ７８と第２シリンダ８
０が設けられており、各シリンダのロッドは、熱水槽１
２内に設置されたウェーハＷａ〜Ｗｃと直交するように
伸縮する。そして、この第１シリンダ７８と第２シリン
ダ８０のロッド先端部には、それぞれ矩形状に形成され
た第１仕切板８２と第２仕切板８４が設けられており、
各仕切板は、各シリンダのロッドを伸張させることによ
り、熱水槽１２内に設置されたウェーハＷａ〜Ｗｃ間に
挿入される。

【００２６】したがって、この第１仕切板８２と第２仕
切板８４を各ロットの境目、すなわち、ウェーハＷａと
ウェーハＷｂの間及びウェーハＷｂとウェーハＷｃの間
に設置すれば、各ロット間を仕切ることができる。とこ
ろで、前記ウェーハ間に第１仕切板８２及び第２仕切板
８４が挿入された場合、ウェーハを連続して剥離してゆ
くためには、その挿入した仕切板の存在を検出する必要
がある。このため、第１仕切板８２と第２仕切板８４の
存在を次のようにして検出する。

【００２７】前記第１仕切板８２及び第２仕切板８４に
は、それぞれ図示しない被検出子が設けられている。一
方、前記倒止板７６には、この仕切板に設置された被検
出子を検出するためのセンサ８６が設けられている。図
２に示すように、前記第１仕切板８２及び第２仕切板８
４は、ウェーハ間に挿入されると、その挿入された直前
のウェーハが剥離されるまで、そのウェーハに隠れた状
態にある。したがって、この状態では被検出子がセンサ
８６に検出されることはない。一方、その挿入された直
前のウェーハが剥離されると、被検出子を遮るものがな
くなくなるため、被検出子がセンサ８６によって検出さ
れ、これによって、仕切板の存在が確認される。

【００２８】前記センサ８６の検出信号は、スライスベ
ース剥離装置１０を駆動する制御装置８８に出力され、
制御装置８８はその検出信号に基づいてスライスベース
剥離装置１０を駆動制御する。前記のごとく構成された
本発明に係るスライスベース剥離装置の第１の実施の形
態の作用は次の通りである。

【００２９】まず、オペレータがワイヤソーでマルチ切
断されたウェーハＷａ、Ｗｂ、Ｗｃを熱水槽１２内にセ
ットする。次に、オペレータは、仕切装置１６に設けら
れている第１スライダ７０を手で動かし、ウェーハＷａ
とウェーハＷｂとの間に第１仕切板８２を移動させる。
第１仕切板８２を移動させたのち、第１シリンダ７８を
駆動して、その第１仕切板８２をウェーハＷａとウェー
ハＷｂとの間に挿入する。そして、挿入後、更に第１ス
ライダ７０を前方（図１中左方向）に移動して、第１仕
切板８２をウェーハＷａの端面に当接させる。

【００３０】同様の手順で、オペレータは、ウェーハＷ
ｂとウェーハＷｃとの間に第２仕切板８４を挿入し、ウ
ェーハＷｂの端面に第２仕切板８４を当接させる。次
に、オペレータは、剥離装置１４に設けられているスラ
イダ２６を手で動かし、受板３６をウェーハＷｃの端面
に当接させる。以上によりオペレータによる初期設定作
業は終了し、この後、スライスベース剥離装置１０の運
転が開始される。なお、上記のように、第１仕切板８２
と第２仕切板８４をウェーハの端面に当接させるのは、
終端のウェーハが自然に剥離されて後方に倒れるのを防
止するためである。

【００３１】まず、送りモータ３２が駆動され、スライ
ダ２４がガイドレール２２上を図中右方向に向かって移
動する。スライダ２４は、倒止板７６に設けられたタッ
チセンサ（図示せず）がウェーハＷａの端面に接触する
と停止し、これにより、吸着パッド５２がウェーハＷａ
の端面に当接する。前記スライダ２４の移動が停止する
と、吸着パッド５２に連結された図示しないバキューム
ポンプが駆動され、これによって、ウェーハＷａの端面
が吸着パッド５２に吸着保持される。そして、この状態
で吸着パッド５２に揺動が与えられる。すなわち、揺動
用モータ４２が駆動されてコラム４４が揺動し、この結
果、吸着パッド５２が揺動駆動される。

【００３２】ここで、前記熱水槽１２内に設置されてい
るウェーハＷａは、そのスライスベースＳａとの接触部
分を熱水中に浸漬されることにより、熱軟化しているた
め、複数回揺動が与えられるとスライスベースＳａから
剥離する。したがって、前記揺動用モータ４２は、吸着
パッド５２に所定回数揺動を与えると、その駆動が停止
される。

【００３３】スライスベースＳａから剥離されたウェー
ハＷａは、吸着パッド５２に吸着された状態にあるの
で、この状態で吸着パッド５２が上昇し、受取パッド１
３８の位置まで移動する。すなわち、昇降用モータ４６
が駆動されてアーム４８が上方に回転し、吸着パッド５
２が受取パッド５４と互いに対向し合う位置で停止す
る。そして、その剥離したウェーハＷａが受取パッド５
４に受け渡される。

【００３４】ウェーハＷａの受け渡しは、まず、受取パ
ッド５４がシリンダ５８に駆動されて、吸着パッド５２
に向かって所定量移動する。これにより、受取パッド５
４がウェーハＷａに密着する。受取パッド５４がウェー
ハＷａに密着すると、受取パッド５４に連結されている
バキュームポンプ（図示せず）が駆動され、ウェーハＷ
ａが受取パッド５４に吸着される。そして、この受取パ
ッド５４にウェーハＷａが吸着されると、吸着パッド５
２の吸着が解除され、これにより、ウェーハＷａが受取
パッド５４に完全に受け渡される。

【００３５】なお、ウェーハＷａが受取パッド５４に受
け渡されると、吸着パッド５２はシリンダ５０によって
ウェーハＷａから所定量退避する。そして、その後、ア
ーム４８が下降して、元の剥離位置に復帰する。ウェー
ハＷａが受取パッド５４に受け渡されると、アーム揺動
用モータ５６が駆動され、アーム５６が前方（図１中左
方向）に向けて９０°回転する。この結果、受取パッド
５４に保持されたウェーハＷａも前方に向けて９０°倒
れる形で回転するが、このウェーハＷａが９０°回転し
た先には、ウェーハＷａを次工程に搬送する搬送台車
（図示せず）が位置しており、ウェーハＷａは、この搬
送台車に受け渡されて、次工程に搬送されてゆく。

【００３６】なお、ウェーハＷａを搬送台車に受け渡し
たアーム５６は、再び揺動用モータ６４に駆動されて、
元の直立状態に復帰する。以上の工程で１枚目のウェー
ハＷａの剥離作業が終了し、以下同様の手順で２枚目以
降の剥離作業を行う。ところで、熱水槽１２内にセット
されている種類がＷａのウェーハ（インゴットＩａから
切り出されたウェーハ）は、その数が限られているの
で、上記のように順次剥離してゆくことにより、全てス
ライスベースＳａから剥離される。そして、種類がＷａ
のウェーハＷａが全て剥離されると、その種類がＷａの
ウェーハとＷｂのウェーハとの間に設置されていた第１
仕切板８２が倒止板７６の前面に現れる。

【００３７】ここで、前述したように、前記第１仕切板
８２には、図示しない被検出子が設置されており、第１
仕切板８２が倒止板７６の前面に現れると、その倒止板
７６に設けられたセンサ８６によって、前記被検出子が
検出される。センサ８６は、前記被検出子を検出する
と、その検出信号を制御装置８８に出力し、制御装置８
８は、この検出信号を入力することにより、種類がＷａ
のウェーハが全て剥離されたことを認識する。そして、
次のようにスライスベース剥離装置１０を制御する。

【００３８】すなわち、まず、制御装置８８は、剥離装
置１４に停止信号を出力し、吸着パッド５２による剥離
作業を一時停止させる。次いで、制御装置８８は、次工
程の制御部に種類がＷａのウェーハが全て剥離されたこ
とを信号として出力する。ここで、例えば次工程が洗浄
工程である場合は、その洗浄装置の制御部に、種類がＷ
ａのウェーハの剥離が全て完了したことを信号として出
力する。この信号を入力した洗浄装置の制御部は、洗浄
後のウェーハを回収するカセットを交換する等して、種
類が異なるウェーハが混入するのを防止する。

【００３９】また、たとえば、次工程が回収工程である
場合も同様に、回収するカセットを交換したり、次に回
収されるウェーハとの間に仕切板を挿入したりして、そ
れ以降に回収されるウェーハの種類が異なるものである
ことが認識できるように対策を講じる。なお、次工程に
おけるこれらの準備作業は、自動で処理してもよいし、
オペレータが手動で行ってもよい。

【００４０】そして、これらの次工程における準備がで
きたところで、制御装置８８は、次の種類がＷｂである
ウェーハの剥離作業を開始する。すなわち、まず、制御
装置８８は、オペレータ又は次工程から剥離作業再開の
信号を入力することによって、第１シリンダ７８を駆動
し、第１仕切板８２をウェーハＷｂの前方から退避させ
る。そして、剥離装置１４に駆動信号を出力して、種類
がＷｂのウェーハの剥離を開始する。なお、剥離方法
は、前述した種類がＷａのウェーハと同じなので、その
説明は省略する。

【００４１】この種類がＷｂのウェーハを剥離する場合
も同様に、第２仕切板８４をセンサ８６で検出すること
により、そのすべてのウェーハＷｂが剥離されたことを
認識することができる。したがって、制御装置８８は、
センサ８６の検出信号を入力した後は、前記同様の手順
でそれ以降の処理を進めてゆく。なお、ウェーハＷｂの
前方から退避させた第１仕切板８２は、退避後、スライ
ダ２４と共に移動する走行スライダ６８に押されて図中
右方向に移動する（第１スライダ７０が走行スライダ６
８に押されることによって移動する）。第２仕切板８２
も同様であり、その走行スライダ６８に押されて移動す
る第１スライダ７０に押されて図中右方向に移動する。
この結果、全てのウェーハＷａ〜Ｗｃの剥離が終了する
と、第１仕切板８２と第２仕切板８４は共に図１中右方
向に移動する。

【００４２】全てのウェーハＷａ〜Ｗｃがスライスベー
スＳａ〜Ｓｃから剥離されると剥離装置１４のスライダ
２４は図中左方向に移動し、剥離開始前の位置に復帰す
る。オペレータは、熱水槽１２内に残ったスライスベー
スＳａ〜Ｓｃを取り除き、次に剥離するウェーハがある
場合は、それをセットし、同様の手順でそのウェーハの
剥離作業を行う。

【００４３】このように本実施の形態のスライスベース
剥離装置によれば、マルチ切断された種類の異なるウェ
ーハＷａ、Ｗｂ、Ｗｃを互いに混入させることなく剥離
することができる。図３は、本発明に係るスライスベー
ス剥離装置の第２の実施の形態の構成を示す平面図であ
る。

【００４４】同図に示すように、第２の実施の形態のス
ライスベース剥離装置１００では、剥離装置と仕切装置
が一体化されている。なお、上述した第１の実施の形態
のスライスベース剥離装置１０と同一又は類似の部材に
ついては、図中同一符号を付してその説明は省略する。
ベース２０上に配設された一対のガイドレール２２、２
２上には、二つの吸着パッド５２を移動させるスライダ
２４と受板３６を移動させるスライダ２６の他、第１ス
ライダ１０２と第２スライダ１０４が、それぞれスライ
ド自在に支持されている。

【００４５】この第１スライダ１０２と第２スライダ１
０４には、それぞれ第１シリンダ１０６と第２シリンダ
１０８が設けられており、各シリンダのロッドは、熱水
槽１２内に設置されたウェーハＷａ〜Ｗｃと直交するよ
うに伸縮する。前記第１シリンダ１０６と第２シリンダ
１０８のロッド先端部には、それぞれ連結部材１１０、
１１２を介して第１仕切板１１４と第２仕切板１１６が
設けられており、各仕切板は、各シリンダのロッドを伸
張させることにより、それぞれ熱水槽１２内に設置され
たウェーハＷａ〜Ｗｃ間に挿入される。したがって、こ
の第１仕切板１１４と第２仕切板１１６を各ロットの境
目、すなわち、ウェーハＷａとウェーハＷｂの間、及
び、ウェーハＷｂとウェーハＷｃの間に設置すれば、各
ロット間を仕切ることができる。

【００４６】ここで、上記のように各ロット間に第１仕
切板１１４と第２仕切板１１６を挿入した場合、ウェー
ハを連続して処理するためには、上述した第１の実施の
形態と同様に、その挿入した仕切板の存在を何らかの手
段で検出することが必要になる。そこで、第２の実施の
形態のスライスベース剥離装置１００では、次のよう
に、第１仕切板１１４と第２仕切板１１６の存在を検出
する。

【００４７】前記第１スライダ１０２には、支持部材１
１８を介して第１タッチセンサ１２０が設けられてい
る。一方、前記スライダ２４には、この第１タッチセン
サ１２０に当接するセンサドグ１２２が設けられてい
る。ここで、前記第１タッチセンサ１２０とセンサドグ
１２２は、共に吸着パッド５２によってウェーハＷａが
全て剥離されたときに接触するように設定する。この設
定は、前記第１仕切板１１４と第１シリンダ１０６とを
連結する連結部材１１０の長さを調整することにより行
い、次のように設定する。すなわち、吸着パッド５２か
らセンサドグ１２２の先端までの長さＬ₁ と、第１仕切
板１１４から第１タッチセンサ１２０の先端までの長さ
Ｌ₁ が等しくなるように、連結部材１１０の長さを設定
する。

【００４８】この結果、吸着パッド５２によってウェー
ハＷａが全て剥離されると、センサドグ１２２が第１タ
ッチセンサ１２０に当接して第１タッチセンサ１２０が
作動する。制御装置８８は、この第１タッチセンサ１２
０の作動信号を入力することにより、ロットの境目を認
識する。そして、その後、第１シリンダ１０６を駆動し
て第１仕切板１１４を退避させる。

【００４９】なお、第１仕切板１１４が退避すると、吸
着パッド５２はウェーハＷｂの剥離作業を開始するが、
この際、スライダ２４は、第１スライダ１０２を押しな
がらガイドレール２２上を移動する。前記第２仕切板１
１６も同様の機構でその存在を検出する。すなわち、前
記第２スライダ１０４には、支持部材１２４を介して第
２タッチセンサ１２６が設けられており、前記第１スラ
イダ１０２には、この第２タッチセンサ１２６に当接す
るセンサドグ１２８が設けられている。

【００５０】ここで、前記第２タッチセンサ１２６とセ
ンサドグ１２８は、共に吸着パッド５２によってウェー
ハＷｂが全て剥離されたときに接触するように設定す
る。この設定は、上述した第１仕切板１１４を検出する
場合と同様に、前記第２仕切板１１６と第２シリンダ１
０８とを連結する連結部材１１２の長さを調整すること
により行う。すなわち、第１仕切板１１４からセンサド
グ１２８の先端までの長さＬ₂ と、第２仕切板１１６か
ら第２タッチセンサ１２６の先端までの長さＬ₂が等し
くなるように、連結部材１１２の長さを設定する。

【００５１】この結果、吸着パッド５２によってウェー
ハＷｂが全て剥離されると、センサドグ１２８が第２タ
ッチセンサ１２６に当接して第２タッチセンサ１２６が
作動する。制御装置８８は、この第２タッチセンサ１２
６の作動信号を入力することにより、ロットの境目を認
識する。そして、その後、第２シリンダ１０８を駆動し
て第２仕切板１１６を退避させる。

【００５２】なお、第２仕切板１１６が退避すると、吸
着パッド５２はウェーハＷｃの剥離作業を開始するが、
この際、スライダ２４は、第１仕切板１１４の場合と同
様に、第１スライダ１０２と第２スライダ１０４を押し
ながらガイドレール２２上を移動する。第１仕切板１１
４と第２仕切板１１６は、以上のようにして、その存在
を検出される。なお、全てのウェーハＷａ〜Ｗｃが剥離
されたことの検出は、次の機構で行う。

【００５３】前記受板３６が設けられたスライダ２６に
は、支持部材１３０を介して第３タッチセンサ１３２が
設けられており、前記第２スライダ１０４には、この第
３タッチセンサ１３２に当接するセンサドグ１３４が設
けられている。ここで、前記第３タッチセンサ１３２と
センサドグ１３４は、共に吸着パッド５２によってウェ
ーハＷｃが全て剥離されたときに接触するように設定す
る。この設定は、上述した第１仕切板１１４を検出する
場合と同様に、前記受板３６とスライダ２６とを連結す
るアーム３４の横方向の長さを調整することにより行
う。すなわち、第２仕切板１１６からセンサドグ１３４
の先端までの長さＬ₃ と、受板３６から第３タッチセン
サ１３２の先端までの長さＬ₃ が等しくなるように、ア
ーム３４の横方向の長さを設定する。

【００５４】この結果、吸着パッド５２によってウェー
ハＷｃが全て剥離されると、センサドグ１３４が第３タ
ッチセンサ１３２に当接して第３タッチセンサ１３２が
作動する。制御装置８８は、この第３タッチセンサ１３
２の作動信号を入力することにより、全てのウェーハＷ
ａ〜Ｗｃが剥離されたことを認識する。前記のごとく構
成された本発明に係るスライスベース剥離装置の第２の
実施の形態の作用は次の通りである。

【００５５】まず、オペレータがワイヤソーでマルチ切
断されたウェーハＷａ、Ｗｂ、Ｗｃを熱水槽１２内にセ
ットする。次に、オペレータは、第１スライダ１０２を
手で動かし、ウェーハＷａとウェーハＷｂとの間に第１
仕切板１１４を位置させる。そして、第１シリンダ１０
６を駆動して、そのウェーハＷａとウェーハＷｂとの間
に第１仕切板１１４を挿入する。挿入後、更に第１スラ
イダ１０２を前方（図１中左方向）に移動して、第１仕
切板１１４をウェーハＷａの端面に当接させる。

【００５６】同様の手順で、オペレータは、ウェーハＷ
ｂとウェーハＷｃとの間に第２仕切板１１６を挿入し、
ウェーハＷｂの端面に第２仕切板１１６を当接させる。
次に、オペレータは、スライダ２６を手で動かし、受板
３６をウェーハＷｃの端面に当接させる。以上によりオ
ペレータによる初期設定作業は終了し、この後、スライ
スベース剥離装置１００の運転が開始される。なお、こ
のスライスベース剥離装置１００による剥離動作は、上
述した第１の実施の形態のスライスベース剥離装置１０
と同じなので、ここではその説明は省略する。

【００５７】スライスベースＳａに接着されているウェ
ーハＷａは、吸着パッド５２が図中右方向に移動してゆ
くことによって、順次スライスベースＳａから剥離され
てゆく。そして、ウェーハＷａが全てスライスベースＳ
ａから剥離されると、これと同時に、スライダ２４に設
けられているセンサドグ１２２が第１スライダ１０２に
設けられている第１タッチセンサ１２０に当接する。

【００５８】前記センサドグ１２２が第１タッチセンサ
１２０に当接すると、第１タッチセンサ１２０が作動
し、その作動信号が制御装置８８に出力される。制御装
置８８は、この作動信号を入力することにより、種類が
Ｗａのウェーハが全てスライスベースＳａから剥離され
たことを認識する。そして、次のようにスライスベース
剥離装置１０を制御する。

【００５９】すなわち、まず、制御装置８８は、送りモ
ータ３２の駆動を停止し、吸着パッド５２による剥離作
業を一時停止させる。次いで、次工程の制御部に種類が
Ｗａのウェーハが全て剥離されたことを信号として出力
する。一方、次工程からは剥離作業再開の信号が出力さ
れるので、制御装置８８は、この信号を入力することに
より、第１シリンダ１０６を駆動して、第１仕切板１１
４をウェーハＷｂの前方から退避させる。そして、送り
モータ３２に駆動信号を出力して、種類がＷｂのウェー
ハの剥離を開始させる。

【００６０】この種類がＷｂのウェーハを剥離する場合
も、上記と同様の方法、すなわち、第２タッチセンサ１
２６がセンサドグ１２８に押圧されて作動したことを検
出することにより、すべてのウェーハＷｂがスライスベ
ースＳｂから剥離されたことを検出する。制御装置８８
は、この第２タッチセンサ１２６の作動信号を入力した
後は、上記と同様の手順でそれ以降の処理を進めてゆ
く。

【００６１】なお、前記ウェーハＷｂの剥離中、第１ス
ライダ１０２は、スライダ２４に押されて図中右方向に
移動する。第２スライダ１０４も同様であり、前記ウェ
ーハＷｃの剥離中、第２スライダ１０４は、第１スライ
ダ１０２とともにスライダ２４に押されて図中右方向に
移動する。最後のウェーハＷｃがスライスベースＳｃか
ら剥離されると、これと同時に、第２スライダ１０４に
設けられているセンサドグ１３４が第３タッチセンサ１
３２に当接する。第３タッチセンサ１３２は、このセン
サドグ１３４が当接することにより作動するので、制御
装置８８は、この第３タッチセンサ１３２の作動信号を
入力することにより、全てのウェーハＷａ〜Ｗｃが剥離
されたことを認識する。そして、剥離作業を終了させ
る。

【００６２】オペレータは、熱水槽１２内に残ったスラ
イスベースＳａ〜Ｓｃを取り除き、次に剥離するウェー
ハがある場合は、それをセットし、同様の手順でそのウ
ェーハの剥離作業を行う。このように、第２の実施の形
態のスライスベース剥離装置１００も、前述した第１の
実施の形態のスライスベース剥離装置１０と同様の効果
を得ることができる。すなわち、マルチ切断された種類
の異なるウェーハＷａ、Ｗｂ、Ｗｃを互いに混入させる
ことなく剥離することができる。

【００６３】なお、この第２の実施の形態のスライスベ
ース剥離装置１００の場合、剥離装置と仕切装置が一体
化されているので、装置全体をコンパクトにまとめるこ
とができる。なお、上述した第１及び第２の実施の形態
では、３種類の異なるウェーハＷａ〜Ｗｃを剥離する場
合について説明したが、４種類の異なるウェーハを剥離
する場合は、仕切板の数を３枚とし、２種類の異なるウ
ェーハを剥離する場合は、仕切板の数を１枚とすれば、
同様に適用することができる。

【００６４】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
種類の異なる複数のインゴットを同時に切断して得られ
たウェーハを剥離する場合であっても、互いの種類を混
入させることなく剥離することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るスライスベース剥離装置の第１の
実施の形態の平面図

【図２】本発明に係るスライスベース剥離装置の第１の
実施の形態の正面図

【図３】本発明に係るスライスベース剥離装置の第２の
実施の形態の平面図

【図４】マルチ切断による切断方法を説明する説明図

【符号の説明】

１０、１００…スライスベース剥離装置 １２…熱水槽 ２４…スライダ ３６…受板 ５２…吸着パッド ５４…受取パッド ８２、１１４…第１仕切板 ８４、１１６…第２仕切板 Ｗａ〜Ｗｃ…ウェーハ Ｓａ〜Ｓｃ…スライスベース Ｍ…マウンティングプレート

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 直列して配置された種類の異なる複数の
   インゴットを切断機で多数枚同時に切断して得られたウ
   ェーハを、そのウェーハが保持されているスライスベー
   スから一枚ずつ剥離するスライスベース剥離装置におい
   て、 熱水が貯留される熱水槽と、 前記熱水槽内に設置され、剥離対象のウェーハが取り付
   けられる取付台と、 前記ウェーハの一方側の端面を吸着保持する吸着パッド
   と、 前記吸着パッドを前記取付台に沿って移動させる移動手
   段と、 前記移動手段に設けられ、前記吸着パッドを揺動させる
   揺動手段と、 種類の異なるウェーハの間に挿入される仕切板と、 前記ウェーハ間に挿入された仕切板を検出するセンサ
   と、からなることを特徴とするスライスベース剥離装
   置。
2. 【請求項２】 前記センサから出力される検出信号に基
   づいて前記仕切板を前記ウェーハの間から退避させる退
   避手段を設けたことを特徴とする請求項１記載のスライ
   スベース剥離装置。