JPH04294223A - ダイオード列型分光分析器 - Google Patents

ダイオード列型分光分析器

Info

Publication number
JPH04294223A
JPH04294223A JP3318877A JP31887791A JPH04294223A JP H04294223 A JPH04294223 A JP H04294223A JP 3318877 A JP3318877 A JP 3318877A JP 31887791 A JP31887791 A JP 31887791A JP H04294223 A JPH04294223 A JP H04294223A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
diode array
convex surface
support
diode
concave grating
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP3318877A
Other languages
English (en)
Other versions
JP3119917B2 (ja
Inventor
Reinhold Bittner
ラインホルト　ビットナー
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Carl Zeiss SMT GmbH
Carl Zeiss AG
Original Assignee
Carl Zeiss SMT GmbH
Carl Zeiss AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Carl Zeiss SMT GmbH, Carl Zeiss AG filed Critical Carl Zeiss SMT GmbH
Publication of JPH04294223A publication Critical patent/JPH04294223A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3119917B2 publication Critical patent/JP3119917B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/12—Generating the spectrum; Monochromators
    • G01J3/18—Generating the spectrum; Monochromators using diffraction elements, e.g. grating
    • G01J3/20—Rowland circle spectrometers
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/02—Details
    • G01J3/0256—Compact construction
    • G01J3/0259—Monolithic
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/28—Investigating the spectrum
    • G01J3/2803—Investigating the spectrum using photoelectric array detector

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectrometry And Color Measurement (AREA)
  • Static Random-Access Memory (AREA)
  • Ultra Sonic Daignosis Equipment (AREA)
  • Apparatus For Radiation Diagnosis (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、凹面格子及び透明な支
持体を有するダイオード列型分光分析器に関する。
【０００２】
【従来の技術】西ドイツ国特許出願公開第３４４６７２
６号明細書から、機械的に分割された又はホログラフィ
ーによる凹面格子を有する分光分析器及びデマルチプレ
クサは公知である。入射スリット及び出射平面は、実質
的にはローランド円上にある。コンパクトで頑丈な実施
形では、光学部材はガラス体又はプラスチック体に取り
付けられている。この種の分光分析器において出射平面
にダイオード列を配列することも公知である。
【０００３】しかしながら、ダイオード列と分光分析器
との必要な接合の際に、相当に破損する恐れが生じる。 更に、市販のダイオード列はケーシング内に組込まれて
いるので、分光分析器体に直接取り付けることができな
い。
【０００４】Ｈ．Ｗ．Ｙｅｎ　他著、Ｏｐｔｉｃｓ　Ｌ
ｅｔｔ．　６（１９８１）、６３９−６４０頁から、平
面状ローランド円の分光分析器が公知であり、その基体
は層状導波体であり、該導波体上に円筒凹面格子が取り
付けられており、かつ更に該層状導波体は格子と反対側
の側面上にローランド円の輪郭線を有する。半径方向に
配置された光ファイバは信号出力として使用される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明の解決する課題
は、上記形式のダイオード列型分光分析器を、直列ダイ
オード列の使用に適し、設置及び調整が容易で、かつ結
像収差、特にコマ収差が十分に補正されるようにするこ
とであった。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記課題は、請求項１記
載のダイオード列型分光分析器により解決される。有利
な態様は、請求項２に記載されている。
【０００７】本発明は、直列ダイオード列の確実な取付
けには透明な支持体に対向する空隙が必要であることか
ら出発する。それによって、同時に調整のためのダイオ
ード列のシフト及び傾倒による支持体等の製造偏倚の修
正の可能性が開かれる。
【０００８】もちろん、この場合には支持体の空気との
境界面が、収差、特にコマを生じる付加的な屈折面であ
る。本発明は、平坦な光学面の代わりにわん曲した光学
面を導入することにより欠点を伴わなずに空隙の利点の
利用を可能にする。このことは製造技術的に問題ない。 入射スリットを通過する照射ビームの大き過ぎない発散
では、原則的には円筒形で十分である。例えばＨ．Ｗ．
Ｙｅｎ　、著、前記文献に記載されているように導光波
体を使用する場合に、これと同じことが当てはまる。球
面形は問題なく適当で、円筒形のものよりも製造技術的
に容易である。
【０００９】前記のＨ．Ｗ．Ｙｅｎ、　前記文献に基づ
く支持体が、格子と反対側の側面上のローランド円に従
い、該ローランド円の半径が格子半径の半分で、該ロー
ランド円の曲率中心がレンズの中心にある場合と異なり
、ここでの選択した配置において両曲率半径は有利にも
若干の差異があるだけにすぎず、両曲率中心はそれぞれ
もう一方の凸面の曲率頂点の近くにある。
【００１０】
【実施例】次に、本発明を図面及び以下の実施例につき
詳細に説明する。
【００１１】凹面格子１は、例えばＵＢＫ７（Ｓｃｈｏ
ｔｔ）の種類のガラスからなる透明な支持体２上、第１
の凸面２１上に取り付けられている。第２の凸面２２と
ケーシング３１内のダイオード列３の間に、例えば１．
８ｍｍの小さい空隙ｄが設けられている。調整位置で、
ダイオード列３はエポキシ接着剤３２又は類似のもので
支持体２に固定されている。
【００１２】実施例では、支持体２は中心厚２８．２６
ｍｍの球面レンズであり、第１の凸面２１及び格子１の
半径は２９．６４ｍｍでありかつ第２の凸面２２の半径
は２８．１８ｍｍであり、従って僅かな差異にすぎない
。
【００１３】例えば、幅５０μｍ及び高さ２５００μｍ
の入射スリット４が、第２の凸面２２上の、ダイオード
列の近くに取り付けられている。
【００１４】スペクトル分析すべき光は、入射スリット
４から任意の方法で、例えば図面には示めされていない
光ファイバにより供給することができる。
【００１５】ダイオード列３の駆動及び信号評価のため
の電子装置及び場合によりソフトウェアは、同様に記載
されていないが、ホトダイオード列の任意の使用のため
に周知である。
【００１６】１ミリメートル当たり３６６本の線の格子
で、該実施例の分光分析器は、波長３６０から７８０ｎ
ｍまで、１３２ｎｍ／ｍｍの十分な線状の分散を有し、
ダイオード列３において、幅２５μｍのそれぞれのホト
ダイオードで１０ｎｍより良好な解像力が達成される。
【００１７】全ての収差を最小限にするため及びスペク
トルの最適な線状化のためのダイオード列３の位置の支
持体２のレンズ形状、入射スリット４の位置及び大きさ
、正確な決定は、本発明による構成の範囲内で公知の光
学的算出方法を用いて達成される。
【００１８】その際、もう一つの改良点としては、最初
に機械的な格子分割により定義された格子１の代わりに
、ホログラフィー製造による別の収差補正を有するもの
を使用することができる。
【００１９】空気の代わりに、支持体２とダイオード列
３の間の空隙に他の媒介を設けることもできる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明によるダイオード列型分光分析器の１実
施例の断面図である。
【符号の説明】
１　　凹面格子、　　２　　支持体、　　３　　ダイオ
ード列、　　４　　入射スリット、２１，２２　　凸面
、　　３１　　ケーシング、　　３２　　エポキシ接着
剤

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】　　凹面格子（１）及び透明な支持体（２
    ）を有するダイオード列型分光分析器において、該支持
    体が両凸レンズであり、該レンズの第一の凸面（２１）
    は凹面格子（１）を支持し、かつ第二の凸面（２２）は
    短い距離（ｄ）でダイオード列（３）に対向しているこ
    とを特徴とする、ダイオード列型分光分析器。
  2. 【請求項２】　　支持体（２）の両曲率半径（ｒ１，ｒ
    ２）が僅かに異なっているにすぎず、かつ両凸面（２１
    ，２２）の曲率中心が、それぞれもう他方の凸面（２２
    ，２１）の曲率頂点の近くにある、請求項１記載のダイ
    オード列型分光分析機。
JP03318877A 1990-12-04 1991-12-03 ダイオード列型分光分析器 Expired - Lifetime JP3119917B2 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE4038638A DE4038638A1 (de) 1990-12-04 1990-12-04 Diodenzeilen-spektrometer
DE4038638.4 1990-12-04

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH04294223A true JPH04294223A (ja) 1992-10-19
JP3119917B2 JP3119917B2 (ja) 2000-12-25

Family

ID=6419558

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP03318877A Expired - Lifetime JP3119917B2 (ja) 1990-12-04 1991-12-03 ダイオード列型分光分析器

Country Status (5)

Country Link
US (1) US5159404A (ja)
EP (1) EP0489286B1 (ja)
JP (1) JP3119917B2 (ja)
AT (1) ATE126586T1 (ja)
DE (2) DE4038638A1 (ja)

Cited By (28)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004309146A (ja) * 2003-04-02 2004-11-04 Olympus Corp 分光光度計
WO2008149941A1 (ja) 2007-06-08 2008-12-11 Hamamatsu Photonics K.K. 分光モジュール
WO2008149948A1 (ja) 2007-06-08 2008-12-11 Hamamatsu Photonics K.K. 分光モジュール
WO2008149940A1 (ja) 2007-06-08 2008-12-11 Hamamatsu Photonics K.K. 分光モジュール
WO2008149930A1 (ja) 2007-06-08 2008-12-11 Hamamatsu Photonics K.K. 分光モジュール
WO2009110110A1 (ja) 2008-03-04 2009-09-11 浜松ホトニクス株式会社 分光モジュール
US7605917B2 (en) 2004-07-16 2009-10-20 Hamamatsu Photonics K.K. Spectrometer
WO2009139322A1 (ja) 2008-05-15 2009-11-19 浜松ホトニクス株式会社 分光モジュール及び分光モジュールの製造方法
WO2009139316A1 (ja) 2008-05-15 2009-11-19 浜松ホトニクス株式会社 分光モジュールの製造方法及び分光モジュール
WO2009139315A1 (ja) 2008-05-15 2009-11-19 浜松ホトニクス株式会社 分光モジュール
WO2009139321A1 (ja) 2008-05-15 2009-11-19 浜松ホトニクス株式会社 分光モジュール
WO2009139320A1 (ja) 2008-05-15 2009-11-19 浜松ホトニクス株式会社 分光モジュール
DE102009021438A1 (de) 2008-05-15 2009-12-03 Hamamatsu Photonics K.K., Hamamatsu Spektroskopiemodul
DE102009021436A1 (de) 2008-05-15 2009-12-10 Hamamatsu Photonics K.K., Hamamatsu Spektroskopiemodul
DE102009021439A1 (de) 2008-05-15 2009-12-10 Hamamatsu Photonics K.K., Hamamatsu Verfahren zum Herstellen eines Spektroskopiemoduls und Spektroskopiemodul
DE102009021440A1 (de) 2008-05-15 2009-12-17 Hamamatsu Photonics K.K., Hamamatsu Spektroskopiemodul und Verfahren zum Herstellen desselben
DE102009021437A1 (de) 2008-05-15 2009-12-24 Hamamatsu Photonics K.K., Hamamatsu Spektroskopiemodul
WO2011021557A1 (ja) * 2009-08-19 2011-02-24 浜松ホトニクス株式会社 分光モジュール及びその製造方法
WO2011027747A1 (ja) 2009-09-03 2011-03-10 浜松ホトニクス株式会社 分光モジュール
US8031336B2 (en) 2007-06-08 2011-10-04 Hamamatsu Photonics K.K. Spectroscope
US8040507B2 (en) 2008-05-15 2011-10-18 Hamamatsu Photonics K.K. Spectrometer
US8068224B2 (en) 2007-06-08 2011-11-29 Hamamatsu Photonics K.K. Spectroscopic module
JP2012053067A (ja) * 2011-11-17 2012-03-15 Hamamatsu Photonics Kk 分光モジュール
DE112011101148T5 (de) 2010-04-01 2013-01-10 Hamamatsu Photonics K.K. Spektrometermodul
DE112011101155T5 (de) 2010-04-01 2013-01-10 Hamamatsu Photonics K.K. Spektrometermodul
US8368885B2 (en) 2007-06-08 2013-02-05 Hamamatsu Photonics K.K. Spectroscopic module
US8422012B2 (en) 2009-05-01 2013-04-16 Canon Kabushiki Kaisha Spectrometer and image forming apparatus having the same
JP2013140188A (ja) * 2013-04-24 2013-07-18 Canon Inc 分光測色装置及びそれを有する画像形成装置

Families Citing this family (26)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5900932A (en) * 1993-07-02 1999-05-04 Canon Information Systems, Inc. Tristimulus template-type colorimeter
US5731874A (en) * 1995-01-24 1998-03-24 The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University Discrete wavelength spectrometer
DE19543729B4 (de) * 1995-11-23 2008-08-21 Berthold Gmbh & Co. Kg Spektrometer
DE19717015A1 (de) * 1997-04-23 1998-10-29 Inst Mikrotechnik Mainz Gmbh Miniaturisiertes optisches Bauelement sowie Verfahren zu seiner Herstellung
EP0942267B1 (de) * 1998-03-11 2006-08-30 Gretag-Macbeth AG Spektrometer
EP0942266A1 (de) * 1998-03-11 1999-09-15 Gretag-Macbeth AG Spektrometer
DE19836595B4 (de) * 1998-08-13 2005-12-15 Jeti Technische Instrumente Gmbh Anordnung zur Messung von optischen Spektren
DE60016170D1 (de) * 1999-01-08 2004-12-30 Ibsen Photonics As Farum Spektrometer
AU2001276875A1 (en) * 2000-07-11 2002-01-21 Ibsen Photonics Monitoring apparatus for optical transmission systems
US6657723B2 (en) * 2000-12-13 2003-12-02 International Business Machines Corporation Multimode planar spectrographs for wavelength demultiplexing and methods of fabrication
KR100385923B1 (ko) * 2001-08-30 2003-06-09 주식회사 신코 고 분해능 다기능 분광 측색기
FR2847978B1 (fr) * 2002-12-02 2005-12-02 Technologie Optique Et Etudes Spectrometre compact a composant optique monolithique
DE10304312A1 (de) * 2003-02-04 2004-08-12 Carl Zeiss Jena Gmbh Kompakt-Spektrometer
JP4409860B2 (ja) * 2003-05-28 2010-02-03 浜松ホトニクス株式会社 光検出器を用いた分光器
DE102005024271B4 (de) 2005-05-27 2014-03-27 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Gitterspektrometersystem und Verfahren zur Messwerterfassung
DE602005026066D1 (de) 2005-09-22 2011-03-03 Hamamatsu Photonics Kk Spektrometeranbringung und messvorrichtung damit
US7495761B2 (en) * 2006-02-03 2009-02-24 Foster-Miller, Inc. Array detector coupled spectroanalytical system and graded blaze angle grating
FI20075622A0 (fi) * 2007-09-07 2007-09-07 Valtion Teknillinen Spektrometri ja menetelmä liikkuvan näytteen mittaukseen
US7817274B2 (en) 2007-10-05 2010-10-19 Jingyun Zhang Compact spectrometer
US8345226B2 (en) 2007-11-30 2013-01-01 Jingyun Zhang Spectrometers miniaturized for working with cellular phones and other portable electronic devices
JP5205239B2 (ja) * 2008-05-15 2013-06-05 浜松ホトニクス株式会社 分光器
EP2447686B1 (en) * 2010-10-28 2014-05-21 Canon Kabushiki Kaisha Spectral colorimetric apparatus and image forming apparatus including the same
DE102011080276A1 (de) * 2011-08-02 2013-02-07 Carl Zeiss Ag Spektrometer
DE102011080278A1 (de) * 2011-08-02 2013-02-07 Carl Zeiss Ag Echelle-Spektrometer
JP6251073B2 (ja) * 2014-02-05 2017-12-20 浜松ホトニクス株式会社 分光器、及び分光器の製造方法
DE102016225344A1 (de) * 2016-12-16 2018-06-21 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. System zur Analyse von elektromagnetischer Strahlung und Bauelement zur Herstellung desselben

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1982001631A1 (en) * 1980-10-23 1982-05-13 Carter Andrew C Optical transmission systems
DE3446726A1 (de) * 1984-12-21 1986-06-26 Fa. Carl Zeiss, 7920 Heidenheim Optische anordnung mit einem konkavspiegel oder konkavgitter
DE3509132A1 (de) * 1985-03-14 1986-09-18 Fa. Carl Zeiss, 7920 Heidenheim Wellenlaengenmultiplexer oder -demultiplexer
DE3528947A1 (de) * 1985-08-13 1987-02-26 Zeiss Carl Fa Reflexionsbeugungsgitter mit hohem wirkungsgrad
JPS63200108A (ja) * 1987-02-10 1988-08-18 シレイ・インコーポレーテッド 複数の経路を用いた光学システム
US5026160A (en) * 1989-10-04 1991-06-25 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Monolithic optical programmable spectrograph (MOPS)

Cited By (60)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004309146A (ja) * 2003-04-02 2004-11-04 Olympus Corp 分光光度計
US7605917B2 (en) 2004-07-16 2009-10-20 Hamamatsu Photonics K.K. Spectrometer
US8411269B2 (en) 2007-06-08 2013-04-02 Hamamatsu Photonics K.K. Spectroscopic module
WO2008149941A1 (ja) 2007-06-08 2008-12-11 Hamamatsu Photonics K.K. 分光モジュール
WO2008149930A1 (ja) 2007-06-08 2008-12-11 Hamamatsu Photonics K.K. 分光モジュール
US8031336B2 (en) 2007-06-08 2011-10-04 Hamamatsu Photonics K.K. Spectroscope
WO2008149948A1 (ja) 2007-06-08 2008-12-11 Hamamatsu Photonics K.K. 分光モジュール
US8045155B2 (en) 2007-06-08 2011-10-25 Hamamatsu Photonics K.K. Spectroscopic module
US8477305B2 (en) 2007-06-08 2013-07-02 Hamamatsu Photonics K.K. Spectroscope
US8477306B2 (en) 2007-06-08 2013-07-02 Hamamatsu Photonics K.K. Spectroscope
US8045157B2 (en) 2007-06-08 2011-10-25 Hamamatsu Photonics K.K. Spectroscopic module
US8368885B2 (en) 2007-06-08 2013-02-05 Hamamatsu Photonics K.K. Spectroscopic module
JP2012208134A (ja) * 2007-06-08 2012-10-25 Hamamatsu Photonics Kk 分光器
US8068224B2 (en) 2007-06-08 2011-11-29 Hamamatsu Photonics K.K. Spectroscopic module
US8068223B2 (en) 2007-06-08 2011-11-29 Hamamatsu Photonics K.K. Spectroscopic module
WO2008149940A1 (ja) 2007-06-08 2008-12-11 Hamamatsu Photonics K.K. 分光モジュール
US8049887B2 (en) 2007-06-08 2011-11-01 Hamamatsu Photonics K.K. Spectroscopic module
US7961317B2 (en) 2008-03-04 2011-06-14 Hamamatsu Photonics K.K. Spectroscopy module
US8045160B2 (en) 2008-03-04 2011-10-25 Hamamatsu Photonics K.K. Spectroscopy module
EP2801802A1 (en) 2008-03-04 2014-11-12 Hamamatsu Photonics K.K. Spectroscopy module
WO2009110110A1 (ja) 2008-03-04 2009-09-11 浜松ホトニクス株式会社 分光モジュール
DE102009021440A1 (de) 2008-05-15 2009-12-17 Hamamatsu Photonics K.K., Hamamatsu Spektroskopiemodul und Verfahren zum Herstellen desselben
WO2009139320A1 (ja) 2008-05-15 2009-11-19 浜松ホトニクス株式会社 分光モジュール
US8013993B2 (en) 2008-05-15 2011-09-06 Hamamatsu Photonics K.K. Spectroscopy module
US8018591B2 (en) 2008-05-15 2011-09-13 Hamamatsu Photonics K.K. Spectroscopy module
US8027034B2 (en) 2008-05-15 2011-09-27 Hamamatsu Photonics K.K. Method for manufacturing spectroscopy module, and spectroscopy module
DE102009021440B4 (de) * 2008-05-15 2020-04-16 Hamamatsu Photonics K.K. Spektroskopiemodul und Verfahren zum Herstellen desselben
US8035814B2 (en) 2008-05-15 2011-10-11 Hamamatsu Photonics K.K. Spectroscopy module
US8040507B2 (en) 2008-05-15 2011-10-18 Hamamatsu Photonics K.K. Spectrometer
WO2009139322A1 (ja) 2008-05-15 2009-11-19 浜松ホトニクス株式会社 分光モジュール及び分光モジュールの製造方法
JP2009300419A (ja) * 2008-05-15 2009-12-24 Hamamatsu Photonics Kk 分光モジュール
JP2009300423A (ja) * 2008-05-15 2009-12-24 Hamamatsu Photonics Kk 分光モジュール及びその製造方法
DE102009021437A1 (de) 2008-05-15 2009-12-24 Hamamatsu Photonics K.K., Hamamatsu Spektroskopiemodul
DE102009021439A1 (de) 2008-05-15 2009-12-10 Hamamatsu Photonics K.K., Hamamatsu Verfahren zum Herstellen eines Spektroskopiemoduls und Spektroskopiemodul
DE102009021436A1 (de) 2008-05-15 2009-12-10 Hamamatsu Photonics K.K., Hamamatsu Spektroskopiemodul
US8804118B2 (en) 2008-05-15 2014-08-12 Hamamatsu Photonics K.K. Spectral module
US8139214B2 (en) 2008-05-15 2012-03-20 Hamamatsu Photonics K.K. Spectroscopy module, and method for manufacturing the same
DE102009021438A1 (de) 2008-05-15 2009-12-03 Hamamatsu Photonics K.K., Hamamatsu Spektroskopiemodul
US8742320B2 (en) 2008-05-15 2014-06-03 Hamamatsu Photonics K.K. Spectral module and method for manufacturing spectral module
US8604412B2 (en) 2008-05-15 2013-12-10 Hamamatsu Photonics K.K. Spectral module and method for manufacturing spectral module
US8564773B2 (en) 2008-05-15 2013-10-22 Hamamatsu Photonics K.K. Spectroscopy module
WO2009139321A1 (ja) 2008-05-15 2009-11-19 浜松ホトニクス株式会社 分光モジュール
WO2009139316A1 (ja) 2008-05-15 2009-11-19 浜松ホトニクス株式会社 分光モジュールの製造方法及び分光モジュール
WO2009139315A1 (ja) 2008-05-15 2009-11-19 浜松ホトニクス株式会社 分光モジュール
US8422012B2 (en) 2009-05-01 2013-04-16 Canon Kabushiki Kaisha Spectrometer and image forming apparatus having the same
US9217667B2 (en) 2009-05-01 2015-12-22 Canon Kabushiki Kaisha Spectrometer and image forming apparatus having the same
US9075193B2 (en) 2009-08-19 2015-07-07 Hamamatsu Photonics K.K. Spectroscopy module and manufacturing method therefor
JP2011043360A (ja) * 2009-08-19 2011-03-03 Hamamatsu Photonics Kk 分光モジュール及びその製造方法
US9797773B2 (en) 2009-08-19 2017-10-24 Hamamatsu Photonics K.K. Spectroscopy module and manufacturing method therefor
WO2011021557A1 (ja) * 2009-08-19 2011-02-24 浜松ホトニクス株式会社 分光モジュール及びその製造方法
WO2011027747A1 (ja) 2009-09-03 2011-03-10 浜松ホトニクス株式会社 分光モジュール
DE112011101148T5 (de) 2010-04-01 2013-01-10 Hamamatsu Photonics K.K. Spektrometermodul
US9074933B2 (en) 2010-04-01 2015-07-07 Hamamatsu Photonics K.K. Spectrometer module
US9285270B2 (en) 2010-04-01 2016-03-15 Hamamatsu Photonics K.K. Spectrometer module
DE112011101155T5 (de) 2010-04-01 2013-01-10 Hamamatsu Photonics K.K. Spektrometermodul
US9851247B2 (en) 2010-04-01 2017-12-26 Hamamatsu Photonics K.K. Spectrometer module
DE112011101155B4 (de) 2010-04-01 2021-08-26 Hamamatsu Photonics K.K. Spektrometermodul
DE112011101148B4 (de) 2010-04-01 2021-12-30 Hamamatsu Photonics K.K. Spektrometermodul
JP2012053067A (ja) * 2011-11-17 2012-03-15 Hamamatsu Photonics Kk 分光モジュール
JP2013140188A (ja) * 2013-04-24 2013-07-18 Canon Inc 分光測色装置及びそれを有する画像形成装置

Also Published As

Publication number Publication date
EP0489286B1 (de) 1995-08-16
DE59106269D1 (de) 1995-09-21
EP0489286A2 (de) 1992-06-10
JP3119917B2 (ja) 2000-12-25
EP0489286A3 (en) 1992-11-19
ATE126586T1 (de) 1995-09-15
US5159404A (en) 1992-10-27
DE4038638A1 (de) 1992-06-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH04294223A (ja) ダイオード列型分光分析器
US5493393A (en) Planar waveguide spectrograph
US8520204B2 (en) Dyson-type imaging spectrometer having improved image quality and low distortion
US6266140B1 (en) Corrected concentric spectrometer
US7817274B2 (en) Compact spectrometer
JP2000065642A (ja) スペクトロメ―タ
US6744505B1 (en) Compact imaging spectrometer
US20080225291A1 (en) Concave diffraction grating device, reflective dispersion device, and spectral device
JP2008510964A (ja) マルチチャネル、マルチスペクトル型撮像分光計
JP5666459B2 (ja) 収差補正凹面回折格子と透過型収差補正手段とを備える分光計
US6137641A (en) Multi-channel plane grating monochromator
US20120188541A1 (en) Novel spectrometer design for aberration correction, simplified manufacture, and compact footprint
Lo et al. A concave blazed-grating-based smartphone spectrometer for multichannel sensing
CN107894208A (zh) 光谱共焦距离传感器
US6839135B2 (en) Optical device
CN115597711B (zh) 一种光谱仪及其光路设计方法
WO2005095910A1 (en) Spectrometer
EP0563314A1 (en) Planar waveguide spectrograph
US4183668A (en) Method of eliminating astigmatism and coma in a spectrograph including a plane grating and two concave, spherical mirrors
JPH0431720A (ja) ２次元物体の分光装置
CN214666659U (zh) 一种多光束共焦三维轮廓检测***
CN115597499A (zh) 线光光谱共焦测量装置
US7477392B2 (en) Electromagnetic energy measurement apparatus and method
US10837832B2 (en) Spectrometer and method for measuring the spectral characteristics thereof
US20200300699A1 (en) Method and apparatus for linear variable bandpass filter array optical spectrometer

Legal Events

Date Code Title Description
R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071013

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081013

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081013

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091013

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091013

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101013

Year of fee payment: 10

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101013

Year of fee payment: 10

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111013

Year of fee payment: 11

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111013

Year of fee payment: 11

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121013

Year of fee payment: 12

EXPY Cancellation because of completion of term
FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121013

Year of fee payment: 12