JP2009288278A - Liquid body discharge device, liquid body discharge method, manufacturing apparatus of electro-optic device, manufacturing method of electro-optic device, manufacturing apparatus for electronic equipment and manufacturing method of electronic equipment - Google Patents

Liquid body discharge device, liquid body discharge method, manufacturing apparatus of electro-optic device, manufacturing method of electro-optic device, manufacturing apparatus for electronic equipment and manufacturing method of electronic equipment Download PDF

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裕二 岩田
Tatsuya Ito
達也 伊藤
Osamu Kasuga
治 春日
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a liquid body discharge device capable of suppressing the fluctuation of the discharge quantity in a required pattern formation and the increase of load onto a controller of the liquid body discharge device in the point of time when a discharge means forms the pattern, a liquid body discharge method, a manufacturing apparatus of an electro-optic device, a manufacturing method of an electrooptic device, a manufacturing apparatus for electronic equipment and a manufacturing method of electronic equipment. <P>SOLUTION: The liquid body discharge device for forming the desired pattern on a material where a liquid body is discharged by relatively moving a discharge means for discharging the liquid body and the material on which the liquid body is discharged is provided with a temperature receiving means for receiving temperature in the formation of the desired pattern in the discharge means, a temperature control means for controlling the temperature of the discharge means. The temperature control means controls the temperature of the discharge means in the start of the formation of the desired pattern to the temperature in the formation of the desired pattern. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は、液状体を吐出する吐出ノズルを有する吐出ヘッドを備える液状体吐出装置、当該液状体吐出装置における液状体吐出方法、当該液状体吐出装置を備える電気光学装置の製造装置、当該液状体吐出装置又は当該液状体吐出方法を用いる電気光学装置の製造方法、当該液状体吐出装置を備える電子機器の製造装置、及び当該液状体吐出装置又は当該液状体吐出方法を用いる電子機器の製造方法に関する。   The present invention relates to a liquid material discharge apparatus including a discharge head having a discharge nozzle for discharging a liquid material, a liquid material discharge method in the liquid material discharge apparatus, an electro-optical device manufacturing apparatus including the liquid material discharge apparatus, and the liquid material BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing an electro-optical device using the discharge device or the liquid discharge method, an apparatus for manufacturing an electronic device including the liquid discharge device, and a method for manufacturing an electronic apparatus using the liquid discharge device or the liquid discharge method. .

従来から、カラー液晶装置のカラーフィルタ膜などの機能膜を形成する技術として、液状体を液滴として吐出する液滴吐出ヘッドを備えた液滴吐出装置を用いて、機能膜の材料を含む液状体の液滴を吐出して、被加工物としての基板上の任意の位置に着弾させることで、当該位置に液状体を配置し、配置した液状体を乾燥させて機能膜を形成する技術が知られている。このような膜形成に用いられる液滴吐出装置の液滴吐出ヘッドは、その吐出ノズルから微小な液滴を選択的に吐出して位置精度良く着弾させることができるため、精密な平面形状及び膜厚を有する膜を形成することができる。   Conventionally, as a technique for forming a functional film such as a color filter film of a color liquid crystal device, a liquid droplet containing a functional film material is used using a droplet discharge device having a droplet discharge head that discharges a liquid material as droplets. A technique for forming a functional film by discharging a droplet of a body and landing it on an arbitrary position on a substrate as a workpiece, disposing the liquid material at the position, and drying the disposed liquid material Are known. Since the droplet discharge head of the droplet discharge apparatus used for forming such a film can selectively discharge minute droplets from the discharge nozzle and land with high positional accuracy, the precise planar shape and film A film having a thickness can be formed.

より高機能の機能膜を形成するために、より精密な平面形状及び膜厚の機能膜を実現することが必要になっている。一定の膜厚の機能膜を形成するためには、吐出ノズルからの機能液の吐出量を一定に維持することが必要である。吐出量は、液滴吐出ヘッドが吐出する液滴の大きさ（体積）や、連続吐出する吐出ヘッドが単位時間に吐出する量である。吐出量相当の機能液の重量を吐出重量と表記する。被加工物に向けて液状体を吐出する吐出を描画吐出と表記し、描画吐出を含む略連続した吐出工程を描画吐出工程と表記する。
特許文献１には、印字品質が温度環境に影響されることに着目して、ペルチェ素子を用いてインクジェットヘッドを冷却又は加熱することによって印字品位を安定させるインクジェットプリンタが開示されている。しかし、液滴吐出ヘッド全体の温度を一定に保っても、液滴吐出ヘッドが有する複数の吐出ノズルのそれぞれの吐出量が必ずしも均一ではないことに起因して、一つの液滴吐出ヘッドによって形成される複数の機能膜が必ずしも均一ではない場合があった。特許文献２には、吐出ノズルごとに、駆動パルスの電圧を変更することで吐出量を制御することによって、液体吐出ヘッドのノズルのインク吐出量を均一化する、カラーフィルタの製造方法、パネルの製造装置及び製造方法、液晶表示パネルの製造方法、液晶表示パネルを備えた装置の製造方法が開示されている。 In order to form a functional film having a higher function, it is necessary to realize a functional film having a more precise planar shape and film thickness. In order to form a functional film having a constant thickness, it is necessary to maintain a constant discharge amount of the functional liquid from the discharge nozzle. The ejection amount is the size (volume) of the droplets ejected by the droplet ejection head or the amount ejected per unit time by the ejection head that continuously ejects. The weight of the functional liquid corresponding to the discharge amount is expressed as the discharge weight. Discharge for discharging the liquid material toward the workpiece is referred to as drawing discharge, and a substantially continuous discharge process including drawing discharge is referred to as a drawing discharge process.
Patent Document 1 discloses an ink jet printer that stabilizes print quality by cooling or heating an ink jet head using a Peltier element, paying attention to the fact that print quality is affected by temperature environment. However, even if the temperature of the entire droplet discharge head is kept constant, the discharge amount of each of the plurality of discharge nozzles of the droplet discharge head is not necessarily uniform, so that it is formed by one droplet discharge head. In some cases, the plurality of functional films are not necessarily uniform. Patent Document 2 discloses a method for manufacturing a color filter, a method for manufacturing a color filter, which uniformizes the ink discharge amount of a nozzle of a liquid discharge head by controlling the discharge amount by changing the voltage of a drive pulse for each discharge nozzle. A manufacturing apparatus and manufacturing method, a manufacturing method of a liquid crystal display panel, and a manufacturing method of an apparatus including a liquid crystal display panel are disclosed.

特開２００１−３３４６４５号公報JP 2001-334645 A 特開２００４−９０６２１号公報JP 2004-90621 A

しかしながら、特許文献１や特許文献２に開示された方法又は装置のように、描画吐出工程において温度を調整するためには、描画吐出の実施に並行して、描画吐出の制御の一環として温度を調整する制御を実施する必要がある。従って、通常の描画吐出の制御であっても膨大なデータ処理を必要とするために大きな負荷がかかっている制御装置に、さらに大きな負荷をかけることが必要になるという課題があった。特に、近年は、生産効率の向上のために被加工物が大型になってきたことに対応して液滴吐出装置が大型になり、備える液滴吐出ヘッド（吐出ノズル）の数が多くなり、制御装置にかかる負荷は大きくなる傾向がある。制御装置にかかる負荷が大きく処理に要する時間が長くなると、液滴吐出装置の作業時間が長くなるという課題が発生する。   However, in order to adjust the temperature in the drawing discharge process as in the method or apparatus disclosed in Patent Document 1 or Patent Document 2, the temperature is set as part of the drawing discharge control in parallel with the drawing discharge. It is necessary to implement control to be adjusted. Therefore, there is a problem that even a normal drawing discharge control requires a larger load on a control device that requires a large load because it requires a huge amount of data processing. In particular, in recent years, the droplet discharge device has become large in response to the increase in the size of the workpiece to improve production efficiency, and the number of droplet discharge heads (discharge nozzles) provided has increased. The load on the control device tends to increase. When the load applied to the control device is large and the time required for processing becomes long, there arises a problem that the working time of the droplet discharge device becomes long.

本発明は、上記課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現することが可能である。   SUMMARY An advantage of some aspects of the invention is to solve at least a part of the problems described above, and the invention can be implemented as the following forms or application examples.

［適用例１］本適用例にかかる液状体吐出装置は、液状体を吐出する吐出手段と前記液状体が吐出される被吐出物とを相対移動させ、前記被吐出物に所定のパターンを形成する液状体吐出装置であって、前記吐出手段の前記所定のパターン形成時の温度を取得する温度取得手段と、前記吐出手段の温度を調整する温度調整手段と、を備え、前記温度調整手段は、前記所定のパターン形成を開始する時点における前記吐出手段の温度を、前記所定のパターン形成時の温度に調整することを特徴とする。   Application Example 1 In the liquid material discharge apparatus according to this application example, a discharge unit that discharges a liquid material and a discharge object to which the liquid material is discharged are relatively moved to form a predetermined pattern on the discharge object. A liquid material ejecting apparatus, comprising: a temperature acquisition means for acquiring a temperature at the time of the predetermined pattern formation of the discharge means; and a temperature adjustment means for adjusting the temperature of the discharge means, wherein the temperature adjustment means comprises: The temperature of the ejection unit at the time of starting the predetermined pattern formation is adjusted to the temperature at the time of the predetermined pattern formation.

この液状体吐出装置によれば、温度調整手段は、吐出手段が所定のパターン形成を開始する時点における吐出手段の温度を、温度取得手段が取得した所定のパターン形成時の温度に調整する。吐出手段の温度は、所定のパターン形成を開始する時点から、吐出手段が所定のパターンを形成する際の温度になっているため、所定のパターン形成時における吐出手段の温度は、所定のパターンの形成を開始する当初から略一定となる。吐出手段からの液状体の単位時間あたりに吐出される量又は吐出される液滴の体積である吐出量は、吐出手段の温度によって影響を受けるため、所定のパターン形成時における吐出手段の温度を所定のパターン形成を開始する当初から略一定とすることによって、所定のパターン形成時において吐出量が変動することを抑制することができる。温度調整手段は、吐出手段が所定のパターン形成を開始する時点における吐出手段の温度を、調整するため、吐出手段が所定のパターンの形成を実施している時点において、吐出手段の温度を調整するために稼働することは必要としないため、温度調整手段が稼働することによって、吐出手段がパターンの形成を実施している時点において、液状体吐出装置の制御装置の負荷が増大することを抑制することができる。
なお、吐出手段の温度としては、吐出手段における液状体が吐出される孔の周囲の温度や、液状体に吐出圧力を加える加圧室の温度や、液状体の流路の温度や、加圧室や流路の外壁面の温度などを、適宜採用することができる。いずれの部分の温度であっても、吐出手段による所定のパターン形成時における当該部分の温度を取得し、吐出手段が所定のパターン形成を開始する時点における当該部分の温度を、温度取得手段が取得した所定のパターン形成時の温度に調整する。 According to this liquid material discharge apparatus, the temperature adjusting unit adjusts the temperature of the discharge unit at the time when the discharge unit starts to form a predetermined pattern to the temperature at the time of the predetermined pattern formation acquired by the temperature acquisition unit. Since the temperature of the ejection unit is the temperature at which the ejection unit forms the predetermined pattern from the time when the predetermined pattern formation is started, the temperature of the ejection unit at the time of the predetermined pattern formation is the temperature of the predetermined pattern. It becomes substantially constant from the beginning of formation. Since the amount of liquid discharged from the discharge means per unit time or the discharge volume, which is the volume of discharged droplets, is affected by the temperature of the discharge means, the temperature of the discharge means at the time of forming a predetermined pattern is determined. By making the predetermined pattern formation substantially constant from the beginning, it is possible to suppress fluctuations in the ejection amount during the formation of the predetermined pattern. The temperature adjusting unit adjusts the temperature of the discharge unit when the discharge unit is forming a predetermined pattern in order to adjust the temperature of the discharge unit when the discharge unit starts forming a predetermined pattern. Therefore, it is not necessary to operate for this purpose. Therefore, when the temperature adjusting unit is operated, an increase in the load on the control device of the liquid material discharging device is suppressed at the time when the discharging unit is performing pattern formation. be able to.
The temperature of the discharge means includes the temperature around the hole through which the liquid material is discharged in the discharge means, the temperature of the pressurizing chamber that applies discharge pressure to the liquid material, the temperature of the flow path of the liquid material, The temperature of the outer wall surface of the chamber or the flow path can be appropriately employed. Regardless of the temperature of any part, the temperature of the part at the time of the predetermined pattern formation by the ejection unit is acquired, and the temperature acquisition unit acquires the temperature of the part at the time when the ejection unit starts to form the predetermined pattern The temperature is adjusted to the predetermined pattern formation temperature.

［適用例２］本適用例にかかる液状体吐出装置は、液状体を吐出する吐出手段と前記液状体が吐出される被吐出物とを相対移動させ、前記被吐出物に所定のパターンを形成する液状体吐出装置であって、前記液状体の前記所定のパターン形成時の温度を取得する温度取得手段と、前記液状体の温度を調整する温度調整手段と、を備え、前記温度調整手段は、前記所定のパターン形成を開始する時点における前記液状体の温度を、前記所定のパターン形成時の温度に調整することを特徴とする。   Application Example 2 In the liquid material discharge apparatus according to this application example, a discharge unit that discharges the liquid material and a discharge object to which the liquid material is discharged are relatively moved to form a predetermined pattern on the discharge object. A liquid discharge apparatus that includes: a temperature acquisition unit that acquires a temperature at the time of forming the predetermined pattern of the liquid; and a temperature adjustment unit that adjusts the temperature of the liquid. The temperature of the liquid material at the time of starting the predetermined pattern formation is adjusted to the temperature at the time of the predetermined pattern formation.

この液状体吐出装置によれば、温度調整手段は、吐出手段が所定のパターン形成を開始する時点における液状体の温度を、温度取得手段が取得した所定のパターン形成時の温度に調整する。液状体の温度は、所定のパターン形成を開始する時点から、吐出手段が所定パターンを形成する際の液状体の温度になっているため、所定のパターン形成時における液状体の温度は、所定のパターンの形成を開始する当初から略一定となる。吐出手段からの液状体の単位時間あたりに吐出される量又は吐出される液滴の体積である吐出量は、液状体の温度によって影響を受けるため、所定のパターン形成時における液状体の温度を所定のパターン形成を開始する当初から略一定とすることによって、所定のパターン形成時において吐出量が変動することを抑制することができる。温度調整手段は、吐出手段が所定のパターン形成を開始する時点における液状体の温度を、調整するため、吐出手段が所定のパターンの形成を実施している時点において、液状体の温度を調整するために稼働することは必要としないため、温度調整手段が稼働することによって、吐出手段がパターンの形成を実施している時点において、液状体吐出装置の制御装置の負荷が増大することを抑制することができる。
なお、液状体の温度としては、吐出手段における液状体が吐出される孔にある液状体の温度や、液状体に吐出圧力を加える加圧室内の液状体の温度や、液状体の流路内の液状体の温度や、吐出手段に供給される直前の液状体の温度などを、適宜採用することができる。いずれの温度であっても、吐出手段による所定のパターン形成時における当該液状体の温度を取得し、吐出手段が所定のパターン形成を開始する時点における当該液状体の温度を、温度取得手段が取得した所定のパターン形成時の温度に調整する。 According to this liquid material discharge apparatus, the temperature adjusting unit adjusts the temperature of the liquid material at the time when the discharge unit starts to form a predetermined pattern to the temperature at the time of the predetermined pattern formation acquired by the temperature acquisition unit. Since the temperature of the liquid material is the temperature of the liquid material when the ejection unit forms the predetermined pattern from the time when the predetermined pattern formation is started, the temperature of the liquid material at the time of the predetermined pattern formation is the predetermined temperature. It is substantially constant from the beginning of pattern formation. The amount of liquid ejected from the ejection means per unit time or the volume of ejected droplets is affected by the temperature of the liquid, so the temperature of the liquid during the predetermined pattern formation is By making the predetermined pattern formation substantially constant from the beginning, it is possible to suppress fluctuations in the ejection amount during the formation of the predetermined pattern. The temperature adjusting means adjusts the temperature of the liquid material at the time when the discharge means is forming the predetermined pattern in order to adjust the temperature of the liquid material at the time when the discharge means starts the predetermined pattern formation. Therefore, it is not necessary to operate for this purpose. Therefore, when the temperature adjusting unit is operated, an increase in the load on the control device of the liquid material discharging device is suppressed at the time when the discharging unit is performing pattern formation. be able to.
Note that the temperature of the liquid material includes the temperature of the liquid material in the hole through which the liquid material is discharged in the discharge means, the temperature of the liquid material in the pressurizing chamber that applies the discharge pressure to the liquid material, The temperature of the liquid material, the temperature of the liquid material immediately before being supplied to the discharge means, and the like can be appropriately employed. At any temperature, the temperature of the liquid material at the time of the predetermined pattern formation by the discharge means is acquired, and the temperature acquisition means acquires the temperature of the liquid material at the time when the discharge means starts the predetermined pattern formation. The temperature is adjusted to the predetermined pattern formation temperature.

［適用例３］上記適用例にかかる液状体吐出装置において、前記温度調整手段は、前記吐出手段を暖機駆動させることによって、前記吐出手段又は前記液状体の温度を、前記所定のパターン形成時の温度に調整することが好ましい。   Application Example 3 In the liquid material discharge apparatus according to the above application example, the temperature adjustment unit drives the discharge unit to warm-up, thereby changing the temperature of the discharge unit or the liquid material when the predetermined pattern is formed. It is preferable to adjust to the temperature.

この液状体吐出装置によれば、吐出手段を暖機駆動させることによって、温度調整装置を別に設けることなく、吐出手段又は液状体の温度を、所定のパターン形成時の温度にすることができる。なお、吐出手段を暖機駆動させている駆動状態は、吐出手段を、液状体を通常の状態で吐出するように駆動させる場合や、液状体を吐出しない程度に駆動させる場合を含む、駆動状態である。   According to this liquid material discharge apparatus, the temperature of the discharge means or the liquid material can be set to a temperature at the time of forming a predetermined pattern without separately providing a temperature adjusting device by driving the discharge means to warm up. The drive state in which the discharge means is driven to warm up includes a drive state in which the discharge means is driven to discharge the liquid material in a normal state or to a level at which the liquid material is not discharged. It is.

［適用例４］上記適用例にかかる液状体吐出装置において、前記温度取得手段は、前記暖機駆動の２種類以上の異なる暖機駆動条件において暖機駆動を実施することによって、前記所定のパターン形成時の温度を推定することが好ましい。   Application Example 4 In the liquid material discharge apparatus according to the application example described above, the temperature acquisition unit performs the warm-up drive under two or more different warm-up drive conditions of the warm-up drive, so that the predetermined pattern is obtained. It is preferable to estimate the temperature at the time of formation.

この液状体吐出装置によれば、異なる暖機駆動条件において暖機駆動を実施する。異なる暖機駆動条件において暖機駆動を実施すると、暖機駆動を実施することによる温度変化の状態が暖機駆動条件ごとに互いに異なる。異なる温度変化状態を比較することによって、所定のパターン形成時の温度を推定することができる。   According to this liquid material discharge device, warm-up driving is performed under different warm-up driving conditions. When the warm-up drive is performed under different warm-up drive conditions, the state of temperature change caused by the warm-up drive is different for each warm-up drive condition. By comparing different temperature change states, the temperature at the time of forming a predetermined pattern can be estimated.

［適用例５］上記適用例にかかる液状体吐出装置において、前記暖機駆動の暖機駆動条件を求める暖機条件設定手段をさらに備え、前記暖機条件設定手段は、２種類以上の異なる前記暖機駆動条件において前記暖機駆動を実施することによって、前記吐出手段又は前記液状体の温度が前記所定のパターン形成時の温度となる前記暖機駆動条件を推定することが好ましい。   Application Example 5 The liquid material discharge device according to the application example described above further includes a warm-up condition setting unit that obtains a warm-up drive condition for the warm-up drive, and the warm-up condition setting unit includes two or more different types of the warm-up condition setting unit. It is preferable to estimate the warm-up driving condition in which the temperature of the discharge unit or the liquid material becomes the temperature at the time of forming the predetermined pattern by performing the warm-up drive under the warm-up driving condition.

この液状体吐出装置によれば、異なる暖機駆動条件において暖機駆動を実施する。異なる暖機駆動条件において暖機駆動を実施すると、暖機駆動を実施することによる温度変化の状態が暖機駆動条件ごとに互いに異なる。異なる温度変化状態を比較することによって、所定のパターン形成時の温度を推定することができるため、当該温度を実現できる駆動条件として、所定のパターン形成時の温度を実現できる駆動条件を推定することができる。   According to this liquid material discharge device, warm-up driving is performed under different warm-up driving conditions. When the warm-up drive is performed under different warm-up drive conditions, the state of temperature change caused by the warm-up drive is different for each warm-up drive condition. By comparing different temperature change states, the temperature at the time of the predetermined pattern formation can be estimated. Therefore, as the drive condition that can realize the temperature, the drive condition that can realize the temperature at the time of the predetermined pattern formation is estimated. Can do.

［適用例６］上記適用例にかかる液状体吐出装置において、前記温度調整手段は、前記吐出手段又は前記液状体の温度を測定する温度測定手段をさらに有し、前記温度測定手段の測定結果に応じて前記吐出手段を暖機駆動させることによって、前記吐出手段又は前記液状体の温度を、前記所定のパターン形成時の温度に調整することが好ましい。   Application Example 6 In the liquid material discharge apparatus according to the application example, the temperature adjusting unit further includes a temperature measurement unit that measures the temperature of the discharge unit or the liquid material, and the measurement result of the temperature measurement unit Accordingly, it is preferable that the temperature of the ejection unit or the liquid material is adjusted to the temperature at which the predetermined pattern is formed by driving the ejection unit to warm up.

この液状体吐出装置によれば、温度測定手段の測定結果に応じて吐出手段を暖機駆動させることによって、吐出手段又は液状体の温度を調整するため、温度測定手段が実測した吐出手段又は液状体の実際の温度を、確実に所定のパターン形成時の温度に調整することができる。   According to this liquid material discharge device, the temperature measuring means measures the temperature of the discharge means or the liquid material by adjusting the temperature of the discharge means or the liquid material by warming up the discharge means according to the measurement result of the temperature measuring means. The actual temperature of the body can be reliably adjusted to the temperature at which the predetermined pattern is formed.

［適用例７］上記適用例にかかる液状体吐出装置において、前記温度調整手段は、加熱手段又は冷却手段であって、前記吐出手段又は前記液状体を加熱又は冷却することによって、前記吐出手段又は前記液状体の温度を、前記所定のパターン形成時の温度に調整することが好ましい。   Application Example 7 In the liquid material discharge apparatus according to the above application example, the temperature adjusting means is a heating means or a cooling means, and the discharge means or the liquid material is heated or cooled to heat or cool the discharge means or the liquid material. It is preferable to adjust the temperature of the liquid material to a temperature at the time of forming the predetermined pattern.

この液状体吐出装置によれば、加熱手段又は冷却手段によって、吐出手段又は液状体を加熱又は冷却することにより、吐出手段又は液状体の温度を確実に変えて、確実に所定のパターン形成時の温度に調整することができる。   According to this liquid material discharge apparatus, the temperature of the discharge means or the liquid material can be changed reliably by heating or cooling the discharge means or the liquid material by the heating means or the cooling means, so that the predetermined pattern can be reliably formed. Can be adjusted to temperature.

［適用例８］上記適用例にかかる液状体吐出装置において、前記温度取得手段は、前記所定のパターン形成を開始する時点における前記吐出手段又は前記液状体の温度を２種類以上の異なる温度に調整し、それぞれの温度の場合における前記所定のパターン形成を実施する際の温度変化によって、前記所定のパターン形成時の温度を推定することが好ましい。   Application Example 8 In the liquid material discharge apparatus according to the above application example, the temperature acquisition unit adjusts the temperature of the discharge unit or the liquid material at two or more different temperatures when the predetermined pattern formation is started. It is preferable that the temperature at the time of the predetermined pattern formation is estimated based on a temperature change when the predetermined pattern formation is performed at each temperature.

この液状体吐出装置によれば、吐出手段又は液状体の温度が異なる状態で所定のパターン形成を開始する。所定のパターン形成開始時の温度が異なることで、所定のパターン形成を実施する際の吐出手段又は液状体の温度の挙動が互いに異なる。異なる温度変化を比較することによって、所定のパターン形成時の温度を推定することができる。   According to this liquid material discharge apparatus, predetermined pattern formation is started in a state where the temperature of the discharge means or the liquid material is different. Since the temperature at the start of the predetermined pattern formation is different, the behavior of the temperature of the discharge means or the liquid material when performing the predetermined pattern formation is different. By comparing different temperature changes, the temperature at the time of forming a predetermined pattern can be estimated.

［適用例９］上記適用例にかかる液状体吐出装置において、前記温度調整手段は、前記吐出手段又は前記液状体の温度を測定する温度測定手段をさらに有し、前記加熱手段又は前記冷却手段は、前記温度測定手段の測定結果に応じて前記吐出手段又は前記液状体を加熱又は冷却することによって、前記吐出手段又は前記液状体の温度を、前記所定のパターン形成時の温度に調整することが好ましい。   Application Example 9 In the liquid material discharge apparatus according to the application example, the temperature adjustment unit further includes a temperature measurement unit that measures the temperature of the discharge unit or the liquid material, and the heating unit or the cooling unit includes The temperature of the discharge means or the liquid material may be adjusted to the temperature at which the predetermined pattern is formed by heating or cooling the discharge means or the liquid material according to the measurement result of the temperature measurement means. preferable.

この液状体吐出装置によれば、温度測定手段の測定結果に応じて、加熱手段又は冷却手段は、吐出手段又は液状体を加熱又は冷却する。このため、温度測定手段が実測した吐出手段又は液状体の実際の温度を、確実に所定のパターン形成時の温度に調整することができる。   According to this liquid material discharge apparatus, the heating means or the cooling means heats or cools the discharge means or the liquid according to the measurement result of the temperature measuring means. For this reason, the actual temperature of the discharging means or the liquid material actually measured by the temperature measuring means can be reliably adjusted to the temperature at the time of forming the predetermined pattern.

［適用例１０］本適用例にかかる液状体吐出方法は、液状体を吐出する吐出手段と前記液状体が吐出される被吐出物とを相対移動させ、前記被吐出物に所定のパターンを形成する液状体吐出方法であって、前記吐出手段の前記所定のパターン形成時の温度を取得する温度取得工程と、前記吐出手段の温度を調整する温度調整工程と、を有し、前記温度調整工程において、前記所定のパターン形成を開始する時点における前記吐出手段の温度を、前記所定のパターン形成時の温度に調整することを特徴とする。   [Application Example 10] In the liquid material discharge method according to this application example, a predetermined pattern is formed on the discharge object by relatively moving the discharge means for discharging the liquid material and the discharge object to which the liquid material is discharged. A liquid material discharge method, comprising: a temperature acquisition step of acquiring a temperature at the time of forming the predetermined pattern of the discharge unit; and a temperature adjustment step of adjusting a temperature of the discharge unit, the temperature adjustment step The temperature of the discharge means at the time of starting the predetermined pattern formation is adjusted to the temperature at the time of the predetermined pattern formation.

この液状体吐出方法によれば、温度調整工程において、吐出手段が所定のパターン形成を開始する時点における吐出手段の温度を、温度取得工程において取得した所定のパターン形成時の温度に調整する。吐出手段の温度は、所定のパターン形成を開始する時点から、吐出手段が所定のパターンを形成する際の温度になっているため、所定のパターン形成時における吐出手段の温度は、所定のパターンの形成を開始する当初から略一定となる。吐出手段からの液状体の単位時間あたりに吐出される量又は吐出される液滴の体積である吐出量は、吐出手段の温度によって影響を受けるため、所定のパターン形成時における吐出手段の温度を所定のパターン形成を開始する当初から略一定とすることによって、所定のパターン形成時において吐出量が変動することを抑制することができる。温度調整工程において、吐出手段が所定のパターン形成を開始する時点における吐出手段の温度を調整するため、吐出手段が所定のパターンの形成を実施している時点において、吐出手段の温度を調整することは必要としないため、温度調整工程を吐出手段による所定のパターンの形成の実施と並行して実施する場合に比べて、液状体吐出装置の制御装置の負荷が増大することを抑制することができる。
なお、吐出手段の温度としては、吐出手段における液状体が吐出される孔の周囲の温度や、液状体に吐出圧力を加える加圧室の温度や、液状体の流路の温度や、加圧室や流路の外壁面の温度などを、適宜採用することができる。いずれの部分の温度であっても、吐出手段による所定のパターン形成時における当該部分の温度を取得し、吐出手段が所定のパターン形成を開始する時点における当該部分の温度を、温度取得工程において取得した所定のパターン形成時の温度に調整する。 According to this liquid material discharge method, in the temperature adjustment step, the temperature of the discharge unit when the discharge unit starts to form a predetermined pattern is adjusted to the temperature at the time of the predetermined pattern formation acquired in the temperature acquisition step. Since the temperature of the ejection unit is the temperature at which the ejection unit forms the predetermined pattern from the time when the predetermined pattern formation is started, the temperature of the ejection unit at the time of the predetermined pattern formation is the temperature of the predetermined pattern. It becomes substantially constant from the beginning of formation. Since the amount of liquid discharged from the discharge means per unit time or the discharge volume, which is the volume of discharged droplets, is affected by the temperature of the discharge means, the temperature of the discharge means at the time of forming a predetermined pattern is determined. By making the predetermined pattern formation substantially constant from the beginning, it is possible to suppress fluctuations in the ejection amount during the formation of the predetermined pattern. In the temperature adjustment step, in order to adjust the temperature of the ejection unit when the ejection unit starts to form a predetermined pattern, the temperature of the ejection unit is adjusted when the ejection unit is forming a predetermined pattern. Is not necessary, and therefore, it is possible to suppress an increase in the load on the control device of the liquid material discharge device, compared to the case where the temperature adjustment step is performed in parallel with the formation of the predetermined pattern by the discharge means. .
The temperature of the discharge means includes the temperature around the hole through which the liquid material is discharged in the discharge means, the temperature of the pressurizing chamber that applies discharge pressure to the liquid material, the temperature of the flow path of the liquid material, The temperature of the outer wall surface of the chamber or the flow path can be appropriately employed. Regardless of the temperature of any part, the temperature of the part at the time of the predetermined pattern formation by the ejection unit is acquired, and the temperature of the part at the time when the ejection unit starts the predetermined pattern formation is acquired in the temperature acquisition process. The temperature is adjusted to the predetermined pattern formation temperature.

［適用例１１］本適用例にかかる液状体吐出方法は、液状体を吐出する吐出手段と前記液状体が吐出される被吐出物とを相対移動させ、前記被吐出物に所定のパターンを形成する液状体吐出方法であって、前記所定のパターン形成時における前記液状体の温度を取得する温度取得工程と、前記液状体の温度を調整する温度調整工程と、を有し、前記温度調整工程において、前記所定のパターン形成を開始する時点における前記液状体の温度を、前記所定のパターン形成時の温度に調整することを特徴とする。   Application Example 11 In the liquid material discharge method according to this application example, the discharge unit for discharging the liquid material and the discharge object to which the liquid material is discharged are relatively moved to form a predetermined pattern on the discharge object. A liquid material discharge method comprising: a temperature acquisition step of acquiring a temperature of the liquid material at the time of forming the predetermined pattern; and a temperature adjustment step of adjusting the temperature of the liquid material, wherein the temperature adjustment step The temperature of the liquid material at the time of starting the predetermined pattern formation is adjusted to the temperature at the time of the predetermined pattern formation.

この液状体吐出方法によれば、温度調整工程において、吐出手段が所定のパターン形成を開始する時点における液状体の温度を、温度取得工程において取得した所定のパターン形成時の温度に調整する。液状体の温度は、所定のパターン形成を開始する時点から、吐出手段が所定パターンを形成する際の液状体の温度になっているため、所定のパターン形成時における液状体の温度は、所定のパターンの形成を開始する当初から略一定となる。吐出手段からの液状体の単位時間あたりに吐出される量又は吐出される液滴の体積である吐出量は、液状体の温度によって影響を受けるため、所定のパターン形成時における液状体の温度を所定のパターン形成を開始する当初から略一定とすることによって、所定のパターン形成時において吐出量が変動することを抑制することができる。温度調整工程では、吐出手段が所定のパターン形成を開始する時点における液状体の温度を調整するため、吐出手段が所定のパターンの形成を実施している時点において、温度調整工程を実施することは必要としないため、吐出手段が所定のパターンの形成を実施している時点において、並行して温度調整工程を実施する場合に比べて、液状体吐出装置の制御装置の負荷が増大することを抑制することができる。
なお、液状体の温度としては、吐出手段における液状体が吐出される孔にある液状体の温度や、液状体に吐出圧力を加える加圧室内の液状体の温度や、液状体の流路内の液状体の温度や、吐出手段に供給される直前の液状体の温度などを、適宜採用することができる。いずれの液状体の温度であっても、吐出手段による所定のパターン形成時における当該液状体の温度を取得し、吐出手段が所定のパターン形成を開始する時点における当該液状体の温度を、温度取得工程において取得した所定のパターン形成時の温度に調整する。 According to this liquid material discharge method, in the temperature adjustment step, the temperature of the liquid material at the time when the discharge means starts to form a predetermined pattern is adjusted to the temperature at the time of the predetermined pattern formation acquired in the temperature acquisition step. Since the temperature of the liquid material is the temperature of the liquid material when the ejection unit forms the predetermined pattern from the time when the predetermined pattern formation is started, the temperature of the liquid material at the time of the predetermined pattern formation is the predetermined temperature. It is substantially constant from the beginning of pattern formation. The amount of liquid ejected from the ejection means per unit time or the volume of ejected droplets is affected by the temperature of the liquid, so the temperature of the liquid during the predetermined pattern formation is By making the predetermined pattern formation substantially constant from the beginning, it is possible to suppress fluctuations in the ejection amount during the formation of the predetermined pattern. In the temperature adjustment process, in order to adjust the temperature of the liquid material at the time when the ejection unit starts to form a predetermined pattern, the temperature adjustment process is performed when the ejection unit is performing the formation of the predetermined pattern. Since it is not necessary, it is possible to suppress an increase in the load on the control device of the liquid material discharge device compared to the case where the temperature adjustment process is performed in parallel when the discharge means is forming a predetermined pattern. can do.
Note that the temperature of the liquid material includes the temperature of the liquid material in the hole through which the liquid material is discharged in the discharge means, the temperature of the liquid material in the pressurizing chamber that applies the discharge pressure to the liquid material, The temperature of the liquid material, the temperature of the liquid material immediately before being supplied to the discharge means, and the like can be appropriately employed. Regardless of the temperature of any liquid material, the temperature of the liquid material at the time of the predetermined pattern formation by the discharge unit is acquired, and the temperature of the liquid material at the time when the discharge unit starts the predetermined pattern formation is acquired. The temperature is adjusted to the predetermined pattern formation temperature acquired in the process.

［適用例１２］上記適用例にかかる液状体吐出方法において、前記温度調整工程では、前記吐出手段を暖機駆動させることによって、前記吐出手段又は前記液状体の温度を、前記所定のパターン形成時の温度に調整することが好ましい。   Application Example 12 In the liquid material discharge method according to the application example described above, in the temperature adjustment step, the temperature of the discharge unit or the liquid material is changed during the predetermined pattern formation by driving the discharge unit warm-up. It is preferable to adjust to the temperature.

この液状体吐出方法によれば、吐出手段を暖機駆動させることによって、温度調整装置を別に設けることなく、吐出手段又は液状体の温度を、所定のパターン形成時の温度にすることができる。なお、吐出手段を暖機駆動させている駆動状態は、吐出手段を、液状体を通常の状態で吐出するように駆動させる場合や、液状体を吐出しない程度に駆動させる場合を含む、駆動状態である。   According to this liquid material discharge method, the temperature of the discharge means or the liquid material can be set to a temperature at the time of forming a predetermined pattern without separately providing a temperature adjusting device by driving the discharge means to warm up. The drive state in which the discharge means is driven to warm up includes a drive state in which the discharge means is driven to discharge the liquid material in a normal state or to a level at which the liquid material is not discharged. It is.

［適用例１３］上記適用例にかかる液状体吐出方法において、前記温度取得工程は、第一の暖機駆動条件において暖機駆動を実施した後に前記所定のパターンを形成する工程と、前記第一の暖機駆動条件とは異なる第二の暖機駆動条件において前記暖機駆動を実施した後に前記所定のパターンを形成する工程と、を有し、それぞれの工程における前記所定のパターンを形成する際の前記吐出手段又は前記液状体の温度変化によって、前記所定のパターン形成時の温度を推定することが好ましい。   [Application Example 13] In the liquid material discharge method according to the application example, the temperature acquisition step includes the step of forming the predetermined pattern after the warm-up driving is performed under the first warm-up driving condition, and the first Forming the predetermined pattern after performing the warm-up drive under a second warm-up drive condition different from the warm-up drive condition, and forming the predetermined pattern in each step It is preferable that the temperature at the time of forming the predetermined pattern is estimated based on the temperature change of the discharge means or the liquid material.

この液状体吐出方法によれば、異なる暖機駆動条件において暖機駆動を実施する。異なる暖機駆動条件において暖機駆動を実施すると、暖機駆動を実施することによる温度変化の状態及び到達する温度が暖機駆動条件ごとに互いに異なる。したがって、所定のパターンを形成する工程を開始する時点の温度が暖機駆動条件ごとに互いに異なる。開始時の温度が異なる場合の所定のパターンを形成する工程は、温度変化の状態が互いに異なる。異なる温度変化状態を比較することによって、所定のパターン形成時の温度を推定することができる。   According to this liquid material discharge method, warm-up driving is performed under different warm-up driving conditions. When the warm-up drive is performed under different warm-up drive conditions, the temperature change state and the reached temperature due to the warm-up drive differ for each warm-up drive condition. Therefore, the temperature at the time of starting the process of forming the predetermined pattern is different for each warm-up driving condition. The process of forming the predetermined pattern when the starting temperatures are different is different in temperature change state. By comparing different temperature change states, the temperature at the time of forming a predetermined pattern can be estimated.

［適用例１４］上記適用例にかかる液状体吐出方法において、前記暖機駆動の暖機駆動条件を求める暖機条件設定工程をさらに有し、前記暖機条件設定工程は、第一の暖機駆動条件において前記暖機駆動を実施した後に前記所定のパターンを形成する工程と、前記第一の暖機駆動条件とは異なる第二の暖機駆動条件において前記暖機駆動を実施した後に前記所定のパターンを形成する工程と、それぞれの工程における前記所定のパターンを形成する際の前記吐出手段又は前記液状体の温度変化によって、前記暖機駆動を実施することで前記吐出手段又は前記液状体の温度が前記所定のパターン形成時の温度となる前記暖機駆動条件を推定する工程と、を有することが好ましい。   Application Example 14 In the liquid material discharge method according to the application example described above, the liquid material discharge method further includes a warm-up condition setting step for obtaining a warm-up drive condition for the warm-up drive. The step of forming the predetermined pattern after performing the warm-up drive under a driving condition, and the predetermined pattern after performing the warm-up driving under a second warm-up drive condition different from the first warm-up drive condition Forming the pattern, and by performing the warm-up drive according to a temperature change of the discharge unit or the liquid material when forming the predetermined pattern in each step, the discharge unit or the liquid material It is preferable to include a step of estimating the warm-up driving condition at which the temperature becomes the temperature at the time of forming the predetermined pattern.

この液状体吐出方法によれば、異なる暖機駆動条件において暖機駆動を実施する。異なる暖機駆動条件において暖機駆動を実施すると、暖機駆動を実施することによる温度変化の状態及び到達する温度が暖機駆動条件ごとに互いに異なる。したがって、所定のパターンを形成する工程を開始する時点の温度が暖機駆動条件ごとに互いに異なる。開始時の温度が異なる場合の所定のパターンを形成する工程は、温度変化の状態が互いに異なる。異なる温度変化状態を比較することによって、所定のパターン形成時の温度を推定することができるため、当該温度を実現できる駆動条件として、所定のパターン形成時の温度を実現できる駆動条件を推定することができる。   According to this liquid material discharge method, warm-up driving is performed under different warm-up driving conditions. When the warm-up drive is performed under different warm-up drive conditions, the temperature change state and the reached temperature due to the warm-up drive differ for each warm-up drive condition. Therefore, the temperature at the time of starting the process of forming the predetermined pattern is different for each warm-up driving condition. The process of forming the predetermined pattern when the starting temperatures are different is different in temperature change state. By comparing different temperature change states, the temperature at the time of the predetermined pattern formation can be estimated. Therefore, as the drive condition that can realize the temperature, the drive condition that can realize the temperature at the time of the predetermined pattern formation is estimated. Can do.

［適用例１５］上記適用例にかかる液状体吐出方法において、前記温度調整工程は、前記吐出手段又は前記液状体の温度を測定する温度測定工程を含み、前記温度測定工程における測定結果に応じて前記吐出手段を暖機駆動させることによって、前記吐出手段又は前記液状体の温度を、前記所定のパターン形成時の温度に調整することが好ましい。   Application Example 15 In the liquid material discharge method according to the application example, the temperature adjustment step includes a temperature measurement step of measuring the temperature of the discharge means or the liquid material, and according to the measurement result in the temperature measurement step. It is preferable that the temperature of the ejection unit or the liquid material is adjusted to the temperature at which the predetermined pattern is formed by driving the ejection unit to warm up.

この吐出方法によれば、温度測定工程における測定結果に応じて吐出手段を暖機駆動させることによって、吐出手段又は液状体の温度を調整するため、温度測定工程において実測された吐出手段又は液状体の実際の温度を、確実に所定のパターン形成時の温度に調整することができる。   According to this discharge method, since the temperature of the discharge means or the liquid material is adjusted by warming up the discharge means in accordance with the measurement result in the temperature measurement process, the discharge means or the liquid material actually measured in the temperature measurement process is adjusted. It is possible to reliably adjust the actual temperature to the temperature at which a predetermined pattern is formed.

［適用例１６］上記適用例にかかる液状体吐出方法において、前記温度調整工程では、前記吐出手段又は前記液状体を加熱又は冷却することによって、前記吐出手段又は前記液状体の温度を、前記所定のパターン形成時の温度に調整することが好ましい。   Application Example 16 In the liquid material discharge method according to the application example described above, in the temperature adjustment step, the temperature of the discharge means or the liquid material is set to the predetermined temperature by heating or cooling the discharge means or the liquid material. It is preferable to adjust the temperature at the time of pattern formation.

この液状体吐出方法によれば、吐出手段又は液状体を加熱又は冷却することにより、吐出手段又は液状体の温度を確実に変えて、確実に所定のパターン形成時の温度に調整することができる。   According to this liquid material discharge method, by heating or cooling the discharge means or the liquid material, the temperature of the discharge means or the liquid material can be changed reliably and adjusted to a predetermined pattern forming temperature. .

［適用例１７］上記適用例にかかる液状体吐出方法において、前記温度取得工程では、前記所定のパターン形成を開始する時点における前記吐出手段又は前記液状体の温度を２種類以上の異なる温度に調整し、それぞれの温度の場合における前記所定のパターン形成を実施する際の温度変化によって、前記所定のパターン形成時の温度を推定することが好ましい。   Application Example 17 In the liquid material discharge method according to the above application example, in the temperature acquisition step, the temperature of the discharge unit or the liquid material at the time of starting the predetermined pattern formation is adjusted to two or more different temperatures. It is preferable that the temperature at the time of the predetermined pattern formation is estimated based on a temperature change when the predetermined pattern formation is performed at each temperature.

この液状体吐出方法によれば、吐出手段又は液状体の温度が異なる状態で所定のパターン形成を開始する。所定のパターン形成開始時の温度が異なることで、所定のパターン形成を実施する際の吐出手段又は液状体の温度の挙動が互いに異なる。異なる温度変化を比較することによって、所定のパターン形成時の温度を推定することができる。   According to this liquid material discharge method, predetermined pattern formation is started in a state where the temperature of the discharge means or the liquid material is different. Since the temperature at the start of the predetermined pattern formation is different, the behavior of the temperature of the discharge means or the liquid material when performing the predetermined pattern formation is different. By comparing different temperature changes, the temperature at the time of forming a predetermined pattern can be estimated.

［適用例１８］上記適用例にかかる液状体吐出方法において、前記温度調整工程は、前記吐出手段又は前記液状体の温度を測定する温度測定工程をさらに有し、前記温度測定工程における測定結果に応じて前記吐出手段又は前記液状体を加熱又は冷却することによって、前記吐出手段又は前記液状体の温度を、前記所定のパターン形成時の温度に調整することが好ましい。   [Application Example 18] In the liquid material discharge method according to the application example, the temperature adjustment step further includes a temperature measurement step of measuring the temperature of the discharge means or the liquid material, and the measurement result in the temperature measurement step Accordingly, it is preferable to adjust the temperature of the discharge means or the liquid material to the temperature at the time of forming the predetermined pattern by heating or cooling the discharge means or the liquid material.

この液状体吐出方法によれば、温度測定工程における測定結果に応じて、吐出手段又は液状体を加熱又は冷却する。このため、温度測定工程において実測した吐出手段又は液状体の実際の温度を、確実に所定のパターン形成時の温度に調整することができる。   According to this liquid material discharge method, the discharge means or the liquid material is heated or cooled according to the measurement result in the temperature measurement step. For this reason, the actual temperature of the discharge means or the liquid material actually measured in the temperature measurement step can be reliably adjusted to the temperature at the time of forming the predetermined pattern.

［適用例１９］本適用例にかかる電気光学装置の製造装置は、上記適用例にかかる液状体吐出装置を備え、当該液状体吐出装置を用いて電気光学装置を構成する機能膜を形成することを特徴とする。   Application Example 19 An electro-optical device manufacturing apparatus according to this application example includes the liquid material ejection device according to the application example, and uses the liquid material ejection device to form a functional film constituting the electro-optical device. It is characterized by.

この電気光学装置の製造装置によれば、当該装置が備える液状体吐出装置は、所定のパターン形成時における吐出手段又は液状体の温度を所定のパターン形成を開始する当初から略一定とすることによって、所定のパターン形成時において吐出量が変動することを抑制することができると共に、吐出手段が所定のパターンの形成を実施している時点において、液状体吐出装置の制御装置の負荷が増大することを抑制することができる。この液状体吐出装置を用いて電気光学装置の機能膜を形成するため、吐出量の変動に起因して機能膜の厚さなどが変動することにより、機能膜の機能が損なわれることを抑制することができると共に、制御装置の負荷の増大を抑制して、効率よく電気光学装置を製造することができる。   According to the electro-optical device manufacturing apparatus, the liquid material discharge device included in the apparatus sets the temperature of the discharge means or the liquid material at the time of the predetermined pattern formation to be substantially constant from the beginning of the predetermined pattern formation. In addition, it is possible to suppress fluctuations in the discharge amount during the formation of the predetermined pattern, and the load on the control device of the liquid material discharge apparatus increases at the time when the discharge means is performing the formation of the predetermined pattern. Can be suppressed. Since the functional film of the electro-optical device is formed by using this liquid material discharge device, it is possible to suppress the functional film from being impaired due to a change in the thickness of the functional film due to a change in the discharge amount. In addition, the electro-optical device can be efficiently manufactured while suppressing an increase in the load on the control device.

［適用例２０］本適用例にかかる電気光学装置の製造方法は、上記適用例にかかる液状体吐出装置、又は上記適用例にかかる液状体吐出方法を用いて電気光学装置を構成する機能膜を形成することを特徴とする。   Application Example 20 An electro-optical device manufacturing method according to this application example includes a liquid material ejection device according to the application example, or a functional film that constitutes an electro-optical device using the liquid material ejection method according to the application example. It is characterized by forming.

この電気光学装置の製造方法によれば、所定のパターン形成時における吐出手段又は液状体の温度を所定のパターン形成を開始する当初から略一定とすることによって、所定のパターン形成時において吐出量が変動することを抑制することができると共に、吐出手段が所定のパターンの形成を実施している時点において、液状体吐出装置の制御装置の負荷が増大することを抑制することができる液状体吐出装置又は液状体吐出方法を用いる。これにより、電気光学装置の機能膜を製造する際の吐出量の変動に起因して機能膜の厚さなどが変動することにより、機能膜の機能が損なわれることを抑制することができると共に、制御装置の負荷の増大を抑制して、効率よく電気光学装置を製造することができる。   According to the method of manufacturing the electro-optical device, the discharge amount at the time of the predetermined pattern formation is set by making the temperature of the discharge means or the liquid material at the time of the predetermined pattern formation substantially constant from the beginning of the predetermined pattern formation. Liquid discharge device that can suppress fluctuations and can suppress an increase in the load on the control device of the liquid discharge device at the time when the discharge means is performing the formation of the predetermined pattern. Alternatively, a liquid discharge method is used. As a result, it is possible to suppress the functional film from being impaired due to fluctuations in the thickness of the functional film due to fluctuations in the discharge amount when the functional film of the electro-optical device is manufactured, and An electro-optical device can be efficiently manufactured while suppressing an increase in the load on the control device.

［適用例２１］本適用例にかかる電子機器の製造装置は、上記適用例にかかる液状体吐出装置を備え、当該液状体吐出装置を用いて電子機器を構成する機能膜を形成することを特徴とする。   Application Example 21 An electronic device manufacturing apparatus according to this application example includes the liquid material discharge device according to the above application example, and uses the liquid material discharge device to form a functional film constituting the electronic device. And

この電子機器の製造装置によれば、当該装置が備える液状体吐出装置は、所定のパターン形成時における吐出手段又は液状体の温度を所定のパターン形成を開始する当初から略一定とすることによって、所定のパターン形成時において吐出量が変動することを抑制することができると共に、吐出手段が所定のパターンの形成を実施している時点において、液状体吐出装置の制御装置の負荷が増大することを抑制することができる。この液状体吐出装置を用いて電子機器の機能膜を形成するため、吐出量の変動に起因して機能膜の厚さなどが変動することにより、機能膜の機能が損なわれることを抑制することができると共に、制御装置の負荷の増大を抑制して、効率よく電子機器を製造することができる。   According to this electronic apparatus manufacturing apparatus, the liquid material discharge device included in the apparatus is configured so that the temperature of the discharge means or the liquid material at the time of the predetermined pattern formation is substantially constant from the beginning of the predetermined pattern formation. It is possible to prevent the discharge amount from fluctuating during the formation of the predetermined pattern, and to increase the load on the control device of the liquid material discharge device at the time when the discharge means is performing the formation of the predetermined pattern. Can be suppressed. In order to form a functional film of an electronic device using this liquid material discharge device, it is possible to suppress the functional film from being impaired due to fluctuations in the thickness of the functional film caused by fluctuations in the discharge amount. In addition, an increase in the load on the control device can be suppressed and an electronic device can be efficiently manufactured.

［適用例２２］本適用例にかかる電子機器の製造方法は、上記適用例にかかる液状体吐出装置、又は上記適用例にかかる液状体吐出方法を用いて電子機器を構成する機能膜を形成することを特徴とする。   Application Example 22 An electronic device manufacturing method according to this application example forms a functional film constituting an electronic device using the liquid material ejection device according to the application example or the liquid material ejection method according to the application example. It is characterized by that.

この電子機器の製造方法によれば、所定のパターン形成時における吐出手段又は液状体の温度を所定のパターン形成を開始する当初から略一定とすることによって、所定のパターン形成時において吐出量が変動することを抑制することができると共に、吐出手段が所定のパターンの形成を実施している時点において、液状体吐出装置の制御装置の負荷が増大することを抑制することができる液状体吐出装置又は液状体吐出方法を用いる。これにより、電子機器の機能膜を製造する際の吐出量の変動に起因して機能膜の厚さなどが変動することにより、機能膜の機能が損なわれることを抑制することができると共に、制御装置の負荷の増大を抑制して、効率よく電子機器を製造することができる。   According to this method of manufacturing an electronic device, the discharge amount fluctuates during the formation of the predetermined pattern by making the temperature of the discharge means or the liquid at the time of the predetermined pattern formation substantially constant from the beginning of the formation of the predetermined pattern. A liquid discharge device capable of suppressing the increase in the load on the control device of the liquid discharge device at the time when the discharge means is performing the formation of the predetermined pattern. A liquid discharge method is used. As a result, it is possible to prevent the function of the functional film from being impaired due to fluctuations in the thickness of the functional film due to fluctuations in the discharge amount when manufacturing the functional film of the electronic device, and to control the function film. An electronic device can be efficiently manufactured while suppressing an increase in the load on the apparatus.

以下、液状体吐出装置、液状体吐出方法、電気光学装置の製造装置、電気光学装置の製造方法、電子機器の製造装置、及び電子機器の製造方法の好適な実施の形態について、図面を参照して説明する。実施形態は、液状体吐出装置の一例であるインクジェット方式の液滴吐出装置を用いて、電気光学装置の一例である液晶表示装置を構成するカラーフィルタを有する基板に対してカラーフィルタを構成する色要素膜（フィルタ膜）などを形成する工程を例に説明する。なお、以下の説明において参照する図面では、図示の便宜上、部材又は部分の縦横の縮尺を実際のものとは異なるように表す場合がある。   Hereinafter, preferred embodiments of a liquid material discharge device, a liquid material discharge method, an electro-optical device manufacturing apparatus, an electro-optical device manufacturing method, an electronic device manufacturing apparatus, and an electronic device manufacturing method will be described with reference to the drawings. I will explain. In the embodiment, a color that forms a color filter on a substrate having a color filter that forms a liquid crystal display device that is an example of an electro-optical device using an ink jet type droplet discharge device that is an example of a liquid material discharge device A process for forming an element film (filter film) or the like will be described as an example. In the drawings referred to in the following description, the vertical and horizontal scales of members or portions may be shown differently from actual ones for convenience of illustration.

（第一の実施形態）
本実施形態に係る液状体吐出装置としての液滴吐出装置は、液晶装置の製造ラインに組み込まれており、色要素膜を構成する材料などを含む機能液を吐出可能なインクジェット方式の液滴吐出ヘッドを用い、描画対象物（被加工物）としてのガラス基板などの上に当該機能液を配置することで、カラーフィルタの色要素膜などを形成するものである。 (First embodiment)
A droplet discharge device as a liquid material discharge device according to the present embodiment is incorporated in a liquid crystal device production line, and is an inkjet droplet discharge capable of discharging a functional liquid including a material constituting a color element film. A color element film or the like of a color filter is formed by arranging the functional liquid on a glass substrate or the like as a drawing target (workpiece) using a head.

＜液滴吐出法＞
最初に、フィルタ膜などの機能膜の形成に用いられる液滴吐出法について説明する。液滴吐出法は、材料の使用に無駄が少なく、しかも所望の位置に所望の量の材料を精度よく配置できるという利点を有する。液滴吐出法の吐出技術としては、帯電制御方式、加圧振動方式、電気機械変換方式、電気熱変換方式、静電吸引方式などが挙げられる。
このうち、電気機械変換方式は、ピエゾ素子（圧電素子）がパルス的な電気信号を受けて変形する性質を利用したもので、ピエゾ素子が変形することによって液状の材料を貯留した空間に可撓性を有する材料で形成された部材を介して圧力を与え、この空間から液状材料を押し出して吐出ノズルから吐出させるものである。ピエゾ方式は、液状材料を加熱し発泡させることがないため、材料の組成などへの影響が少なく、駆動電圧を調整することによって液滴の大きさを容易に調整することができるなどの利点を有する。本実施形態では、材料の組成などに影響を与えないため液状材料選択の自由度が高いこと、及び液滴の大きさを容易に調整することができるため液滴の制御性がよいことから、上記ピエゾ方式を用いる。 <Droplet ejection method>
First, a droplet discharge method used for forming a functional film such as a filter film will be described. The droplet discharge method has an advantage that a material is less wasted and a desired amount of material can be accurately placed at a desired position. Examples of the discharge technique of the droplet discharge method include a charge control method, a pressure vibration method, an electromechanical conversion method, an electrothermal conversion method, and an electrostatic suction method.
Among them, the electromechanical conversion method utilizes the property that a piezoelectric element (piezoelectric element) deforms in response to a pulsed electric signal, and the piezoelectric element is deformed to be flexible in a space in which a liquid material is stored. Pressure is applied through a member formed of a material having a property, and a liquid material is pushed out from this space and discharged from a discharge nozzle. The piezo method has the advantages that the liquid material is not heated and foamed, so there is little effect on the composition of the material and the droplet size can be easily adjusted by adjusting the drive voltage. Have. In this embodiment, since the composition of the material is not affected, the degree of freedom in selecting the liquid material is high, and since the size of the droplet can be easily adjusted, the controllability of the droplet is good. The above piezo method is used.

＜液滴吐出装置＞
次に、液滴吐出装置１の全体構成について、図１及び図２を参照して説明する。図１は、液滴吐出装置の概略構成を示す平面図である。図２は、液滴吐出装置の概略構成を示す側面図である。 <Droplet ejection device>
Next, the overall configuration of the droplet discharge device 1 will be described with reference to FIGS. 1 and 2. FIG. 1 is a plan view showing a schematic configuration of a droplet discharge device. FIG. 2 is a side view showing a schematic configuration of the droplet discharge device.

図１、又は図２に示したように、液滴吐出装置１は、液滴吐出ヘッド１７（図３参照）を有する吐出ユニット２と、ワークユニット３と、給液ユニット６０（図７参照）と、検査ユニット４と、メンテナンスユニット５と、吐出装置制御部６（図７参照）とを備えている。   As shown in FIG. 1 or FIG. 2, the droplet discharge device 1 includes a discharge unit 2 having a droplet discharge head 17 (see FIG. 3), a work unit 3, and a liquid supply unit 60 (see FIG. 7). And an inspection unit 4, a maintenance unit 5, and a discharge device controller 6 (see FIG. 7).

吐出ユニット２は、液状体に相当する機能液を液滴として吐出する液滴吐出ヘッド１７を６個備えており、当該液滴吐出ヘッド１７をＹ軸方向に移動させると共に移動した位置に保持するためのＹ軸テーブル１２を備えている。ワークユニット３は、液滴吐出ヘッド１７から吐出された液滴の吐出対象であるワークＷを載置するワーク載置台２１を有している。給液ユニット６０は、機能液を貯留する貯留タンク（図示省略）を有し、液滴吐出ヘッド１７への機能液の供給を行う。検査ユニット４は、液滴吐出ヘッド１７からの吐出状態を検査するための、吐出検査ユニット１８及び重量測定ユニット１９を有しており、重量測定ユニット１９にはフラッシングユニット１４が併設されている。メンテナンスユニット５は、液滴吐出ヘッド１７の保守を行う吸引ユニット１５及びワイピングユニット１６を有している。   The discharge unit 2 includes six droplet discharge heads 17 that discharge a functional liquid corresponding to a liquid as droplets. The droplet discharge head 17 is moved in the Y-axis direction and held at the moved position. A Y-axis table 12 is provided. The work unit 3 includes a work mounting table 21 on which a work W that is a discharge target of liquid droplets discharged from the liquid droplet discharge head 17 is mounted. The liquid supply unit 60 includes a storage tank (not shown) that stores the functional liquid, and supplies the functional liquid to the droplet discharge head 17. The inspection unit 4 includes a discharge inspection unit 18 and a weight measurement unit 19 for inspecting a discharge state from the droplet discharge head 17, and the weight measurement unit 19 is provided with a flushing unit 14. The maintenance unit 5 includes a suction unit 15 and a wiping unit 16 that maintain the droplet discharge head 17.

吐出装置制御部６は、これら各ユニットなどを総括的に制御する。重量測定ユニット１９、吐出ユニット２、吐出検査ユニット１８、又はメンテナンスユニット５などを用いて実施される重量測定処理、描画処理、吐出検査処理、及びメンテナンス処理などは、吐出装置制御部６が各ユニットなどを制御して実施される。   The discharge device control unit 6 comprehensively controls these units and the like. For the weight measurement process, drawing process, discharge inspection process, and maintenance process performed using the weight measurement unit 19, the discharge unit 2, the discharge inspection unit 18, the maintenance unit 5, etc., the discharge device control unit 6 performs each unit. It is carried out by controlling the above.

液滴吐出装置１は、石定盤に支持されたＸ軸支持ベース１Ａを備え、各ユニットなどが、Ｘ軸支持ベース１Ａの上に配設されている。Ｘ軸テーブル１１は、主走査方向としてのＸ軸方向に延在して、Ｘ軸支持ベース１Ａの上に配設されており、ワーク載置台２１をＸ軸方向（主走査方向）に移動させる。   The droplet discharge device 1 includes an X-axis support base 1A supported on a stone surface plate, and each unit is disposed on the X-axis support base 1A. The X-axis table 11 extends in the X-axis direction as the main scanning direction, is disposed on the X-axis support base 1A, and moves the workpiece mounting table 21 in the X-axis direction (main scanning direction). .

吐出ユニット２のＹ軸テーブル１２は、複数本の支柱７Ａを介してＸ軸テーブル１１を跨ぐように架け渡された一対のＹ軸支持ベース７，７の上に配設され、副走査方向となるＹ軸方向に延在している。吐出ユニット２は、６個の液滴吐出ヘッド１７を有するキャリッジユニット５１を備えている。キャリッジユニット５１は、ブリッジプレート５２に吊設されている。ブリッジプレート５２は、Ｙ軸スライダ（図示省略）を介して、Ｙ軸テーブル１２に、Ｙ軸方向に摺動自在に支持されている。Ｙ軸テーブル１２は、ブリッジプレート５２（キャリッジユニット５１）を、Ｙ軸方向（副走査方向）に移動させる。
Ｘ軸テーブル１１及びＹ軸テーブル１２の駆動と同期して、吐出ユニット２の液滴吐出ヘッド１７を吐出駆動させることによって機能液の液滴を吐出させることで、ワーク載置台２１の上に載置されたワークＷに対して、任意の描画パターンを、機能液によって描画する。 The Y-axis table 12 of the discharge unit 2 is disposed on a pair of Y-axis support bases 7 and 7 spanned across the X-axis table 11 via a plurality of support columns 7A. Extending in the Y-axis direction. The discharge unit 2 includes a carriage unit 51 having six droplet discharge heads 17. The carriage unit 51 is suspended from the bridge plate 52. The bridge plate 52 is supported by the Y-axis table 12 via a Y-axis slider (not shown) so as to be slidable in the Y-axis direction. The Y-axis table 12 moves the bridge plate 52 (carriage unit 51) in the Y-axis direction (sub-scanning direction).
In synchronism with the driving of the X-axis table 11 and the Y-axis table 12, the droplet discharge head 17 of the discharge unit 2 is driven to discharge, thereby discharging the functional liquid droplets on the workpiece mounting table 21. An arbitrary drawing pattern is drawn with the functional liquid on the placed work W.

吐出検査ユニット１８は、検査描画ユニット１６１と、撮像ユニット１６２とを有している。検査描画ユニット１６１は、Ｘ軸第２スライダ２３に固定されており、同じくＸ軸第２スライダ２３に固定された重量測定ユニット１９及びフラッシングユニット１４と一体に移動するように構成されている。撮像ユニット１６２は、２個の検査カメラ１６３と、検査カメラ１６３をＹ軸方向にスライド自在に支持するカメラ移動機構１６４と、を有している。   The discharge inspection unit 18 includes an inspection drawing unit 161 and an imaging unit 162. The inspection drawing unit 161 is fixed to the X-axis second slider 23 and is configured to move integrally with the weight measuring unit 19 and the flushing unit 14 that are also fixed to the X-axis second slider 23. The imaging unit 162 includes two inspection cameras 163 and a camera moving mechanism 164 that slidably supports the inspection camera 163 in the Y-axis direction.

メンテナンスユニット５が備える吸引ユニット１５及びワイピングユニット１６は、Ｘ軸テーブル１１から外れ、かつＹ軸テーブル１２によりキャリッジユニット５１が移動可能である位置に配設された架台８の上に配設されている。吸引ユニット１５は、キャップユニット１５ａを備え、液滴吐出ヘッド１７のノズル形成面７６ａ（図３参照）を封止して吐出ノズル７８（図３参照）を吸引することによって、液滴吐出ヘッド１７の吐出ノズル７８から機能液を強制的に排出させる。ワイピングユニット１６は、洗浄液を噴霧したワイピングシート１６ａを有し、吸引後の液滴吐出ヘッド１７のノズル形成面７６ａを拭き取る（ワイピングを行う）ものである。このようにして、吸引ユニット１５及びワイピングユニット１６は、吐出ユニット２の液滴吐出ヘッド１７の機能維持又は機能回復を図るための保守作業を実施する。   The suction unit 15 and the wiping unit 16 included in the maintenance unit 5 are disposed on the gantry 8 disposed at a position where the carriage unit 51 can be moved by the Y-axis table 12 while being detached from the X-axis table 11. Yes. The suction unit 15 includes a cap unit 15a, seals the nozzle forming surface 76a (see FIG. 3) of the droplet discharge head 17, and sucks the discharge nozzle 78 (see FIG. 3) to thereby drop the droplet discharge head 17. The functional liquid is forcibly discharged from the discharge nozzle 78. The wiping unit 16 includes a wiping sheet 16a sprayed with a cleaning liquid, and wipes (performs wiping) the nozzle forming surface 76a of the droplet discharge head 17 after suction. In this way, the suction unit 15 and the wiping unit 16 perform maintenance work for maintaining or recovering the function of the droplet discharge head 17 of the discharge unit 2.

Ｘ軸テーブル１１は、Ｘ軸第１スライダ２２と、Ｘ軸第２スライダ２３と、左右一対のＸ軸リニアモータ２６，２６と、一対のＸ軸共通支持ベース２４，２４と、を備えている。   The X-axis table 11 includes an X-axis first slider 22, an X-axis second slider 23, a pair of left and right X-axis linear motors 26 and 26, and a pair of X-axis common support bases 24 and 24. .

Ｘ軸第１スライダ２２には、ワーク載置台２１が取り付けられている。Ｘ軸第１スライダ２２は、Ｘ軸方向に延在するＸ軸共通支持ベース２４に、Ｘ軸方向にスライド自在に支持されている。Ｘ軸第２スライダ２３には、検査描画ユニット１６１と、重量測定ユニット１９と、フラッシングユニット１４とが取り付けられている。Ｘ軸第２スライダ２３は、Ｘ軸方向に延在するＸ軸共通支持ベース２４に、Ｘ軸方向にスライド自在に支持されている。Ｘ軸リニアモータ２６は、Ｘ軸共通支持ベース２４に並設されており、Ｘ軸第１スライダ２２又はＸ軸第２スライダ２３をＸ軸共通支持ベース２４に沿って移動させることによって、ワーク載置台２１（ワーク載置台２１に載置されたワークＷ）又は重量測定ユニット１９などをＸ軸方向に移動させる。Ｘ軸第１スライダ２２とＸ軸第２スライダ２３とは、Ｘ軸リニアモータ２６により個別に駆動可能である。Ｘ軸方向が主走査方向に相当し、Ｙ軸方向が副走査方向に相当する。   A workpiece mounting table 21 is attached to the X-axis first slider 22. The X-axis first slider 22 is supported by an X-axis common support base 24 extending in the X-axis direction so as to be slidable in the X-axis direction. An inspection drawing unit 161, a weight measurement unit 19, and a flushing unit 14 are attached to the X-axis second slider 23. The X-axis second slider 23 is supported by an X-axis common support base 24 extending in the X-axis direction so as to be slidable in the X-axis direction. The X-axis linear motor 26 is arranged in parallel with the X-axis common support base 24, and moves the X-axis first slider 22 or the X-axis second slider 23 along the X-axis common support base 24. The placing table 21 (work W placed on the workpiece placing table 21) or the weight measuring unit 19 is moved in the X-axis direction. The X-axis first slider 22 and the X-axis second slider 23 can be individually driven by an X-axis linear motor 26. The X-axis direction corresponds to the main scanning direction, and the Y-axis direction corresponds to the sub-scanning direction.

ワーク載置台２１は、吸着テーブル３１と、θテーブル３２などを有している。吸着テーブル３１は、載置されたワークＷを吸着固定して保持する。θテーブル３２は、吸着テーブル３１を支持し、吸着テーブル３１にセットしたワークＷの位置をＸ軸方向及びＹ軸方向に直角なＺ軸回りのθ方向にθ補正すると共に、θ補正が完了した方向を維持して保持する。θテーブル３２は、θ駆動モータ５３２を有し、当該θ駆動モータ５３２によって駆動される。   The work mounting table 21 includes a suction table 31 and a θ table 32. The suction table 31 holds and holds the work W placed thereon. The θ table 32 supports the suction table 31, and corrects the position of the workpiece W set on the suction table 31 in the θ direction around the Z axis perpendicular to the X axis direction and the Y axis direction, and the θ correction is completed. Maintain direction and hold. The θ table 32 has a θ drive motor 532 and is driven by the θ drive motor 532.

図１及び図２におけるワーク載置台２１の位置が、ワークＷの給除材を行うための給除材位置となっており、未処理のワークＷを吸着テーブル３１に導入（給材）するときや、処理済のワークＷを回収（除材）するときには、吸着テーブル３１をこの位置まで移動させる。当該給除材位置において、ロボットアーム（図示省略）により、吸着テーブル３１に対するワークＷの搬入・搬出（載換え）が行われる。吸着テーブル３１に給材された未処理のワークＷのアライメントは、θテーブル３２及び画像認識ユニット８０を用いて、給除材位置において実施される。   The position of the workpiece mounting table 21 in FIG. 1 and FIG. 2 is a feeding / unloading material position for feeding and unloading the workpiece W, and when an unprocessed workpiece W is introduced (feeding) into the suction table 31 Or, when the processed workpiece W is collected (material removal), the suction table 31 is moved to this position. The workpiece W is carried in and out (replaced) with respect to the suction table 31 by a robot arm (not shown) at the supply / discharge material position. The alignment of the unprocessed workpiece W supplied to the suction table 31 is performed at the supply / discharge material position using the θ table 32 and the image recognition unit 80.

画像認識ユニット８０は、２台のアライメントカメラ８１と、カメラ移動機構８２と、を有している。カメラ移動機構８２は、Ｘ軸支持ベース１Ａの上に、Ｙ軸方向に延在して、Ｘ軸テーブル１１を跨ぐように配設されている。アライメントカメラ８１は、カメラホルダ（図示省略）を介して、カメラ移動機構８２に、Ｙ軸方向にスライド自在に支持されている。カメラ移動機構８２に支持されたアライメントカメラ８１は、Ｘ軸テーブル１１に上側から臨み、Ｘ軸テーブル１１の上のワーク載置台２１に載置されたワークＷの各基準マーク（アライメントマーク）を画像認識することができる。２台のアライメントカメラ８１は、カメラ移動モータ（図示省略）によって、それぞれ独立してＹ軸方向に移動させられる。   The image recognition unit 80 has two alignment cameras 81 and a camera moving mechanism 82. The camera moving mechanism 82 is disposed on the X-axis support base 1 </ b> A so as to extend in the Y-axis direction and straddle the X-axis table 11. The alignment camera 81 is supported by a camera moving mechanism 82 via a camera holder (not shown) so as to be slidable in the Y-axis direction. The alignment camera 81 supported by the camera moving mechanism 82 faces the X-axis table 11 from above, and images each reference mark (alignment mark) of the work W placed on the work placing table 21 on the X-axis table 11. Can be recognized. The two alignment cameras 81 are independently moved in the Y-axis direction by a camera movement motor (not shown).

各アライメントカメラ８１は、ワーク載置台２１のＸ軸方向への移動と協働して、カメラ移動機構８２によりＹ軸方向に移動しながら、上記したロボットアームが給材した各種ワークＷのアライメントマークを撮像して、各種ワークＷの位置認識を実施する。そして、このアライメントカメラ８１の撮像結果に基づいて、θテーブル３２によるワークＷのθ補正（アライメント）が実施される。   Each alignment camera 81 cooperates with the movement of the work table 21 in the X-axis direction, and moves in the Y-axis direction by the camera moving mechanism 82 while the alignment marks of the various works W supplied by the robot arm described above. To recognize the position of various workpieces W. Based on the imaging result of the alignment camera 81, θ correction (alignment) of the workpiece W by the θ table 32 is performed.

Ｙ軸テーブル１２は、一対のＹ軸スライダ（図示省略）と、一対のＹ軸リニアモータ（図示省略）と、を備えている。一対のＹ軸リニアモータは、上記した一対のＹ軸支持ベース７，７の上にそれぞれ設置されて、Ｙ軸方向に延在している。一対のＹ軸スライダは、一対のＹ軸支持ベース７，７のそれぞれに各１個ずつ摺動自在に支持されている。一対のＹ軸支持ベース７，７のそれぞれに支持された各１個のＹ軸スライダからなる一対のＹ軸スライダは、吐出ユニット２を構成するキャリッジユニット５１が固定されたブリッジプレート５２を両持ちで支持している。吐出ユニット２を構成するキャリッジユニット５１を固定したブリッジプレート５２は、ブリッジプレート５２を両持ちで支持するＹ軸スライダを介して、一対のＹ軸支持ベース７，７の上に設置されている。   The Y-axis table 12 includes a pair of Y-axis sliders (not shown) and a pair of Y-axis linear motors (not shown). The pair of Y-axis linear motors are respectively installed on the pair of Y-axis support bases 7 and 7 and extend in the Y-axis direction. The pair of Y-axis sliders are slidably supported one by one on each of the pair of Y-axis support bases 7 and 7. The pair of Y-axis sliders, each composed of one Y-axis slider supported on each of the pair of Y-axis support bases 7, 7, has both bridge plates 52 to which the carriage unit 51 constituting the discharge unit 2 is fixed. I support it. The bridge plate 52 to which the carriage unit 51 constituting the discharge unit 2 is fixed is installed on the pair of Y-axis support bases 7 and 7 via a Y-axis slider that supports the bridge plate 52 with both ends.

一対のＹ軸リニアモータを（同期して）駆動すると、各Ｙ軸スライダが一対のＹ軸支持ベース７，７を案内にして同時にＹ軸方向を平行移動する。これにより、ブリッジプレート５２がＹ軸方向に移動し、ブリッジプレート５２に吊設されたキャリッジユニット５１がＹ軸方向に移動する。   When the pair of Y-axis linear motors are driven (synchronously), each Y-axis slider translates in the Y-axis direction simultaneously with the pair of Y-axis support bases 7 and 7 as a guide. As a result, the bridge plate 52 moves in the Y-axis direction, and the carriage unit 51 suspended from the bridge plate 52 moves in the Y-axis direction.

キャリッジユニット５１は、６個の液滴吐出ヘッド１７と、６個の液滴吐出ヘッド１７を３個ずつ２群に分けて支持するキャリッジプレート５３（図４参照）と、を有するヘッドユニット５４（図４参照）を備えている。ヘッドユニット５４は、ヘッド昇降機構（図示省略）を介して、Ｚ軸方向に昇降自在に支持されている。   The carriage unit 51 includes a head unit 54 having six droplet discharge heads 17 and a carriage plate 53 (see FIG. 4) that supports the six droplet discharge heads 17 in two groups. 4). The head unit 54 is supported so as to be movable up and down in the Z-axis direction via a head lifting mechanism (not shown).

＜液滴吐出ヘッド＞
次に、図３を参照して、液滴吐出ヘッド１７について説明する。図３は、液滴吐出ヘッドの構成を示す図である。図３（ａ）は、液滴吐出ヘッドをノズルプレート側から見た外観斜視図であり、図３（ｂ）は、液滴吐出ヘッドの圧力室周りの構造を示す斜視断面図であり、図３（ｃ）は、液滴吐出ヘッドの吐出ノズル部の構造を示す断面図である。液滴吐出ヘッド１７が、吐出手段に相当する。 <Droplet ejection head>
Next, the droplet discharge head 17 will be described with reference to FIG. FIG. 3 is a diagram illustrating the configuration of the droplet discharge head. 3A is an external perspective view of the droplet discharge head as viewed from the nozzle plate side, and FIG. 3B is a perspective cross-sectional view showing the structure around the pressure chamber of the droplet discharge head. FIG. 3C is a cross-sectional view showing the structure of the discharge nozzle portion of the droplet discharge head. The droplet discharge head 17 corresponds to the discharge unit.

図３（ａ）に示したように、液滴吐出ヘッド１７は、いわゆる２連のものであり、２連の接続針７２，７２を有する液体導入部７１と、液体導入部７１の側方に連なるヘッド基板７３と、液体導入部７１に連なるポンプ部７５と、ポンプ部７５に連なるノズルプレート７６と、を備えている。液体導入部７１のそれぞれの接続針７２には、それぞれ配管接続部材が接続されて、当該配管接続部材を介して給液チューブが接続され、給液チューブに接続された給液ユニット６０から機能液が供給される。ヘッド基板７３には、一対のヘッドコネクタ７７，７７が実装されており、当該ヘッドコネクタ７７を介してフレキシブルフラットケーブル（ＦＦＣケーブル）が接続される。液滴吐出ヘッド１７は、ＦＦＣケーブルを介して吐出装置制御部６と接続されており、ＦＦＣケーブルを介して信号の授受が行われる。ポンプ部７５とノズルプレート７６とにより、方形のヘッド本体７４が構成されている。   As shown in FIG. 3A, the droplet discharge head 17 is a so-called double-unit, and includes a liquid introduction part 71 having two connection needles 72 and 72 and a side of the liquid introduction part 71. A head substrate 73 that is continuous, a pump portion 75 that is continuous with the liquid introduction portion 71, and a nozzle plate 76 that is continuous with the pump portion 75 are provided. A pipe connection member is connected to each connection needle 72 of the liquid introduction portion 71, a liquid supply tube is connected via the pipe connection member, and a functional liquid is supplied from the liquid supply unit 60 connected to the liquid supply tube. Is supplied. A pair of head connectors 77 and 77 are mounted on the head substrate 73, and a flexible flat cable (FFC cable) is connected via the head connector 77. The droplet discharge head 17 is connected to the discharge device control unit 6 via an FFC cable, and signals are exchanged via the FFC cable. The pump unit 75 and the nozzle plate 76 constitute a square head main body 74.

ポンプ部７５の基部側、すなわちヘッド本体７４の基部側は、液体導入部７１及びヘッド基板７３を受けるべく方形フランジ状にフランジ部７９が形成されている。このフランジ部７９には、液滴吐出ヘッド１７を固定する小ねじ用のねじ孔（雌ねじ）７９ａが一対形成されている。ヘッド保持用の部材を貫通してねじ孔７９ａに螺合したヘッド止めねじにより、液滴吐出ヘッド１７がヘッド保持用の部材に固定される。   A flange portion 79 is formed in a square flange shape on the base side of the pump unit 75, that is, the base side of the head main body 74 so as to receive the liquid introduction unit 71 and the head substrate 73. The flange portion 79 is formed with a pair of screw holes (female screws) 79 a for small screws for fixing the droplet discharge head 17. The droplet discharge head 17 is fixed to the head holding member by a head set screw that passes through the head holding member and is screwed into the screw hole 79a.

ノズルプレート７６のノズル形成面７６ａには、ノズルプレート７６に形成されており液滴を吐出する吐出ノズル７８から成るノズル列７８Ａが、２本形成されている。２本のノズル列７８Ａは相互に平行に列設されており、各ノズル列７８Ａは、等ピッチで並べた例えば１８０個（図示では模式的に表している）の吐出ノズル７８で構成されている。すなわち、ヘッド本体７４のノズル形成面７６ａには、その中心線を挟んで２本のノズル列７８Ａが配設されている。   On the nozzle forming surface 76a of the nozzle plate 76, two nozzle rows 78A are formed which are formed on the nozzle plate 76 and include discharge nozzles 78 for discharging droplets. The two nozzle rows 78A are arranged in parallel to each other, and each nozzle row 78A is configured by, for example, 180 (schematically illustrated) discharge nozzles 78 arranged at an equal pitch. . That is, two nozzle rows 78A are disposed on the nozzle forming surface 76a of the head body 74 with the center line therebetween.

液滴吐出ヘッド１７が液滴吐出装置１に取り付けられた状態では、ノズル列７８ＡはＹ軸方向に延在する。２列のノズル列７８Ａをそれぞれ構成する吐出ノズル７８同士は、Ｙ軸方向において、相互に半ノズルピッチずつ位置がずれている。１ノズルピッチは、例えば１４０μｍである。Ｘ軸方向の同じ位置において、それぞれのノズル列７８Ａを構成する吐出ノズル７８から吐出された液滴は、設計上では、Ｙ軸方向に等間隔に並んで一直線上に着弾する。ノズル列７８Ａにおける吐出ノズル７８のノズルピッチが１４０μｍの場合、当該一直線状に連なる着弾位置の中心間距離は、設計上では、７０μｍである。   In a state where the droplet discharge head 17 is attached to the droplet discharge device 1, the nozzle row 78A extends in the Y-axis direction. The positions of the discharge nozzles 78 constituting the two nozzle rows 78A are shifted from each other by a half nozzle pitch in the Y-axis direction. One nozzle pitch is 140 μm, for example. At the same position in the X-axis direction, droplets discharged from the discharge nozzles 78 constituting each nozzle row 78A land on a straight line at equal intervals in the Y-axis direction by design. When the nozzle pitch of the discharge nozzles 78 in the nozzle row 78A is 140 μm, the center-to-center distance between the landing positions that are connected in a straight line is 70 μm by design.

図３（ｂ）及び（ｃ）に示すように、液滴吐出ヘッド１７は、ノズルプレート７６にポンプ部７５を構成する圧力室プレート１５１が積層されており、圧力室プレート１５１に振動板１５２が積層されている。
圧力室プレート１５１には、液体導入部７１から振動板１５２の液供給孔１５３を経由して供給される機能液が常に充填される液たまり１５５が形成されている。液たまり１５５は、振動板１５２と、ノズルプレート７６と、圧力室プレート１５１の壁とに囲まれた空間である。また、圧力室プレート１５１には、複数のヘッド隔壁１５７によって区切られた圧力室１５８が形成されている。振動板１５２と、ノズルプレート７６と、２個のヘッド隔壁１５７とによって囲まれた空間が圧力室１５８である。 As shown in FIGS. 3B and 3C, in the droplet discharge head 17, the pressure chamber plate 151 constituting the pump unit 75 is laminated on the nozzle plate 76, and the vibration plate 152 is disposed on the pressure chamber plate 151. Are stacked.
The pressure chamber plate 151 is formed with a liquid pool 155 that is always filled with the functional liquid supplied from the liquid introducing portion 71 via the liquid supply hole 153 of the vibration plate 152. The liquid pool 155 is a space surrounded by the diaphragm 152, the nozzle plate 76, and the wall of the pressure chamber plate 151. The pressure chamber plate 151 is formed with a pressure chamber 158 divided by a plurality of head partition walls 157. A space surrounded by the diaphragm 152, the nozzle plate 76, and the two head partition walls 157 is a pressure chamber 158.

圧力室１５８は吐出ノズル７８のそれぞれに対応して設けられており、圧力室１５８の数と吐出ノズル７８の数とは同じである。圧力室１５８には、２個のヘッド隔壁１５７の間に位置する供給口１５６を介して、液たまり１５５から機能液が供給される。ヘッド隔壁１５７と圧力室１５８と吐出ノズル７８と供給口１５６との組は、液たまり１５５に沿って１列に並んでおり、１列に並んだ吐出ノズル７８がノズル列７８Ａを形成している。図３（ｂ）では図示省略したが、図示した吐出ノズル７８を含むノズル列７８Ａに対して液たまり１５５に関して略対称位置に、１列に並んで配設された吐出ノズル７８がもう一列のノズル列７８Ａを形成しており、対応するヘッド隔壁１５７と圧力室１５８と供給口１５６との組が、１列に並んでいる。   The pressure chambers 158 are provided corresponding to the discharge nozzles 78, and the number of pressure chambers 158 and the number of discharge nozzles 78 are the same. The functional fluid is supplied from the liquid pool 155 to the pressure chamber 158 via the supply port 156 located between the two head partition walls 157. A set of the head partition wall 157, the pressure chamber 158, the discharge nozzle 78, and the supply port 156 is arranged in a line along the liquid pool 155, and the discharge nozzles 78 arranged in a line form a nozzle line 78A. . Although not shown in FIG. 3B, the discharge nozzles 78 arranged in one line in the substantially symmetrical position with respect to the liquid pool 155 with respect to the nozzle line 78 </ b> A including the illustrated discharge nozzles 78 are another line of nozzles. A row 78A is formed, and a set of the corresponding head partition wall 157, pressure chamber 158, and supply port 156 is arranged in one row.

振動板１５２の圧力室１５８を構成する部分には、それぞれ圧電素子１５９の一端が固定されている。圧電素子１５９の他端は、固定板１５４（図９（ｂ）参照）を介して液滴吐出ヘッド１７全体を支持する基台（図示省略）に固定されている。
圧電素子１５９は電極層と圧電材料とを積層した活性部を有し、電極層に駆動電圧を印加することで、活性部が長手方向（図３（ｂ）又は（ｃ）における振動板１５２の厚さ方向）に縮む。活性部が縮むことで、圧電素子１５９の一端が固定された振動板１５２が圧力室１５８と反対側に引張られる力を受ける。振動板１５２が圧力室１５８と反対側に引張られることで、振動板１５２が圧力室１５８の反対側に撓む。これにより、圧力室１５８の容積が増加することから、機能液が液たまり１５５から供給口１５６を経て圧力室１５８に供給される。次に、電極層に印加されていた駆動電圧が解除されると、活性部が元の長さに戻ることで、圧電素子１５９が振動板１５２を押圧する。振動板１５２が押圧されることで、圧力室１５８側に戻る。これにより、圧力室１５８の容積が急激に元に戻る、すなわち増加していた容積が減少することから、圧力室１５８内に充填されていた機能液に圧力が加わり、当該圧力室１５８に連通して形成された吐出ノズル７８から機能液が液滴となって吐出される。機能液が流動する、液たまり１５５、供給口１５６、及び圧力室１５８などが、機能液の流路に相当する。 One end of the piezoelectric element 159 is fixed to the portion of the diaphragm 152 that constitutes the pressure chamber 158. The other end of the piezoelectric element 159 is fixed to a base (not shown) that supports the entire droplet discharge head 17 via a fixing plate 154 (see FIG. 9B).
The piezoelectric element 159 has an active portion in which an electrode layer and a piezoelectric material are stacked. By applying a driving voltage to the electrode layer, the active portion is arranged in the longitudinal direction (the diaphragm 152 in FIG. 3B or 3C). Shrink in the thickness direction). By contracting the active portion, the diaphragm 152 to which one end of the piezoelectric element 159 is fixed receives a force that is pulled to the side opposite to the pressure chamber 158. When the diaphragm 152 is pulled to the opposite side to the pressure chamber 158, the diaphragm 152 is bent to the opposite side of the pressure chamber 158. Thereby, since the volume of the pressure chamber 158 increases, the functional liquid is supplied from the liquid pool 155 to the pressure chamber 158 through the supply port 156. Next, when the driving voltage applied to the electrode layer is released, the active portion returns to the original length, and the piezoelectric element 159 presses the diaphragm 152. When the diaphragm 152 is pressed, it returns to the pressure chamber 158 side. As a result, the volume of the pressure chamber 158 suddenly returns to the original, that is, the increased volume is reduced, so that pressure is applied to the functional liquid filled in the pressure chamber 158, and the pressure chamber 158 communicates with the pressure chamber 158. The functional liquid is discharged as droplets from the discharge nozzle 78 formed in this manner. The liquid pool 155, the supply port 156, the pressure chamber 158, and the like through which the functional liquid flows correspond to the functional liquid flow path.

吐出装置制御部６は、圧電素子１５９への印加電圧の制御、すなわち駆動信号を制御することにより、複数の吐出ノズル７８のそれぞれに対して、機能液の吐出制御を行う。より詳細には、吐出ノズル７８から吐出される液滴の体積や、単位時間あたりに吐出する液滴の数などを変化させることができる。これにより、基板上に着弾した液滴同士の距離や、基板上の一定の面積に着弾させる機能液の量などを変化させることができる。例えば、ノズル列７８Ａに並ぶ複数の吐出ノズル７８の中から、液滴を吐出させる吐出ノズル７８を選択的に使用することにより、ノズル列７８Ａの延在方向では、ノズル列７８Ａの長さの範囲であって吐出ノズル７８のピッチ間隔で、複数の液滴を同時に吐出することができる。ノズル列７８Ａの延在方向と略直交する方向では、基板と吐出ノズル７８とを相対移動させて、当該相対移動方向において、当該吐出ノズル７８が対向可能な、基板の任意の位置に吐出ノズル７８から吐出される液滴を配置することができる。なお、吐出ノズル７８のそれぞれから吐出される液滴の体積は、例えば１ｐｌ〜３００ｐｌ（ピコリットル）の間で可変である。   The discharge device control unit 6 controls the discharge of the functional liquid to each of the plurality of discharge nozzles 78 by controlling the voltage applied to the piezoelectric element 159, that is, by controlling the drive signal. More specifically, the volume of droplets ejected from the ejection nozzle 78, the number of droplets ejected per unit time, and the like can be changed. This makes it possible to change the distance between the droplets that have landed on the substrate, the amount of the functional liquid to land on a certain area on the substrate, and the like. For example, by selectively using a discharge nozzle 78 that discharges droplets from among a plurality of discharge nozzles 78 arranged in the nozzle row 78A, the range of the length of the nozzle row 78A in the extending direction of the nozzle row 78A. In this case, a plurality of droplets can be discharged simultaneously at the pitch interval of the discharge nozzles 78. In a direction substantially orthogonal to the extending direction of the nozzle row 78A, the substrate and the discharge nozzle 78 are moved relative to each other, and the discharge nozzle 78 is located at an arbitrary position on the substrate where the discharge nozzle 78 can face in the relative movement direction. It is possible to arrange liquid droplets discharged from the liquid crystal. In addition, the volume of the droplet discharged from each of the discharge nozzles 78 is variable between 1 pl and 300 pl (picoliter), for example.

＜ヘッドユニット＞
次に、吐出ユニット２が備えるヘッドユニット５４の概略構成について、図４を参照して説明する。図４は、ヘッドユニットの概略構成を示す平面図である。図４に示したＸ軸及びＹ軸は、ヘッドユニット５４が液滴吐出装置１に取り付けられた状態において、図１に示したＸ軸及びＹ軸と一致している。 <Head unit>
Next, a schematic configuration of the head unit 54 provided in the discharge unit 2 will be described with reference to FIG. FIG. 4 is a plan view showing a schematic configuration of the head unit. The X axis and the Y axis shown in FIG. 4 coincide with the X axis and the Y axis shown in FIG. 1 when the head unit 54 is attached to the droplet discharge device 1.

図４に示したように、ヘッドユニット５４は、キャリッジプレート５３と、キャリッジプレート５３に搭載された６個の液滴吐出ヘッド１７と、を有している。液滴吐出ヘッド１７は、図示省略したヘッド保持部材を介してキャリッジプレート５３に固定されており、ヘッド本体７４がキャリッジプレート５３に形成された孔（図示省略）に遊嵌して、ノズルプレート７６（ヘッド本体７４）が、キャリッジプレート５３の面より突出している。図４は、ノズルプレート７６（ノズル形成面７６ａ）側から見た図である。６個の液滴吐出ヘッド１７は、Ｙ軸方向に分かれて、それぞれ３個ずつの液滴吐出ヘッド１７を有するヘッド組５５を２群形成している。それぞれの液滴吐出ヘッド１７のノズル列７８ＡはＹ軸方向に延在している。   As shown in FIG. 4, the head unit 54 includes a carriage plate 53 and six droplet discharge heads 17 mounted on the carriage plate 53. The droplet discharge head 17 is fixed to the carriage plate 53 via a head holding member (not shown), and the head main body 74 is loosely fitted in a hole (not shown) formed in the carriage plate 53, so that the nozzle plate 76. The (head body 74) protrudes from the surface of the carriage plate 53. FIG. 4 is a view as seen from the nozzle plate 76 (nozzle forming surface 76a) side. The six droplet discharge heads 17 are divided in the Y-axis direction to form two groups of head groups 55 each having three droplet discharge heads 17. The nozzle row 78A of each droplet discharge head 17 extends in the Y-axis direction.

一つのヘッド組５５が有する３個の液滴吐出ヘッド１７は、Ｙ軸方向において、互いに隣り合う液滴吐出ヘッド１７の、一方の液滴吐出ヘッド１７の端の吐出ノズル７８に対して、もう一方の液滴吐出ヘッド１７の端の吐出ノズル７８が半ノズルピッチずれて位置するように、位置決めされている。仮に、ヘッド組５５が有する３個の液滴吐出ヘッド１７において、全ての吐出ノズル７８のＸ軸方向の位置を同じにすると、吐出ノズル７８は、Ｙ軸方向に半ノズルピッチの等間隔で並ぶ。すなわち、Ｘ軸方向の同じ位置において、それぞれの液滴吐出ヘッド１７が有するそれぞれのノズル列７８Ａを構成する吐出ノズル７８から吐出された液滴は、設計上では、Ｙ軸方向に等間隔に並んで一直線上に着弾する。液滴吐出ヘッド１７は、Ｙ軸方向において互いに重なるため、Ｘ軸方向に階段状に並んでヘッド組５５を構成している。   The three droplet discharge heads 17 included in one head set 55 are more than the discharge nozzles 78 at the ends of one droplet discharge head 17 of the droplet discharge heads 17 adjacent to each other in the Y-axis direction. The discharge nozzle 78 at the end of one droplet discharge head 17 is positioned so as to be shifted by a half nozzle pitch. If the positions of all the discharge nozzles 78 in the X-axis direction in the three droplet discharge heads 17 included in the head set 55 are the same, the discharge nozzles 78 are arranged at equal intervals of a half nozzle pitch in the Y-axis direction. . In other words, at the same position in the X-axis direction, the droplets ejected from the ejection nozzles 78 constituting each nozzle row 78A included in each droplet ejection head 17 are arranged at equal intervals in the Y-axis direction by design. To land on a straight line. Since the droplet discharge heads 17 overlap each other in the Y-axis direction, the head set 55 is configured in a stepwise manner in the X-axis direction.

＜吐出検査ユニット＞
次に、吐出検査ユニット１８について、図５を参照して説明する。図５は、検査描画ユニットの全体構成を示す外観斜視図である。図１及び図２を参照して説明したように、吐出検査ユニット１８は、検査描画ユニット１６１と、撮像ユニット１６２とを有している。検査描画ユニット１６１は、重量測定ユニット１９及びフラッシングユニット１４と一体に移動するように構成されている。 <Discharge inspection unit>
Next, the discharge inspection unit 18 will be described with reference to FIG. FIG. 5 is an external perspective view showing the overall configuration of the inspection drawing unit. As described with reference to FIGS. 1 and 2, the ejection inspection unit 18 includes an inspection drawing unit 161 and an imaging unit 162. The inspection drawing unit 161 is configured to move integrally with the weight measurement unit 19 and the flushing unit 14.

吐出検査ユニット１８は、吐出ユニット２を構成する全液滴吐出ヘッド１７（の吐出ノズル７８）から機能液が適切に吐出されているか否かを検査するためのものである。検査描画ユニット１６１は、吐出ユニット２を構成するヘッドユニット５４がＹ軸方向においてワーク載置台２１に載置されたワークＷに対向可能な位置にある場合、ヘッドユニット５４が備える全液滴吐出ヘッド１７の全吐出ノズル７８から検査吐出された機能液を受けられるように構成されている。撮像ユニット１６２は、検査描画ユニット１６１に描画された検査パターン（着弾ドットのパターン）を撮像して検査する。上述したように、検査描画ユニット１６１はＸ軸テーブル１１に搭載されている。撮像ユニット１６２はＹ軸テーブル１２の直下で、Ｙ軸支持ベース７に固定されており、Ｘ軸方向においては、検査位置に固定的に設けられている。撮像ユニット１６２が有する２個の検査カメラ１６３は、それぞれ独立してＹ軸方向に移動可能である。   The discharge inspection unit 18 is for inspecting whether or not the functional liquid is properly discharged from the all liquid droplet discharge heads 17 (discharge nozzles 78) constituting the discharge unit 2. The inspection drawing unit 161 has an all-droplet ejection head provided in the head unit 54 when the head unit 54 constituting the ejection unit 2 is in a position that can face the workpiece W placed on the workpiece platform 21 in the Y-axis direction. It is configured to receive the functional liquid that has been inspected and discharged from all 17 discharge nozzles 78. The imaging unit 162 images and inspects an inspection pattern (landing dot pattern) drawn on the inspection drawing unit 161. As described above, the inspection drawing unit 161 is mounted on the X-axis table 11. The imaging unit 162 is fixed to the Y-axis support base 7 immediately below the Y-axis table 12, and is fixedly provided at the inspection position in the X-axis direction. The two inspection cameras 163 included in the imaging unit 162 can move independently in the Y-axis direction.

図５に示すように、検査描画ユニット１６１は、検査シート１７１と、検査ステージ１７２と、シート送り手段１７３と、シート送り支持部材１７４と、ユニットベース１７５と、を備えている。検査シート１７１は、液滴吐出ヘッド１７から検査吐出された機能液の液滴を着弾させるための帯状のシートである。検査シート１７１は、液滴吐出装置１において、図１に示したＹ軸方向に延在している。検査ステージ１７２は、液滴吐出装置１において、図１に示したＹ軸方向に延在しており、検査ステージ１７２の上に検査シート１７１が載っている。シート送り手段１７３が、非検査済み部分を検査ステージ１７２に送り込むように、かつ検査シート１７１の検査済み部分を検査ステージ１７２の上から送り出すように、検査シート１７１を移動させる。シート送り手段１７３は、シート送り支持部材１７４に支持されており、シート送り支持部材１７４は、ユニットベース１７５に支持されている。   As shown in FIG. 5, the inspection drawing unit 161 includes an inspection sheet 171, an inspection stage 172, a sheet feeding unit 173, a sheet feeding support member 174, and a unit base 175. The inspection sheet 171 is a belt-like sheet for landing the functional liquid droplets inspected and discharged from the droplet discharge head 17. The inspection sheet 171 extends in the Y-axis direction shown in FIG. The inspection stage 172 extends in the Y-axis direction shown in FIG. 1 in the droplet discharge device 1, and the inspection sheet 171 is placed on the inspection stage 172. The sheet feeding means 173 moves the inspection sheet 171 so that the non-inspected part is fed to the inspection stage 172 and the inspected part of the inspection sheet 171 is sent out from above the inspection stage 172. The sheet feeding unit 173 is supported by the sheet feeding support member 174, and the sheet feeding support member 174 is supported by the unit base 175.

図２を参照して説明したように、撮像ユニット１６２は、２個の検査カメラ１６３と、検査カメラ１６３をＹ軸方向にスライド自在に支持するカメラ移動機構１６４と、を有している。検査カメラ１６３は、検査シート１７１に検査吐出された着弾ドットを画像認識するもので、Ｘ軸テーブル１１に上側から臨む姿勢で、Ｙ軸支持ベース７に固定されたカメラ移動機構１６４を介して、Ｙ軸方向にスライド自在にＹ軸支持ベース７に支持されている。   As described with reference to FIG. 2, the imaging unit 162 includes the two inspection cameras 163 and the camera moving mechanism 164 that supports the inspection camera 163 slidably in the Y-axis direction. The inspection camera 163 recognizes the landing dots that have been inspected and discharged on the inspection sheet 171, and faces the X-axis table 11 from above, via a camera moving mechanism 164 fixed to the Y-axis support base 7. It is supported by a Y-axis support base 7 so as to be slidable in the Y-axis direction.

検査描画ユニット１６１は、吸着テーブル３１が給除材位置に移動したときに、検査シート１７１が撮像ユニット１６２の検査カメラ１６３に臨む位置に移動して当該位置に位置することが可能である。２個の検査カメラ１６３による撮像結果は、吐出装置制御部６に送信されて画像認識され、この画像認識に基づいて、各液滴吐出ヘッド１７の各吐出ノズル７８が正常に機能液を吐出しているか（ノズル詰まりがないか）否かが判定される。また、着弾した液滴の相対位置が規定された位置であるか否かが判定される。   The inspection drawing unit 161 can move to a position where the inspection sheet 171 faces the inspection camera 163 of the image pickup unit 162 when the suction table 31 moves to the supply / discharge material position. The imaging results obtained by the two inspection cameras 163 are transmitted to the ejection device control unit 6 for image recognition. Based on this image recognition, each ejection nozzle 78 of each droplet ejection head 17 normally ejects the functional liquid. It is determined whether or not there is no nozzle clogging. Further, it is determined whether or not the relative position of the landed droplet is a specified position.

＜重量測定ユニット＞
次に、重量測定ユニット１９及びフラッシングユニット１４について、図６を参照して説明する。図６は、重量測定ユニットの部分及びフラッシングユニットの部分を含む重量測定ブロックの図である。図６（ａ）は、重量測定ブロックの平面図であり、図６（ｂ）は、重量測定ブロックの側面図である。上述したように、重量測定ユニット１９、フラッシングユニット１４、及び検査描画ユニット１６１が一体に設けられた吐出検査ブロックが、一体に移動するように構成されている。 <Weight measuring unit>
Next, the weight measuring unit 19 and the flushing unit 14 will be described with reference to FIG. FIG. 6 is a diagram of a weight measurement block including a weight measurement unit portion and a flushing unit portion. FIG. 6A is a plan view of the weight measurement block, and FIG. 6B is a side view of the weight measurement block. As described above, the discharge inspection block provided integrally with the weight measuring unit 19, the flushing unit 14, and the inspection drawing unit 161 is configured to move integrally.

図６に示すように、重量測定ブロック９１Ａは、２個の重量測定装置９１と、支持フレーム９２とを備えている。支持フレーム９２は、２個の重量測定装置９１を支持しており、支持フレーム９２がＸ軸第２スライダ２３に固定されることによって、重量測定ブロック９１ＡがＸ軸第２スライダ２３に搭載されている。一つの重量測定装置９１が一つのヘッド組５５に対応しており、並列する二つの重量測定装置９１が、一つのヘッドユニット５４に対応している。   As shown in FIG. 6, the weight measurement block 91 </ b> A includes two weight measurement devices 91 and a support frame 92. The support frame 92 supports two weight measuring devices 91, and the weight measuring block 91 </ b> A is mounted on the X-axis second slider 23 by fixing the support frame 92 to the X-axis second slider 23. Yes. One weight measuring device 91 corresponds to one head set 55, and two weight measuring devices 91 in parallel correspond to one head unit 54.

重量測定装置９１は、定期フラッシングボックス９３と、受液容器９４と、電子天秤９９（図６（ａ）では受液容器９４の下に隠れている）と、重量測定時フラッシングボックス９５と、機能液吸収材９７と、押えプレート９８と、これらを収容するケース９６と、を有している。定期フラッシングボックス９３と、重量測定時フラッシングボックス９５と、機能液吸収材９７と、押えプレート９８とは、フラッシングユニット１４に含まれる。受液容器９４と、電子天秤９９とは、重量測定ユニット１９に含まれる。   The weight measuring device 91 includes a regular flushing box 93, a liquid receiving container 94, an electronic balance 99 (hidden under the liquid receiving container 94 in FIG. 6A), a weight measuring flushing box 95, and a function. It has a liquid absorbent material 97, a presser plate 98, and a case 96 that accommodates these. The regular flushing box 93, the weight measurement flushing box 95, the functional liquid absorbent 97, and the presser plate 98 are included in the flushing unit 14. The liquid receiving container 94 and the electronic balance 99 are included in the weight measuring unit 19.

受液容器９４は、ヘッド組５５を構成する３個の液滴吐出ヘッド１７のうち、任意の１個の液滴吐出ヘッド１７のみに対向して、当該液滴吐出ヘッド１７から吐出した機能液を受けることができる大きさである。受液容器９４は、電子天秤９９の上に載っており、電子天秤９９は受液容器９４の重量を測定することで、受液容器９４内に着弾した機能液の重量を測定する。液滴吐出ヘッド１７から吐出した機能液を受けることで増加した受液容器９４の重量が、液滴吐出ヘッド１７から吐出されて受液容器９４内に着弾した機能液の重量である。   The liquid receiving container 94 is a functional liquid discharged from the droplet discharge head 17 so as to face only one arbitrary droplet discharge head 17 among the three droplet discharge heads 17 constituting the head set 55. It is the size that can receive. The liquid receiving container 94 is placed on the electronic balance 99, and the electronic balance 99 measures the weight of the functional liquid landed in the liquid receiving container 94 by measuring the weight of the liquid receiving container 94. The weight of the liquid receiving container 94 increased by receiving the functional liquid discharged from the droplet discharge head 17 is the weight of the functional liquid discharged from the liquid droplet discharge head 17 and landed in the liquid receiving container 94.

重量測定時フラッシングボックス９５は、重量測定時フラッシングボックス９５ａと重量測定時フラッシングボックス９５ｂとが、Ｘ軸方向において受液容器９４を挟んで配置されている。ヘッド組５５を構成する３個の液滴吐出ヘッド１７のうち１個の液滴吐出ヘッド１７が受液容器９４に臨む位置にあるとき、ヘッド組５５を構成する他の２個の液滴吐出ヘッド１７は、重量測定時フラッシングボックス９５ａ又は重量測定時フラッシングボックス９５ｂのいずれかに臨む位置に位置する。重量測定対象の液滴吐出ヘッド１７が受液容器９４に臨んで重量測定のための吐出を実施する時に、測定対象外の液滴吐出ヘッド１７は、重量測定時フラッシングボックス９５ａ又は重量測定時フラッシングボックス９５ｂに臨んで、捨て吐出を実施する。   In the weight measurement flushing box 95, a weight measurement flushing box 95a and a weight measurement flushing box 95b are arranged with a liquid receiving container 94 interposed therebetween in the X-axis direction. When one of the three droplet discharge heads 17 constituting the head set 55 is in a position facing the liquid receiving container 94, the other two droplet discharges constituting the head set 55 are discharged. The head 17 is located at a position facing either the weight measurement flushing box 95a or the weight measurement flushing box 95b. When the droplet discharge head 17 subject to weight measurement faces the liquid receiving container 94 and performs discharge for weight measurement, the droplet discharge head 17 other than the measurement subject may be the flushing box 95a during weight measurement or the flushing during weight measurement. Faced with the box 95b, waste discharge is performed.

１個の重量測定装置９１でヘッド組５５の３個の液滴吐出ヘッド１７について重量測定を行うため、１個の液滴吐出ヘッド１７が重量測定吐出を行っている際に、その他の２個の液滴吐出ヘッド１７はその重量測定吐出が終わるのを待つことになるが、その「待ち」状態の液滴吐出ヘッド１７に捨て吐出を行わせることができる。これにより、「待ち」状態の間に吐出ノズル７８が乾燥することを抑制して、「待ち」状態の後に実施する重量測定吐出を良好に行うことができ、適切な測定結果を得ることができる。   Since the weight measurement is performed on the three droplet discharge heads 17 of the head set 55 by one weight measuring device 91, when the one droplet discharge head 17 performs the weight measurement discharge, the other two The liquid droplet ejection head 17 waits for the end of the weight measurement ejection, but the liquid droplet ejection head 17 in the “waiting” state can be discarded and ejected. Accordingly, the discharge nozzle 78 can be prevented from drying during the “waiting” state, and the weight measurement discharge performed after the “waiting” state can be performed well, and an appropriate measurement result can be obtained. .

定期フラッシングボックス９３は、定期フラッシング時に捨て吐出された機能液を受けるものである。
重量測定時フラッシングボックス９５及び定期フラッシングボックス９３内には、機能液吸収材９７が、その両長辺部を一対の押えプレート９８により押え付けた状態で敷設されている。なお、受液容器９４は、各液滴吐出ヘッド１７に対し、ノズル列単位で機能液を受け得る大きさに形成されている。 The regular flushing box 93 receives the functional liquid discarded and discharged during the regular flushing.
In the weight measurement flushing box 95 and the regular flushing box 93, a functional liquid absorbent 97 is laid in a state where both long sides thereof are pressed by a pair of presser plates 98. The liquid receiving container 94 is formed in a size that can receive the functional liquid for each droplet discharge head 17 in units of nozzle rows.

電子天秤９９は、受液容器９４に吐出された機能液の重量を測定し、測定結果を吐出装置制御部６に出力する。吐出装置制御部６は、電子天秤９９から入力した測定結果に基づいて、ヘッドドライバ１７ｄ（図７参照）から液滴吐出ヘッド１７に印加する駆動電力（電圧値）を制御する。   The electronic balance 99 measures the weight of the functional liquid discharged to the liquid receiving container 94 and outputs the measurement result to the discharge device control unit 6. The discharge device control unit 6 controls the drive power (voltage value) applied to the droplet discharge head 17 from the head driver 17d (see FIG. 7) based on the measurement result input from the electronic balance 99.

＜液滴吐出装置の電気的構成＞
次に、上述したような構成を有する液滴吐出装置１を駆動するための電気的構成について、図７を参照して説明する。図７は、液滴吐出装置の電気的構成を示す電気構成ブロック図である。液滴吐出装置１は、制御装置６５を介してデータの入力や、稼働開始や停止などの制御指令の入力を行うことで、制御される。制御装置６５は、演算処理を行うホストコンピュータ６６と、液滴吐出装置１に情報を入出力するための入出力装置６８とを有し、インタフェイス（Ｉ／Ｆ）６７を介して吐出装置制御部６と接続されている。入出力装置６８は、情報を入力可能なキーボード、記録媒体を介して情報を入出力する外部入出力装置、外部入出力装置を介して入力された情報を保存しておく記録部、モニタ装置などである。 <Electrical configuration of droplet discharge device>
Next, an electrical configuration for driving the droplet discharge device 1 having the above-described configuration will be described with reference to FIG. FIG. 7 is an electrical configuration block diagram showing an electrical configuration of the droplet discharge device. The droplet discharge device 1 is controlled by inputting data or inputting a control command such as operation start or stop via the control device 65. The control device 65 includes a host computer 66 for performing arithmetic processing and an input / output device 68 for inputting / outputting information to / from the droplet discharge device 1, and controls the discharge device via an interface (I / F) 67. Connected to the unit 6. The input / output device 68 includes a keyboard capable of inputting information, an external input / output device that inputs / outputs information via a recording medium, a recording unit that stores information input via the external input / output device, a monitor device, and the like It is.

液滴吐出装置１の吐出装置制御部６は、インタフェイス（Ｉ／Ｆ）４７と、ＣＰＵ（Central Processing Unit）４４と、ＲＯＭ（Read Only Memory）４５と、ＲＡＭ（Random Access Memory）４６と、ハードディスク４８と、を有している。また、ヘッドドライバ１７ｄと、駆動機構ドライバ４０ｄと、給液ドライバ６０ｄと、メンテナンスドライバ５ｄと、検査ドライバ４ｄと、検出部インタフェイス（Ｉ／Ｆ）４３と、を有している。これらは、データバス４９を介して互いに電気的に接続されている。   The ejection device controller 6 of the droplet ejection device 1 includes an interface (I / F) 47, a CPU (Central Processing Unit) 44, a ROM (Read Only Memory) 45, a RAM (Random Access Memory) 46, And a hard disk 48. Further, the head driver 17d, the drive mechanism driver 40d, the liquid supply driver 60d, the maintenance driver 5d, the inspection driver 4d, and the detection unit interface (I / F) 43 are provided. These are electrically connected to each other via a data bus 49.

インタフェイス４７は、制御装置６５とデータの授受を行い、ＣＰＵ４４は、制御装置６５からの指令に基づいて各種演算処理を行い、液滴吐出装置１の各部の動作を制御する制御信号を出力する。ＲＡＭ４６は、ＣＰＵ４４からの指令に従って、制御装置６５から受け取った制御コマンドや印刷データを一時的に保存する。ＲＯＭ４５は、ＣＰＵ４４が各種演算処理を行うためのルーチン等を記憶している。ハードディスク４８は、制御装置６５から受け取った制御コマンドや印刷データを保存したり、ＣＰＵ４４が各種演算処理を行うためのルーチン等を記憶したりしている。   The interface 47 exchanges data with the control device 65, and the CPU 44 performs various arithmetic processes based on commands from the control device 65, and outputs control signals that control the operation of each part of the droplet discharge device 1. . The RAM 46 temporarily stores control commands and print data received from the control device 65 in accordance with instructions from the CPU 44. The ROM 45 stores routines for the CPU 44 to perform various arithmetic processes. The hard disk 48 stores control commands and print data received from the control device 65, and stores routines for the CPU 44 to perform various arithmetic processes.

ヘッドドライバ１７ｄには、吐出ユニット２を構成する液滴吐出ヘッド１７が接続されている。ヘッドドライバ１７ｄは、ＣＰＵ４４からの制御信号に従って液滴吐出ヘッド１７を駆動して、機能液の液滴を吐出させる。駆動機構ドライバ４０ｄには、Ｙ軸テーブル１２のヘッド移動モータと、Ｘ軸テーブル１１のＸ軸リニアモータ２６と、各種駆動源を有する各種駆動機構を含む駆動機構４１とが接続されている。各種駆動機構は、上記した、アライメントカメラ８１を移動するためのカメラ移動モータや、θテーブル３２のθ駆動モータ５３２などである。駆動機構ドライバ４０ｄは、ＣＰＵ４４からの制御信号に従って上記モータなどを駆動して、液滴吐出ヘッド１７とワークＷとを相対移動させてワークＷの任意の位置と液滴吐出ヘッド１７とを対向させ、ヘッドドライバ１７ｄと協働して、ワークＷ上の任意の位置に機能液の液滴を着弾させる。   A droplet discharge head 17 constituting the discharge unit 2 is connected to the head driver 17d. The head driver 17d drives the droplet discharge head 17 in accordance with a control signal from the CPU 44, and discharges droplets of the functional liquid. The drive mechanism driver 40d is connected to a head moving motor of the Y-axis table 12, an X-axis linear motor 26 of the X-axis table 11, and a drive mechanism 41 including various drive mechanisms having various drive sources. The various drive mechanisms are the above-described camera movement motor for moving the alignment camera 81, the θ drive motor 532 of the θ table 32, and the like. The drive mechanism driver 40d drives the motor or the like in accordance with a control signal from the CPU 44 to move the droplet discharge head 17 and the workpiece W relative to each other so that an arbitrary position of the workpiece W and the droplet discharge head 17 are opposed to each other. In cooperation with the head driver 17d, the droplet of the functional liquid is landed at an arbitrary position on the workpiece W.

メンテナンスドライバ５ｄには、メンテナンスユニット５の吸引ユニット１５と、ワイピングユニット１６とが接続されている。メンテナンスドライバ５ｄは、ＣＰＵ４４からの制御信号に従って、吸引ユニット１５、又はワイピングユニット１６を駆動して、液滴吐出ヘッド１７の保守作業を実施させる。   A suction unit 15 of the maintenance unit 5 and a wiping unit 16 are connected to the maintenance driver 5d. The maintenance driver 5d drives the suction unit 15 or the wiping unit 16 in accordance with a control signal from the CPU 44, and performs maintenance work on the droplet discharge head 17.

検査ドライバ４ｄには、検査ユニット４の吐出検査ユニット１８と、重量測定ユニット１９とが接続されている。検査ドライバ４ｄは、ＣＰＵ４４からの制御信号に従って、吐出検査ユニット１８、又は重量測定ユニット１９を駆動して、吐出重量や吐出の可否や着弾位置精度などの、液滴吐出ヘッド１７の吐出状態の検査を実施させる。
なお、本実施形態における吐出重量は、液滴吐出ヘッド１７が吐出する機能液の液滴一滴の重量である。液滴吐出ヘッド１７が吐出する機能液の液滴一滴の大きさ（体積）は、吐出量と表記する。吐出重量と吐出量とは、同じ量を重量又は体積で表す場合のそれぞれの呼称である。 A discharge inspection unit 18 of the inspection unit 4 and a weight measurement unit 19 are connected to the inspection driver 4d. The inspection driver 4d drives the discharge inspection unit 18 or the weight measurement unit 19 in accordance with a control signal from the CPU 44, and inspects the discharge state of the droplet discharge head 17 such as discharge weight, discharge availability, and landing position accuracy. To implement.
The discharge weight in the present embodiment is the weight of one droplet of the functional liquid discharged from the droplet discharge head 17. The size (volume) of one droplet of the functional liquid discharged from the droplet discharge head 17 is expressed as a discharge amount. The discharge weight and the discharge amount are respective names when the same amount is expressed by weight or volume.

給液ドライバ６０ｄには、給液ユニット６０が接続されている。給液ドライバ６０ｄは、ＣＰＵ４４からの制御信号に従って給液ユニット６０を駆動して、液滴吐出ヘッド１７に機能液を供給する。検出部インタフェイス４３には、液滴吐出ヘッド１７の温度を測定するヘッド温度センサ１４２などの各種センサを含む検出部４２が接続されている。検出部４２の各センサによって検出された検出情報が検出部インタフェイス４３を介してＣＰＵ４４に伝達される。
なお、液滴吐出ヘッド１７の温度としては、液滴吐出ヘッド１７の部分であって、当該部分の温度の変動が、液滴吐出ヘッド１７が吐出する液滴の重量の変動に関連付けて測定可能な部分の温度を用いる。例えばポンプ部７５の外壁面の温度や、ノズルプレート７６の温度や、振動板１５２の圧力室１５８を構成する部分の温度などのいずれかを用いることができる。ヘッド温度センサ１４２は、例えば接触式の温度センサであって、これらのいずれかに接触して、これらの温度のいずれかを測定可能な位置に配設されている。 A liquid supply unit 60 is connected to the liquid supply driver 60d. The liquid supply driver 60 d drives the liquid supply unit 60 in accordance with a control signal from the CPU 44 and supplies the functional liquid to the droplet discharge head 17. The detection unit interface 43 is connected to a detection unit 42 including various sensors such as a head temperature sensor 142 that measures the temperature of the droplet discharge head 17. Detection information detected by each sensor of the detection unit 42 is transmitted to the CPU 44 via the detection unit interface 43.
Note that the temperature of the droplet discharge head 17 is a portion of the droplet discharge head 17, and the variation in temperature of the portion can be measured in association with the variation in the weight of the droplet discharged by the droplet discharge head 17. Use the temperature of the correct part. For example, any one of the temperature of the outer wall surface of the pump unit 75, the temperature of the nozzle plate 76, the temperature of the portion constituting the pressure chamber 158 of the diaphragm 152, and the like can be used. The head temperature sensor 142 is, for example, a contact-type temperature sensor, and is disposed at a position where any one of these temperatures can be measured by contacting any of these.

＜機能液の吐出＞
次に、液滴吐出装置１における吐出制御方法について、図８を参照して説明する。図８は、液滴吐出ヘッドの電気的構成と信号の流れを示す説明図である。 <Discharge of functional liquid>
Next, a discharge control method in the droplet discharge apparatus 1 will be described with reference to FIG. FIG. 8 is an explanatory diagram showing the electrical configuration of the droplet discharge head and the flow of signals.

上述したように、液滴吐出装置１は、液滴吐出装置１の各部の動作を制御する制御信号を出力するＣＰＵ４４と、液滴吐出ヘッド１７の電気的な駆動制御を行うヘッドドライバ１７ｄとを備えている。
図８に示すように、ヘッドドライバ１７ｄは、ＦＦＣケーブルを介して各液滴吐出ヘッド１７と電気的に接続されている。また、液滴吐出ヘッド１７は、吐出ノズル７８（図３参照）ごとに設けられた圧電素子１５９に対応して、シフトレジスタ（ＳＬ）８５と、ラッチ回路（ＬＡＴ）８６と、レベルシフタ（ＬＳ）８７と、スイッチ（ＳＷ）８８とを備えている。 As described above, the droplet discharge device 1 includes the CPU 44 that outputs a control signal that controls the operation of each unit of the droplet discharge device 1 and the head driver 17d that performs electrical drive control of the droplet discharge head 17. I have.
As shown in FIG. 8, the head driver 17d is electrically connected to each droplet discharge head 17 via an FFC cable. Further, the droplet discharge head 17 corresponds to the piezoelectric element 159 provided for each discharge nozzle 78 (see FIG. 3), a shift register (SL) 85, a latch circuit (LAT) 86, and a level shifter (LS). 87 and a switch (SW) 88.

液滴吐出装置１における吐出制御は次のように行われる。最初に、ＣＰＵ４４がワークＷなどの描画対象物における機能液の配置パターンをデータ化したドットパターンデータをヘッドドライバ１７ｄに伝送する。そして、ヘッドドライバ１７ｄは、ドットパターンデータをデコードして吐出ノズル７８ごとのＯＮ／ＯＦＦ（吐出／非吐出）情報であるノズルデータを生成する。ノズルデータは、シリアル信号（ＳＩ）化されて、クロック信号（ＣＫ）に同期して各シフトレジスタ８５に伝送される。   The ejection control in the droplet ejection apparatus 1 is performed as follows. First, the CPU 44 transmits to the head driver 17d dot pattern data obtained by converting the functional liquid arrangement pattern on the drawing object such as the workpiece W into data. Then, the head driver 17d decodes the dot pattern data to generate nozzle data that is ON / OFF (discharge / non-discharge) information for each discharge nozzle 78. The nozzle data is converted into a serial signal (SI) and transmitted to each shift register 85 in synchronization with the clock signal (CK).

シフトレジスタ８５に伝送されたノズルデータは、ラッチ信号（ＬＡＴ）がラッチ回路８６に入力されるタイミングでラッチされ、さらにレベルシフタ８７でスイッチ８８用のゲート信号に変換される。即ち、ノズルデータが「ＯＮ」の場合にはスイッチ８８が開いて圧電素子１５９に駆動信号（ＣＯＭ）が供給され、ノズルデータが「ＯＦＦ」の場合にはスイッチ８８が閉じられて圧電素子１５９に駆動信号（ＣＯＭ）は供給されないことになる。そして、「ＯＮ」に対応する吐出ノズル７８からは機能液が液滴となって吐出され、吐出された機能液の液滴がワークＷなどの描画対象物の上に着弾して、描画対象物の上に機能液が配置される。   The nozzle data transmitted to the shift register 85 is latched at the timing when the latch signal (LAT) is input to the latch circuit 86, and further converted into a gate signal for the switch 88 by the level shifter 87. That is, when the nozzle data is “ON”, the switch 88 is opened and the drive signal (COM) is supplied to the piezoelectric element 159. When the nozzle data is “OFF”, the switch 88 is closed and the piezoelectric element 159 is closed. The drive signal (COM) is not supplied. Then, the functional liquid is discharged as droplets from the discharge nozzle 78 corresponding to “ON”, and the discharged droplets of the functional liquid land on the drawing object such as the workpiece W, and the drawing object The functional liquid is placed on the top.

＜駆動波形＞
次に、圧電素子１５９に印加する駆動信号の駆動波形、及び当該駆動波形の駆動信号を印加された圧電素子１５９の動作による吐出動作について、図９を参照して説明する。図９は、駆動波形の基本波形及び駆動波形に対応した圧電素子の動作を示す図である。図９（ａ）は、圧電素子に印加する駆動信号の駆動波形の基本波形を示す図であり、図９（ｂ）は、駆動波形に対応した圧電素子の動作による液滴吐出ヘッドの吐出動作を示す模式断面図である。 <Drive waveform>
Next, the drive waveform of the drive signal applied to the piezoelectric element 159 and the ejection operation by the operation of the piezoelectric element 159 to which the drive signal of the drive waveform is applied will be described with reference to FIG. FIG. 9 is a diagram illustrating the basic waveform of the drive waveform and the operation of the piezoelectric element corresponding to the drive waveform. FIG. 9A is a diagram showing a basic waveform of the drive waveform of the drive signal applied to the piezoelectric element, and FIG. 9B is an ejection operation of the droplet ejection head by the operation of the piezoelectric element corresponding to the drive waveform. It is a schematic cross section which shows.

図９（ａ）に示すように、駆動信号を印加する前の待機状態では、圧電素子１５９には一定の電圧が印加されている（図９（ａ）のＡ）。この電圧を中間電位と表記する。描画を実施する際は、描画開始前に、圧電素子１５９に印加する電圧を中間電位に引き上げ、描画終了後に、グランドレベルに戻す。
図９（ｂ）に示すように、圧電素子１５９を中間電位に維持した待機状態では、圧電素子１５９がわずかに縮んで振動板１５２が圧電素子１５９の側に引張られることで、振動板１５２が圧力室１５８の反対側に撓んでいる（図９（ｂ）のＡ）。 As shown in FIG. 9A, in the standby state before the drive signal is applied, a constant voltage is applied to the piezoelectric element 159 (A in FIG. 9A). This voltage is expressed as an intermediate potential. When drawing is performed, the voltage applied to the piezoelectric element 159 is raised to an intermediate potential before starting drawing, and then returned to the ground level after drawing is completed.
As shown in FIG. 9B, in the standby state in which the piezoelectric element 159 is maintained at an intermediate potential, the piezoelectric element 159 is slightly contracted and the diaphragm 152 is pulled toward the piezoelectric element 159, so that the diaphragm 152 is It is bent to the opposite side of the pressure chamber 158 (A in FIG. 9B).

駆動周期の最初の工程は、圧電素子１５９に印加する電圧を、中間電位から始まって、高電位に引き上げる（図９（ａ）のＢ）。圧電素子１５９に印加される電圧が高くなることで、圧電素子１５９がさらに縮んで、振動板１５２が圧力室１５８と反対側に引張られる力を受ける。振動板１５２が圧力室１５８と反対側に引張られることで、可撓性を有する材料で形成された振動板１５２が圧力室１５８の反対側に撓む。これにより、圧力室１５８の容積が増加することから、機能液が液たまり１５５から供給口１５６を経て圧力室１５８に供給される（図９（ｂ）のＢ）。この工程を、昇圧給液工程と表記する。昇圧給液工程では、吐出ノズル７８から空気が圧力室１５８に入り込まないように、圧電素子１５９をゆっくり変位させる。圧電素子１５９に印加される高電位の電圧が、液滴吐出ヘッド１７を駆動するために印加される駆動電圧に相当する。   In the first step of the driving cycle, the voltage applied to the piezoelectric element 159 starts from an intermediate potential and is raised to a high potential (B in FIG. 9A). As the voltage applied to the piezoelectric element 159 increases, the piezoelectric element 159 further contracts, and the diaphragm 152 receives a force that is pulled to the opposite side of the pressure chamber 158. When the diaphragm 152 is pulled to the opposite side of the pressure chamber 158, the diaphragm 152 formed of a flexible material is bent to the opposite side of the pressure chamber 158. Thereby, since the volume of the pressure chamber 158 increases, the functional liquid is supplied from the liquid pool 155 through the supply port 156 to the pressure chamber 158 (B in FIG. 9B). This process is referred to as a pressurization liquid supply process. In the pressurizing liquid supply process, the piezoelectric element 159 is slowly displaced so that air does not enter the pressure chamber 158 from the discharge nozzle 78. The high potential voltage applied to the piezoelectric element 159 corresponds to the drive voltage applied to drive the droplet discharge head 17.

昇圧給液工程後、圧電素子１５９に印加する電圧を高電位に保った状態を維持する。この状態を、吐出前待機状態と表記する（図９（ａ）のＣ）。圧電素子１５９を構成する圧電材料は、電圧変動がなくなっても機械的に振動しているため、その機械振動が収まるまで待機する工程が、吐出前待機状態である。   After the boosting liquid supply step, the voltage applied to the piezoelectric element 159 is maintained at a high potential. This state is referred to as a standby state before discharge (C in FIG. 9A). Since the piezoelectric material constituting the piezoelectric element 159 is mechanically vibrated even when the voltage fluctuation disappears, the step of waiting until the mechanical vibration is subtracted is the standby state before discharge.

機械振動が収まる時間だけ吐出前待機状態を維持した後、圧電素子１５９に印加する電圧を、一気に降圧させる（図９（ａ）のＤ）。圧電素子１５９に印加する電圧を、一気に降圧させることによって、圧電素子１５９の変位が一気に零になり、圧力室１５８は急激に狭くなり、圧力室１５８の内部に充填されていた機能液が、吐出ノズル７８から吐出される（図９（ｂ）のＤ）。この工程を、降圧吐出工程と表記する。
高電位の電圧値によって、圧電素子１５９が縮む量が異なるため、圧力室１５８の容積が増加する量も異なる。このため、当該高電位の電圧値を変えることによって、圧力室１５８に充填されて吐出される機能液の量、すなわち液滴吐出ヘッド１７からの吐出量を調整することができる。 After maintaining the standby state before ejection for a time during which mechanical vibrations subside, the voltage applied to the piezoelectric element 159 is lowered at once (D in FIG. 9A). By reducing the voltage applied to the piezoelectric element 159 at once, the displacement of the piezoelectric element 159 becomes zero at a stroke, the pressure chamber 158 becomes narrow suddenly, and the functional liquid filled in the pressure chamber 158 is discharged. The ink is discharged from the nozzle 78 (D in FIG. 9B). This process is referred to as a step-down discharge process.
Since the amount of contraction of the piezoelectric element 159 varies depending on the high potential voltage value, the amount of increase in the volume of the pressure chamber 158 also varies. Therefore, by changing the voltage value of the high potential, it is possible to adjust the amount of the functional liquid that is filled and discharged in the pressure chamber 158, that is, the discharge amount from the droplet discharge head 17.

降圧吐出工程の次に、圧電素子１５９に印加する電圧を低電位に保った状態を維持する。この状態を、吐出後待機状態と表記する（図９（ａ）のＥ）。圧電素子１５９の機械振動が収まる時間だけ低電位状態を維持する工程が、吐出後待機状態である。
圧電素子１５９の機械振動が収まる時間だけ吐出後待機状態を維持した後、圧電素子１５９に印加する電圧を中間電位に引き上げて（図９（ａ）のＦ）、再び待機状態（中間電位）にする。 Following the step-down discharge process, the voltage applied to the piezoelectric element 159 is maintained at a low potential. This state is referred to as a post-discharge standby state (E in FIG. 9A). The step of maintaining the low potential state for a time during which the mechanical vibration of the piezoelectric element 159 is settled is a standby state after ejection.
After maintaining the standby state after ejection for a time during which the mechanical vibration of the piezoelectric element 159 is settled, the voltage applied to the piezoelectric element 159 is raised to the intermediate potential (F in FIG. 9A), and again enters the standby state (intermediate potential). To do.

＜液晶表示パネルの構成＞
次に、液滴吐出装置１を用いて機能膜を形成する電気光学装置としての液晶装置の一例である液晶表示パネルについて説明する。液晶表示パネル２００（図１０参照）は、液晶装置の一例であり、カラーフィルタの一例である液晶表示パネル用のカラーフィルタを備える液晶表示パネルである。
最初に、液晶表示パネル２００の構成について、図１０を参照して説明する。図１０は、液晶表示パネルの概略構成を示す分解斜視図である。図１０に示した液晶表示パネル２００は、駆動素子として薄膜トランジスタ（ＴＦＴ（Thin Film Transistor）素子）を用いるアクティブマトリックス方式の液晶装置であり、図示省略したバックライトを用いる透過型の液晶装置である。 <Configuration of LCD panel>
Next, a liquid crystal display panel which is an example of a liquid crystal device as an electro-optical device that forms a functional film using the droplet discharge device 1 will be described. The liquid crystal display panel 200 (see FIG. 10) is an example of a liquid crystal device, and is a liquid crystal display panel including a color filter for a liquid crystal display panel that is an example of a color filter.
First, the configuration of the liquid crystal display panel 200 will be described with reference to FIG. FIG. 10 is an exploded perspective view showing a schematic configuration of the liquid crystal display panel. A liquid crystal display panel 200 shown in FIG. 10 is an active matrix type liquid crystal device using a thin film transistor (TFT (Thin Film Transistor) element) as a drive element, and is a transmissive liquid crystal device using a backlight (not shown).

図１０に示すように、液晶表示パネル２００は、ＴＦＴ素子２１５を有する素子基板２１０と、対向電極２０７を有する対向基板２２０と、シール材（図示省略）によって接着された素子基板２１０と対向基板２２０との隙間に充填された液晶２３０（図１５（ｋ）参照）とを備えている。貼り合わされた素子基板２１０と、対向基板２２０とには、互いに貼り合わされた面の反対側の面に、それぞれ偏光板２３１と偏光板２３２とが、配設されている。   As shown in FIG. 10, the liquid crystal display panel 200 includes an element substrate 210 having a TFT element 215, a counter substrate 220 having a counter electrode 207, and the element substrate 210 and the counter substrate 220 bonded by a sealing material (not shown). And a liquid crystal 230 (see FIG. 15K) filled in the gap. A polarizing plate 231 and a polarizing plate 232 are disposed on the element substrate 210 and the counter substrate 220 which are bonded to each other on the opposite sides of the surfaces bonded to each other.

素子基板２１０は、ガラス基板２１１の対向基板２２０と対向する面に、ＴＦＴ素子２１５や、導電性を有する画素電極２１７や走査線２１２や信号線２１４が、形成されている。これらの素子や導電性を有する膜の間を埋めるように、絶縁層２１６が形成されており、走査線２１２及び信号線２１４は、絶縁層２１６の部分を挟んで互いに交差する状態で形成されている。走査線２１２と信号線２１４とは、絶縁層２１６の部分を間に挟むことで互いに絶縁されている。これらの走査線２１２と信号線２１４とに囲まれた領域内には画素電極２１７が形成されている。画素電極２１７は方形状の一部の角部分が方形状に欠けた形状をしている。画素電極２１７の切欠部と走査線２１２と信号線２１４とに囲まれた部分には、ソース電極、ドレイン電極、半導体部、及びゲート電極を具備するＴＦＴ素子２１５が組み込まれて構成されている。走査線２１２と信号線２１４に信号を印加することによってＴＦＴ素子２１５をオン・オフして画素電極２１７への通電制御を実施する。   The element substrate 210 has a TFT element 215, a conductive pixel electrode 217, a scanning line 212, and a signal line 214 formed on a surface of the glass substrate 211 facing the counter substrate 220. An insulating layer 216 is formed so as to fill in between these elements and conductive films, and the scanning line 212 and the signal line 214 are formed so as to cross each other with the insulating layer 216 interposed therebetween. Yes. The scanning line 212 and the signal line 214 are insulated from each other with the insulating layer 216 interposed therebetween. A pixel electrode 217 is formed in a region surrounded by the scanning lines 212 and the signal lines 214. The pixel electrode 217 has a shape in which some corners of the rectangular shape are lacking in the rectangular shape. A TFT element 215 including a source electrode, a drain electrode, a semiconductor portion, and a gate electrode is incorporated in a portion surrounded by the cutout portion of the pixel electrode 217, the scanning line 212, and the signal line 214. By applying a signal to the scanning line 212 and the signal line 214, the TFT element 215 is turned on / off to control energization to the pixel electrode 217.

素子基板２１０の液晶２３０と接する面には、上記した走査線２１２や信号線２１４や画素電極２１７が形成された領域全体を覆う配向膜２１８が設けられている。   An alignment film 218 is provided on the surface of the element substrate 210 in contact with the liquid crystal 230 so as to cover the entire region where the scanning lines 212, the signal lines 214, and the pixel electrodes 217 are formed.

対向基板２２０は、ガラス基板２０１の素子基板２１０と対向する面に、カラーフィルタ（以降、「ＣＦ」と表記する。）層２０８が形成されている。ＣＦ層２０８は、隔壁２０４と、赤色フィルタ膜２０５Ｒと、緑色フィルタ膜２０５Ｇと、青色フィルタ膜２０５Ｂとを有している。ガラス基板２０１上に、格子状に隔壁２０４を構成するブラックマトリックス２０２が形成され、ブラックマトリックス２０２の上にバンク２０３が形成されている。ブラックマトリックス２０２とバンク２０３とで構成された隔壁２０４によって、方形のフィルタ膜領域２２５が形成されている。フィルタ膜領域２２５には、赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、又は青色フィルタ膜２０５Ｂが形成されている。赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、及び青色フィルタ膜２０５Ｂは、それぞれ上述した画素電極２１７のそれぞれと対向する位置及び形状に形成されている。   In the counter substrate 220, a color filter (hereinafter referred to as “CF”) layer 208 is formed on the surface of the glass substrate 201 facing the element substrate 210. The CF layer 208 includes a partition wall 204, a red filter film 205R, a green filter film 205G, and a blue filter film 205B. On the glass substrate 201, the black matrix 202 which comprises the partition 204 in a grid | lattice form is formed, and the bank 203 is formed on the black matrix 202. FIG. A square filter film region 225 is formed by a partition wall 204 composed of the black matrix 202 and the bank 203. In the filter film region 225, a red filter film 205R, a green filter film 205G, or a blue filter film 205B is formed. The red filter film 205 </ b> R, the green filter film 205 </ b> G, and the blue filter film 205 </ b> B are formed at positions and shapes that face the pixel electrodes 217, respectively.

ＣＦ層２０８の上（素子基板２１０側）には、平坦化膜２０６が設けられている。平坦化膜２０６の上には、ＩＴＯなどの透明な導電性材料で形成された対向電極２０７が設けられている。平坦化膜２０６を設けることによって、対向電極２０７を形成する面を略平坦な面にしている。対向電極２０７は、上述した画素電極２１７が形成された領域全体を覆う大きさの連続した膜である。対向電極２０７は、図示省略した導通部を介して、素子基板２１０に形成された配線に接続されている。   A planarizing film 206 is provided on the CF layer 208 (on the element substrate 210 side). On the planarizing film 206, a counter electrode 207 made of a transparent conductive material such as ITO is provided. By providing the planarization film 206, the surface on which the counter electrode 207 is formed is made substantially flat. The counter electrode 207 is a continuous film having a size covering the entire region where the pixel electrode 217 is formed. The counter electrode 207 is connected to a wiring formed on the element substrate 210 through a conduction portion (not shown).

対向基板２２０の液晶２３０と接する面には、画素電極２１７の全面を覆う配向膜２２８が設けられている。液晶２３０は、素子基板２１０と対向基板２２０とが貼り合わされた状態において、対向基板２２０の配向膜２２８と、素子基板２１０の配向膜２１８と、対向基板２２０と素子基板２１０とを貼り合わせるシール材とに囲まれた空間に充填されている。   An alignment film 228 that covers the entire surface of the pixel electrode 217 is provided on the surface of the counter substrate 220 in contact with the liquid crystal 230. The liquid crystal 230 is a sealing material that bonds the alignment film 228 of the counter substrate 220, the alignment film 218 of the element substrate 210, and the counter substrate 220 and the element substrate 210 in a state where the element substrate 210 and the counter substrate 220 are bonded to each other. The space surrounded by is filled.

なお、液晶表示パネル２００は、透過型の構成としたが、反射層あるいは半透過反射層を設けて、反射型の液晶装置あるいは半透過反射型の液晶装置とすることもできる。   Although the liquid crystal display panel 200 has a transmissive configuration, a reflective layer or a transflective liquid crystal device may be provided by providing a reflective layer or a transflective layer.

＜マザー対向基板＞
次に、マザー対向基板２０１Ａについて、図１１を参照して説明する。対向基板２２０は、分割されてガラス基板２０１となるマザー対向基板２０１Ａの上に上述したＣＦ層２０８などを形成した後、マザー対向基板２０１Ａを個別の対向基板２２０（ガラス基板２０１）に分割して形成される。図１１（ａ）は、対向基板の平面構造を模式的に示す平面であり、図１１（ｂ）は、マザー対向基板の平面構造を模式的に示す平面図である。なお、本実施形態においては、マザー対向基板２０１Ａの上にＣＦ層２０８などを形成したものや、ＣＦ層２０８などを形成する途中の状態のものも、マザー対向基板２０１Ａと表記する。 <Mother counter substrate>
Next, the mother counter substrate 201A will be described with reference to FIG. The counter substrate 220 is formed by forming the above-described CF layer 208 on the mother counter substrate 201A to be divided into the glass substrate 201, and then dividing the mother counter substrate 201A into individual counter substrates 220 (glass substrates 201). It is formed. FIG. 11A is a plan view schematically illustrating the planar structure of the counter substrate, and FIG. 11B is a plan view schematically illustrating the planar structure of the mother counter substrate. In the present embodiment, a substrate in which the CF layer 208 or the like is formed on the mother counter substrate 201A or a state in the middle of forming the CF layer 208 or the like is also referred to as a mother counter substrate 201A.

対向基板２２０は、厚みおよそ１．０ｍｍの透明な石英ガラスからなるガラス基板２０１を用いて形成されている。図１１（ａ）に示すように、対向基板２２０は、ガラス基板２０１の周囲の僅かな額縁領域を除く部分に、ＣＦ層２０８が形成されている。ＣＦ層２０８は、方形状のガラス基板２０１の表面に複数のフィルタ膜領域２２５をドットパターン状、本実施形態ではドット・マトリクス状に形成し、当該フィルタ膜領域２２５にフィルタ膜２０５を形成することによって形成されている。ガラス基板２０１のＣＦ層２０８が形成される領域にかからない位置には、図示省略したアライメントマークが形成されている。アライメントマークは、ＣＦ層２０８などを形成する諸工程を実行するためにガラス基板２０１を、液滴吐出装置１などの製造装置に取り付ける際などに位置決め用の基準マークとして用いられる。   The counter substrate 220 is formed using a glass substrate 201 made of transparent quartz glass having a thickness of approximately 1.0 mm. As shown in FIG. 11A, the counter substrate 220 has a CF layer 208 formed in a portion excluding a slight frame region around the glass substrate 201. The CF layer 208 is formed by forming a plurality of filter film regions 225 in the form of a dot pattern, in the present embodiment in the form of a dot matrix, on the surface of a rectangular glass substrate 201, and forming the filter film 205 in the filter film region 225. Is formed by. An alignment mark (not shown) is formed at a position that does not cover the region where the CF layer 208 is formed on the glass substrate 201. The alignment mark is used as a reference mark for positioning when the glass substrate 201 is attached to a manufacturing apparatus such as the droplet discharge device 1 in order to execute various processes for forming the CF layer 208 and the like.

図１１（ｂ）に示すように、マザー対向基板２０１Ａには、対向基板２２０のＣＦ層２０８が、分割されてガラス基板２０１となる部分のそれぞれに形成されている。   As shown in FIG. 11B, in the mother counter substrate 201A, the CF layer 208 of the counter substrate 220 is formed on each of the portions to be divided to become the glass substrate 201.

＜カラーフィルタ＞
次に、対向基板２２０に形成されているＣＦ層２０８及びＣＦ層２０８におけるフィルタ膜２０５（赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、及び青色フィルタ膜２０５Ｂ）の配列について、図１２を参照して説明する。図１２は、３色カラーフィルタのフィルタ膜の配列例を示す模式平面図である。 <Color filter>
Next, the arrangement of the filter layer 205 (the red filter film 205R, the green filter film 205G, and the blue filter film 205B) in the CF layer 208 and the CF layer 208 formed on the counter substrate 220 will be described with reference to FIG. To do. FIG. 12 is a schematic plan view showing an example of the arrangement of the filter films of the three-color filter.

図１２に示すように、フィルタ膜２０５は、透光性のない樹脂材料によって格子状のパターンに形成された隔壁２０４によって区画されてドット・マトリクス状に並んだ複数の例えば方形状のフィルタ膜領域２２５を色材で埋めることによって形成される。例えば、フィルタ膜２０５を構成する色材を含む機能液をフィルタ膜領域２２５に充填し、当該機能液の溶媒を蒸発させて機能液を乾燥させることで、フィルタ膜領域２２５を埋める膜状のフィルタ膜２０５を形成する。   As shown in FIG. 12, the filter film 205 includes a plurality of, for example, rectangular filter film regions that are partitioned by partition walls 204 formed in a lattice pattern by a resin material that does not transmit light and are arranged in a dot matrix. It is formed by filling 225 with a color material. For example, a film-like filter that fills the filter film region 225 by filling the filter film region 225 with a functional liquid containing a color material constituting the filter film 205 and evaporating the solvent of the functional liquid to dry the functional liquid. A film 205 is formed.

３色カラーフィルタにおける赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、及び青色フィルタ膜２０５Ｂの配列としては、例えば、ストライプ配列、モザイク配列、デルタ配列などが知られている。ストライプ配列は、図１２（ａ）に示したように、マトリクスの縦列が全て同色の赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、又は青色フィルタ膜２０５Ｂになる配列である。モザイク配列は、図１２（ｂ）に示したように、横方向の各行ごとにフィルタ膜２０５一つ分だけ色をずらした配列で、３色フィルタの場合、縦横の直線上に並んだ任意の３つのフィルタ膜２０５が３色となる配列である。デルタ配列は、図１２（ｃ）に示したように、フィルタ膜２０５の配置を段違いにし、３色フィルタの場合、任意の隣接する３つのフィルタ膜２０５が異なる色となる配色である。   As an arrangement of the red filter film 205R, the green filter film 205G, and the blue filter film 205B in the three-color filter, for example, a stripe arrangement, a mosaic arrangement, a delta arrangement, and the like are known. As shown in FIG. 12A, the stripe arrangement is an arrangement in which the matrix columns are all the same color red filter film 205R, green filter film 205G, or blue filter film 205B. As shown in FIG. 12B, the mosaic arrangement is an arrangement in which the color is shifted by one filter film 205 for each row in the horizontal direction. In the case of a three-color filter, an arbitrary arrangement arranged on vertical and horizontal straight lines is used. The three filter films 205 are arranged in three colors. In the delta arrangement, as shown in FIG. 12C, the arrangement of the filter films 205 is different, and in the case of a three-color filter, any three adjacent filter films 205 have different colors.

図１２（ａ）、（ｂ）、又は（ｃ）に示した３色フィルタにおいて、フィルタ膜２０５は、それぞれが、Ｒ（赤色）、Ｇ（緑色）、Ｂ（青色）のうちのいずれか１色の色材によって形成されている。隣り合って形成された赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、及び青色フィルタ膜２０５Ｂを各１個ずつ含むフィルタ膜２０５の組で、画像を構成する最小単位である絵素のフィルタ（以降、「絵素フィルタ２５４」と表記する。）を形成している。一つの絵素フィルタ２５４内の赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、及び青色フィルタ膜２０５Ｂのいずれか一つ又はそれらの組み合わせに光を選択的に通過させることにより、さらに、通過させる光の光量を調整することによりフルカラー表示を行う。   In the three-color filter shown in FIGS. 12A, 12B, or 12C, each of the filter films 205 is any one of R (red), G (green), and B (blue). It is made of colored material. A set of filter films 205 each including a red filter film 205R, a green filter film 205G, and a blue filter film 205B that are formed adjacent to each other. A pixel filter 254 "). By selectively allowing light to pass through any one of or a combination of the red filter film 205R, the green filter film 205G, and the blue filter film 205B in one picture element filter 254, the amount of light that passes therethrough is further increased. Full color display is performed by adjusting.

＜液晶表示パネルの形成＞
次に、液晶表示パネル２００を形成する工程について、図１３、図１４、及び図１５を参照して説明する。図１３は、液晶表示パネルを形成する過程を示すフローチャートである。図１４は、液晶表示パネルを形成する過程におけるフィルタ膜を形成する工程などを示す断面図であり、図１５は、液晶表示パネルを形成する過程における配向膜を形成する工程などを示す断面図である。液晶表示パネル２００は、それぞれ別々に形成した素子基板２１０と対向基板２２０とを、貼り合わせて形成する。 <Formation of liquid crystal display panel>
Next, a process for forming the liquid crystal display panel 200 will be described with reference to FIGS. 13, 14, and 15. FIG. 13 is a flowchart showing a process of forming a liquid crystal display panel. 14 is a cross-sectional view showing a process of forming a filter film in the process of forming a liquid crystal display panel, and FIG. 15 is a cross-sectional view showing a process of forming an alignment film in the process of forming a liquid crystal display panel. is there. The liquid crystal display panel 200 is formed by bonding together an element substrate 210 and a counter substrate 220 that are separately formed.

図１３に示したステップＳ１からステップＳ５を実行することで、対向基板２２０を形成する。
ステップＳ１では、ガラス基板２０１の上に、フィルタ膜領域２２５を区画形成するための隔壁部を形成する。隔壁部は、ブラックマトリックス２０２を格子状に形成し、その上にバンク２０３を形成して、ブラックマトリックス２０２とバンク２０３とで構成された隔壁２０４を格子状に配置することによって形成する。これにより、図１４（ａ）に示すように、ガラス基板２０１の表面に、隔壁２０４によって区画された方形のフィルタ膜領域２２５が形成される。 The counter substrate 220 is formed by executing steps S1 to S5 shown in FIG.
In step S <b> 1, a partition wall for partitioning the filter film region 225 is formed on the glass substrate 201. The partition walls are formed by forming the black matrix 202 in a lattice shape, forming the bank 203 thereon, and disposing the partition walls 204 composed of the black matrix 202 and the bank 203 in the lattice shape. Thereby, as shown in FIG. 14A, a square filter film region 225 partitioned by the partition walls 204 is formed on the surface of the glass substrate 201.

次に、図１３のステップＳ２では、赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、及び青色フィルタ膜２０５Ｂを形成して、ＣＦ層２０８を形成する。赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、及び青色フィルタ膜２０５Ｂは、フィルタ膜領域２２５に、赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、又は青色フィルタ膜２０５Ｂを構成する材料を含む機能液をそれぞれ充填して、当該機能液を乾燥させることによって形成する。   Next, in step S2 of FIG. 13, the red filter film 205R, the green filter film 205G, and the blue filter film 205B are formed, and the CF layer 208 is formed. The red filter film 205R, the green filter film 205G, and the blue filter film 205B fill the filter film region 225 with the functional liquid containing the material constituting the red filter film 205R, the green filter film 205G, or the blue filter film 205B, respectively. Then, the functional liquid is formed by drying.

より詳細には、図１４（ｂ）に示すように、隔壁２０４によって区画されたフィルタ膜領域２２５が形成されたガラス基板２０１の表面に赤色吐出ヘッド１７Ｒを対向させる。当該赤色吐出ヘッド１７Ｒが有する吐出ノズル７８から、赤色フィルタ膜２０５Ｒを形成するべきフィルタ膜領域２２５Ｒに向けて、赤色機能液２５２Ｒを吐出することによって、フィルタ膜領域２２５Ｒに赤色機能液２５２Ｒを配置する。同時に、ガラス基板２０１に対して赤色吐出ヘッド１７Ｒを矢印ａで示したように相対移動させることによって、ガラス基板２０１に形成された全てのフィルタ膜領域２２５Ｒに赤色機能液２５２Ｒを配置する。配置した赤色機能液２５２Ｒを乾燥させることによって、図１４（ｃ）に示すように、フィルタ膜領域２２５Ｒに赤色フィルタ膜２０５Ｒを形成する。   More specifically, as shown in FIG. 14B, the red discharge head 17R is opposed to the surface of the glass substrate 201 on which the filter film region 225 partitioned by the partition 204 is formed. The red functional liquid 252R is disposed in the filter film region 225R by discharging the red functional liquid 252R from the discharge nozzle 78 of the red discharge head 17R toward the filter film region 225R where the red filter film 205R is to be formed. . At the same time, the red functional liquid 252R is disposed in all the filter film regions 225R formed on the glass substrate 201 by moving the red discharge head 17R relative to the glass substrate 201 as indicated by the arrow a. By drying the arranged red functional liquid 252R, a red filter film 205R is formed in the filter film region 225R as shown in FIG. 14C.

同様にして、図１４（ｂ）に示した、緑色フィルタ膜２０５Ｇ又は青色フィルタ膜２０５Ｂを形成するべきフィルタ膜領域２２５Ｇ又はフィルタ膜領域２２５Ｂに、図１４（ｃ）に示すように、緑色機能液２５２Ｇ又は青色機能液２５２Ｂを配置する。緑色機能液２５２Ｇ及び青色機能液２５２Ｂを乾燥させることによって、図１４（ｄ）に示すように、フィルタ膜領域２２５Ｇ及びフィルタ膜領域２２５Ｂに緑色フィルタ膜２０５Ｇ又は青色フィルタ膜２０５Ｂを形成する。赤色フィルタ膜２０５Ｒと合わせて、赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、及び青色フィルタ膜２０５Ｂからなる３色カラーフィルタが形成される。   Similarly, in the filter film region 225G or the filter film region 225B where the green filter film 205G or the blue filter film 205B shown in FIG. 14B is to be formed, as shown in FIG. 252G or blue functional liquid 252B is disposed. By drying the green functional liquid 252G and the blue functional liquid 252B, the green filter film 205G or the blue filter film 205B is formed in the filter film region 225G and the filter film region 225B as shown in FIG. Together with the red filter film 205R, a three-color filter composed of a red filter film 205R, a green filter film 205G, and a blue filter film 205B is formed.

次に、図１３のステップＳ３では、平坦化層を形成する。図１４（ｅ）に示すように、ＣＦ層２０８を構成する赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、青色フィルタ膜２０５Ｂ、及び隔壁２０４の上に、平坦化層としての平坦化膜２０６を形成する。平坦化膜２０６は、少なくともＣＦ層２０８の全面を覆う領域に形成する。平坦化膜２０６を設けることによって、対向電極２０７を形成する面を略平坦な面にしている。
次に、図１３のステップＳ４では、対向電極２０７を形成する。図１４（ｆ）に示すように、平坦化膜２０６の上の、少なくともＣＦ層２０８のフィルタ膜２０５が形成された領域の全面を覆う領域に、透明な導電材料を用いて、薄膜を形成する。この薄膜が、上述した対向電極２０７である。 Next, in step S3 of FIG. 13, a planarizing layer is formed. As shown in FIG. 14E, a planarizing film 206 as a planarizing layer is formed on the red filter film 205R, the green filter film 205G, the blue filter film 205B, and the partition wall 204 that constitute the CF layer 208. . The planarizing film 206 is formed in a region that covers at least the entire surface of the CF layer 208. By providing the planarization film 206, the surface on which the counter electrode 207 is formed is made substantially flat.
Next, in step S4 of FIG. 13, the counter electrode 207 is formed. As shown in FIG. 14F, a thin film is formed using a transparent conductive material on the planarizing film 206 and covering at least the entire area of the area where the filter film 205 of the CF layer 208 is formed. . This thin film is the counter electrode 207 described above.

次に、図１３のステップＳ５では、対向電極２０７の上に、対向基板２２０の配向膜２２８を形成する。配向膜２２８は、少なくともＣＦ層２０８の全面を覆う領域に形成する。
図１５（ｇ）に示すように、対向電極２０７が形成されたガラス基板２０１の表面に液滴吐出ヘッド１７を対向させて、液滴吐出ヘッド１７からガラス基板２０１の表面に向けて配向膜液２４２を吐出する。同時に、ガラス基板２０１に対して液滴吐出ヘッド１７を矢印ａで示したように相対移動させることによって、ガラス基板２０１の配向膜２２８を形成する領域の全面に配向膜液２４２を配置する。配置された配向膜液２４２を乾燥させることで、図１５（ｈ）に示すように、配向膜２２８を形成する。ステップＳ５を実施して、対向基板２２０が形成される。 Next, in step S <b> 5 of FIG. 13, the alignment film 228 of the counter substrate 220 is formed on the counter electrode 207. The alignment film 228 is formed in a region covering at least the entire surface of the CF layer 208.
As shown in FIG. 15G, the liquid droplet ejection head 17 is opposed to the surface of the glass substrate 201 on which the counter electrode 207 is formed, and the alignment film liquid is directed from the liquid droplet ejection head 17 toward the surface of the glass substrate 201. 242 is discharged. At the same time, by moving the droplet discharge head 17 relative to the glass substrate 201 as indicated by the arrow a, the alignment film liquid 242 is disposed on the entire surface of the glass substrate 201 where the alignment film 228 is to be formed. By drying the alignment film liquid 242 disposed, an alignment film 228 is formed as shown in FIG. Step S5 is performed, and the counter substrate 220 is formed.

図１３に示したステップＳ６からステップＳ８を実行することで、素子基板２１０を形成する。
ステップＳ６では、ガラス基板２１１の上に導電層や絶縁層や半導体層を形成することで、ＴＦＴ素子２１５などの素子や、走査線２１２や、信号線２１４や、絶縁層２１６などを形成する。走査線２１２及び信号線２１４は、素子基板２１０と対向基板２２０とが、貼り合わされた状態で、隔壁２０４に対向する位置に、即ち画素の周辺の位置に形成する。ＴＦＴ素子２１５は、画素の端に位置するように形成し、１画素に少なくとも１個のＴＦＴ素子２１５を形成する。 The element substrate 210 is formed by executing steps S6 to S8 shown in FIG.
In step S6, a conductive layer, an insulating layer, or a semiconductor layer is formed over the glass substrate 211, thereby forming an element such as the TFT element 215, the scanning line 212, the signal line 214, the insulating layer 216, or the like. The scanning line 212 and the signal line 214 are formed at a position facing the partition wall 204, that is, a position around the pixel, in a state where the element substrate 210 and the counter substrate 220 are bonded to each other. The TFT element 215 is formed so as to be positioned at the end of the pixel, and at least one TFT element 215 is formed in one pixel.

次に、ステップＳ７では、画素電極２１７を形成する。画素電極２１７は、素子基板２１０と対向基板２２０とが、貼り合わされた状態で、赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、又は青色フィルタ膜２０５Ｂに対向する位置に、形成する。画素電極２１７は、ＴＦＴ素子２１５のドレイン電極と電気的に接続させる。   Next, in step S7, the pixel electrode 217 is formed. The pixel electrode 217 is formed at a position facing the red filter film 205R, the green filter film 205G, or the blue filter film 205B in a state where the element substrate 210 and the counter substrate 220 are bonded to each other. The pixel electrode 217 is electrically connected to the drain electrode of the TFT element 215.

次に、ステップＳ８では、画素電極２１７などの上に、素子基板２１０の配向膜２１８を形成する。配向膜２１８は、少なくとも全ての画素電極２１７の全面を覆う領域に形成する。
図１５（ｉ）に示すように、画素電極２１７が形成されたガラス基板２１１の表面に液滴吐出ヘッド１７を対向させて、液滴吐出ヘッド１７からガラス基板２１１の表面に向けて配向膜液２４２を吐出する。同時に、ガラス基板２１１に対して液滴吐出ヘッド１７を矢印ａで示したように相対移動させることによって、ガラス基板２１１の配向膜２１８を形成する領域の全面に配向膜液２４２を配置する。配置された配向膜液２４２を乾燥させることで、図１５（ｊ）に示すように、配向膜２１８を形成する。ステップＳ８を実施して、素子基板２１０が形成される。 Next, in step S8, an alignment film 218 of the element substrate 210 is formed on the pixel electrode 217 or the like. The alignment film 218 is formed in a region covering the entire surface of at least all the pixel electrodes 217.
As shown in FIG. 15 (i), the droplet discharge head 17 is opposed to the surface of the glass substrate 211 on which the pixel electrode 217 is formed, and the alignment film liquid is directed from the droplet discharge head 17 toward the surface of the glass substrate 211. 242 is discharged. At the same time, the liquid droplet ejection head 17 is moved relative to the glass substrate 211 as indicated by an arrow a, thereby arranging the alignment film liquid 242 on the entire surface of the glass substrate 211 where the alignment film 218 is to be formed. By drying the alignment film liquid 242 disposed, an alignment film 218 is formed as shown in FIG. Step S8 is performed, and the element substrate 210 is formed.

次に、図１３のステップＳ９では、形成された対向基板２２０と素子基板２１０とを貼り合わせて、図１５（ｋ）に示すように、間に液晶２３０を充填する。さらに、偏光板２３１と偏光板２３２とを貼りつけるなどして、液晶表示パネル２００を組立てる。複数のガラス基板２０１やガラス基板２１１からなるマザー基板に、複数の対向基板２２０や素子基板２１０を形成する場合には、複数の液晶表示パネル２００が形成されたマザー基板を個別の液晶表示パネル２００に分割する。あるいは、マザー対向基板２０１Ａやマザー素子基板を、対向基板２２０や素子基板２１０に分割する工程を実施した後にステップＳ９を実施する。ステップＳ９を実施して、液晶表示パネル２００を形成する工程を終了する。   Next, in step S9 of FIG. 13, the counter substrate 220 and the element substrate 210 formed are bonded together, and the liquid crystal 230 is filled therebetween as shown in FIG. Further, the liquid crystal display panel 200 is assembled by attaching the polarizing plate 231 and the polarizing plate 232 or the like. When a plurality of counter substrates 220 and element substrates 210 are formed on a mother substrate composed of a plurality of glass substrates 201 and glass substrates 211, the mother substrate on which the plurality of liquid crystal display panels 200 are formed is used as the individual liquid crystal display panel 200. Divide into Alternatively, step S9 is performed after the step of dividing the mother counter substrate 201A and the mother element substrate into the counter substrate 220 and the element substrate 210 is performed. Step S9 is performed and the process of forming the liquid crystal display panel 200 is completed.

＜配線基板の構成＞
次に、液滴吐出装置１を用いて機能液を配置して機能膜を形成する対象物の一例として、金属配線を形成する配線基板について、図１６を参照して説明する。図１６は配線基板のマザー基板を示す概略平面図である。
図１６に示すように、配線基板２７０は、半導体装置（ＩＣ）を平面実装する回路基板であり、ＩＣの入出力電極（バンプ）に対応して配置された導電性材料からなる配線としての入力配線２７１及び出力配線２７３と、絶縁膜２７７とにより構成されている。絶縁膜２７７は、二点鎖線で示した外形２７６の内側であって、二点鎖線で示した実装領域２７５以外の部分に形成されており、入力端子部２７２及び出力端子部２７４を避けると共に、実装領域２７５の内側に入力配線２７１と出力配線２７３のそれぞれの一部が露出するように複数の入力配線２７１及び出力配線２７３を覆っている。配線基板２７０は、マザー基板２７０Ａ上に、複数の配線基板２７０がマトリクス状に形成される。当該マザー基板２７０Ａを分割することによって、個別の配線基板２７０がり取り出される。マザー基板２７０Ａは、絶縁基板としてリジットなガラス基板、セラミック基板、ガラスエポキシ樹脂基板の他、フレキシブルな樹脂基板を用いることができる。分割方法としては、スクライブ、ダイシング、レーザーカット、プレスなどがマザー基板２７０Ａの材料に応じて選択できる。 <Configuration of wiring board>
Next, a wiring board on which metal wiring is formed will be described with reference to FIG. 16 as an example of an object on which functional liquid is arranged by using the droplet discharge device 1 to form a functional film. FIG. 16 is a schematic plan view showing a mother board of a wiring board.
As shown in FIG. 16, the wiring board 270 is a circuit board on which a semiconductor device (IC) is mounted in a plane, and an input as wiring made of a conductive material arranged corresponding to the input / output electrodes (bumps) of the IC. The wiring 271 and the output wiring 273 and the insulating film 277 are included. The insulating film 277 is formed inside the outer shape 276 indicated by the two-dot chain line and in a portion other than the mounting region 275 indicated by the two-dot chain line, and avoids the input terminal portion 272 and the output terminal portion 274, The plurality of input wirings 271 and output wirings 273 are covered so that a part of each of the input wiring 271 and the output wiring 273 is exposed inside the mounting region 275. In the wiring board 270, a plurality of wiring boards 270 are formed in a matrix on the mother board 270A. By dividing the mother board 270A, individual wiring boards 270 are removed. As the mother substrate 270A, a rigid glass substrate, a ceramic substrate, a glass epoxy resin substrate, or a flexible resin substrate can be used as an insulating substrate. As a dividing method, scribing, dicing, laser cutting, pressing, or the like can be selected according to the material of the mother substrate 270A.

本実施形態では、上述した液滴吐出装置１を用いた液滴吐出法により、導電性材料からなる入力配線２７１及び出力配線２７３や絶縁性材料からなる絶縁膜２７７を形成する。液滴吐出法を用いることで、各材料の無駄を省いて配線や絶縁膜を形成することができる。また、フォトリソグラフィ法に比べてパターン形成するための露光用マスクや現像、エッチングなどの工程を必要としないので、マザー基板２７０Ａのサイズによらず工程を簡略化することができる。   In the present embodiment, the input wiring 271 and the output wiring 273 made of a conductive material and the insulating film 277 made of an insulating material are formed by a droplet discharging method using the droplet discharging device 1 described above. By using the droplet discharge method, it is possible to form a wiring or an insulating film without wasting each material. Further, since steps such as an exposure mask for forming a pattern, development, and etching are not required as compared with the photolithography method, the steps can be simplified regardless of the size of the mother substrate 270A.

液滴吐出装置１から吐出する機能液に含まれる導電性材料としては、例えば金、銀、銅、アルミニウム、パラジウム、及びニッケルのうちの少なくともいずれか１つを含有する金属微粒子の他、これらの酸化物、並びに導電性ポリマーや超電導体の微粒子などが用いられる。これらの導電性微粒子は分散性を向上させるために表面に有機物などをコーティングして使うこともできる。導電性微粒子の粒径は１ｎｍ以上１．０μｍ以下であることが好ましい。１．０μｍより大きいと液滴吐出ヘッド１７の吐出ノズル７８に目詰まりが生じるおそれがある。また、１ｎｍより小さいと導電性微粒子に対するコーティング剤の体積比が大きくなり、得られる膜中の有機物の割合が過多となる。   Examples of the conductive material included in the functional liquid discharged from the droplet discharge device 1 include, in addition to metal fine particles containing at least one of gold, silver, copper, aluminum, palladium, and nickel. Oxides and fine particles of conductive polymers and superconductors are used. These conductive fine particles can be used by coating the surface with an organic substance or the like in order to improve dispersibility. The particle diameter of the conductive fine particles is preferably 1 nm or more and 1.0 μm or less. If it is larger than 1.0 μm, the discharge nozzle 78 of the droplet discharge head 17 may be clogged. On the other hand, if the thickness is smaller than 1 nm, the volume ratio of the coating agent to the conductive fine particles becomes large, and the ratio of organic substances in the obtained film becomes excessive.

分散媒としては、上記の導電性微粒子を分散できるもので凝集を起こさないものであれば特に限定されない。例えば、水の他に、メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノールなどのアルコール類、ｎ−ヘプタン、ｎ−オクタン、デカン、ドデカン、テトラデカン、トルエン、キシレン、シメン、デュレン、インデン、ジペンテン、テトラヒドロナフタレン、デカヒドロナフタレン、シクロヘキシルベンゼンなどの炭化水素系化合物、またエチレングリコールジメチルエーテル、エチレングリコールジエチルエーテル、エチレングリコールメチルエチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、１，２−ジメトキシエタン、ビス（２−メトキシエチル）エーテル、ｐ−ジオキサンなどのエーテル系化合物、さらにプロピレンカーボネート、γ−ブチロラクトン、Ｎ−メチル−２−ピロリドン、ジメチルホルムアミド、ジメチルスルホキシド、シクロヘキサノンなどの極性化合物を例示できる。これらのうち、微粒子の分散性と分散液の安定性、また液滴吐出法への適用の容易さの点で、水、アルコール類、炭化水素系化合物、エーテル系化合物が好ましく、より好ましい分散媒としては、水、炭化水素系化合物を挙げることができる。   The dispersion medium is not particularly limited as long as it can disperse the conductive fine particles and does not cause aggregation. For example, in addition to water, alcohols such as methanol, ethanol, propanol, butanol, n-heptane, n-octane, decane, dodecane, tetradecane, toluene, xylene, cymene, durene, indene, dipentene, tetrahydronaphthalene, decahydro Hydrocarbon compounds such as naphthalene and cyclohexylbenzene, ethylene glycol dimethyl ether, ethylene glycol diethyl ether, ethylene glycol methyl ethyl ether, diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol diethyl ether, diethylene glycol methyl ethyl ether, 1,2-dimethoxyethane, bis (2- Methoxyethyl) ether, ether compounds such as p-dioxane, propylene carbonate, γ- Butyrolactone, N- methyl-2-pyrrolidone, dimethylformamide, dimethyl sulfoxide, can be exemplified polar compounds such as cyclohexanone. Of these, water, alcohols, hydrocarbon compounds, and ether compounds are preferable and more preferable dispersion media in terms of fine particle dispersibility, dispersion stability, and ease of application to the droplet discharge method. Examples thereof include water and hydrocarbon compounds.

上記導電性微粒子の分散液（機能液）の表面張力は０．０２Ｎ／ｍ以上０．０７Ｎ／ｍ以下の範囲内であることが好ましい。液滴吐出法により機能液を吐出する際、表面張力が０．０２Ｎ／ｍ未満であると、機能液のノズル形成面７６ａに対する濡れ性が増大するため飛行曲りが生じやすくなり、０．０７Ｎ／ｍを超えると吐出ノズル７８の先端でのメニスカスの形状が安定しないため吐出量や吐出タイミングの制御が困難になる。表面張力を調整するため、上記分散液には、マザー基板２７０Ａとの接触角を大きく低下させない範囲で、フッ素系、シリコーン系、ノニオン系などの表面張力調節剤を微量添加するとよい。ノニオン系表面張力調節剤は、機能液のマザー基板２７０Ａへの濡れ性を向上させ、膜のレベリング性を改良し、膜の微細な凹凸の発生などの防止に役立つものである。上記表面張力調節剤は、必要に応じて、アルコール、エーテル、エステル、ケトンなどの有機化合物を含んでもよい。   The surface tension of the conductive fine particle dispersion (functional liquid) is preferably in the range of 0.02 N / m to 0.07 N / m. When the functional liquid is discharged by the droplet discharge method, if the surface tension is less than 0.02 N / m, the wettability of the functional liquid with respect to the nozzle forming surface 76a increases, and thus flight bending easily occurs, and 0.07 N / m If it exceeds m, the shape of the meniscus at the tip of the discharge nozzle 78 is not stable, and it becomes difficult to control the discharge amount and the discharge timing. In order to adjust the surface tension, it is preferable to add a small amount of a surface tension regulator such as a fluorine-based, silicone-based, or nonionic-based material to the dispersion so long as the contact angle with the mother substrate 270A is not greatly reduced. The nonionic surface tension modifier improves the wettability of the functional liquid to the mother substrate 270A, improves the leveling property of the film, and helps prevent the occurrence of fine irregularities on the film. The surface tension adjusting agent may contain an organic compound such as alcohol, ether, ester, or ketone, if necessary.

上記分散液の粘度は、１ｍＰａ・ｓ以上５０ｍＰａ・ｓ以下であることが好ましい。液滴吐出法を用いて機能液を液滴として吐出する際、粘度が１ｍＰａ・ｓより小さい場合には吐出ノズル７８周辺部が機能液の流出により汚染されやすく、また粘度が５０ｍＰａ・ｓより大きい場合は、吐出ノズル７８のノズル孔での目詰まり頻度が高くなり円滑な液滴の吐出が困難となる。分散液の粘度は、分散液の温度が変わることによって変動するため、分散液の温度は略一定に保たれることが好ましい。   The viscosity of the dispersion is preferably 1 mPa · s or more and 50 mPa · s or less. When the functional liquid is ejected as droplets using the droplet ejection method, if the viscosity is less than 1 mPa · s, the periphery of the ejection nozzle 78 is easily contaminated by the outflow of the functional liquid, and the viscosity is greater than 50 mPa · s. In this case, the clogging frequency in the nozzle hole of the discharge nozzle 78 increases, and it becomes difficult to smoothly discharge the droplets. Since the viscosity of the dispersion varies as the temperature of the dispersion changes, it is preferable that the temperature of the dispersion is kept substantially constant.

＜機能液配置＞
次に、液滴吐出装置１が有する液滴吐出ヘッド１７から機能液を吐出して、マザー対向基板２０１ＡにおけるＣＦ層２０８のフィルタ膜領域２２５などに機能液を配置するための工程について、図１７を参照して説明する。図１７は、機能液を配置する工程を示すフローチャートである。 <Functional liquid arrangement>
Next, a process for ejecting the functional liquid from the liquid droplet ejection head 17 included in the liquid droplet ejection apparatus 1 and disposing the functional liquid on the filter film region 225 of the CF layer 208 in the mother counter substrate 201A will be described with reference to FIG. Will be described with reference to FIG. FIG. 17 is a flowchart showing a process of arranging the functional liquid.

図１７のステップＳ２１では、予め求められた描画中飽和温度を取得する。描画中飽和温度は、液滴吐出装置１が有する液滴吐出ヘッド１７からマザー対向基板２０１Ａなどに向けて機能液を吐出する描画吐出を実施している際に、液滴吐出ヘッド１７が駆動することによって液滴吐出ヘッド１７の温度が変化し、駆動を継続することによって略一定になった状態での温度である。
上述したように、液滴吐出ヘッド１７の温度としては、液滴吐出ヘッド１７の部分であって、当該部分の温度の変動が、液滴吐出ヘッド１７が吐出する液滴の重量の変動に関連付けて測定可能な部分の温度を用いる。例えばポンプ部７５の外壁面の温度や、ノズルプレート７６の温度や、振動板１５２の圧力室１５８を構成する部分の温度などのいずれかを用いることができる。
ポンプ部７５の外壁面や、振動板１５２の圧力室１５８を構成する部分の温度は、当該部分にヘッド温度センサ１４２を配設して測定することができる。振動板１５２の圧力室１５８を構成する部分の温度は、圧電素子１５９を構成する圧電材料を温度センサとして利用して測定することもできる。ポンプ部７５の外壁面や、ノズルプレート７６の温度は、非接触の赤外線温度センサを用いて離れた位置から測定することもできる。
描画中飽和温度は、例えば制御装置６５の入出力装置６８などから入力し、吐出装置制御部６のＲＡＭ４６やハードディスク４８に記憶する。この場合の制御装置６５の入出力装置６８などが、温度取得手段に相当する。 In step S21 of FIG. 17, the drawing saturation temperature obtained in advance is acquired. The saturation temperature during drawing is driven by the droplet discharge head 17 when drawing discharge is performed in which the functional liquid is discharged from the droplet discharge head 17 of the droplet discharge apparatus 1 toward the mother counter substrate 201A or the like. As a result, the temperature of the droplet discharge head 17 is changed, and the temperature is in a substantially constant state by continuing driving.
As described above, the temperature of the droplet discharge head 17 is a portion of the droplet discharge head 17, and the variation in the temperature of the portion is related to the variation in the weight of the droplet discharged by the droplet discharge head 17. Use the temperature of the measurable part. For example, any one of the temperature of the outer wall surface of the pump unit 75, the temperature of the nozzle plate 76, the temperature of the portion constituting the pressure chamber 158 of the diaphragm 152, and the like can be used.
The temperature of the outer wall surface of the pump unit 75 and the part constituting the pressure chamber 158 of the diaphragm 152 can be measured by disposing the head temperature sensor 142 in the part. The temperature of the portion constituting the pressure chamber 158 of the diaphragm 152 can also be measured by using the piezoelectric material constituting the piezoelectric element 159 as a temperature sensor. The temperature of the outer wall surface of the pump unit 75 and the temperature of the nozzle plate 76 can also be measured from a remote position using a non-contact infrared temperature sensor.
The drawing saturation temperature is input from, for example, the input / output device 68 of the control device 65 and stored in the RAM 46 or the hard disk 48 of the discharge device control unit 6. The input / output device 68 of the control device 65 in this case corresponds to the temperature acquisition means.

次に、ステップＳ２２では、暖機駆動を実施する。暖機駆動の駆動条件は、到達するべき描画中飽和温度に対応して、それぞれの温度ごとに予め求められて入力され、吐出装置制御部６のＲＡＭ４６やハードディスク４８などに記憶されている駆動条件を用いる。吐出装置制御部６が、当該駆動条件で液滴吐出ヘッド１７を駆動させることによって、暖機駆動を実施する。吐出装置制御部６が、温度調整手段に相当する。   Next, in step S22, warm-up driving is performed. The driving conditions for warm-up driving are calculated and input in advance for each temperature corresponding to the drawing saturation temperature to be reached, and are stored in the RAM 46 or the hard disk 48 of the ejection device controller 6. Is used. The discharge device control unit 6 performs the warm-up drive by driving the droplet discharge head 17 under the driving conditions. The discharge device control unit 6 corresponds to a temperature adjusting unit.

次に、ステップＳ２３では、描画中飽和温度に調整された液滴吐出ヘッド１７からフィルタ膜領域２２５などに向けて、機能液を吐出する描画吐出を実施する。ステップＳ２２において暖機駆動を実施することによって、描画吐出を開始する時点での液滴吐出ヘッド１７の温度は描画中飽和温度に調整されている。このため、描画吐出を実施する間の液滴吐出ヘッド１７の温度の変動は殆どないことから、描画中、液滴吐出ヘッド１７の温度の変動に起因する吐出量の変動は殆どなく、描画吐出開始から描画吐出終了までの間、適正な量の機能液を安定して吐出することができる。液滴吐出ヘッド１７の温度を描画中飽和温度に調整する場合には、液滴吐出ヘッド配置位置や、液滴吐出ヘッドの個体差等により液滴吐出ヘッド毎に飽和温度が異なる場合があるため、各々の液滴吐出ヘッドで温度を調整することが好ましい。ステップＳ２３の描画吐出を実施して、機能液を配置する工程を終了する。
なお、描画吐出が終了したマザー対向基板２０１Ａなどの加工対象物を、新たな加工対象物と交換する際は、液滴吐出ヘッド１７は休止状態であり、描画吐出を実施している際の液滴吐出ヘッド１７の温度が維持されない可能性がある。したがって、加工対象物の交換の間などのように、描画吐出の間に液滴吐出ヘッド１７が休止している場合には、ヘッド温度の変化を抑制するために、液滴吐出ヘッド１７の暖機駆動を実施することが好ましい。 Next, in step S23, drawing discharge is performed to discharge the functional liquid from the droplet discharge head 17 adjusted to the saturation temperature during drawing toward the filter film region 225 and the like. By performing the warm-up drive in step S22, the temperature of the droplet discharge head 17 at the time when drawing discharge is started is adjusted to the saturation temperature during drawing. For this reason, there is almost no fluctuation in the temperature of the droplet discharge head 17 during the drawing discharge, so that there is almost no change in the discharge amount due to the fluctuation in the temperature of the droplet discharge head 17 during drawing. An appropriate amount of functional liquid can be stably discharged from the start to the end of drawing discharge. When adjusting the temperature of the droplet discharge head 17 to the saturation temperature during drawing, the saturation temperature may be different for each droplet discharge head depending on the position of the droplet discharge head, individual differences of the droplet discharge heads, and the like. The temperature is preferably adjusted by each droplet discharge head. Drawing drawing discharge of step S23 is implemented and the process of arrange | positioning a functional liquid is complete | finished.
Note that when the processing object such as the mother counter substrate 201A for which drawing discharge has been completed is replaced with a new processing object, the droplet discharge head 17 is in a resting state, and the liquid used when drawing discharge is being performed. There is a possibility that the temperature of the droplet discharge head 17 is not maintained. Therefore, when the droplet discharge head 17 is stopped during drawing discharge, such as during the replacement of the workpiece, the droplet discharge head 17 is warmed to suppress the change in head temperature. It is preferable to implement machine drive.

＜暖機駆動の駆動条件の設定＞
次に、液滴吐出ヘッド１７における暖機駆動の駆動条件の設定方法について、図１８を参照して説明する。図１８（ａ）は、吐出重量（吐出量）とヘッド温度との関係を示すグラフであり、図１８（ｂ）は、描画吐出を実施している時間とヘッド温度との関係を示すグラフであり、図１８（ｃ）は、暖機駆動及び描画吐出を実施している時間とヘッド温度との関係を示すグラフであり、図１８（ｄ）は、暖機駆動電圧を推定する方法を示すグラフである。 <Setting drive conditions for warm-up drive>
Next, a method for setting a driving condition for warm-up driving in the droplet discharge head 17 will be described with reference to FIG. FIG. 18A is a graph showing the relationship between the discharge weight (discharge amount) and the head temperature, and FIG. 18B is a graph showing the relationship between the drawing discharge time and the head temperature. FIG. 18C is a graph showing the relationship between the time during which warm-up driving and drawing discharge are performed and the head temperature, and FIG. 18D shows a method for estimating the warm-up drive voltage. It is a graph.

図１８（ａ）に示すように、液滴吐出ヘッド１７の吐出量は、液滴吐出ヘッド１７のヘッド温度に依存する。上述したように、液滴吐出ヘッド１７のヘッド温度としては、液滴吐出ヘッド１７の部分であって、当該部分の温度の変動が、液滴吐出ヘッド１７が吐出する液滴の重量の変動に関連付けて測定可能であって、温度図１８（ａ）に示すような関係が得られる部分の温度を用いる。   As shown in FIG. 18A, the discharge amount of the droplet discharge head 17 depends on the head temperature of the droplet discharge head 17. As described above, the head temperature of the droplet discharge head 17 is a portion of the droplet discharge head 17, and a change in the temperature of the portion corresponds to a change in the weight of the droplet discharged from the droplet discharge head 17. A temperature at a portion that can be measured in association with each other and has a relationship as shown in FIG. 18A is used.

図１８（ｂ）に示すように、描画吐出を実施している液滴吐出ヘッド１７の温度は、描画吐出の実施時間と共に上昇して、描画中飽和温度ＨＭ℃になって略安定する。   As shown in FIG. 18B, the temperature of the droplet discharge head 17 that performs drawing discharge rises with the drawing discharge execution time, reaches the saturation temperature HM ° C. during drawing, and becomes substantially stable.

図１８（ｃ）に示すように、暖機駆動を実施することなく、時点Ｓにおいて描画吐出を開始すると、描画吐出を実施している液滴吐出ヘッド１７の温度は、図１８（ｂ）に示した場合と同様に、一定時間の描画吐出後に、概ね描画中飽和温度ＨＭ℃になって、略安定する。
適正な吐出量が得られる設計上の駆動電圧のａ％の駆動電圧である駆動電圧ａで暖機駆動をすると、ヘッド温度はＨａ℃に収束し、時点Ｓにおけるヘッド温度は、Ｈａ℃となる。Ｈａ℃のヘッド温度で描画吐出を開始すると、図１８（ｃ）にａ０と表記した温度上昇曲線でヘッド温度が上昇して、略描画中飽和温度ＨＭ℃になって略安定する。曲線ａ０の、時点Ｓにおける傾きを傾きａ１と表記する。
適正な吐出量が得られる設計上の駆動電圧のｂ％の駆動電圧である駆動電圧ｂで暖機駆動をすると、ヘッド温度はＨｂ℃に収束し、時点Ｓにおけるヘッド温度は、Ｈｂ℃となる。Ｈｂ℃のヘッド温度で描画吐出を開始すると、図１８（ｃ）にｂ０と表記した温度下降曲線でヘッド温度が下降して、略描画中飽和温度ＨＭ℃になって略安定する。曲線ｂ０の、時点Ｓにおける傾きを傾きｂ１と表記する。 As shown in FIG. 18C, when drawing discharge is started at time S without performing warm-up driving, the temperature of the droplet discharge head 17 performing drawing discharge is as shown in FIG. As in the case shown, after the drawing discharge for a certain time, the drawing temperature becomes substantially the saturation temperature HM ° C. and becomes substantially stable.
When warm-up driving is performed with a driving voltage a that is a driving voltage a% of the designed driving voltage that can obtain an appropriate discharge amount, the head temperature converges to Ha ° C., and the head temperature at time S becomes Ha ° C. . When drawing discharge is started at a head temperature of Ha ° C., the head temperature rises with a temperature rise curve denoted as a0 in FIG. 18C, and is substantially stabilized at the saturation temperature HM ° C. during drawing. The slope of the curve a0 at the time S is denoted as the slope a1.
When warm-up driving is performed with the driving voltage b that is a driving voltage b% of the designed driving voltage that can obtain an appropriate discharge amount, the head temperature converges to Hb ° C., and the head temperature at time S becomes Hb ° C. . When the drawing discharge is started at the head temperature of Hb ° C., the head temperature is lowered by a temperature drop curve denoted as b0 in FIG. 18C, and is substantially stabilized at the saturation temperature HM ° C. during drawing. The slope of the curve b0 at the time S is denoted as the slope b1.

図１８（ｄ）に示すように、縦軸に傾き、横軸に暖機駆動電圧をとって、（ａ，ａ１）点及び（ｂ，ｂ１）点を通る直線が横軸と交わる点、すなわち傾きが０になる場合の暖機駆動電圧の値Ｍを求める。
図１８（ｃ）に示すように、適正な吐出量が得られる設計上の駆動電圧のＭ％の駆動電圧である駆動電圧Ｍで暖機駆動を実施すると、ヘッド温度はＨＭ℃に収束し、時点Ｓにおけるヘッド温度は、描画中飽和温度ＨＭ℃となると推定される。描画中飽和温度ＨＭ℃のヘッド温度で描画吐出を開始すると、描画吐出の間に液滴吐出ヘッド１７の温度が変動する可能性はほとんどないため、描画吐出開始時から液滴吐出ヘッド１７の温度は略安定している。
駆動電圧Ｍで暖機駆動を実施して、到達する液滴吐出ヘッド１７の温度が描画中飽和温度ＨＭ℃とは異なっていた場合には、暖機駆動の駆動電圧をＭから微調整して、当該駆動電圧を用いて再度暖機駆動を行い、描画中飽和温度ＨＭ℃が得られる適切な暖機駆動の駆動電圧を求める。 As shown in FIG. 18 (d), the vertical axis is inclined, the horizontal axis is the warm-up drive voltage, and the straight line passing through the points (a, a1) and (b, b1) intersects the horizontal axis. A value M of the warm-up drive voltage when the inclination becomes 0 is obtained.
As shown in FIG. 18C, when the warm-up driving is performed with the driving voltage M that is a driving voltage M% of the designed driving voltage that can obtain an appropriate discharge amount, the head temperature converges to HM ° C. The head temperature at time S is estimated to be the saturation temperature HM ° C. during drawing. When drawing discharge is started at the head temperature of the drawing saturation temperature HM ° C., the temperature of the droplet discharge head 17 hardly changes during drawing discharge. Is almost stable.
When warming-up driving is performed at the driving voltage M and the temperature of the droplet discharge head 17 that is reached is different from the drawing saturation temperature HM ° C., the warming-up driving voltage is finely adjusted from M. Then, warm-up driving is performed again using the drive voltage, and an appropriate warm-up drive voltage for obtaining the drawing saturation temperature HM ° C. is obtained.

第一の実施形態によれば、以下に記載する効果が得られる。
（１）描画吐出に先立って暖機駆動を実施して、描画吐出を開始する時点での液滴吐出ヘッド１７の温度を描画中飽和温度に調整することによって、描画吐出を実施する間の液滴吐出ヘッド１７の温度の変動を抑制することができる。これにより、描画吐出を実施する際の液滴吐出ヘッド１７の温度の変動に起因する吐出量の変動を抑制することができる。 According to the first embodiment, the following effects can be obtained.
(1) Prior to drawing discharge, warm-up driving is performed, and the liquid during the drawing discharge is adjusted by adjusting the temperature of the droplet discharge head 17 at the time of starting drawing discharge to the saturation temperature during drawing. Variations in the temperature of the droplet discharge head 17 can be suppressed. Thereby, the fluctuation | variation of the discharge amount resulting from the fluctuation | variation of the temperature of the droplet discharge head 17 at the time of implementing drawing discharge can be suppressed.

（２）駆動電圧ａ又は駆動電圧ｂで暖機駆動を実施し、描画吐出開始時点のヘッド温度の上昇又は下降曲線の傾きから、暖機駆動によってヘッド温度を描画中飽和温度ＨＭ℃にすることができる駆動電圧を推定している。これにより、実際に描画吐出を実施することによって暖機駆動の駆動電圧を求める場合に比べて、駆動電圧を求める時間を短縮することができる。駆動電圧を求めるために消費する機能液や被加工部材の消費も抑制することができる。   (2) Warm-up driving is performed at the driving voltage a or the driving voltage b, and the head temperature is set to the drawing-in-saturation temperature HM ° C. by the warm-up driving from the slope of the head temperature rising or falling curve at the start of drawing discharge Estimated drive voltage. As a result, it is possible to reduce the time for obtaining the drive voltage compared to the case of obtaining the drive voltage for the warm-up drive by actually performing the drawing discharge. It is also possible to suppress consumption of the functional liquid and the workpiece to be consumed for obtaining the drive voltage.

（３）暖機駆動は、暖機駆動を実施することによってヘッド温度を描画中飽和温度ＨＭ℃にすることができる駆動電圧で実施している。このため、暖機駆動を実施すると、液滴吐出ヘッド１７のヘッドの温度は、少なくとも描画中飽和温度ＨＭ℃に近づく方向に変化する。したがって、暖機駆動を実施する時間の長さによって過剰にヘッド温度を変動させる可能性を非常に小さくすることができる。   (3) The warm-up drive is performed at a drive voltage that can bring the head temperature to the saturation temperature HM ° C. during drawing by performing the warm-up drive. For this reason, when warm-up driving is performed, the temperature of the head of the droplet discharge head 17 changes at least in a direction approaching the saturation temperature HM ° C. during drawing. Therefore, the possibility that the head temperature is excessively changed depending on the length of time during which the warm-up driving is performed can be extremely reduced.

（第二の実施形態）
次に、液状体吐出装置、液状体吐出方法、電気光学装置の製造装置、電気光学装置の製造方法、電子機器の製造装置、及び電子機器の製造方法の第二の実施形態について、説明する。本実施形態に係る液状体吐出装置としての液滴吐出装置は、第一の実施形態と同様に、液晶装置の製造ラインに組み込まれているものである。この液滴吐出装置は、色要素膜を構成する材料などを含む機能液を吐出可能なインクジェット方式の液滴吐出ヘッドを用い、描画対象物（被加工物）としてのガラス基板などの上に当該機能液を配置することで、カラーフィルタの色要素膜などの機能膜を形成する。
本実施形態の液滴吐出装置３０１（図２０参照）は、第一の実施形態の液滴吐出装置１と基本的な構成及び機能は共通である。液滴吐出装置３０１の液滴吐出装置１と異なる構成、及び液滴吐出装置３０１を用いてフィルタ膜２０５を形成する描画工程について説明する。 (Second embodiment)
Next, a liquid material ejection device, a liquid material ejection method, an electro-optical device manufacturing apparatus, an electro-optical device manufacturing method, an electronic device manufacturing apparatus, and an electronic device manufacturing method according to a second embodiment will be described. The liquid droplet ejection device as the liquid material ejection device according to the present embodiment is incorporated in a liquid crystal device production line, as in the first embodiment. This droplet discharge device uses an ink jet type droplet discharge head capable of discharging a functional liquid including a material constituting a color element film and the like on a glass substrate or the like as a drawing target (workpiece). By disposing the functional liquid, a functional film such as a color element film of the color filter is formed.
The droplet discharge device 301 (see FIG. 20) of this embodiment has the same basic configuration and function as the droplet discharge device 1 of the first embodiment. A configuration of the droplet discharge device 301 different from the droplet discharge device 1 and a drawing process for forming the filter film 205 using the droplet discharge device 301 will be described.

＜液滴吐出ヘッド、及び温度調整ユニットの取り付け＞
最初に、吐出ユニット３０２（図２０参照）が有するヘッドユニット３５４における、液滴吐出ヘッド１７のキャリッジプレート５３への取付構造、及び温度調整ユニット１１０の取付構造について、図１９を参照して説明する。図１９は、液滴吐出ヘッド、及び温度調整ユニットのキャリッジプレートへの取付構造を示す図である。図１９（ａ）は、キャリッジプレートに取り付けられた液滴吐出ヘッド及び温度調整ユニットをノズルプレート側からみた平面図であり、図１９（ｂ）は、図１９（ａ）にＡ−Ａで示した断面の断面図である。図１９（ｃ）は、キャリッジプレートに取り付けられた液滴吐出ヘッド及び温度調整ユニットの側面図であり、図１９（ｄ）は、キャリッジプレートに取り付けられた温度調整ユニットの側面図であり、図１９（ｅ）は、温度調整ユニットの端子基板の平面図である。 <Installation of droplet discharge head and temperature adjustment unit>
First, the mounting structure of the droplet discharge head 17 to the carriage plate 53 and the mounting structure of the temperature adjustment unit 110 in the head unit 354 of the discharge unit 302 (see FIG. 20) will be described with reference to FIG. . FIG. 19 is a view showing a structure for attaching the droplet discharge head and the temperature adjustment unit to the carriage plate. FIG. 19A is a plan view of the droplet discharge head and the temperature adjustment unit attached to the carriage plate as viewed from the nozzle plate side, and FIG. 19B is indicated by AA in FIG. FIG. FIG. 19C is a side view of the droplet discharge head and the temperature adjustment unit attached to the carriage plate, and FIG. 19D is a side view of the temperature adjustment unit attached to the carriage plate. 19 (e) is a plan view of the terminal board of the temperature adjustment unit.

図１９（ａ）、（ｂ）、及び（ｃ）に示したように、液滴吐出ヘッド１７は、主ヘッド保持部材１０２及び副ヘッド保持部材１０３を介して、キャリッジプレート５３に取り付けられている。主ヘッド保持部材１０２及び副ヘッド保持部材１０３は、液滴吐出ヘッド１７をキャリッジプレート５３に精度良く位置決めすると共に、キャリッジプレート５３への着脱を容易にするためのものである。
キャリッジプレート５３にはヘッド開口５３ａが形成されており、主ヘッド保持部材１０２がヘッド開口５３ａを略覆うように、キャリッジプレート５３に固定されている。主ヘッド保持部材１０２は、主ヘッド保持部材１０２に形成された孔を貫通してキャリッジプレート５３に形成されたねじ孔に螺合した３本の保持部材ねじ１０８により、キャリッジプレート５３に固定されている。以降、主ヘッド保持部材１０２がセットされた側を「裏面側」と表記し、反対側を「表面側」と表記する。 As shown in FIGS. 19A, 19B, and 19C, the droplet discharge head 17 is attached to the carriage plate 53 via the main head holding member 102 and the sub head holding member 103. . The main head holding member 102 and the sub head holding member 103 are used to position the droplet discharge head 17 with respect to the carriage plate 53 with high accuracy and to be easily attached to and detached from the carriage plate 53.
A head opening 53a is formed in the carriage plate 53, and the main head holding member 102 is fixed to the carriage plate 53 so as to substantially cover the head opening 53a. The main head holding member 102 is fixed to the carriage plate 53 by three holding member screws 108 that pass through holes formed in the main head holding member 102 and screw into screw holes formed in the carriage plate 53. Yes. Hereinafter, the side on which the main head holding member 102 is set is referred to as “back side”, and the opposite side is referred to as “front side”.

主ヘッド保持部材１０２にはフランジ開口１０２ａが形成されており、副ヘッド保持部材１０３は、その長辺方向の両端部でフランジ開口１０２ａを跨ぐようにして、主ヘッド保持部材１０２の裏面側に固定されている。副ヘッド保持部材１０３は、副ヘッド保持部材１０３に形成された孔を貫通して主ヘッド保持部材１０２に形成されたねじ孔に螺合した２本の保持部材ねじ１０８により、主ヘッド保持部材１０２に固定されている。   A flange opening 102a is formed in the main head holding member 102, and the sub head holding member 103 is fixed to the back side of the main head holding member 102 so as to straddle the flange opening 102a at both ends in the long side direction. Has been. The sub head holding member 103 is inserted into the main head holding member 102 by two holding member screws 108 that pass through holes formed in the sub head holding member 103 and are screwed into screw holes formed in the main head holding member 102. It is fixed to.

副ヘッド保持部材１０３は、ステンレスなどで構成されており、略長方形の平板状に形成されている。副ヘッド保持部材１０３には、その中央に液滴吐出ヘッド１７のヘッド本体７４が挿通する方形のヘッド本体開口１０３ｄが形成されている。上記したように、副ヘッド保持部材１０３は、フランジ開口１０２ａを跨ぐようにして主ヘッド保持部材１０２の裏面側にセットされている。これに対し液滴吐出ヘッド１７は、そのヘッド本体７４をヘッド本体開口１０３ｄに挿通してヘッド本体７４を副ヘッド保持部材１０３の裏面側に突出させるようにして、主ヘッド保持部材１０２の表面側からセットされている。液滴吐出ヘッド１７は、副ヘッド保持部材１０３に形成された孔を貫通してフランジ部７９（図３参照）に形成されたねじ孔７９ａ（図３参照）に螺合した２本のヘッド止めねじ１０７により、副ヘッド保持部材１０３に固定されている。   The sub head holding member 103 is made of stainless steel or the like, and is formed in a substantially rectangular flat plate shape. The sub head holding member 103 is formed with a square head main body opening 103 d through which the head main body 74 of the droplet discharge head 17 is inserted. As described above, the sub head holding member 103 is set on the back side of the main head holding member 102 so as to straddle the flange opening 102a. On the other hand, the droplet discharge head 17 inserts the head main body 74 into the head main body opening 103 d so that the head main body 74 protrudes to the back side of the sub head holding member 103, so that the front side of the main head holding member 102 It is set from. The droplet discharge head 17 passes through a hole formed in the sub head holding member 103 and is screwed into two screw holes 79a (see FIG. 3) formed in the flange portion 79 (see FIG. 3). It is fixed to the sub head holding member 103 by a screw 107.

副ヘッド保持部材１０３のヘッド本体開口１０３ｄの周囲には、上記したねじ孔７９ａに対応する２つの貫通孔、及びヘッド本体開口１０３ｄの中心線上において第一調整穴１０３ａと第二調整穴１０３ｂとが形成されている。第一調整穴１０３ａ及び第二調整穴１０３ｂは、位置補正用の調整ピンが係合される部位である。   Around the head main body opening 103d of the sub head holding member 103, there are two through holes corresponding to the screw holes 79a, and the first adjustment hole 103a and the second adjustment hole 103b on the center line of the head main body opening 103d. Is formed. The first adjustment hole 103a and the second adjustment hole 103b are portions where the position correction adjustment pins are engaged.

また、ヘッド本体開口１０３ｄの中心線上において、第一調整穴１０３ａ又は第二調整穴１０３ｂのヘッド本体開口１０３ｄの反対側には、それぞれ接着剤孔１０３ｃが、ヘッド本体開口１０３ｄに関して略対称位置に形成されている。各接着剤孔１０３ｃは副ヘッド保持部材１０３の横断方向に延びる長孔となっている。接着剤孔１０３ｃに接着剤を注入して、当該接着剤（図示省略）によって副ヘッド保持部材１０３を主ヘッド保持部材１０２に接着固定する。
１個の液滴吐出ヘッド１７に対応して、２個の温度調整ユニット１１０が取り付けられている。温度調整ユニット１１０は、ヘッド本体７４における液滴吐出ヘッド１７のノズル列７８Ａ（図３参照）の延在方向に延在する外面に沿って固定されている。 Further, on the center line of the head main body opening 103d, adhesive holes 103c are formed at substantially symmetrical positions with respect to the head main body opening 103d on the opposite side of the first main adjustment hole 103a or the second adjustment hole 103b from the head main body opening 103d. Has been. Each adhesive hole 103 c is a long hole extending in the transverse direction of the sub head holding member 103. An adhesive is injected into the adhesive hole 103c, and the sub head holding member 103 is bonded and fixed to the main head holding member 102 with the adhesive (not shown).
Two temperature adjustment units 110 are attached to one droplet discharge head 17. The temperature adjustment unit 110 is fixed along the outer surface extending in the extending direction of the nozzle row 78 </ b> A (see FIG. 3) of the droplet discharge head 17 in the head main body 74.

図１９（ｄ）に示したように、温度調整ユニット１１０は、温度調整素子１１１と端子基板１１２とを有している。端子基板１１２は、ベースフィルム１１６と伝熱パターン１１４とカバーフィルム１１７とが、伝熱パターン１１４を中に挟む状態で積層されて形成されている。ベースフィルム１１６及びカバーフィルム１１７は、例えばポリイミドのような、可撓性に富む材料で形成されている。伝熱パターン１１４は、例えば銅のような熱伝導率が高い材料で、曲げ変形可能な箔状又は薄板状の形状に形成されている。
伝熱パターン１１４におけるカバーフィルム１１７によって覆われておらず露出した部分が、液滴吐出ヘッド１７のヘッド本体７４の外壁に熱伝導性に富む材料で形成された接着剤を用いて接着されている。ベースフィルム１１６における図１９（ｅ）に示した開口部１１６ａの部分で露出した伝熱パターン１１４には、温度調整素子１１１が固定されている。温度調整素子１１１は、フレキシブルフラットケーブル（ＦＦＣケーブル）（図示省略）によって、電気的に吐出装置制御部３０６（図２０参照）に接続されている。ＦＦＣケーブルを介して、吐出装置制御部３０６から温度調整素子１１１に制御信号が送られることによって、温度調整素子１１１の温度が制御される。
温度調整素子１１１から、温度調整素子１１１に固定された端子基板１１２の伝熱パターン１１４を介して、伝熱パターン１１４が接着されている液滴吐出ヘッド１７のヘッド本体７４の外壁に熱エネルギが伝導される、又は液滴吐出ヘッド１７から熱エネルギが奪われる。これによって、液滴吐出ヘッド１７の温度が調整される。図３を参照して説明したように、ヘッド本体７４の当該外壁の内側には、圧力室１５８が形成されており、外壁が温度調整されることで、圧力室１５８や、ノズルプレート７６の圧力室１５８に臨む部分や、圧力室１５８内の機能液などが、温度調整される。温度調整素子１１１としては、例えばペルチェ素子を用いる。ペルチェ素子は、印加する電圧の極性を変えるだけで加熱素子又は冷却素子として機能する。 As shown in FIG. 19D, the temperature adjustment unit 110 includes a temperature adjustment element 111 and a terminal board 112. The terminal substrate 112 is formed by laminating a base film 116, a heat transfer pattern 114, and a cover film 117 with the heat transfer pattern 114 interposed therebetween. The base film 116 and the cover film 117 are made of a highly flexible material such as polyimide. The heat transfer pattern 114 is made of a material having high thermal conductivity such as copper, and is formed in a foil-like or thin-plate shape that can be bent and deformed.
The exposed portion of the heat transfer pattern 114 that is not covered with the cover film 117 is bonded to the outer wall of the head main body 74 of the droplet discharge head 17 using an adhesive formed of a material having high thermal conductivity. . A temperature adjustment element 111 is fixed to the heat transfer pattern 114 exposed at the opening 116 a shown in FIG. 19E in the base film 116. The temperature adjustment element 111 is electrically connected to the discharge device control unit 306 (see FIG. 20) by a flexible flat cable (FFC cable) (not shown). The temperature of the temperature adjustment element 111 is controlled by sending a control signal from the discharge device control unit 306 to the temperature adjustment element 111 via the FFC cable.
Thermal energy is applied from the temperature adjustment element 111 to the outer wall of the head main body 74 of the droplet discharge head 17 to which the heat transfer pattern 114 is bonded via the heat transfer pattern 114 of the terminal substrate 112 fixed to the temperature adjustment element 111. Conducted or heat energy is taken away from the droplet discharge head 17. As a result, the temperature of the droplet discharge head 17 is adjusted. As described with reference to FIG. 3, the pressure chamber 158 is formed inside the outer wall of the head main body 74, and the pressure of the pressure chamber 158 and the nozzle plate 76 is adjusted by adjusting the temperature of the outer wall. The temperature of the portion facing the chamber 158 and the functional liquid in the pressure chamber 158 is adjusted. As the temperature adjustment element 111, for example, a Peltier element is used. The Peltier element functions as a heating element or a cooling element only by changing the polarity of the applied voltage.

図１９（ｅ）に示したように、伝熱パターン１１４は、伝熱基部１１４ａと、端子部１１４ｂとを有している。伝熱基部１１４ａと端子部１１４ｂとの境界部分には、複数の調整孔１１５が形成されている。
伝熱基部１１４ａは、片面がカバーフィルム１１７に覆われており、もう一面は、周辺部分がベースフィルム１１６に覆われており、ベースフィルム１１６の開口部１１６ａの部分が露出している。この伝熱基部１１４ａの露出部分に、温度調整素子１１１が、熱伝導可能に接続される。 As shown in FIG. 19 (e), the heat transfer pattern 114 has a heat transfer base 114a and a terminal portion 114b. A plurality of adjustment holes 115 are formed at a boundary portion between the heat transfer base portion 114a and the terminal portion 114b.
One side of the heat transfer base 114 a is covered with the cover film 117, and the other side of the heat transfer base 114 a is covered with the base film 116, and the opening 116 a portion of the base film 116 is exposed. The temperature adjustment element 111 is connected to the exposed portion of the heat transfer base 114a so as to be able to conduct heat.

端子部１１４ｂは、片面が伝熱基部１１４ａと共にベースフィルム１１６に覆われている。もう片面は、カバーフィルム１１７が、伝熱基部１１４ａから調整孔１１５の途中の部分までを覆っており、端子部１１４ｂは露出している。露出した端子部１１４ｂがヘッド本体７４の外壁に熱伝導可能に接続される。
伝熱基部１１４ａと端子部１１４ｂとの境界部分に形成されている複数の調整孔１１５のそれぞれにおいて、調整孔１１５の幅を変えることによって、伝熱基部１１４ａと端子部１１４ｂとの境界部分の幅、及び伝熱基部１１４ａと端子部１１４ｂとを連結する部分の配置を調整することができる。伝熱基部１１４ａと端子部１１４ｂとを連結する部分の配置を調整することにより、単位時間当たりに伝わる熱量をノズル列における吐出ノズルの配列方向において異ならせることができる。 One side of the terminal portion 114b is covered with the base film 116 together with the heat transfer base portion 114a. On the other side, the cover film 117 covers from the heat transfer base part 114a to the middle part of the adjustment hole 115, and the terminal part 114b is exposed. The exposed terminal portion 114b is connected to the outer wall of the head body 74 so as to be able to conduct heat.
By changing the width of the adjustment hole 115 in each of the plurality of adjustment holes 115 formed at the boundary portion between the heat transfer base portion 114a and the terminal portion 114b, the width of the boundary portion between the heat transfer base portion 114a and the terminal portion 114b. , And the arrangement of the portion connecting the heat transfer base portion 114a and the terminal portion 114b can be adjusted. By adjusting the arrangement of the portion that connects the heat transfer base portion 114a and the terminal portion 114b, the amount of heat transferred per unit time can be made different in the arrangement direction of the discharge nozzles in the nozzle row.

＜液滴吐出装置の電気的構成＞
次に、上述したような構成を有する液滴吐出装置３０１を駆動するための電気的構成について、図２０を参照して説明する。図２０は、液滴吐出装置の電気的構成を示す電気構成ブロック図である。液滴吐出装置３０１は、第一の実施形態における液滴吐出装置１と同様に、制御装置６５を介してデータの入力や、稼働開始や停止などの制御指令の入力を行うことで、制御される。 <Electrical configuration of droplet discharge device>
Next, an electrical configuration for driving the droplet discharge device 301 having the above-described configuration will be described with reference to FIG. FIG. 20 is an electrical configuration block diagram showing an electrical configuration of the droplet discharge device. Similar to the droplet discharge device 1 in the first embodiment, the droplet discharge device 301 is controlled by inputting data and control commands such as operation start and stop via the control device 65. The

液滴吐出装置３０１の吐出装置制御部３０６は、温調素子ドライバ１１１ｄを備えており、その他は、液滴吐出装置１の吐出装置制御部６と基本的に同様の構成を有している。
温調素子ドライバ１１１ｄには、温度調整ユニット１１０の温度調整素子１１１が接続されている。温調素子ドライバ１１１ｄは、ＣＰＵ４４からの制御信号に従って、温度調整素子１１１を駆動して、液滴吐出ヘッド１７の温度を調整する。 The discharge device control unit 306 of the droplet discharge device 301 includes a temperature control element driver 111d, and the rest has basically the same configuration as the discharge device control unit 6 of the droplet discharge device 1.
The temperature adjustment element 111 of the temperature adjustment unit 110 is connected to the temperature adjustment element driver 111d. The temperature adjustment element driver 111 d drives the temperature adjustment element 111 according to a control signal from the CPU 44 to adjust the temperature of the droplet discharge head 17.

検出部インタフェイス４３には、液滴吐出ヘッド１７の温度を測定するヘッド温度センサ１４２などの各種センサを有する検出部４２が接続されている。検出部４２の各センサによって検出された検出情報が、検出部インタフェイス４３を介してＣＰＵ４４に伝達される。   The detection unit interface 43 is connected to a detection unit 42 having various sensors such as a head temperature sensor 142 that measures the temperature of the droplet discharge head 17. Detection information detected by each sensor of the detection unit 42 is transmitted to the CPU 44 via the detection unit interface 43.

＜機能液配置＞
次に、液滴吐出装置３０１が有する液滴吐出ヘッド１７から機能液を吐出して、マザー対向基板２０１ＡにおけるＣＦ層２０８のフィルタ膜領域２２５などに機能液を配置するための工程について、図２１を参照して説明する。図２１は、機能液を配置する工程を示すフローチャートである。 <Functional liquid arrangement>
Next, a process for ejecting the functional liquid from the liquid droplet ejection head 17 included in the liquid droplet ejection apparatus 301 and disposing the functional liquid on the filter film region 225 of the CF layer 208 in the mother counter substrate 201A will be described with reference to FIG. Will be described with reference to FIG. FIG. 21 is a flowchart showing a process of arranging the functional liquid.

図２１のステップＳ３１では、予め求められた描画中飽和温度を取得する。描画中飽和温度は、液滴吐出装置３０１が有する液滴吐出ヘッド１７からマザー対向基板２０１Ａなどに向けて機能液を吐出する描画吐出を実施している際に、液滴吐出ヘッド１７が駆動することによって液滴吐出ヘッド１７の温度が変化し、描画吐出のための駆動を継続することによって略一定になった状態での温度である。
ここで、液滴吐出ヘッド１７の温度としては、液滴吐出ヘッド１７の部分であって、当該部分の温度の変動が、液滴吐出ヘッド１７が吐出する液滴の重量の変動に関連付けて測定可能な部分の温度を用いる。例えばポンプ部７５の外壁面の端子基板１１２が当接していない部分の温度や、ノズルプレート７６の温度や、振動板１５２の圧力室１５８を構成する部分の温度などのいずれかを用いることができる。
ポンプ部７５の外壁面や、振動板１５２の圧力室１５８を構成する部分の温度は、当該部分に温度センサを配設して測定することができる。振動板１５２の圧力室１５８を構成する部分の温度は、圧電素子１５９を構成する圧電材料を温度センサとして利用して測定することもできる。ポンプ部７５の外壁面や、ノズルプレート７６の温度は、非接触の赤外線温度センサを用いて離れた位置から測定することもできる。
描画中飽和温度は、例えば制御装置６５の入出力装置６８などから入力し、吐出装置制御部３０６のＲＡＭ４６やハードディスク４８に記憶する。この場合の制御装置６５の入出力装置６８などが、温度取得手段に相当する。 In step S31 of FIG. 21, the drawing saturation temperature obtained in advance is acquired. The saturation temperature during drawing is driven by the droplet discharge head 17 when drawing discharge is performed to discharge the functional liquid from the droplet discharge head 17 of the droplet discharge device 301 toward the mother counter substrate 201A. As a result, the temperature of the droplet discharge head 17 changes, and the temperature is in a substantially constant state by continuing the driving for drawing discharge.
Here, the temperature of the droplet discharge head 17 is a portion of the droplet discharge head 17, and a change in temperature of the portion is measured in association with a change in the weight of the droplet discharged from the droplet discharge head 17. Use the temperature of the possible part. For example, any one of the temperature of the portion of the outer wall surface of the pump unit 75 where the terminal substrate 112 is not in contact, the temperature of the nozzle plate 76, the temperature of the portion constituting the pressure chamber 158 of the diaphragm 152, and the like can be used. .
The temperature of the outer wall surface of the pump unit 75 and the part constituting the pressure chamber 158 of the diaphragm 152 can be measured by arranging a temperature sensor in the part. The temperature of the portion constituting the pressure chamber 158 of the diaphragm 152 can also be measured by using the piezoelectric material constituting the piezoelectric element 159 as a temperature sensor. The temperature of the outer wall surface of the pump unit 75 and the temperature of the nozzle plate 76 can also be measured from a remote position using a non-contact infrared temperature sensor.
The drawing saturation temperature is input from, for example, the input / output device 68 of the control device 65 and stored in the RAM 46 or the hard disk 48 of the ejection device control unit 306. The input / output device 68 of the control device 65 in this case corresponds to the temperature acquisition means.

次に、ステップＳ３２では、液滴吐出ヘッド１７のヘッド温度を調整する。上述したように、吐出装置制御部３０６によって、温度調整ユニット１１０の温度調整素子１１１の温度を制御して、液滴吐出ヘッド１７の温度を調整することが可能であり、温度調整ユニット１１０を用いて液滴吐出ヘッド１７の温度を描画中飽和温度に調整する。
より詳細には、液滴吐出ヘッド１７においてその部分の温度をヘッド温度の描画中飽和温度をとした部分の温度と、温度調整素子１１１の温度との相互関係を予め求めて、ヘッド温度と温度調整素子１１１との温度関係テーブルを作成し、吐出装置制御部３０６のＲＡＭ４６やハードディスク４８に記憶しておく。次に、ステップＳ３１で入力された描画中飽和温度を温度関係テーブルに照らして、描画中飽和温度に対応する温度調整素子１１１の温度を求める。次に、温度調整素子１１１の温度を、求めた描画中飽和温度に対応する温度調整素子１１１の温度に調整する。
吐出装置制御部３０６及び温度調整ユニット１１０が、温度調整手段に相当し、加熱手段又は冷却手段にも相当する。 Next, in step S32, the head temperature of the droplet discharge head 17 is adjusted. As described above, the temperature of the temperature adjustment element 111 of the temperature adjustment unit 110 can be controlled by the discharge device control unit 306 to adjust the temperature of the droplet discharge head 17, and the temperature adjustment unit 110 is used. The temperature of the droplet discharge head 17 is adjusted to the saturation temperature during drawing.
More specifically, the mutual relationship between the temperature of the portion of the droplet discharge head 17 in which the temperature of the portion is the saturation temperature during drawing of the head temperature and the temperature of the temperature adjustment element 111 is obtained in advance, and the head temperature and temperature A temperature relationship table with the adjustment element 111 is created and stored in the RAM 46 or the hard disk 48 of the ejection device control unit 306. Next, the drawing saturation temperature input in step S31 is compared with the temperature relation table to obtain the temperature of the temperature adjusting element 111 corresponding to the drawing saturation temperature. Next, the temperature of the temperature adjusting element 111 is adjusted to the temperature of the temperature adjusting element 111 corresponding to the obtained saturation temperature during drawing.
The discharge device control unit 306 and the temperature adjustment unit 110 correspond to a temperature adjustment unit, and also correspond to a heating unit or a cooling unit.

次に、ステップＳ３３では、描画中飽和温度に調整された液滴吐出ヘッド１７からフィルタ膜領域２２５などに向けて、機能液を吐出する描画吐出を実施する。ステップＳ３２において液滴吐出ヘッド１７のヘッド温度を調整することによって、描画吐出を開始する時点での液滴吐出ヘッド１７の温度は描画中飽和温度に調整されている。このため、描画吐出を実施する間の液滴吐出ヘッド１７の温度の変動は殆どないことから、液滴吐出ヘッド１７の温度の変動に起因する吐出量の変動は殆どない。ステップＳ３３の描画吐出を実施して、機能液を配置する工程を終了する。
なお、描画吐出が終了したマザー対向基板２０１Ａなどの加工対象物を、新たな加工対象物と交換する際は、液滴吐出ヘッド１７は休止状態であり、描画吐出を実施している際の液滴吐出ヘッド１７の温度が維持されない可能性がある。したがって、加工対象物の交換の間などのように、描画吐出の間に液滴吐出ヘッド１７が休止している場合には、その間は、温度調整ユニット１１０を稼働させて、液滴吐出ヘッド１７のヘッド温度調整を実施することが好ましい。 Next, in step S33, drawing discharge is performed to discharge the functional liquid from the droplet discharge head 17 adjusted to the saturation temperature during drawing toward the filter film region 225 and the like. By adjusting the head temperature of the droplet discharge head 17 in step S32, the temperature of the droplet discharge head 17 at the start of drawing discharge is adjusted to the saturation temperature during drawing. For this reason, there is almost no variation in the temperature of the droplet discharge head 17 during the drawing discharge, and therefore there is almost no variation in the discharge amount due to the variation in the temperature of the droplet discharge head 17. The drawing discharge in step S33 is performed, and the step of arranging the functional liquid is completed.
Note that when the processing object such as the mother counter substrate 201A for which drawing discharge has been completed is replaced with a new processing object, the droplet discharge head 17 is in a resting state, and the liquid used when drawing discharge is being performed. There is a possibility that the temperature of the droplet discharge head 17 is not maintained. Therefore, when the droplet discharge head 17 is stopped during drawing discharge, such as during the exchange of the workpiece, the temperature adjustment unit 110 is operated during that period, and the droplet discharge head 17 is operated. It is preferable to adjust the head temperature.

＜他の温度調整ユニット、及び他の温度調整ユニットの取り付け＞
次に、温度調整ユニット１１０とは異なる温度調整ユニット３１０の構成、及び温度調整ユニット３１０を有するヘッドユニット３７４における液滴吐出ヘッド１７のキャリッジプレート５３への取付構造及び温度調整ユニット３１０の取付構造について、図２２を参照して説明する。図２２は、温度調整ユニットの構成、並びに液滴吐出ヘッド、及び温度調整ユニットのキャリッジプレートへの取付構造を示す図である。図２２（ａ）は、温度調整ユニットの端子基板の平面図であり、図２２（ｂ）は、キャリッジプレートに取り付けられた液滴吐出ヘッド及び温度調整ユニットの側面図であり、図２２（ｃ）は、キャリッジプレートに取り付けられた液滴吐出ヘッド及び温度調整ユニットをノズルプレート側からみた平面図である。 <Installation of other temperature control units and other temperature control units>
Next, a configuration of the temperature adjustment unit 310 different from the temperature adjustment unit 110, and a mounting structure of the droplet discharge head 17 to the carriage plate 53 and a mounting structure of the temperature adjustment unit 310 in the head unit 374 having the temperature adjustment unit 310. This will be described with reference to FIG. FIG. 22 is a diagram showing the configuration of the temperature adjustment unit and the structure for attaching the droplet discharge head and the temperature adjustment unit to the carriage plate. 22A is a plan view of the terminal board of the temperature adjustment unit, and FIG. 22B is a side view of the droplet discharge head and the temperature adjustment unit attached to the carriage plate. ) Is a plan view of the droplet discharge head and the temperature adjustment unit attached to the carriage plate as viewed from the nozzle plate side.

図２２（ａ）及び（ｂ）に示したように、温度調整ユニット３１０は、温度調整素子３１１と端子基板３１２とを有している。端子基板３１２は、ベースフィルム３１６と伝熱パターン３１４とカバーフィルム３１７とが、伝熱パターン３１４を中に挟む状態で積層されて形成されている。ベースフィルム３１６及びカバーフィルム３１７は、例えばポリイミドのような、可撓性に富む材料で形成されている。伝熱パターン３１４は、例えば銅のような熱伝導率が高い材料で、曲げ変形可能な形状に形成されている。   As shown in FIGS. 22A and 22B, the temperature adjustment unit 310 includes a temperature adjustment element 311 and a terminal board 312. The terminal substrate 312 is formed by laminating a base film 316, a heat transfer pattern 314, and a cover film 317 with the heat transfer pattern 314 sandwiched therebetween. The base film 316 and the cover film 317 are formed of a highly flexible material such as polyimide. The heat transfer pattern 314 is made of a material having high thermal conductivity, such as copper, and is formed into a shape that can be bent and deformed.

伝熱パターン３１４におけるカバーフィルム３１７によって覆われておらず露出した部分が、液滴吐出ヘッド１７のヘッド本体７４の外壁に、熱伝導性に富む材料で形成された接着剤を用いて接着されている。ベースフィルム３１６におけ開口部３１６ａの部分で露出した伝熱パターン３１４には、温度調整素子３１１が熱伝導性に富む材料で形成された接着剤を用いて接着されて固定されている。端子基板３１２は、複数の伝熱パターン３１４を有しており、伝熱パターン３１４のそれぞれに、温度調整素子３１１が固定されている。
温度調整素子３１１は、フレキシブルフラットケーブル（図示省略）によって、温度調整素子１１１と同様に、電気的に吐出装置制御部３０６（図２０参照）と同様の吐出装置制御部に接続されており、吐出装置制御部によって温度が制御される。複数の温度調整素子３１１は、それぞれ独立して温度を制御される。
吐出装置制御部及び温度調整ユニット３１０が、温度調整手段に相当し、加熱手段又は冷却手段にも相当する。 The exposed portion of the heat transfer pattern 314 that is not covered by the cover film 317 is adhered to the outer wall of the head main body 74 of the droplet discharge head 17 using an adhesive formed of a material having high thermal conductivity. Yes. The temperature adjustment element 311 is bonded and fixed to the heat transfer pattern 314 exposed at the opening 316a in the base film 316 using an adhesive formed of a material having high thermal conductivity. The terminal board 312 has a plurality of heat transfer patterns 314, and the temperature adjustment element 311 is fixed to each of the heat transfer patterns 314.
The temperature adjustment element 311 is electrically connected to a discharge device control unit similar to the discharge device control unit 306 (see FIG. 20) by a flexible flat cable (not shown), similarly to the temperature adjustment element 111. The device controller controls the temperature. The temperature of the plurality of temperature adjusting elements 311 is independently controlled.
The discharge device controller and the temperature adjustment unit 310 correspond to temperature adjustment means, and also correspond to heating means or cooling means.

温度調整素子３１１によって、温度調整素子３１１が固定された伝熱パターン３１４が温度調整され、伝熱パターン３１４が接着されているヘッド本体７４の外壁が温度調整される。図３を参照して説明したように、当該外壁の内側には、圧力室１５８が形成されており、外壁が温度調整されることで、圧力室１５８や、ノズルプレート７６の圧力室１５８に臨む部分や、圧力室１５８内の機能液などが、温度調整される。   The temperature adjustment element 311 adjusts the temperature of the heat transfer pattern 314 to which the temperature adjustment element 311 is fixed, and the temperature of the outer wall of the head main body 74 to which the heat transfer pattern 314 is bonded is adjusted. As described with reference to FIG. 3, a pressure chamber 158 is formed inside the outer wall, and the outer wall faces the pressure chamber 158 and the pressure chamber 158 of the nozzle plate 76 by adjusting the temperature. The temperature of the portion and the functional liquid in the pressure chamber 158 is adjusted.

図２２（ｃ）に示したように、ヘッドユニット３７４における液滴吐出ヘッド１７のキャリッジプレート５３への取り付けは、図１９を参照して説明したヘッドユニット３５４における液滴吐出ヘッド１７のキャリッジプレート５３への取り付けと同様である。
ヘッドユニット３７４における温度調整ユニット３１０のキャリッジプレート５３への取り付けは、図１９を参照して説明したヘッドユニット３５４における温度調整ユニット１１０のキャリッジプレート５３への取り付けと同様である。 As shown in FIG. 22C, the attachment of the droplet discharge head 17 to the carriage plate 53 in the head unit 374 is performed on the carriage plate 53 of the droplet discharge head 17 in the head unit 354 described with reference to FIG. It is the same as the attachment to.
The attachment of the temperature adjustment unit 310 to the carriage plate 53 in the head unit 374 is the same as the attachment of the temperature adjustment unit 110 to the carriage plate 53 in the head unit 354 described with reference to FIG.

＜電子機器＞
次に、液滴吐出装置１又は液滴吐出装置３０１を用いて機能液を配置して機能膜を形成する対象物の一例として、電子機器について、図２３を参照して説明する。本実施形態の電子機器は、第一の実施形態で説明した液晶表示パネル２００のような液晶表示装置を備えた電子機器である。本実施形態の電子機器の具体例について説明する。 <Electronic equipment>
Next, an electronic device will be described with reference to FIG. 23 as an example of an object on which a functional liquid is formed by using the droplet discharge device 1 or the droplet discharge device 301 to form a functional film. The electronic device of the present embodiment is an electronic device including a liquid crystal display device such as the liquid crystal display panel 200 described in the first embodiment. A specific example of the electronic apparatus of this embodiment will be described.

図２３は、電子機器の一例である大型液晶テレビを示す外観斜視図である。図２３に示すように、電子機器の一例である大型液晶テレビ４００は、表示部４０１を備えている。表示部４０１は、第一の実施形態で説明した液晶表示パネル２００のような液晶表示装置を表示手段として搭載している。   FIG. 23 is an external perspective view showing a large-sized liquid crystal television which is an example of an electronic apparatus. As shown in FIG. 23, a large-sized liquid crystal television 400, which is an example of an electronic device, includes a display unit 401. The display unit 401 includes a liquid crystal display device such as the liquid crystal display panel 200 described in the first embodiment as a display unit.

第二の実施形態によれば、第一の実施形態によって得られる効果に加えて、以下に記載する効果が得られる。
（１）ヘッドユニット３５４及びヘッドユニット３７４は、温度調整ユニット１１０又は温度調整ユニット３１０を備えている。このため、液滴吐出装置３０１は、温度調整ユニット１１０又は温度調整ユニット３１０を用いて液滴吐出ヘッド１７の温度を描画中飽和温度に調整することができる。 According to 2nd embodiment, in addition to the effect acquired by 1st embodiment, the effect described below is acquired.
(1) The head unit 354 and the head unit 374 include the temperature adjustment unit 110 or the temperature adjustment unit 310. For this reason, the droplet discharge device 301 can adjust the temperature of the droplet discharge head 17 to the saturation temperature during drawing using the temperature adjustment unit 110 or the temperature adjustment unit 310.

（２）温度調整ユニット３１０の端子基板３１２は、複数の伝熱パターン３１４を有しており、伝熱パターン３１４のそれぞれに、温度調整素子３１１が固定されている。これにより、伝熱パターン３１４ごとに独立して温度を調整することができる。したがって、伝熱パターン３１４が対応する範囲の個別の吐出ノズル７８又は複数の吐出ノズル７８ごとに、独立して温度を調整することができる。   (2) The terminal board 312 of the temperature adjustment unit 310 has a plurality of heat transfer patterns 314, and the temperature adjustment element 311 is fixed to each of the heat transfer patterns 314. Thereby, the temperature can be adjusted independently for each heat transfer pattern 314. Therefore, the temperature can be adjusted independently for each individual discharge nozzle 78 or a plurality of discharge nozzles 78 in the range corresponding to the heat transfer pattern 314.

（３）温度調整ユニット１１０及び温度調整ユニット３１０は、可撓性を有する端子基板１１２又は端子基板３１２を介して、液滴吐出ヘッド１７と熱伝導可能に接続されている。このため、温度調整ユニット１１０及び温度調整ユニット３１０を液滴吐出ヘッド１７に対して厳密に位置合わせすることを必要とせず、温度調整ユニット１１０及び温度調整ユニット３１０を、容易にヘッドユニット３５４又はヘッドユニット３７４に取り付けることができる。   (3) The temperature adjustment unit 110 and the temperature adjustment unit 310 are connected to the droplet discharge head 17 through the flexible terminal board 112 or the terminal board 312 so as to conduct heat. Therefore, it is not necessary to strictly align the temperature adjustment unit 110 and the temperature adjustment unit 310 with respect to the droplet discharge head 17, and the temperature adjustment unit 110 and the temperature adjustment unit 310 can be easily adjusted to the head unit 354 or the head. It can be attached to the unit 374.

以上、添付図面を参照しながら好適な実施形態について説明したが、好適な実施形態は、前記実施形態に限らない。実施形態は、要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論であり、以下のように実施することもできる。   As mentioned above, although preferred embodiment was described referring an accompanying drawing, suitable embodiment is not restricted to the said embodiment. The embodiment can of course be modified in various ways without departing from the scope, and can also be implemented as follows.

（変形例１）前記実施形態においては、吐出手段としての液滴吐出ヘッド１７におけるヘッド温度の所定のパターン形成時の温度としての描画中飽和温度を求め、描画中飽和温度になるように、描画吐出を開始する時点のヘッド温度を調整していた。しかし、所定のパターン形成時の温度を求め、所定のパターン形成時の温度になるように、所定のパターン形成を開始する時点の温度を調整する対象は吐出手段の温度に限らない。液状体の所定のパターン形成時の温度を求め、所定のパターン形成を開始する時点の液状体の温度を所定のパターン形成時の温度になるように調整してもよい。液状体の温度が変動すると、液状体の粘度が変動する。吐出量は吐出される液状体の粘度の影響を受けるため、液状体の温度を調整して液状体の温度の変動を抑制することによって、液状体の吐出量の変動を抑制することができる。   (Modification 1) In the embodiment, the drawing saturation temperature is obtained as the temperature at the time of formation of a predetermined pattern of the head temperature in the droplet discharge head 17 as the discharge means, and the drawing temperature is set to the saturation temperature during drawing. The head temperature at the start of ejection was adjusted. However, the target for adjusting the temperature at the start of the predetermined pattern formation so as to obtain the temperature at the predetermined pattern formation and to be the temperature at the predetermined pattern formation is not limited to the temperature of the ejection unit. The temperature at the time of the predetermined pattern formation of the liquid material may be obtained, and the temperature of the liquid material at the time of starting the predetermined pattern formation may be adjusted to be the temperature at the time of the predetermined pattern formation. When the temperature of the liquid changes, the viscosity of the liquid changes. Since the discharge amount is affected by the viscosity of the discharged liquid material, the fluctuation of the discharge amount of the liquid material can be suppressed by adjusting the temperature of the liquid material to suppress the fluctuation of the temperature of the liquid material.

（変形例２）前記第一の実施形態においては、ヘッド温度センサ１４２を用いて描画中飽和温度を測定していた。しかし、所定のパターン形成時の温度としての描画中飽和温度を実際に測定することは必須ではない。描画中飽和温度は、推定して求めてもよい。描画中飽和温度は、例えば、図１８を参照して説明した暖機駆動の駆動条件を推定して求める方法と同様にして推定することができる。   (Modification 2) In the first embodiment, the head temperature sensor 142 is used to measure the saturation temperature during drawing. However, it is not essential to actually measure the saturation temperature during drawing as the temperature for forming a predetermined pattern. The saturation temperature during drawing may be estimated and obtained. The drawing saturation temperature can be estimated, for example, in the same manner as the method for estimating and obtaining the warm-up drive condition described with reference to FIG.

図１８（ｃ）に示すように、暖機駆動を実施することなく、時点Ｓにおいて描画吐出を開始すると、描画吐出を実施している液滴吐出ヘッド１７の温度は、図１８（ｂ）に示した場合と同様に、一定時間の描画吐出後に、概ね描画中飽和温度ＨＭ℃になって、略安定する。
適正な吐出量が得られる設計上の駆動電圧のａ％の駆動電圧である駆動電圧ａで暖機駆動をすると、ヘッド温度はＨａ℃に収束し、時点Ｓにおけるヘッド温度は、Ｈａ℃となる。Ｈａ℃のヘッド温度で描画吐出を開始すると、図１８（ｃ）にａ０と表記した温度上昇曲線でヘッド温度が上昇して、略描画中飽和温度ＨＭ℃になって略安定する。曲線ａ０の、時点Ｓにおける傾きを傾きａ１と表記する。
適正な吐出量が得られる設計上の駆動電圧のｂ％の駆動電圧である駆動電圧ｂで暖機駆動をすると、ヘッド温度はＨｂ℃に収束し、時点Ｓにおけるヘッド温度は、Ｈｂ℃となる。Ｈｂ℃のヘッド温度で描画吐出を開始すると、図１８（ｃ）にｂ０と表記した温度下降曲線でヘッド温度が下降して、略描画中飽和温度ＨＭ℃になって略安定する。曲線ｂ０の、時点Ｓにおける傾きを傾きｂ１と表記する。 As shown in FIG. 18C, when drawing discharge is started at time S without performing warm-up driving, the temperature of the droplet discharge head 17 performing drawing discharge is as shown in FIG. As in the case shown, after the drawing discharge for a certain time, the drawing temperature becomes substantially the saturation temperature HM ° C. and becomes substantially stable.
When warm-up driving is performed with a driving voltage a that is a driving voltage a% of the designed driving voltage that can obtain an appropriate discharge amount, the head temperature converges to Ha ° C., and the head temperature at time S becomes Ha ° C. . When drawing discharge is started at a head temperature of Ha ° C., the head temperature rises with a temperature rise curve denoted as a0 in FIG. 18C, and is substantially stabilized at the saturation temperature HM ° C. during drawing. The slope of the curve a0 at the time S is denoted as the slope a1.
When warm-up driving is performed with the driving voltage b that is a driving voltage b% of the designed driving voltage that can obtain an appropriate discharge amount, the head temperature converges to Hb ° C., and the head temperature at time S becomes Hb ° C. . When the drawing discharge is started at the head temperature of Hb ° C., the head temperature is lowered by a temperature drop curve denoted as b0 in FIG. 18C, and is substantially stabilized at the saturation temperature HM ° C. during drawing. The slope of the curve b0 at the time S is denoted as the slope b1.

図１８（ｄ）を参照して説明した方法と同様に、縦軸に傾き、横軸に暖機駆動の結果収束する液滴吐出ヘッド１７の温度をとって、（ａ，Ｈａ）点及び（ｂ，Ｈｂ）点を通る直線が横軸と交わる点、すなわち傾きが０になる液滴吐出ヘッド１７の温度の値を求める。当該温度が、描画中飽和温度であると推定する。当該温度が、描画中飽和温度であるか否かは、液滴吐出ヘッド１７の温度を当該温度に調整して、描画吐出を開始することで検証できる。当該温度が、描画中飽和温度であれば、当該温度で描画吐出を開始すると、描画吐出の間に液滴吐出ヘッド１７の温度が変動する可能性はほとんどない。このため、当該温度で描画吐出を開始して、描画吐出開始時から液滴吐出ヘッド１７の温度が略安定している場合には、当該温度が描画中飽和温度である。この場合、液滴吐出ヘッド１７の駆動条件を制御することによって描画中飽和温度を推定する吐出装置制御部６が、温度取得手段に相当する。   Similarly to the method described with reference to FIG. 18D, the temperature of the droplet discharge head 17 which is inclined on the vertical axis and converges as a result of the warm-up drive on the horizontal axis is taken as (a, Ha) points and ( b, Hb) A point at which the straight line passing through the point intersects the horizontal axis, that is, the temperature value of the droplet discharge head 17 at which the inclination becomes zero is obtained. It is estimated that the temperature is a saturation temperature during drawing. Whether or not the temperature is a saturation temperature during drawing can be verified by adjusting the temperature of the droplet discharge head 17 to the temperature and starting drawing and discharging. If the temperature is a saturation temperature during drawing, when drawing discharge is started at the temperature, there is almost no possibility that the temperature of the droplet discharge head 17 fluctuates during drawing discharge. For this reason, when drawing discharge is started at the said temperature and the temperature of the droplet discharge head 17 is substantially stable from the time of drawing discharge, the said temperature is saturation temperature during drawing. In this case, the ejection device controller 6 that estimates the saturation temperature during drawing by controlling the driving conditions of the droplet ejection head 17 corresponds to the temperature acquisition unit.

（変形例３）前記実施形態においては、予め描画中飽和温度を求め、機能液を配置するための工程においては、予め求められた描画中飽和温度を取得していた。しかし、所定のパターン形成時の温度としての描画中飽和温度を予め求めることは必須ではない。予め求めた所定のパターン形成時の温度を取得する工程に代えて、所定のパターン形成時の温度を測定又は描画中の各ノズル、液滴吐出ヘッド、あるいは、それらを含む液状体吐出装置の駆動条件から温度変化を推定することによって所定のパターン形成時の温度を取得する工程を実施してもよい。   (Modification 3) In the above-described embodiment, the saturation temperature during drawing is obtained in advance, and the saturation temperature during drawing obtained in advance is obtained in the step of arranging the functional liquid. However, it is not essential to obtain the drawing saturation temperature in advance as the temperature at the time of forming the predetermined pattern. Instead of the step of obtaining a predetermined temperature at the time of forming a predetermined pattern, each nozzle, droplet discharge head, or driving of a liquid material discharge device including them is measured while measuring or drawing the temperature at the time of forming a predetermined pattern. You may implement the process of acquiring the temperature at the time of predetermined pattern formation by estimating a temperature change from conditions.

（変形例４）前記第一の実施形態においては、暖機駆動を実施することによって液滴吐出ヘッド１７の温度が描画中飽和温度となる駆動条件を求めて、当該駆動条件で暖機駆動を実施していたが、液滴吐出ヘッド１７の温度が描画中飽和温度となる駆動条件を求めることは必須ではない。暖機駆動を実施しながら液滴吐出ヘッド１７の温度を測定するヘッド温度センサ１４２のような温度センサを用いて液滴吐出ヘッド１７の温度を測定し、測定結果に対応して暖機駆動を制御してもよい。この場合のヘッド温度センサ１４２が、温度調整手段が有する温度測定手段に相当する。   (Modification 4) In the first embodiment, the warming-up driving is performed to obtain a driving condition in which the temperature of the droplet discharge head 17 becomes the saturation temperature during drawing, and the warming-up driving is performed under the driving condition. Although it has been implemented, it is not essential to obtain a driving condition in which the temperature of the droplet discharge head 17 becomes the saturation temperature during drawing. The temperature of the droplet discharge head 17 is measured using a temperature sensor such as the head temperature sensor 142 that measures the temperature of the droplet discharge head 17 while performing the warm-up drive, and the warm-up drive is performed according to the measurement result. You may control. In this case, the head temperature sensor 142 corresponds to a temperature measuring unit included in the temperature adjusting unit.

（変形例５）前記実施形態においては、液滴吐出ヘッド１７の描画中飽和温度を求め、当該描画中飽和温度を指標にして、液滴吐出ヘッド１７の温度を当該描画中飽和温度にできる暖機駆動の駆動条件を求めていたが、描画中飽和温度を指標にすることは必須ではない。上述した変形例２と同様にして、液滴吐出ヘッド１７の温度が描画中飽和温度となる駆動条件を推定し、当該駆動条件を指標としてもよい。当該駆動条件で暖機駆動を実施することによって、描画中飽和温度を実現したと推定してもよい。   (Modification 5) In the embodiment described above, the saturation temperature during drawing of the droplet discharge head 17 is obtained, and the temperature at which the droplet discharge head 17 is brought to the saturation temperature during drawing is obtained using the saturation temperature during drawing as an index. Although the driving conditions for machine driving have been obtained, it is not essential to use the saturation temperature during drawing as an index. Similarly to the second modification described above, a driving condition in which the temperature of the droplet discharge head 17 becomes the saturation temperature during drawing may be estimated, and the driving condition may be used as an index. It may be estimated that the saturation temperature during drawing is realized by performing warm-up driving under the driving conditions.

（変形例６）前記第二の実施形態においては、ヘッド温度センサ１４２を用いて描画中飽和温度を測定していた。しかし、所定のパターン形成時の温度としての描画中飽和温度を実際に測定することは必須ではない。変形例２で説明した例と同様に、描画中飽和温度を推定してもよい。例えば、図１８を参照して説明した暖機駆動の駆動条件を推定して求める方法と同様にして推定することができる。   (Modification 6) In the second embodiment, the drawing temperature saturation temperature is measured using the head temperature sensor 142. However, it is not essential to actually measure the saturation temperature during drawing as the temperature for forming a predetermined pattern. Similar to the example described in the second modification, the drawing saturation temperature may be estimated. For example, it can be estimated in the same manner as the method for estimating and obtaining the warm-up drive condition described with reference to FIG.

図１８（ｃ）に示すように、温度調整を実施することなく、時点Ｓにおいて描画吐出を開始すると、描画吐出を実施している液滴吐出ヘッド１７の温度は、図１８（ｂ）に示した場合と同様に、一定時間の描画吐出後に、概ね描画中飽和温度ＨＭ℃になって、略安定する。
例えば温度調整ユニット１１０を稼働させて液滴吐出ヘッド１７のヘッド温度を、Ｈａ℃に加熱又は冷却する。上述したように、Ｈａ℃のヘッド温度で描画吐出を開始すると、図１８（ｃ）にａ０と表記した温度上昇曲線でヘッド温度が上昇して、略描画中飽和温度ＨＭ℃になって略安定する。曲線ａ０の、時点Ｓにおける傾きを傾きａ１と表記する。
同様に、温度調整ユニット１１０を稼働させて液滴吐出ヘッド１７のヘッド温度を、Ｈｂ℃に加熱又は冷却する。上述したように、Ｈｂ℃のヘッド温度で描画吐出を開始すると、図１８（ｃ）にｂ０と表記した温度下降曲線でヘッド温度が下降して、略描画中飽和温度ＨＭ℃になって略安定する。曲線ｂ０の、時点Ｓにおける傾きを傾きｂ１と表記する。 As shown in FIG. 18C, when drawing discharge is started at time S without adjusting the temperature, the temperature of the droplet discharge head 17 performing drawing discharge is shown in FIG. As in the case of the above, after the drawing discharge for a certain time, the saturation temperature HM ° C. is almost reached during the drawing, and is substantially stabilized.
For example, the temperature adjustment unit 110 is operated to heat or cool the head temperature of the droplet discharge head 17 to Ha ° C. As described above, when drawing discharge is started at a head temperature of Ha ° C., the head temperature rises with a temperature rise curve denoted as a0 in FIG. 18C, and is substantially stable at a saturation temperature HM ° C. during drawing. To do. The slope of the curve a0 at the time S is denoted as the slope a1.
Similarly, the temperature adjustment unit 110 is operated to heat or cool the head temperature of the droplet discharge head 17 to Hb ° C. As described above, when drawing ejection is started at a head temperature of Hb ° C., the head temperature falls along a temperature drop curve denoted as b0 in FIG. 18C, and is substantially stabilized at a saturation temperature HM ° C. during drawing. To do. The slope of the curve b0 at the time S is denoted as the slope b1.

図１８（ｄ）を参照して説明した方法と同様に、縦軸に傾き、横軸に暖機駆動の結果収束する液滴吐出ヘッド１７の温度をとって、（ａ，Ｈａ）点及び（ｂ，Ｈｂ）点を通る直線が横軸と交わる点、すなわち傾きが０になる液滴吐出ヘッド１７の温度の値を求める。当該温度が、描画中飽和温度であると推定する。当該温度が、描画中飽和温度であるか否かは、液滴吐出ヘッド１７の温度を当該温度に調整して、描画吐出を開始することで検証できる。当該温度が、描画中飽和温度であれば、当該温度で描画吐出を開始すると、描画吐出の間に液滴吐出ヘッド１７の温度が変動する可能性はほとんどない。このため、当該温度で描画吐出を開始して、描画吐出開始時から液滴吐出ヘッド１７の温度が略安定している場合には、当該温度が描画中飽和温度である。この場合、液滴吐出ヘッド１７の駆動条件を制御することによって描画中飽和温度を推定する吐出装置制御部３０６が、温度取得手段に相当する。   Similarly to the method described with reference to FIG. 18D, the temperature of the droplet discharge head 17 which is inclined on the vertical axis and converges as a result of the warm-up drive on the horizontal axis is taken as (a, Ha) points and ( b, Hb) A point at which the straight line passing through the point intersects the horizontal axis, that is, the temperature value of the droplet discharge head 17 at which the inclination becomes zero is obtained. It is estimated that the temperature is a saturation temperature during drawing. Whether or not the temperature is a saturation temperature during drawing can be verified by adjusting the temperature of the droplet discharge head 17 to the temperature and starting drawing and discharging. If the temperature is a saturation temperature during drawing, when drawing discharge is started at the temperature, there is almost no possibility that the temperature of the droplet discharge head 17 fluctuates during drawing discharge. For this reason, when drawing discharge is started at the said temperature and the temperature of the droplet discharge head 17 is substantially stable from the time of drawing discharge, the said temperature is saturation temperature during drawing. In this case, the ejection device control unit 306 that estimates the saturation temperature during drawing by controlling the driving conditions of the droplet ejection head 17 corresponds to the temperature acquisition unit.

（変形例７）前記第二の実施形態においては、温度調整素子１１１の温度を、予め求めた液滴吐出ヘッド１７の描画中飽和温度に対応する温度調整素子１１１の温度に調整することによって、液滴吐出ヘッド１７の温度を描画中飽和温度に調整していた。しかし、液滴吐出ヘッド１７の描画中飽和温度に対応する温度調整素子１１１の温度を求めることは必須ではない。液滴吐出ヘッド１７の温度を測定するヘッド温度センサ１４２のような温度センサを用いて液滴吐出ヘッド１７の温度を測定しながら、測定結果に対応して温度調整素子１１１の温度を制御してもよい。液滴吐出ヘッド１７の温度の測定値を描画中飽和温度に調整するため、液滴吐出ヘッド１７の温度をより正確に描画中飽和温度に調整することができる。この場合のヘッド温度センサ１４２が、温度調整手段が有する温度測定手段に相当する。   (Modification 7) In the second embodiment, by adjusting the temperature of the temperature adjustment element 111 to the temperature of the temperature adjustment element 111 corresponding to the saturation temperature during drawing of the droplet discharge head 17 obtained in advance, The temperature of the droplet discharge head 17 was adjusted to the saturation temperature during drawing. However, it is not essential to obtain the temperature of the temperature adjusting element 111 corresponding to the saturation temperature during drawing of the droplet discharge head 17. While measuring the temperature of the droplet discharge head 17 using a temperature sensor such as the head temperature sensor 142 that measures the temperature of the droplet discharge head 17, the temperature of the temperature adjustment element 111 is controlled according to the measurement result. Also good. Since the measured value of the temperature of the droplet discharge head 17 is adjusted to the saturation temperature during drawing, the temperature of the droplet discharge head 17 can be more accurately adjusted to the saturation temperature during drawing. In this case, the head temperature sensor 142 corresponds to a temperature measuring unit included in the temperature adjusting unit.

（変形例８）前記実施形態においては、ヘッド温度センサ１４２は、例えば接触式の温度センサであって、例えばポンプ部７５の外壁面や、ノズルプレート７６や、振動板１５２の圧力室１５８を構成する部分などのいずれかに接触して、これらの温度のいずれかを測定していた。しかし、ヘッド温度センサが接触式の温度センサであることは必須ではない。ヘッド温度センサは、非接触の赤外線温度センサなどを用いてもよい。   (Modification 8) In the above-described embodiment, the head temperature sensor 142 is, for example, a contact-type temperature sensor, and includes, for example, the outer wall surface of the pump unit 75, the nozzle plate 76, and the pressure chamber 158 of the diaphragm 152. One of these temperatures was measured in contact with any of the parts. However, it is not essential that the head temperature sensor is a contact type temperature sensor. A non-contact infrared temperature sensor or the like may be used as the head temperature sensor.

（変形例９）前記実施形態においては、暖機駆動の駆動条件として駆動電圧を規定していたが、暖機駆動の駆動条件として規定して、駆動条件を変えるために調整するのは駆動電圧に限らない。図９を参照して説明した駆動波形の様々な要素を変えることで、吐出量を調整することが可能であり、液滴吐出ヘッドの温度を調整することも可能である。   (Modification 9) In the above-described embodiment, the drive voltage is defined as the drive condition for the warm-up drive. However, the drive voltage is regulated as the drive condition for the warm-up drive and adjusted to change the drive condition. Not limited to. By changing various elements of the drive waveform described with reference to FIG. 9, it is possible to adjust the ejection amount and also to adjust the temperature of the droplet ejection head.

（変形例１０）前記実施形態においては、液滴吐出装置１及び液滴吐出装置３０１は、液滴吐出ヘッド１７の吐出量を測定する装置として、吐出された機能液の重量を測定する重量測定装置９１を備えていたが、吐出重量を測定することによって吐出量を測定することは必須ではない。例えば、光学的な方法によって液滴の大きさや体積を求めることにより、吐出量を測定してもよい。飛行中の液滴の大きさや、対象物に着弾した直後の液滴の形状及び大きさや、対象物に着弾して広がった液滴の大きさなどを光学的に測定することによって、液滴の体積を求めることにより、吐出量を測定してもよい。   (Modification 10) In the above-described embodiment, the droplet discharge device 1 and the droplet discharge device 301 are devices that measure the discharge amount of the droplet discharge head 17 and measure the weight of the discharged functional liquid. Although the apparatus 91 is provided, it is not essential to measure the discharge amount by measuring the discharge weight. For example, the discharge amount may be measured by determining the size and volume of the droplet by an optical method. By optically measuring the size of the droplet in flight, the shape and size of the droplet immediately after landing on the object, the size of the droplet that landed on the object, and the like, The discharge amount may be measured by determining the volume.

（変形例１１）前記実施形態においては、液滴吐出装置１のヘッドユニット５４や液滴吐出装置３０１のヘッドユニット３５４は６個の液滴吐出ヘッド１７を備えていたが、ヘッドユニットが備える液滴吐出ヘッドの数は、６個に限らない。ヘッドユニットは、何個の液滴吐出ヘッドを備えていてもよい。   (Modification 11) In the embodiment described above, the head unit 54 of the droplet discharge device 1 and the head unit 354 of the droplet discharge device 301 include the six droplet discharge heads 17. The number of droplet discharge heads is not limited to six. The head unit may include any number of droplet discharge heads.

（変形例１２）前記実施形態においては、液状体吐出装置としての液滴吐出装置１は１組のヘッドユニット５４を備えており、液滴吐出装置３０１は１組のヘッドユニット３５４を備えていたが、液状体吐出装置が備えるヘッドユニットは１組に限らない。液状体吐出装置は、何組のヘッドユニットを備えていてもよい。   (Modification 12) In the above-described embodiment, the droplet discharge device 1 as a liquid material discharge device includes a set of head units 54, and the droplet discharge device 301 includes a set of head units 354. However, the head unit provided in the liquid material discharge device is not limited to one set. The liquid material ejection device may include any number of sets of head units.

（変形例１３）前記実施形態においては、温度調整素子１１１又は温度調整素子３１１と液滴吐出ヘッド１７との間で熱を伝える伝熱部材としての伝熱パターン１１４又は伝熱パターン３１４は、金属材料が箔状又は薄板状の形状に形成されたものをフィルムに挟んで基板状に形成されていたが、伝熱部材の形態は基板状のものに限らない。吐出ヘッドに接触させて熱を伝導させることが可能であれば、どのような形状であってもよい。伝熱部材を構成する材料も、熱伝導率が高い材料であれば、どのような材料であってもよい。   (Modification 13) In the embodiment, the heat transfer pattern 114 or the heat transfer pattern 314 as a heat transfer member for transferring heat between the temperature adjustment element 111 or the temperature adjustment element 311 and the droplet discharge head 17 is made of metal. Although the material is formed in a substrate shape with a film or a thin plate shape sandwiched between films, the form of the heat transfer member is not limited to the substrate shape. Any shape may be used as long as heat can be conducted by contacting the ejection head. The material constituting the heat transfer member may be any material as long as it has a high thermal conductivity.

（変形例１４）前記実施形態においては、温度調整素子１１１又は温度調整素子３１１と液滴吐出ヘッド１７との間で熱を伝える伝熱部材としての伝熱パターン１１４又は伝熱パターン３１４は、金属材料が箔状又は薄板状の形状に形成されたものをフィルムに挟んで基板状に形成されていたが、伝熱部材が金属などの固体であることは必須ではない。温度調整素子と液滴吐出ヘッドとの間に液状体の流路を設け、当該流路に液状体を循環させることによって、熱を伝える構成であってもよい。   (Modification 14) In the embodiment, the heat transfer pattern 114 or the heat transfer pattern 314 as a heat transfer member for transferring heat between the temperature adjustment element 111 or the temperature adjustment element 311 and the droplet discharge head 17 is a metal. Although the material is formed in a substrate shape with a film or a thin plate shape sandwiched between films, it is not essential that the heat transfer member is a solid such as a metal. A configuration may be adopted in which a flow path of a liquid material is provided between the temperature adjustment element and the droplet discharge head, and heat is transmitted by circulating the liquid material in the flow path.

（変形例１５）前記実施形態においては、温度調整素子１１１又は温度調整素子３１１と液滴吐出ヘッド１７との間で熱を伝える伝熱部材としての伝熱パターン１１４又は伝熱パターン３１４は、液滴吐出ヘッド１７のヘッド本体７４の外壁に熱伝導性に富む材料で形成された接着剤を用いて接着されていた。しかし、伝熱部材を吐出ヘッドに固定するために接着剤を用いることは必須ではない。熱伝導が良好に行えればどのような固着方法であってもよい。温度調整素子と伝熱部材との接続も、熱伝導が良好に行えればどのような接続方法であってもよい。   (Modification 15) In the above embodiment, the heat transfer pattern 114 or the heat transfer pattern 314 as a heat transfer member for transferring heat between the temperature adjustment element 111 or the temperature adjustment element 311 and the droplet discharge head 17 is a liquid It was bonded to the outer wall of the head main body 74 of the droplet discharge head 17 using an adhesive formed of a material having high thermal conductivity. However, it is not essential to use an adhesive to fix the heat transfer member to the ejection head. Any fixing method may be used as long as heat conduction can be performed satisfactorily. The connection between the temperature adjusting element and the heat transfer member may be any connection method as long as heat conduction can be performed satisfactorily.

（変形例１６）前記実施形態においては、液晶表示パネル２００のフィルタ膜２０５を形成する際の描画吐出について説明したが、形成する膜は、フィルタ膜に限らない。形成する膜は、液晶表示装置の画素電極膜や配向膜や対向電極膜や、カラーフィルタなどを保護するためなどに設けるオーバーコート膜などであってもよい。
形成する膜を有する装置、又は形成過程において膜を形成する必要がある装置も、液晶表示装置に限らない。上述したような膜を有する装置、又は形成過程において上記したような膜を形成する必要がある装置であれば、どのような装置であってもよい。例えば、有機ＥＬ表示装置にも適用できる。有機ＥＬ表示装置を製造する際に上述した液滴吐出装置を用いて形成する機能膜は、有機ＥＬ表示装置の正極電極膜や陰極電極膜、フォトエッチングなどによってパターンを形成するための膜や、フォトエッチングなどのフォトレジスト膜などであってもよい。 (Modification 16) In the above embodiment, the drawing discharge when forming the filter film 205 of the liquid crystal display panel 200 has been described. However, the film to be formed is not limited to the filter film. The film to be formed may be an overcoat film provided to protect a pixel electrode film, an alignment film, a counter electrode film, a color filter, or the like of a liquid crystal display device.
An apparatus having a film to be formed or an apparatus that needs to form a film in the formation process is not limited to a liquid crystal display device. Any device may be used as long as it is a device having a film as described above or a device that needs to form a film as described above in the formation process. For example, it can be applied to an organic EL display device. The functional film formed by using the above-described droplet discharge device when manufacturing the organic EL display device includes a positive electrode film and a cathode electrode film of the organic EL display device, a film for forming a pattern by photoetching, It may be a photoresist film such as photoetching.

（変形例１７）前記実施形態においては、液滴吐出装置１を使用して機能液を配置することで描画を実施する描画対象物の一例として、電気光学装置の一例であるカラーフィルタを備える液晶表示パネル２００について説明した。また、導電性材料からなる配線を有する配線基板２７０について説明した。しかし、描画対象物は電気光学装置や配線基板に限らない。上述した液状体吐出装置及び液状体吐出方法は、製造に際して様々な液状体を配置して加工を実施する様々な加工対象物を加工するための製造装置、及び製造方法として利用できる。例えば、半導体ウェハ、及び液状の導電材料を吐出する半導体装置の配線導電膜の加工方法又は加工装置、半導体ウェハ、及び液状の絶縁材料を吐出する半導体装置の絶縁層の加工方法又は加工装置などとして、利用することもできる。   (Modification 17) In the above-described embodiment, a liquid crystal including a color filter, which is an example of an electro-optical device, as an example of a drawing target on which drawing is performed by arranging a functional liquid using the droplet discharge device 1 The display panel 200 has been described. In addition, the wiring substrate 270 having the wiring made of the conductive material has been described. However, the drawing object is not limited to the electro-optical device or the wiring board. The liquid material discharge apparatus and the liquid material discharge method described above can be used as a manufacturing apparatus and a manufacturing method for processing various objects to be processed in which various liquid materials are arranged during manufacturing. For example, a processing method or processing apparatus for a wiring conductive film of a semiconductor device that discharges a semiconductor wafer and a liquid conductive material, a processing method or processing apparatus for an insulating layer of a semiconductor device that discharges a semiconductor wafer or a liquid insulating material, etc. Can also be used.

（変形例１８）前記実施形態においては、液晶表示パネル２００が備えるＣＦ層２０８は、赤色フィルタ膜２０５Ｒ、緑色フィルタ膜２０５Ｇ、及び青色フィルタ膜２０５Ｂの３色のフィルタ膜を有する３色フィルタであったが、カラーフィルタは、さらに多くの種類のフィルタ膜を有する多色のカラーフィルタであってもよい。多色のカラーフィルタとしては、例えば、赤色、緑色、青色に加えて赤色、緑色、青色の補色のシアン（青緑）、マゼンタ（紫赤）、イエロー（黄色）の有機ＥＬ素子を有する６色カラーフィルタや、シアン（青緑）、マゼンタ（紫赤）、イエロー（黄色）の３色に緑色を加えた４色カラーフィルタなどがあげられる。   (Modification 18) In the above embodiment, the CF layer 208 provided in the liquid crystal display panel 200 is a three-color filter having three color filter films: a red filter film 205R, a green filter film 205G, and a blue filter film 205B. However, the color filter may be a multicolor color filter having more types of filter films. As the multicolor filter, for example, six colors including organic EL elements of cyan (blue green), magenta (purple red), and yellow (yellow) which are complementary colors of red, green and blue in addition to red, green and blue. Examples include a color filter and a four-color filter in which green is added to three colors of cyan (blue green), magenta (purple red), and yellow (yellow).

（変形例１９）前記実施形態においては、膜形成区画、機能膜区画、又は色要素領域としてのフィルタ膜領域２２５などは長方形であったが、膜形成区画、機能膜区画、又は色要素領域が長方形であることは必須ではない。近年、表示特性を向上させるために、画素の形状が長方形とは異なる表示装置も考案されている。膜形成区画、機能膜区画、又は色要素領域の形状は、形状が長方形とは異なる画素などを形成することができる形状のものであってもよい。   (Modification 19) In the above embodiment, the film forming section, the functional film section, or the filter film area 225 as the color element area is rectangular, but the film forming section, the functional film section, or the color element area is It is not essential to be rectangular. In recent years, in order to improve display characteristics, display devices having pixel shapes different from rectangular shapes have been devised. The shape of the film forming section, the functional film section, or the color element region may be a shape capable of forming a pixel or the like whose shape is different from the rectangle.

（変形例２０）前記実施形態においては、一つの膜形成領域、機能膜領域、又はフィルタ領域膜においては、膜形成区画、機能膜区画、又は色要素領域としてのフィルタ膜領域２２５などは同じ大きさ及び形状であった。しかし、一つの膜形成領域、機能膜領域、又はフィルタ領域膜においては、膜形成区画、機能膜区画、又は色要素領域が単一の大きさ及び形状であることは必須ではない。例えば、４色カラーフィルタにおける表示の最小単位を構成する色要素の各色の大きさを光源の特性に合わせて異ならせたような、異なる大きさの膜形成区画、機能膜区画、又は色要素領域を有する膜形成領域、機能膜領域、又はフィルタ領域膜であってもよい。   (Modification 20) In the above-described embodiment, in one film formation region, functional film region, or filter region film, the film formation region, the functional film region, the filter film region 225 as the color element region, etc. are the same size. And shape. However, in one film formation region, functional film region, or filter region film, it is not essential that the film formation section, the functional film section, or the color element region have a single size and shape. For example, film formation sections, functional film sections, or color element areas of different sizes, such that the sizes of the colors of the color elements constituting the minimum display unit in the four-color filter are different according to the characteristics of the light source It may be a film forming region, a functional film region, or a filter region film.

（変形例２１）前記実施形態においては、液滴吐出装置１及び液滴吐出装置３０１は、マザー対向基板２０１Ａなどを載置したワーク載置台２１を主走査方向に移動させると共に、液滴吐出ヘッド１７から機能液を吐出させることによって機能液を配置していた。また、ヘッドユニット５４又はヘッドユニット３５４を副走査方向に移動することによって、マザー対向基板２０１Ａなどに対する液滴吐出ヘッド１７（吐出ノズル７８）の位置を合わせこんでいた。しかし、配置ヘッドとしての液滴吐出ヘッドとマザー基板との、主走査方向の相対移動をマザー基板を移動させることで実施することも、副走査方向の相対移動を吐出ヘッドを移動させることで実施することも、必須ではない。
吐出ヘッドとマザー基板との、主走査方向の相対移動を吐出ヘッドを主走査方向に移動させることで実施してもよい。吐出ヘッドとマザー基板との、副走査方向の相対移動をマザー基板を副走査方向に移動させることで実施してもよい。あるいは、吐出ヘッドとマザー基板との、主走査方向及び副走査方向の相対移動を、吐出ヘッド、又はマザー基板のどちらか一方を、主走査方向及び副走査方向に移動させることで実施してもよいし、吐出ヘッド、又はマザー基板の両方を、主走査方向及び副走査方向に移動させることで実施してもよい。 (Modification 21) In the embodiment described above, the droplet discharge device 1 and the droplet discharge device 301 move the workpiece mounting table 21 on which the mother counter substrate 201A and the like are mounted in the main scanning direction, and also the droplet discharge head. The functional liquid was arranged by discharging the functional liquid from 17. Further, by moving the head unit 54 or the head unit 354 in the sub-scanning direction, the position of the droplet discharge head 17 (discharge nozzle 78) with respect to the mother counter substrate 201A and the like is adjusted. However, the relative movement in the main scanning direction between the droplet discharge head as the placement head and the mother substrate can be performed by moving the mother substrate, and the relative movement in the sub-scanning direction can also be performed by moving the discharge head. It is not essential to do.
The relative movement in the main scanning direction between the ejection head and the mother substrate may be performed by moving the ejection head in the main scanning direction. The relative movement between the ejection head and the mother substrate in the sub-scanning direction may be performed by moving the mother substrate in the sub-scanning direction. Alternatively, the relative movement of the ejection head and the mother substrate in the main scanning direction and the sub-scanning direction may be performed by moving either the ejection head or the mother substrate in the main scanning direction and the sub-scanning direction. Alternatively, both the ejection head and the mother substrate may be moved in the main scanning direction and the sub scanning direction.

（変形例２２）前記実施形態においては、機能液をマザー対向基板２０１Ａなどに配置する液状体吐出装置として、インクジェット方式の液滴吐出ヘッド１７を備える液滴吐出装置１又は液滴吐出装置３０１を例に説明したが、液状体吐出装置が液滴吐出装置であることは必須ではない。液状体吐出装置としては、例えば、ディスペンサを備える吐出装置なども用いることができる。大面積の膜形成区画に大量の膜材料を配置する必要がある場合には、液滴吐出ヘッドより単位時間あたりの吐出量が多いディスペンサを用いることが有用である。   (Modification 22) In the above-described embodiment, the liquid droplet discharge device 1 or the droplet discharge device 301 provided with the ink jet type liquid droplet discharge head 17 is used as the liquid material discharge device that places the functional liquid on the mother counter substrate 201A or the like. Although described as an example, it is not essential that the liquid material ejection device is a droplet ejection device. As the liquid material discharge device, for example, a discharge device including a dispenser can be used. When it is necessary to dispose a large amount of film material in a large-area film formation section, it is useful to use a dispenser having a larger discharge amount per unit time than the droplet discharge head.

第一の実施形態における液滴吐出装置の概略構成を示す平面図。1 is a plan view showing a schematic configuration of a droplet discharge device according to a first embodiment. 液滴吐出装置の概略構成を示す側面図。The side view which shows schematic structure of a droplet discharge apparatus. （ａ）は、液滴吐出ヘッドをノズルプレート側から見た外観斜視図。（ｂ）は、液滴吐出ヘッドの圧力室周りの構造を示す斜視断面図。（ｃ）は、液滴吐出ヘッドの吐出ノズル部の構造を示す断面図。(A) is the external appearance perspective view which looked at the droplet discharge head from the nozzle plate side. (B) is a perspective sectional view showing a structure around a pressure chamber of a droplet discharge head. FIG. 6C is a cross-sectional view showing the structure of the discharge nozzle portion of the droplet discharge head. ヘッドユニットの概略構成を示す平面図。FIG. 2 is a plan view showing a schematic configuration of a head unit. 検査描画ユニットの全体構成を示す外観斜視図。The external appearance perspective view which shows the whole structure of a test | inspection drawing unit. （ａ）は、重量測定ユニットの部分及びフラッシングユニットの部分を含む重量測定ブロックの平面図。（ｂ）は、重量測定ブロックの側面図。(A) is a top view of the weight measurement block containing the part of a weight measurement unit and the part of a flushing unit. (B) is a side view of a weight measurement block. 液滴吐出装置の電気的構成を示す電気構成ブロック図。FIG. 3 is an electrical configuration block diagram showing an electrical configuration of the droplet discharge device. 液滴吐出ヘッドの電気的構成と信号の流れを示す説明図。Explanatory drawing which shows the electrical structure and signal flow of a droplet discharge head. （ａ）は、圧電素子に印加する駆動信号の駆動波形の基本波形を示す図。（ｂ）は、駆動波形に対応した圧電素子の動作による液滴吐出ヘッドの吐出動作を示す模式断面図。(A) is a figure which shows the basic waveform of the drive waveform of the drive signal applied to a piezoelectric element. (B) is a schematic cross-sectional view showing the discharge operation of the droplet discharge head by the operation of the piezoelectric element corresponding to the drive waveform. 液晶表示パネルの概略構成を示す分解斜視図。The disassembled perspective view which shows schematic structure of a liquid crystal display panel. （ａ）は、対向基板の平面構造を模式的に示す平面図。（ｂ）は、マザー対向基板の平面構造を模式的に示す平面図。(A) is a top view which shows typically the planar structure of a counter substrate. (B) is a top view which shows typically the planar structure of a mother opposing substrate. ３色カラーフィルタのフィルタ膜の配列例を示す模式平面図。The schematic plan view which shows the example of an arrangement | sequence of the filter film | membrane of a 3 color filter. 液晶表示パネルを形成する過程を示すフローチャート。The flowchart which shows the process in which a liquid crystal display panel is formed. 液晶表示パネルを形成する過程におけるフィルタ膜を形成する工程などを示す断面図。Sectional drawing which shows the process etc. which form the filter film in the process of forming a liquid crystal display panel. 液晶表示パネルを形成する過程における配向膜を形成する工程などを示す断面図。Sectional drawing which shows the process etc. which form the alignment film in the process of forming a liquid crystal display panel. 配線基板のマザー基板を示す概略平面図。The schematic plan view which shows the mother board | substrate of a wiring board. 機能液を配置する工程を示すフローチャート。The flowchart which shows the process of arrange | positioning a functional liquid. （ａ）は、吐出量とヘッド温度との関係を示すグラフ。（ｂ）は、描画吐出を実施している時間とヘッド温度との関係を示すグラフ。（ｃ）は、暖機駆動及び描画吐出を実施している時間とヘッド温度との関係を示すグラフ。（ｄ）は、暖機駆動電圧を推定する方法を示すグラフ。(A) is a graph which shows the relationship between discharge amount and head temperature. (B) is a graph showing the relationship between the time during which drawing ejection is performed and the head temperature. (C) is a graph showing the relationship between the time during which warm-up driving and drawing discharge are performed and the head temperature. (D) is a graph which shows the method of estimating warm-up drive voltage. （ａ）は、キャリッジプレートに取り付けられた液滴吐出ヘッド及び温度調整ユニットをノズルプレート側からみた平面図。（ｂ）は、（ａ）にＡ−Ａで示した断面の断面図。（ｃ）は、キャリッジプレートに取り付けられた液滴吐出ヘッド及び温度調整ユニットの側面図。（ｄ）は、キャリッジプレートに取り付けられた温度調整ユニットの側面図。（ｅ）は、温度調整ユニットの端子基板の平面図。(A) is the top view which looked at the droplet discharge head and temperature control unit attached to the carriage plate from the nozzle plate side. (B) is sectional drawing of the cross section shown by AA in (a). (C) is a side view of a droplet discharge head and a temperature adjustment unit attached to a carriage plate. FIG. 4D is a side view of the temperature adjustment unit attached to the carriage plate. (E) is a top view of the terminal board of a temperature control unit. 液滴吐出装置の電気的構成を示す電気構成ブロック図。FIG. 3 is an electrical configuration block diagram showing an electrical configuration of the droplet discharge device. 機能液を配置する工程を示すフローチャート。The flowchart which shows the process of arrange | positioning a functional liquid. （ａ）は、温度調整ユニットの端子基板の平面図。（ｂ）は、キャリッジプレートに取り付けられた液滴吐出ヘッド及び温度調整ユニットの側面図。（ｃ）は、キャリッジプレートに取り付けられた液滴吐出ヘッド及び温度調整ユニットをノズルプレート側からみた平面図。(A) is a top view of the terminal board of a temperature control unit. FIG. 6B is a side view of the droplet discharge head and the temperature adjustment unit attached to the carriage plate. FIG. 6C is a plan view of the droplet discharge head and the temperature adjustment unit attached to the carriage plate when viewed from the nozzle plate side. 電子機器の一例である大型液晶テレビを示す外観斜視図。1 is an external perspective view showing a large-sized liquid crystal television that is an example of an electronic apparatus.

符号の説明Explanation of symbols

１，３０１…液滴吐出装置、６，３０６…吐出装置制御部、１７…液滴吐出ヘッド、４４…ＣＰＵ、４５…ＲＯＭ、４６…ＲＡＭ、５３…キャリッジプレート、５４…ヘッドユニット、６８…入出力装置、７４…ヘッド本体、７５…ポンプ部、７６…ノズルプレート、７８…吐出ノズル、７８Ａ…ノズル列、９１…重量測定装置、１１０…温度調整ユニット、１１１…温度調整素子、１１２…端子基板、１１４…伝熱パターン、１４２…ヘッド温度センサ、１５１…圧力室プレート、１５２…振動板、１５８…圧力室、１５９…圧電素子、２００…液晶表示パネル、２０１Ａ…マザー対向基板、２０５…フィルタ膜、２１８…配向膜、３１０…温度調整ユニット、３１１…温度調整素子、３１２…端子基板、４００…大型液晶テレビ、４０１…表示部。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1,301 ... Droplet discharge device, 6,306 ... Discharge device control part, 17 ... Droplet discharge head, 44 ... CPU, 45 ... ROM, 46 ... RAM, 53 ... Carriage plate, 54 ... Head unit, 68 ... On Output device 74 ... head body 75 ... pump unit 76 ... nozzle plate 78 ... discharge nozzle 78A ... nozzle row 91 ... weight measuring device 110 ... temperature adjustment unit 111 ... temperature adjustment element 112 ... terminal substrate , 114 ... Heat transfer pattern, 142 ... Head temperature sensor, 151 ... Pressure chamber plate, 152 ... Vibration plate, 158 ... Pressure chamber, 159 ... Piezoelectric element, 200 ... Liquid crystal display panel, 201A ... Mother counter substrate, 205 ... Filter film 218 ... Alignment film 310 ... Temperature adjustment unit 311 ... Temperature adjustment element 312 ... Terminal substrate 400 ... Large liquid crystal television 401 The display unit.

Claims (22)

液状体を吐出する吐出手段と前記液状体が吐出される被吐出物とを相対移動させ、前記被吐出物に所定のパターンを形成する液状体吐出装置であって、
前記吐出手段の前記所定のパターン形成時の温度を取得する温度取得手段と、
前記吐出手段の温度を調整する温度調整手段と、を備え、
前記温度調整手段は、前記所定のパターン形成を開始する時点における前記吐出手段の温度を、前記所定のパターン形成時の温度に調整することを特徴とする液状体吐出装置。 A liquid discharge device that forms a predetermined pattern on the discharge object by relatively moving a discharge means for discharging the liquid and a discharge object to which the liquid is discharged,
Temperature acquisition means for acquiring a temperature at the time of forming the predetermined pattern of the discharge means;
Temperature adjusting means for adjusting the temperature of the discharge means,
The temperature adjusting means adjusts the temperature of the discharge means at the time of starting the predetermined pattern formation to the temperature at the time of the predetermined pattern formation. 液状体を吐出する吐出手段と前記液状体が吐出される被吐出物とを相対移動させ、前記被吐出物に所定のパターンを形成する液状体吐出装置であって、
前記液状体の前記所定のパターン形成時の温度を取得する温度取得手段と、
前記液状体の温度を調整する温度調整手段と、を備え、
前記温度調整手段は、前記所定のパターン形成を開始する時点における前記液状体の温度を、前記所定のパターン形成時の温度に調整することを特徴とする液状体吐出装置。 A liquid discharge device that forms a predetermined pattern on the discharge object by relatively moving a discharge means for discharging the liquid and a discharge object to which the liquid is discharged,
Temperature acquisition means for acquiring a temperature at the time of forming the predetermined pattern of the liquid,
Temperature adjusting means for adjusting the temperature of the liquid material,
The temperature adjusting means adjusts the temperature of the liquid material at the time of starting the predetermined pattern formation to the temperature at the time of the predetermined pattern formation. 前記温度調整手段は、前記吐出手段を暖機駆動させることによって、前記吐出手段又は前記液状体の温度を、前記所定のパターン形成時の温度に調整することを特徴とする、請求項１又は２に記載の液状体吐出装置。   The temperature adjusting means adjusts the temperature of the discharge means or the liquid material to a temperature at the time of forming the predetermined pattern by driving the discharge means to warm up. The liquid material discharge device according to 1. 前記温度取得手段は、前記暖機駆動の２種類以上の異なる暖機駆動条件において暖機駆動を実施することによって、前記所定のパターン形成時の温度を推定することを特徴とする、請求項３に記載の液状体吐出装置。   The temperature acquisition unit estimates the temperature at the time of forming the predetermined pattern by performing warm-up driving under two or more different warm-up driving conditions of the warm-up driving. The liquid material discharge device according to 1. 前記暖機駆動の暖機駆動条件を求める暖機条件設定手段をさらに備え、前記暖機条件設定手段は、２種類以上の異なる前記暖機駆動条件において前記暖機駆動を実施することによって、前記吐出手段又は前記液状体の温度が前記所定のパターン形成時の温度となる前記暖機駆動条件を推定することを特徴とする、請求項３に記載の液状体吐出装置。   Further comprising a warm-up condition setting means for obtaining a warm-up drive condition of the warm-up drive, wherein the warm-up condition setting means performs the warm-up drive in two or more different warm-up drive conditions, The liquid discharge apparatus according to claim 3, wherein the warm-up driving condition in which the temperature of the discharge unit or the liquid is the temperature at the time of forming the predetermined pattern is estimated. 前記温度調整手段は、前記吐出手段又は前記液状体の温度を測定する温度測定手段をさらに有し、前記温度測定手段の測定結果に応じて前記吐出手段を暖機駆動させることによって、前記吐出手段又は前記液状体の温度を、前記所定のパターン形成時の温度に調整することを特徴とする請求項３乃至５のいずれか一項に記載の液状体吐出装置。   The temperature adjusting means further includes a temperature measuring means for measuring the temperature of the discharging means or the liquid material, and the discharging means is warmed up according to the measurement result of the temperature measuring means, whereby the discharging means 6. The liquid material ejection apparatus according to claim 3, wherein the temperature of the liquid material is adjusted to a temperature at the time of forming the predetermined pattern. 前記温度調整手段は、加熱手段又は冷却手段であって、前記吐出手段又は前記液状体を加熱又は冷却することによって、前記吐出手段又は前記液状体の温度を、前記所定のパターン形成時の温度に調整することを特徴とする、請求項１又は２に記載の液状体吐出装置。   The temperature adjusting means is a heating means or a cooling means, and by heating or cooling the discharge means or the liquid material, the temperature of the discharge means or the liquid material is changed to a temperature at the time of forming the predetermined pattern. It adjusts, The liquid discharger of Claim 1 or 2 characterized by the above-mentioned. 前記温度取得手段は、前記所定のパターン形成を開始する時点における前記吐出手段又は前記液状体の温度を２種類以上の異なる温度に調整し、それぞれの温度の場合における前記所定のパターン形成を実施する際の温度変化によって、前記所定のパターン形成時の温度を推定することを特徴とする、請求項７に記載の液状体吐出装置。   The temperature acquisition means adjusts the temperature of the discharge means or the liquid material at the time of starting the predetermined pattern formation to two or more different temperatures, and performs the predetermined pattern formation at each temperature. 8. The liquid material ejecting apparatus according to claim 7, wherein a temperature at the time of forming the predetermined pattern is estimated by a temperature change at the time. 前記温度調整手段は、前記吐出手段又は前記液状体の温度を測定する温度測定手段をさらに有し、前記加熱手段又は前記冷却手段は、前記温度測定手段の測定結果に応じて前記吐出手段又は前記液状体を加熱又は冷却することによって、前記吐出手段又は前記液状体の温度を、前記所定のパターン形成時の温度に調整することを特徴とする、請求項７に記載の液状体吐出装置。   The temperature adjusting unit further includes a temperature measuring unit that measures the temperature of the discharging unit or the liquid material, and the heating unit or the cooling unit is configured to output the discharging unit or the cooling unit according to a measurement result of the temperature measuring unit. The liquid discharge apparatus according to claim 7, wherein the temperature of the discharge means or the liquid is adjusted to a temperature at the time of forming the predetermined pattern by heating or cooling the liquid. 液状体を吐出する吐出手段と前記液状体が吐出される被吐出物とを相対移動させ、前記被吐出物に所定のパターンを形成する液状体吐出方法であって、
前記吐出手段の前記所定のパターン形成時の温度を取得する温度取得工程と、
前記吐出手段の温度を調整する温度調整工程と、を有し、
前記温度調整工程において、前記所定のパターン形成を開始する時点における前記吐出手段の温度を、前記所定のパターン形成時の温度に調整することを特徴とする液状体吐出方法。 A liquid discharge method for forming a predetermined pattern on the discharge object by relatively moving the discharge means for discharging the liquid and the discharge object to which the liquid is discharged,
A temperature acquisition step of acquiring a temperature at the time of forming the predetermined pattern of the ejection unit;
Adjusting the temperature of the discharge means, and
In the temperature adjusting step, the temperature of the discharge unit at the time of starting the predetermined pattern formation is adjusted to the temperature at the time of the predetermined pattern formation. 液状体を吐出する吐出手段と前記液状体が吐出される被吐出物とを相対移動させ、前記被吐出物に所定のパターンを形成する液状体吐出方法であって、
前記所定のパターン形成時における前記液状体の温度を取得する温度取得工程と、
前記液状体の温度を調整する温度調整工程と、を有し、
前記温度調整工程において、前記所定のパターン形成を開始する時点における前記液状体の温度を、前記所定のパターン形成時の温度に調整することを特徴とする液状体吐出方法。 A liquid discharge method for forming a predetermined pattern on the discharge object by relatively moving the discharge means for discharging the liquid and the discharge object to which the liquid is discharged,
A temperature acquisition step of acquiring the temperature of the liquid material at the time of forming the predetermined pattern;
A temperature adjusting step for adjusting the temperature of the liquid material,
In the temperature adjustment step, the temperature of the liquid material at the time of starting the predetermined pattern formation is adjusted to the temperature at the time of the predetermined pattern formation. 前記温度調整工程において、前記吐出手段を暖機駆動させることによって、前記吐出手段又は前記液状体の温度を、前記所定のパターン形成時の温度に調整することを特徴とする、請求項１０又は１１に記載の液状体吐出方法。   12. The temperature adjustment step, wherein the temperature of the discharge unit or the liquid material is adjusted to a temperature at the time of forming the predetermined pattern by driving the discharge unit to warm up. The liquid discharge method as described in 1. 前記温度取得工程は、第一の暖機駆動条件において暖機駆動を実施した後に前記所定のパターンを形成する工程と、前記第一の暖機駆動条件とは異なる第二の暖機駆動条件において前記暖機駆動を実施した後に前記所定のパターンを形成する工程と、を有し、
それぞれの工程における前記所定のパターンを形成する際の前記吐出手段又は前記液状体の温度変化によって、前記所定のパターン形成時の温度を推定することを特徴とする、請求項１２に記載の液状体吐出方法。 The temperature acquisition step includes a step of forming the predetermined pattern after performing warm-up drive under the first warm-up drive condition, and a second warm-up drive condition different from the first warm-up drive condition. Forming the predetermined pattern after performing the warm-up drive,
The liquid material according to claim 12, wherein a temperature at the time of forming the predetermined pattern is estimated by a temperature change of the ejection unit or the liquid material at the time of forming the predetermined pattern in each step. Discharge method. 前記暖機駆動の暖機駆動条件を求める暖機条件設定工程をさらに有し、前記暖機条件設定工程は、第一の暖機駆動条件において前記暖機駆動を実施した後に前記所定のパターンを形成する工程と、前記第一の暖機駆動条件とは異なる第二の暖機駆動条件において前記暖機駆動を実施した後に前記所定のパターンを形成する工程と、それぞれの工程における前記所定のパターンを形成する際の前記吐出手段又は前記液状体の温度変化によって、前記暖機駆動を実施することで前記吐出手段又は前記液状体の温度が前記所定のパターン形成時の温度となる前記暖機駆動条件を推定する工程と、を有することを特徴とする、請求項１２に記載の液状体吐出方法。   A warm-up condition setting step for obtaining a warm-up drive condition for the warm-up drive, wherein the warm-up condition setting step performs the predetermined pattern after performing the warm-up drive in a first warm-up drive condition; Forming the predetermined pattern after performing the warm-up drive under a second warm-up drive condition different from the first warm-up drive condition, and the predetermined pattern in each step The warm-up drive in which the temperature of the discharge means or the liquid material becomes the temperature at the time of forming the predetermined pattern by performing the warm-up drive according to the temperature change of the discharge means or the liquid material when forming the liquid The liquid material discharging method according to claim 12, further comprising a step of estimating a condition. 前記温度調整工程は、前記吐出手段又は前記液状体の温度を測定する温度測定工程を含み、前記温度測定工程における測定結果に応じて前記吐出手段を暖機駆動させることによって、前記吐出手段又は前記液状体の温度を、前記所定のパターン形成時の温度に調整することを特徴とする、請求項１２に記載の液状体吐出方法。   The temperature adjustment step includes a temperature measurement step of measuring the temperature of the discharge means or the liquid material, and the discharge means or the temperature control step is performed by driving the discharge means in accordance with a measurement result in the temperature measurement step. The method of discharging a liquid material according to claim 12, wherein the temperature of the liquid material is adjusted to a temperature at the time of forming the predetermined pattern. 前記温度調整工程では、前記吐出手段又は前記液状体を加熱又は冷却することによって、前記吐出手段又は前記液状体の温度を、前記所定のパターン形成時の温度に調整することを特徴とする、請求項１０又は１１に記載の液状体吐出方法。   The temperature adjustment step adjusts the temperature of the discharge means or the liquid material to a temperature at the time of forming the predetermined pattern by heating or cooling the discharge means or the liquid material. Item 12. The liquid discharge method according to Item 10 or 11. 前記温度取得工程では、前記所定のパターン形成を開始する時点における前記吐出手段又は前記液状体の温度を２種類以上の異なる温度に調整し、それぞれの温度の場合における前記所定のパターン形成を実施する際の温度変化によって、前記所定のパターン形成時の温度を推定することを特徴とする、請求項１６に記載の液状体吐出方法。   In the temperature acquisition step, the temperature of the ejection unit or the liquid material at the time of starting the predetermined pattern formation is adjusted to two or more different temperatures, and the predetermined pattern formation is performed at each temperature. The liquid discharge method according to claim 16, wherein a temperature at the time of forming the predetermined pattern is estimated based on a change in temperature at the time. 前記温度調整工程は、前記吐出手段又は前記液状体の温度を測定する温度測定工程をさらに有し、前記温度測定工程における測定結果に応じて前記吐出手段又は前記液状体を加熱又は冷却することによって、前記吐出手段又は前記液状体の温度を、前記所定のパターン形成時の温度に調整することを特徴とする、請求項１６に記載の液状体吐出方法。   The temperature adjustment step further includes a temperature measurement step for measuring the temperature of the discharge means or the liquid material, and heating or cooling the discharge means or the liquid material according to a measurement result in the temperature measurement step. The liquid discharge method according to claim 16, wherein the temperature of the discharge means or the liquid is adjusted to a temperature at the time of forming the predetermined pattern. 請求項１乃至９のいずれか一項に記載の液状体吐出装置を備え、当該液状体吐出装置を用いて電気光学装置を構成する機能膜を形成することを特徴とする、電気光学装置の製造装置。   10. An electro-optical device manufacturing method comprising: the liquid material discharge device according to claim 1; and forming a functional film constituting the electro-optical device using the liquid material discharge device. apparatus. 請求項１乃至９のいずれか一項に記載の液状体吐出装置、又は請求項１０乃至１８のいずれか一項に記載の液状体吐出方法を用いて電気光学装置を構成する機能膜を形成することを特徴とする、電気光学装置の製造方法。   A functional film constituting an electro-optical device is formed using the liquid material discharge device according to any one of claims 1 to 9 or the liquid material discharge method according to any one of claims 10 to 18. A method of manufacturing an electro-optical device. 請求項１乃至９のいずれか一項に記載の液状体吐出装置を備え、当該液状体吐出装置を用いて電子機器を構成する機能膜を形成することを特徴とする、電子機器の製造装置。   An apparatus for manufacturing an electronic device, comprising the liquid material discharge device according to claim 1, wherein a functional film constituting the electronic device is formed using the liquid material discharge device. 請求項１乃至９のいずれか一項に記載の液状体吐出装置、又は請求項１０乃至１８のいずれか一項に記載の液状体吐出方法を用いて電子機器を構成する機能膜を形成することを特徴とする、電子機器の製造方法。   A functional film constituting an electronic device is formed by using the liquid discharge device according to any one of claims 1 to 9 or the liquid discharge method according to any one of claims 10 to 18. A method for manufacturing an electronic device, characterized by:
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