JP4576961B2 - レプリカ回折格子の製造方法 - Google Patents
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Description
前記レプリカ基板の前記接着剤を介して前記金属薄膜と接着される面を面粗さが1nmRms以下の光沢面となるよう予め研磨すると共に、前記接着剤にカップリング剤を混入することを特徴としている。
前記レプリカ基板の前記接着剤を介して前記金属薄膜と接着される面を面粗さが1nmRms以下の光沢面となるよう予め研磨すると共に、該接着面にカップリング剤を塗布することを特徴としている。
11…ガラス基板
12…金属薄膜
13…離型剤膜
20…レプリカ回折格子
21…レプリカ基板
21a…接着面
22…接着剤
23…アルミニウム薄膜
Claims (2)
- マスター回折格子の格子面に金属薄膜を形成し、該金属薄膜とレプリカ基板とを接着剤を介して密着させた後に該レプリカ基板をマスター回折格子から剥離させ、前記金属薄膜を前記レプリカ基板に反転接着させることで格子面を形成するレプリカ回折格子の製造方法において、
前記レプリカ基板の前記接着剤を介して前記金属薄膜と接着される面を面粗さが1nmRms以下の光沢面となるよう予め研磨すると共に、前記接着剤にカップリング剤を混入することを特徴とするレプリカ回折格子の製造方法。 - マスター回折格子の格子面に金属薄膜を形成し、該金属薄膜とレプリカ基板とを接着剤を介して密着させた後に該レプリカ基板をマスター回折格子から剥離させ、前記金属薄膜を前記レプリカ基板に反転接着させることで格子面を形成するレプリカ回折格子の製造方法において、
前記レプリカ基板の前記接着剤を介して前記金属薄膜と接着される面を面粗さが1nmRms以下の光沢面となるよう予め研磨すると共に、該接着面にカップリング剤を塗布することを特徴とするレプリカ回折格子の製造方法。
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