JP4627410B2 - 分光器を用いた測定装置 - Google Patents
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Description
50…光学系、51、52…レンズ、55…光源、60…保持部材、61…支持台、62…接続板、63…位置決めホール、70…測定回路、71…配線。
Claims (4)
- 入射した対象光を分光するために用いられる分光部と、
前記分光部に対して所定位置に設けられ、前記対象光を前記分光部内へと入射させる光入射スリットが所定の面上に形成された光入射部材と、
前記光入射部材及び前記分光部を所定の他の部材に対して接続する際に用いられる接続部材と、
前記光入射部材に対して位置決めされて設けられ、前記他の部材に対する前記光入射スリットの位置決めに用いられる位置決め手段と
を備え、
前記分光部は、
前記対象光を通過させる材料からなる光学体と、
前記光学体の下面に設けられ、前記光入射スリットから入射した前記対象光を分光する反射型の回折格子と、
前記光学体の上面に設けられ、前記回折格子による光の分散方向を配列方向として複数の光検出素子が配列されて、前記回折格子によって分光された前記対象光を検出する光検出素子アレイとを有し、
前記光入射部材は、前記光学体の上面上に、その前記光学体と接触する下面上に前記光入射スリットが形成された状態で設置され、
前記接続部材は、前記光学体の上面上に取り付けられ、前記光入射部材が位置決めされて挿入される開口部を有する板状の接続フランジからなるとともに、前記光入射部材での側面、及び前記開口部での対応する側面が接触することによって、前記光入射部材と前記接続フランジとが位置決めされるように構成され、
前記位置決め手段は、前記接続フランジから上方に向かって突出する位置決め凸部によって構成されている分光器を用い、
前記分光器と、
前記対象光を前記分光器の前記光入射スリットへと導く光学系と、
前記分光器の前記接続部材に対して接続され、前記分光器及び前記光学系を位置決めされた状態で保持するように構成された部材であって、前記分光器及び前記光学系を支持する支持台と、前記支持台の上面に対して垂直に立てられ、前記分光器の接続に用いられるとともに前記分光器の前記位置決め凸部が位置決めされて挿入される位置決めホールが設けられた接続板とを有する保持部材と
を備えることを特徴とする測定装置。 - 前記位置決め凸部は、前記接続フランジの上面上に設けられた位置決めロッドからなることを特徴とする請求項1記載の測定装置。
- 前記位置決め凸部は、前記光入射部材に対して位置決めされて設けられた位置決めロッドからなり、
前記接続フランジには、前記位置決めロッドに対応する位置に、前記位置決めロッドが挿通される挿通口が設けられていることを特徴とする請求項1記載の測定装置。 - 前記光入射部材は、所定の厚さの直方体形状を有するガラス部材であり、
前記接続フランジの前記開口部は、上方からみて前記ガラス部材と同形の矩形形状で形成され、
前記ガラス部材での2つの側面、及び前記開口部での対応する2つの側面は、それらが接触することによって前記ガラス部材と前記接続フランジとが位置決めされる位置決め面となっていることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項記載の測定装置。
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