JP2009300419A - 分光モジュール - Google Patents
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 150
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 121
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 61
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 61
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 39
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 claims description 35
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 21
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims description 12
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 47
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 13
- 230000031700 light absorption Effects 0.000 description 12
- 238000004611 spectroscopical analysis Methods 0.000 description 10
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 6
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 6
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 description 5
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 3
- 229910018885 Pt—Au Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 2
- 238000013007 heat curing Methods 0.000 description 2
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 2
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 2
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 2
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 2
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 2
- RZVAJINKPMORJF-UHFFFAOYSA-N Acetaminophen Chemical compound CC(=O)NC1=CC=C(O)C=C1 RZVAJINKPMORJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 1
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 1
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 1
- JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N Ethyl urethane Chemical compound CCOC(N)=O JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical group [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 239000000805 composite resin Substances 0.000 description 1
- 238000001723 curing Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- 238000002161 passivation Methods 0.000 description 1
- 238000000016 photochemical curing Methods 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 1
- 239000005297 pyrex Substances 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 238000000820 replica moulding Methods 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000003892 spreading Methods 0.000 description 1
- 230000006641 stabilisation Effects 0.000 description 1
- 238000011105 stabilization Methods 0.000 description 1
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
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- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
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- G01J3/0205—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows
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- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
- G01J3/0205—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
- G01J3/0256—Compact construction
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- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
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- G01J3/0259—Monolithic
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
- G01J3/0286—Constructional arrangements for compensating for fluctuations caused by temperature, humidity or pressure, or using cooling or temperature stabilization of parts of the device; Controlling the atmosphere inside a spectrometer, e.g. vacuum
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
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- G01J3/0297—Constructional arrangements for removing other types of optical noise or for performing calibration
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- G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
- G02B27/42—Diffraction optics, i.e. systems including a diffractive element being designed for providing a diffractive effect
- G02B27/4233—Diffraction optics, i.e. systems including a diffractive element being designed for providing a diffractive effect having a diffractive element [DOE] contributing to a non-imaging application
- G02B27/4244—Diffraction optics, i.e. systems including a diffractive element being designed for providing a diffractive effect having a diffractive element [DOE] contributing to a non-imaging application in wavelength selecting devices
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- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/18—Diffraction gratings
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- G02B5/1847—Manufacturing methods
- G02B5/1852—Manufacturing methods using mechanical means, e.g. ruling with diamond tool, moulding
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- G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
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- G02B7/025—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses using glue
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Abstract
【解決手段】 分光モジュール1は、前面2aから入射した光L1を透過させる基板2と、基板2に入射した光L1を透過させるレンズ部3と、レンズ部3に入射した光L1を分光すると共に反射する分光部4と、分光部4によって反射された光L2を検出する光検出素子5と、を備えている。基板2には、光検出素子5を位置決めするための基準部となるアライメントマーク12a,12b等に対して所定の位置関係を有する凹部19が設けられており、レンズ部3は、凹部19に嵌め合わされている。分光モジュール1によれば、レンズ部3を凹部19に嵌め合わせるだけで、分光部4と光検出素子5とのパッシブアライメントが実現される。
【選択図】 図2
Description
[第1の実施形態]
[第2の実施形態]
Claims (8)
- 一方の面から入射した光を透過させる基板と、
前記基板の他方の面側に配置され、前記基板に入射した光を透過させる光透過部と、
前記光透過部に形成され、前記光透過部に入射した光を分光すると共に反射する分光部と、
前記基板の前記一方の面側に配置され、前記分光部によって分光された光を検出する光検出素子と、を備え、
前記他方の面には、前記基板に前記光検出素子を位置決めするための基準部に対して所定の位置関係を有し、光学樹脂剤を介して前記光透過部が嵌め合わされる凹部が設けられており、
前記凹部には、前記分光部のグレーティング溝の延在方向において前記光透過部と嵌め合わされる第1の嵌合部、及び前記グレーティング溝の延在方向と略直交する方向において前記光透過部と嵌め合わされる第2の嵌合部が設けられており、
前記第2の嵌合部と前記光透過部との隙間は、前記第1の嵌合部と前記光透過部との隙間よりも小さくなっていることを特徴とする分光モジュール。 - 前記凹部の側壁は、前記第1の嵌合部、前記第2の嵌合部、及び前記光透過部から離間する離間部を含むことを特徴とする請求項1記載の分光モジュール。
- 前記離間部は、前記光透過部を囲むように複数設けられていることを特徴とする請求項2記載の分光モジュール。
- 一方の面から入射した光を透過させる基板と、
前記基板の他方の面側に配置され、前記基板に入射した光を透過させる光透過部と、
前記光透過部に形成され、前記光透過部に入射した光を分光すると共に反射する分光部と、
前記基板の前記一方の面側に配置され、前記分光部によって分光された光を検出する光検出素子と、を備え、
前記他方の面には、前記基板に前記光検出素子を位置決めするための基準部に対して所定の位置関係を有する凹部が設けられており、
前記光透過部は、前記凹部に嵌め合わされていることを特徴とする分光モジュール。 - 一方の面側から入射した光を透過させる本体部と、
前記本体部に形成され、前記本体部に入射した光を分光すると共に反射する分光部と、
前記本体部の前記一方の面側に配置され、前記分光部によって分光された光を検出する光検出素子と、を備え、
前記一方の面には、前記本体部に前記分光部を位置決めするための基準部に対して所定の位置関係を有し、光学樹脂剤を介して前記光検出素子が嵌め合わされる凹部が設けられており、
前記凹部には、前記分光部のグレーティング溝の延在方向において前記光検出素子と嵌め合わされる第3の嵌合部、及び前記グレーティング溝の延在方向と略直交する方向において前記光検出素子と嵌め合わされる第4の嵌合部が設けられており、
前記第4の嵌合部と前記光検出素子との隙間は、前記第3の嵌合部と前記光検出素子との隙間よりも小さくなっていることを特徴とする分光モジュール。 - 前記光検出素子は、前記グレーティング溝の延在方向と略直交する方向の長さが前記グレーティング溝の延在方向の長さよりも長くなるように長尺状に形成されていることを特徴とする請求項5記載の分光モジュール。
- 前記光検出素子は、前記凹部に嵌め合わされた状態で、前記一方の面から突出していることを特徴とする請求項5又は6記載の分光モジュール。
- 前記光検出素子には、前記分光部に進行する光が通過する光通過孔が設けられていることを特徴とする請求項5〜7のいずれか一項記載の分光モジュール。
Priority Applications (7)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008311057A JP5205241B2 (ja) | 2008-05-15 | 2008-12-05 | 分光モジュール |
EP09746522.3A EP2287574B1 (en) | 2008-05-15 | 2009-05-07 | Spectral module |
PCT/JP2009/058617 WO2009139315A1 (ja) | 2008-05-15 | 2009-05-07 | 分光モジュール |
CN200980117552.8A CN102027343B (zh) | 2008-05-15 | 2009-05-07 | 分光模块 |
US12/992,398 US8804118B2 (en) | 2008-05-15 | 2009-05-07 | Spectral module |
KR1020107015306A KR20110005771A (ko) | 2008-05-15 | 2009-05-07 | 분광모듈 |
KR1020167011626A KR101774186B1 (ko) | 2008-05-15 | 2009-05-07 | 분광모듈 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008128687 | 2008-05-15 | ||
JP2008128687 | 2008-05-15 | ||
JP2008311057A JP5205241B2 (ja) | 2008-05-15 | 2008-12-05 | 分光モジュール |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009300419A true JP2009300419A (ja) | 2009-12-24 |
JP2009300419A5 JP2009300419A5 (ja) | 2010-02-12 |
JP5205241B2 JP5205241B2 (ja) | 2013-06-05 |
Family
ID=41318686
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008311057A Active JP5205241B2 (ja) | 2008-05-15 | 2008-12-05 | 分光モジュール |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8804118B2 (ja) |
EP (1) | EP2287574B1 (ja) |
JP (1) | JP5205241B2 (ja) |
KR (2) | KR20110005771A (ja) |
CN (1) | CN102027343B (ja) |
WO (1) | WO2009139315A1 (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2562886C2 (ru) * | 2010-06-22 | 2015-09-10 | Сенспек Гмбх | Устройство и способ для определения и мониторинга компонентов или свойств измеряемой среды, в частности значений физиологических показателей крови |
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JP2015106106A (ja) | 2013-12-02 | 2015-06-08 | セイコーエプソン株式会社 | 電子デバイスおよび電子機器 |
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- 2009-05-07 KR KR1020107015306A patent/KR20110005771A/ko active Application Filing
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