JP2006167544A - Method for measuring discharge amount from functional liquid droplet discharging head, method for controlling drive of the same head, apparatus for measuring discharge amount from the same head, apparatus for discharging liquid droplet, method for manufacturing electro-optical device, electro-optical device and electronic equipment - Google Patents

Method for measuring discharge amount from functional liquid droplet discharging head, method for controlling drive of the same head, apparatus for measuring discharge amount from the same head, apparatus for discharging liquid droplet, method for manufacturing electro-optical device, electro-optical device and electronic equipment Download PDF

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佳彦 牛山
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for measuring the discharge amount from a functional liquid droplet discharging head, or the like by which the amount of a functional liquid to be discharged from a group of nozzles, which are to be measured, per the unit shot number can be measured correctly by weight in a short time. <P>SOLUTION: A functional liquid droplet is discharged from effective nozzles 65a of n pieces by a plurality of shots until the discharged functional liquid droplet reaches the weight measurable by a weight measuring means 91 and the discharged amount of the functional liquid over the plurality of shots is measured by weight. The functional liquid droplet is discharged from the nozzles of (n-m) pieces to be not measured being the effective nozzles other than the nozzles 65c of m pieces to be measured by a plurality of shots until the discharged functional liquid droplet reaches the weight measurable by the weight measuring means 91 and the discharged amount of the functional liquid over the plurality of shots is measured by weight. The amount of the functional liquid to be discharged from the group 66 of the nozzles, which are to be measured, per the unit shot number is calculated on the basis of a difference between the measured weight of the amount of both functional liquid to be discharged. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、機能液滴吐出ヘッドからの機能液吐出量を重量測定する機能液滴吐出ヘッドの吐出量測定方法、機能液滴吐出ヘッドの駆動制御方法、機能液滴吐出ヘッドの吐出量測定装置、液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器に関するものである。   The present invention relates to a method for measuring a discharge amount of a functional liquid droplet discharge head for measuring a weight of a functional liquid discharge amount from the functional liquid droplet discharge head, a drive control method for the functional liquid droplet discharge head, and a discharge amount measuring apparatus for the functional liquid droplet discharge head The present invention relates to a droplet discharge device, a method for manufacturing an electro-optical device, an electro-optical device, and an electronic apparatus.

従来、複数のノズルを有する機能液滴吐出ヘッド（インクジェットヘッド）を用いて、液晶表示装置のカラーフィルタ等を製造する場合、複数の画素領域（カラーフィルター領域）内に吐出・着弾させる機能液量を均一にして、色ムラのないカラーフィルタとすることが求められている。そのため、機能液滴吐出ヘッドの各ノズル毎の機能液吐出量を重量測定し、その測定結果に基づいて、各ノズルの吐出駆動を制御することが行われている（例えば、特許文献１参照）。
特開平１１−２４８９２５号公報（図９） Conventionally, when manufacturing a color filter or the like of a liquid crystal display device using a functional liquid droplet ejection head (inkjet head) having a plurality of nozzles, the amount of functional liquid ejected and landed in a plurality of pixel areas (color filter areas) Is required to be a uniform color filter with no color unevenness. For this reason, the functional liquid discharge amount for each nozzle of the functional liquid droplet discharge head is measured by weight, and the discharge drive of each nozzle is controlled based on the measurement result (see, for example, Patent Document 1). .
Japanese Patent Laid-Open No. 11-248925 (FIG. 9)

ところで、このような機能液吐出量の重量測定に用いられる分析用精密電子天秤の最小表示は、通常、０．１ｍｇであるため、有効数字２桁の正確さで秤量するためには、数ｍｇ以上の重量が必要とされている。しかしながら、機能液滴吐出ヘッドの各ノズルから吐出される１ショット当たりの機能液滴の重量は、数ｎｇ（ナノグラム）程度であるから、単一の測定対象ノズルから数ｍｇの機能液を吐出させるには、百万ショット以上の機能液滴を吐出する必要がある。そのため、通常の吐出周波数１０ｋＨｚで計測可能な機能液の重量に達するまでには、数分間を要し、この測定を全ノズル（例えば１８０個）についてそれぞれ行うと、長時間（数時間以上）を要していた。   By the way, since the minimum display of the analytical precision electronic balance used for the weight measurement of the functional liquid discharge amount is usually 0.1 mg, in order to weigh with accuracy of two significant figures, several mg More weight is needed. However, since the weight of the functional liquid droplet per shot ejected from each nozzle of the functional liquid droplet ejection head is about several ng (nanogram), several mg of functional liquid is ejected from a single measurement target nozzle. It is necessary to eject one million or more functional droplets. For this reason, it takes several minutes to reach the weight of the functional liquid that can be measured at a normal discharge frequency of 10 kHz. If this measurement is performed for all nozzles (for example, 180 nozzles), a long time (several hours or more) is required. It was necessary.

さらに、機能液滴吐出ヘッドの各ノズルからの機能液吐出量は、同時に吐出させるノズルの個数が多いほど、駆動電流不足等により、減少する傾向にある。そのため、複数のノズルのうち単一の測定対象ノズルから機能液を吐出させた場合の機能液吐出量の測定結果は、複数のノズルから同時に機能液を吐出させた場合の当該測定対象ノズルからの機能液吐出量より多い吐出量を示すことになる。したがって、その測定結果に基づいて、測定対象ノズルの吐出駆動を制御したとしても、複数のノズルから同時に機能液を吐出させる描画処理において、測定対象ノズルからは、所望の機能液吐出量よりも少ない機能液を吐出させる結果となり、問題となっていた。   Furthermore, the functional liquid ejection amount from each nozzle of the functional liquid droplet ejection head tends to decrease as the number of nozzles ejected simultaneously increases due to insufficient driving current or the like. Therefore, the measurement result of the functional liquid discharge amount when the functional liquid is discharged from a single measurement target nozzle among the plurality of nozzles is the measurement result from the measurement target nozzle when the functional liquid is discharged simultaneously from the plurality of nozzles. This indicates a discharge amount larger than the functional liquid discharge amount. Therefore, even if the ejection drive of the measurement target nozzle is controlled based on the measurement result, in the drawing process in which the functional liquid is simultaneously ejected from a plurality of nozzles, the measurement target nozzle has a smaller amount than the desired functional liquid ejection amount. As a result, functional fluid was discharged, which was a problem.

本発明は、測定対象ノズル群から吐出される単位ショット数当たりの機能液吐出量を、短時間且つ正確に重量測定することができる機能液滴吐出ヘッドの吐出量測定方法、機能液滴吐出ヘッドの駆動制御方法、機能液滴吐出ヘッドの吐出量測定装置、液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器を提供することを目的とする。   The present invention relates to a method for measuring a discharge amount of a functional liquid droplet discharge head capable of accurately measuring a weight of a functional liquid discharge amount per unit shot discharged from a measurement target nozzle group in a short time and a functional liquid droplet discharge head It is an object of the present invention to provide a drive control method, a discharge amount measuring device for a functional droplet discharge head, a droplet discharge device, a method for manufacturing an electro-optical device, an electro-optical device, and an electronic apparatus.

本発明の機能液滴吐出ヘッドの吐出量測定方法は、機能液滴吐出ヘッドのｎ個の有効ノズルのうちの、測定対象となるｍ個（ｎ＞２ｍ）の測定対象ノズルにより構成される測定対象ノズル群から吐出される単位ショット数当たりの機能液吐出量を重量測定する機能液滴吐出ヘッドの吐出量測定方法であって、重量計測手段により計測可能な重量に達するように、ｎ個の有効ノズルからそれぞれ複数ショットの機能液滴を吐出させ、当該複数ショットに亘る機能液吐出量を重量測定する第１測定工程と、重量計測手段により計測可能な重量に達するように、ｍ個の測定対象ノズル以外の有効ノズルである（ｎ−ｍ）個の測定対象外ノズルからそれぞれ複数ショットの機能液滴を吐出させ、当該複数ショットに亘る機能液吐出量を重量測定する第２測定工程と、第１測定工程で重量測定した第１測定重量と、第２測定工程で重量測定した第２測定重量との差に基づいて、測定対象ノズル群の単位ショット数当たりの機能液吐出量を算出する算出工程と、を備えたことを特徴とする。   The method for measuring the discharge amount of the functional liquid droplet ejection head according to the present invention is a measurement constituted by m (n> 2m) measurement target nozzles to be measured among the n effective nozzles of the functional liquid droplet discharge head. A method for measuring a discharge amount of a functional liquid droplet discharge head for measuring a discharge amount of a functional liquid per unit shot discharged from a target nozzle group, wherein n pieces are measured so as to reach a weight measurable by a weight measurement unit. A first measurement step of discharging functional liquid droplets of a plurality of shots from each effective nozzle and measuring the amount of functional liquid discharged over the plurality of shots, and m measurements so as to reach a weight measurable by the weight measuring means A plurality of shots of functional liquid droplets are ejected from (nm) non-measuring nozzles that are effective nozzles other than the target nozzle, and the functional liquid ejection amount over the plurality of shots is weighed. Based on the difference between the measurement step, the first measurement weight measured in the first measurement step, and the second measurement weight measured in the second measurement step, the functional liquid discharge per unit shot number of the measurement target nozzle group And a calculating step for calculating the quantity.

本発明の機能液滴吐出ヘッドの吐出量測定装置は、機能液滴吐出ヘッドのｎ個の有効ノズルのうちの、測定対象となるｍ個（ｎ＞２ｍ）の測定対象ノズルにより構成される測定対象ノズル群から吐出される単位ショット数当たりの機能液吐出量を重量測定する機能液滴吐出ヘッドの吐出量測定装置であって、機能液滴吐出ヘッドから受け容器上に吐出された機能液の重量を計測することで、機能液滴吐出ヘッドからの機能液吐出量を重量測定する重量計測手段と、重量測定に際し、機能液滴吐出ヘッドの吐出駆動を制御し、重量計測手段により計測可能な重量に達するように、ｎ個の有効ノズルおよびｍ個の測定対象ノズル以外の有効ノズルである（ｎ−ｍ）個の測定対象外ノズルから、それぞれ複数ショット数の機能液滴を受け容器上に吐出させる制御手段と、重量計測手段による測定結果を、演算処理する演算手段と、を備え、重量計測手段は、ｎ個の有効ノズルからの複数ショットに亘る機能液吐出量を重量測定すると共に、（ｎ−ｍ）個の測定対象外ノズルからの複数ショットに亘る機能液吐出量を重量測定し、演算手段は、ｎ個の有効ノズルからの機能液吐出量の測定結果である第１測定重量と、複数の対象外ノズルからの機能液吐出量の測定結果である第２測定重量との差に基づいて、測定対象ノズル群の単位ショット数当たりの機能液吐出量を算出することを特徴とする。   The apparatus for measuring the discharge amount of a functional liquid droplet ejection head according to the present invention is a measurement composed of m (n> 2m) measurement target nozzles to be measured among n effective nozzles of the functional liquid droplet discharge head. An apparatus for measuring a discharge amount of a functional liquid droplet discharge head for measuring a discharge amount of a functional liquid per unit shot discharged from a target nozzle group, wherein the functional liquid discharged from the functional liquid droplet discharge head onto a receiving container By measuring the weight, a weight measuring unit that measures the amount of functional liquid discharged from the functional droplet discharge head and a weight measuring unit that controls the discharge drive of the functional droplet discharge head during the weight measurement can be measured. In order to reach the weight, a plurality of shots of functional liquid droplets are received from the (n−m) non-measuring nozzles, which are effective nozzles other than the n effective nozzles and the m measuring nozzles, on the container. Vomiting Control means, and calculation means for calculating the measurement result by the weight measurement means, the weight measurement means weighs the functional liquid discharge amount over a plurality of shots from the n effective nozzles, and ( n−m) weigh the functional liquid discharge amount over a plurality of shots from the nozzles not to be measured, and the calculation means includes a first measurement weight which is a measurement result of the functional liquid discharge amount from the n effective nozzles, The functional liquid discharge amount per unit shot number of the measurement target nozzle group is calculated based on the difference from the second measurement weight that is the measurement result of the functional liquid discharge amount from the plurality of non-target nozzles. .

この構成によれば、ｎ個の有効ノズルまたは（ｎ−ｍ）個の測定対象外ノズルから機能液を吐出するため、ｍ個の測定対象ノズルから機能液を吐出する場合に比べて、少ないショット数で、重量計測手段により計測可能な重量（計測可能範囲）に達することとなる。このため、重量計測手段により計測可能な量の機能液を、短時間で得ることができる。したがって、測定対象ノズル群から吐出される単位ショット数当たりの機能液吐出量の測定を、短時間で行うことができる。
さらに、有効ノズルの個数（ｎ個）は、描画処理時に吐出するノズルの個数と極端に異なることがなく、また、測定対象外ノズルの個数（（ｎ−ｍ）個）も、描画処理時に吐出するノズルの個数と極端に異なることがない。このため、ｎ個の有効ノズルからの機能液吐出量の測定結果は、描画処理時における当該ｎ個の有効ノズルからの機能液吐出量と略同一の吐出量を示し、同様に、（ｎ−ｍ）個の測定対象外ノズルからの機能液吐出量の測定結果は、描画処理時における当該（ｎ−ｍ）個の測定対象外ノズルからの機能液吐出量と略同一の吐出量を示す。したがって、ｎ個の有効ノズルからの機能液吐出量の測定結果と、（ｎ−ｍ）個の測定対象外ノズルからの機能液吐出量とから算出された測定対象ノズル群の機能液吐出量は、描画処理時の当該測定対象ノズル群からの機能液吐出量と略等しくなる。よって、測定対象ノズル群から吐出される単位ショット数当たりの機能液吐出量を、描画処理時と同様の条件で、正確に重量測定することができる。 According to this configuration, since functional liquid is discharged from n effective nozzles or (nm) non-measurement target nozzles, the number of shots is smaller than when functional liquid is discharged from m measurement target nozzles. The number reaches a weight (measurable range) that can be measured by the weight measuring means. For this reason, an amount of functional liquid measurable by the weight measuring means can be obtained in a short time. Therefore, the measurement of the functional liquid discharge amount per unit shot discharged from the measurement target nozzle group can be performed in a short time.
Further, the number of effective nozzles (n) is not extremely different from the number of nozzles ejected during the drawing process, and the number of non-measurement nozzles ((n−m)) is also ejected during the drawing process. The number of nozzles to be used is not extremely different. For this reason, the measurement result of the functional liquid discharge amount from the n effective nozzles shows substantially the same discharge amount as the functional liquid discharge amount from the n effective nozzles during the drawing process, and similarly, (n− m) The measurement result of the functional liquid discharge amount from the non-measuring nozzles indicates substantially the same discharge amount as the functional liquid discharge amount from the (nm) non-measuring nozzles during the drawing process. Therefore, the functional liquid discharge amount of the measurement target nozzle group calculated from the measurement result of the functional liquid discharge amount from the n effective nozzles and the functional liquid discharge amount from the (nm) non-measurement target nozzles is The amount of functional liquid discharged from the measurement target nozzle group during the drawing process is substantially equal. Therefore, it is possible to accurately measure the weight of the functional liquid discharge amount per unit shot discharged from the measurement target nozzle group under the same conditions as in the drawing process.

なお、有効ノズルとは、機能液滴吐出ヘッドの全ノズルであってもよく、一部のノズル（例えば、描画処理時に吐出駆動しないノズル列両端の複数のノズル）を除いた、他の複数のノズルであってもよい。
また、ｎ個の有効ノズルからのショット数と、（ｎ−ｍ）個の測定対象外ノズルからのショット数とは、重量計測手段により計測可能な重量となる限り、同一の回数であってもよく、互いに異なる回数であってもよい。もっとも、両者同一の回数とすれば、機能液滴吐出ヘッドの吐出制御が複雑となることがない。 The effective nozzles may be all nozzles of the functional liquid droplet ejection head, and a plurality of other nozzles excluding a part of the nozzles (for example, a plurality of nozzles at both ends of the nozzle row not ejected during the drawing process). It may be a nozzle.
Further, the number of shots from the n effective nozzles and the number of shots from the (n−m) non-measurement target nozzles may be the same number as long as the weight can be measured by the weight measuring unit. The number of times may be different from each other. However, if the same number of times is used, the discharge control of the functional liquid droplet discharge head does not become complicated.

上記の装置において、重量計測手段は、機能液滴吐出ヘッドから受け容器上に吐出された機能液の重量を計測することに代えて、機能液滴吐出ヘッドに機能液を供給する機能液タンクの吐出前後の重量を計測することで、機能液滴吐出ヘッドからの機能液吐出量を重量測定することが好ましい。   In the above-described apparatus, the weight measuring means replaces the weight of the functional liquid discharged from the functional liquid droplet ejection head onto the receiving container, and the functional liquid tank supplies the functional liquid to the functional liquid droplet ejection head. It is preferable to measure the weight of the functional liquid ejected from the functional liquid droplet ejection head by measuring the weight before and after the ejection.

受け容器上に吐出された機能液の重量を計測する場合には、受け容器上に着弾した機能液滴（１０ピコリットル程度）から溶媒が揮発すると、その揮発溶媒が機能液滴全体に占める重量割合が小さくないため、無視できない測定誤差が生ずるおそれがある。この点、この構成によれば、仮に機能液タンクから溶媒が揮発したとしても、その揮発溶媒が機能液タンク全体に占める重量割合はごく小さいため、その測定誤差は無視できるものとなる。すなわち、機能液の揮発により測定誤差が生ずることを防止できる。本構成は、特に、機能液に揮発性の高い溶媒を使用している場合に有効である。   When measuring the weight of the functional liquid discharged on the receiving container, if the solvent is volatilized from the functional liquid droplet (about 10 picoliters) landed on the receiving container, the weight of the volatile solvent in the entire functional liquid droplet Since the ratio is not small, measurement errors that cannot be ignored may occur. In this respect, according to this configuration, even if the solvent is volatilized from the functional liquid tank, since the weight ratio of the volatile solvent to the entire functional liquid tank is very small, the measurement error can be ignored. That is, it is possible to prevent measurement errors due to volatilization of the functional liquid. This configuration is particularly effective when a highly volatile solvent is used for the functional liquid.

本発明の機能液滴吐出ヘッドの駆動制御方法は、上記した機能液滴吐出ヘッドの吐出量測定方法の測定結果に基づいて、ワークに対し、機能液滴を吐出する機能液滴吐出ヘッドの駆動制御方法であって、ワークに吐出される機能液量が複数の測定対象ノズル群間で均一化されるように、各測定対象ノズルの吐出駆動を制御する駆動制御工程を、備えたことを特徴とする。   The drive control method of the functional liquid droplet ejection head according to the present invention drives the functional liquid droplet ejection head that ejects functional liquid droplets onto a workpiece based on the measurement result of the discharge amount measurement method of the functional liquid droplet ejection head described above. A control method comprising a drive control step of controlling the discharge drive of each measurement target nozzle so that the amount of functional liquid discharged to a work is uniform among a plurality of measurement target nozzle groups And

この構成によれば、信頼性の高い上記の吐出量測定方法の測定結果に基づいて、各測定対象ノズルの吐出駆動を制御することで、ワークに吐出される機能液滴の吐出量を、複数の測定対象ノズル群間で短時間且つ正確に均一化させることができる。   According to this configuration, by controlling the ejection drive of each measurement target nozzle based on the measurement result of the above-described highly reliable ejection amount measurement method, a plurality of functional liquid droplets are ejected onto the workpiece. It is possible to make uniform the measurement target nozzle groups in a short time and accurately.

この場合、駆動制御工程において、各測定対象ノズルの吐出駆動素子への印加電圧を制御することで、各測定対象ノズルの吐出駆動を制御することが好ましい。   In this case, in the drive control step, it is preferable to control the discharge drive of each measurement target nozzle by controlling the voltage applied to the discharge drive element of each measurement target nozzle.

この構成によれば、吐出駆動素子への印加電圧を制御することで、各測定対象ノズルからの吐出量を簡易に変更することができる。また、ワークに吐出するショット数を増減させる場合に比べ、ワークに吐出される機能液量をきめ細かく変更することができる。さらに、ショット数を減らした場合のように、ドット抜けが生ずるおそれがない。   According to this configuration, the discharge amount from each measurement target nozzle can be easily changed by controlling the voltage applied to the discharge drive element. In addition, the amount of functional liquid discharged to the workpiece can be finely changed compared to when increasing or decreasing the number of shots discharged to the workpiece. Furthermore, there is no possibility of missing dots unlike when the number of shots is reduced.

本発明の液滴吐出装置は、ワークに対し、搭載した機能液滴吐出ヘッドから機能液滴を吐出する液滴吐出装置であって、上記した機能液滴吐出ヘッドの吐出量測定装置と、ｎ個の有効ノズルのうちの、描画処理に際して吐出駆動する複数の有効ノズルをそれぞれ測定対象ノズル群として特定するノズル特定手段と、を備え、制御手段は、機能液滴吐出ヘッドの吐出量測定装置による測定結果に基づいて、ワークに吐出される機能液量が複数の測定対象ノズル群間で均一化されるように、各測定対象ノズルの吐出駆動を制御することを特徴とする。   A droplet discharge device of the present invention is a droplet discharge device that discharges a function droplet from a mounted function droplet discharge head to a workpiece, the discharge amount measuring device for the function droplet discharge head described above, and n Nozzle specifying means for specifying a plurality of effective nozzles to be ejected during the drawing process among the effective nozzles as a measurement target nozzle group, and the control means is based on the discharge amount measuring device of the functional liquid droplet discharge head. Based on the measurement result, the ejection drive of each measurement target nozzle is controlled so that the amount of functional liquid discharged to the workpiece is made uniform among a plurality of measurement target nozzle groups.

この構成によれば、信頼性の高い上記の吐出量測定装置の測定結果に基づいて、各測定対象ノズルの吐出駆動を制御することで、ワークに吐出される機能液滴の吐出量を、描画処理時に吐出駆動する複数の測定対象ノズル群間で、短時間且つ正確に均一化させることができる。したがって、各測定対象ノズル群に対応するワーク側の部位に機能液を均一に着弾させることができ、ワークに対し、精度の高い描画処理を行うことができる。   According to this configuration, by controlling the ejection drive of each measurement target nozzle based on the measurement result of the above-described highly reliable ejection amount measuring device, the ejection amount of the functional liquid droplets ejected onto the workpiece is drawn. It can be made uniform in a short time and accurately between a plurality of measurement target nozzle groups that are driven to discharge during processing. Therefore, the functional liquid can be uniformly landed on the workpiece-side portion corresponding to each measurement target nozzle group, and a highly accurate drawing process can be performed on the workpiece.

また、本発明の液滴吐出装置は、複数の画素領域を行方向および列方向に配列したワークに対し、搭載した機能液滴吐出ヘッドを列方向に相対的に移動させながら、複数の画素領域内に各有効ノズルから機能液滴を吐出・着弾させて描画処理を行う液滴吐出装置であって、上記した機能液滴吐出ヘッドの吐出量測定装置と、ワークに対し、機能液滴吐出ヘッドを列方向に相対的に移動させる移動手段と、ｎ個の有効ノズルのうちの、描画処理に際して各列の画素領域に臨む有効ノズルを測定対象ノズル群として特定するノズル特定手段と、を備え、制御手段は、機能液滴吐出ヘッドの吐出量測定装置による測定結果に基づいて、各画素領域内に吐出される機能液量が複数の測定対象ノズル群間で均一化されるように、各測定対象ノズルの吐出駆動を制御することを特徴とする。   Further, the droplet discharge device of the present invention has a plurality of pixel regions while moving the mounted functional droplet discharge head relative to the work in which the plurality of pixel regions are arranged in the row direction and the column direction. A liquid droplet ejection apparatus that performs drawing processing by ejecting and landing functional liquid droplets from each effective nozzle, and a functional liquid droplet ejection head for the above-described functional liquid droplet ejection head ejection amount measuring apparatus and workpiece Moving means for relatively moving in the row direction, and nozzle specifying means for specifying, as a measurement target nozzle group, effective nozzles that face pixel regions in each row during the drawing process among n effective nozzles, The control means measures each measurement so that the amount of the functional liquid discharged in each pixel region is made uniform among a plurality of measurement target nozzle groups based on the measurement result by the discharge amount measuring device of the functional droplet discharge head. Target nozzle discharge And controlling the movement.

この構成によれば、信頼性の高い上記の吐出量測定装置の測定結果に基づいて、各測定対象ノズルの吐出駆動を制御することで、ワークに吐出される機能液滴の吐出量を、描画処理時に吐出駆動する複数の測定対象ノズル群間で、短時間且つ正確に均一化させることができる。このため、各測定対象ノズル群に対応する各列の画素領域内に均等な量の機能液を着弾させることができ、ワークに対し、精度の高い描画処理を行うことができる。したがって、色ムラのないカラーフィルタ等を製造することができる。   According to this configuration, by controlling the ejection drive of each measurement target nozzle based on the measurement result of the above-described highly reliable ejection amount measuring device, the ejection amount of the functional liquid droplets ejected onto the workpiece is drawn. It can be made uniform in a short time and accurately between a plurality of measurement target nozzle groups that are driven to discharge during processing. For this reason, an equal amount of functional liquid can be landed in the pixel region of each column corresponding to each measurement target nozzle group, and a highly accurate drawing process can be performed on the workpiece. Therefore, a color filter or the like without color unevenness can be manufactured.

これらの場合、制御手段は、各測定対象ノズルの吐出駆動素子への印加電圧を制御することで、各測定対象ノズルの吐出駆動を制御することが好ましい。   In these cases, it is preferable that the control means controls the ejection drive of each measurement target nozzle by controlling the voltage applied to the ejection drive element of each measurement target nozzle.

この構成によれば、吐出駆動素子への印加電圧を制御することで、各測定対象ノズルからの吐出量を任意に変更することができる。このため、ワークに吐出するショット数を増減させる場合に比べ、ワークに吐出される機能液量をきめ細かく変更することができる。また、ショット数を減らした場合のように、ドット抜けが生ずるおそれがない。   According to this configuration, the discharge amount from each measurement target nozzle can be arbitrarily changed by controlling the voltage applied to the discharge drive element. For this reason, compared with the case where the number of shots discharged to a workpiece | work is increased / decreased, the amount of functional liquid discharged to a workpiece | work can be changed finely. Further, there is no possibility of missing dots as in the case where the number of shots is reduced.

本発明の電気光学装置の製造方法は、上記した液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする。   A method for manufacturing an electro-optical device according to the present invention is characterized in that a film-forming unit made of functional droplets is formed on a workpiece using the above-described droplet discharge device.

また、本発明の電気光学装置は、上記した液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液滴による成膜部を形成したことを特徴とする。   In addition, an electro-optical device according to the present invention is characterized in that the above-described droplet discharge device is used to form a film forming portion using functional droplets on a workpiece.

これらの構成によれば、信頼性の高い測定結果に基づいて、各測定対象ノズルの吐出駆動を制御することができ、描画精度の高い液滴吐出装置を用いて描画処理を行うことで、高品質な電気光学装置を効率良く製造することが可能となる。なお、電気光学装置（フラットパネルディスプレイ：ＦＰＤ）としては、カラーフィルタ、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、ＰＤＰ装置、電子放出装置等が考えられる。なお、電子放出装置は、いわゆるＦＥＤ（Field Emission Display）やＳＥＤ（Surface-conduction Electron-Emitter Display）装置を含む概念である。さらに、電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等を包含する装置が考えられる。   According to these configurations, it is possible to control the ejection drive of each measurement target nozzle based on a highly reliable measurement result, and perform drawing processing using a droplet ejection device with high rendering accuracy. It becomes possible to efficiently manufacture a quality electro-optical device. As an electro-optical device (flat panel display: FPD), a color filter, a liquid crystal display device, an organic EL device, a PDP device, an electron emission device, and the like are conceivable. The electron emission device is a concept including a so-called FED (Field Emission Display) or SED (Surface-conduction Electron-Emitter Display) device. Further, as the electro-optical device, devices including metal wiring formation, lens formation, resist formation, light diffuser formation, and the like are conceivable.

本発明の電子機器は、上記した電気光学装置の製造方法により製造した電気光学装置または上記した電気光学装置を搭載したことを特徴とする。   An electronic apparatus according to an aspect of the invention includes the electro-optical device manufactured by the above-described method for manufacturing the electro-optical device or the above-described electro-optical device.

この場合、電子機器としては、いわゆるフラットパネルディスプレイを搭載した携帯電話、パーソナルコンピュータのほか、各種の電気製品がこれに該当する。   In this case, examples of the electronic device include a mobile phone and a personal computer equipped with a so-called flat panel display, and various electric products.

以下、添付の図面を参照して、本発明を適用した液滴吐出装置について説明する。本実施形態の液滴吐出装置は、液晶表示装置等のＦＰＤの製造ラインに組み込まれた描画システムに設置されており、特殊なインクや発光性の樹脂液等の機能液を機能液滴吐出ヘッドに導入して、液晶表示装置のカラーフィルタ等の基板上に機能液滴による成膜部を形成するものである。そこで、まず、吐出対象ワークである基板について簡単に説明する。なお、以下に説明する画素領域のサイズ等の値は概数である。   Hereinafter, a droplet discharge device to which the present invention is applied will be described with reference to the accompanying drawings. The liquid droplet ejection apparatus according to the present embodiment is installed in a drawing system incorporated in an FPD production line such as a liquid crystal display device, and a functional liquid ejection head that uses special liquid such as special ink or light-emitting resin liquid. In other words, a film forming portion made of functional droplets is formed on a substrate such as a color filter of a liquid crystal display device. Therefore, first, a substrate that is a discharge target work will be briefly described. Note that values such as the size of the pixel area described below are approximate numbers.

図１に示すように、基板Ｗは、石英ガラスやポリイミド樹脂等で構成された透明基板である。基板Ｗには、複数の画素領域５０７ａが行方向（基板の長辺方向）および列方向（基板の短辺方向）に配列されている。また、基板Ｗの周縁部の左右２箇所には、導入された液滴吐出装置１（図２参照）により位置認識される一対の基板アライメントマークＷｍ、Ｗｍがそれぞれ形成されており、その長辺（行方向）がＹ軸方向と平行になるようにして、セットされる。   As shown in FIG. 1, the substrate W is a transparent substrate made of quartz glass, polyimide resin, or the like. On the substrate W, a plurality of pixel regions 507a are arranged in a row direction (long side direction of the substrate) and a column direction (short side direction of the substrate). A pair of substrate alignment marks Wm and Wm whose positions are recognized by the introduced droplet discharge device 1 (see FIG. 2) are respectively formed at two positions on the left and right sides of the peripheral edge of the substrate W. It is set so that (row direction) is parallel to the Y-axis direction.

各画素領域５０７ａは、区画壁部５０７ｂで囲まれた平面視長方形の凹部となっており、後述する機能液滴吐出ヘッド１８によりＲ（赤）・Ｇ（緑）・Ｂ（青）３色の成膜部（着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂ）を形成する際に、機能液滴の着弾領域となる（図１１参照）。基板Ｗの行方向における各画素領域５０７ａの寸法Ｄａは、例えば３００μｍ、基板Ｗの列方向における各画素領５０７ａの寸法Ｄｂは、例えば１００μｍである。また、行方向における区画壁部５０７ｂの寸法Ｌａは、例えば５０μｍ、列方向における区画壁部５０７ｂの寸法Ｌｂは、例えば２０μｍである。この場合、行方向の画素領域ピッチＰａは、４００μｍ、列方向の画素領域ピッチＰｂは、１２０μｍである。   Each pixel region 507a is a rectangular recess in a plan view surrounded by a partition wall 507b, and has three colors of R (red), G (green), and B (blue) by a functional liquid droplet ejection head 18 to be described later. When forming the film forming portions (colored layers 508R, 508G, and 508B), it becomes a landing area of functional droplets (see FIG. 11). The dimension Da of each pixel region 507a in the row direction of the substrate W is, for example, 300 μm, and the dimension Db of each pixel region 507a in the column direction of the substrate W is, for example, 100 μm. In addition, the dimension La of the partition wall part 507b in the row direction is, for example, 50 μm, and the dimension Lb of the partition wall part 507b in the column direction is, for example, 20 μm. In this case, the pixel area pitch Pa in the row direction is 400 μm, and the pixel area pitch Pb in the column direction is 120 μm.

そして、着弾させた機能液滴の溶媒が揮発した後、所定の膜厚の着色層５０８が形成されるように、所定量の機能液滴を着弾させる。例えば、固形分（フィルタ材料）濃度１０％の機能液を用いて乾燥処理後の最終膜厚０．９μｍの成膜部を形成するためには、各画素領域５０７ａに対して２７０ピコリットルの機能液滴を着弾させることとなる。   Then, after the solvent of the landed functional droplet is volatilized, a predetermined amount of the functional droplet is landed so that the colored layer 508 having a predetermined thickness is formed. For example, in order to form a film-forming portion having a final film thickness of 0.9 μm after drying using a functional liquid having a solid content (filter material) concentration of 10%, a function of 270 picoliters is provided for each pixel region 507a. A droplet is landed.

なお、後述するように、区画壁部５０７ｂ（バンク５０３、図１１参照）は疎水（疎液）性の樹脂材料で構成されているため、区画壁部５０７ｂに機能液滴が着弾しても、その機能液滴は隣接する画素領域５０７ａ内へ流れ込むようになっている。一方、基板Ｗの表面は、表面処理により親水（親液）性となっており、着弾した機能液滴は、画素領域５０７ａ内に濡れ拡がるようになっている。   As will be described later, since the partition wall portion 507b (bank 503, see FIG. 11) is made of a hydrophobic (lyophobic) resin material, even if functional droplets land on the partition wall portion 507b, The functional liquid droplet flows into the adjacent pixel region 507a. On the other hand, the surface of the substrate W is made hydrophilic (lyophilic) by the surface treatment, and the landed functional liquid droplets wet and spread in the pixel region 507a.

また、本実施形態における多数の画素領域５０７ａの配色パターンは、基板Ｗの行方向においてすべて同色となるストライプ配列であるが、マトリクスの縦列（Ｘ軸方向）においてすべて同色となるストライプ配列であってもよい。さらに、マトリクスの縦列・横列に並んだ任意の３つの画素が、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色となるモザイク配列であってもよく、複数の画素領域５０７ａが千鳥をなすデルタ配列であってもよい。そして、Ｒ・Ｇ・Ｂ３色の機能液滴がそれぞれ着弾した３個の画素領域５０７ａにより、いわゆる画素が構成される。   Further, the color arrangement pattern of the large number of pixel regions 507a in the present embodiment is a stripe arrangement in which all the colors are the same in the row direction of the substrate W, but is a stripe arrangement in which all the colors are the same in the vertical columns (X-axis direction) of the matrix. Also good. Furthermore, the arbitrary three pixels arranged in the vertical and horizontal rows of the matrix may be a mosaic arrangement of three colors of R, G, and B, or may be a delta arrangement in which a plurality of pixel regions 507a form a staggered pattern. Good. A so-called pixel is configured by the three pixel regions 507a on which the R, G, and B three-color functional droplets have landed.

続いて、本発明に係る液滴吐出装置について説明する。本実施形態の液滴吐出装置は、Ｒ・Ｇ・Ｂ３色の機能液のうち、いずれか１色（例えばＲ）の機能液を機能液滴吐出ヘッドに導入し、基板Ｗに対して吐出（描画）するものであり、上記の描画システムには、各色の機能液に対応する液滴吐出装置が１台ずつ、計３台設置されている。もちろん、１台の液滴吐出装置により、３色の機能液を吐出する構成であってもよい。   Next, the droplet discharge device according to the present invention will be described. The droplet discharge device of the present embodiment introduces a functional liquid of any one color (for example, R) out of R, G, and B functional liquids into the functional liquid droplet discharge head and discharges it onto the substrate W ( In the above drawing system, a total of three droplet discharge devices corresponding to the functional liquids of the respective colors are installed. Of course, the configuration may be such that three color functional liquids are discharged by one droplet discharge device.

図２に示すように、液滴吐出装置１は、機台２と、機台２上の全域に広く載置され、機能液滴吐出ヘッド１８を搭載した描画装置３と、機能液滴吐出ヘッド１８に機能液を供給する機能液供給機構６と、機台２上の端部に設置されたメンテナンス装置４と、メンテナンス装置４の各種ユニットを一括載置して機台２上を移動させるメンテナンス系移動テーブル５と、を備え、メンテナンス装置４により機能液滴吐出ヘッド１８のメンテナンス処理を行うと共に、描画装置３により基板Ｗ上に機能液滴を吐出・着弾させる描画処理を行うようにしている。また、液滴吐出装置１には、上記の描画システム全体を制御する上位コンピュータ１００に接続されると共に、液滴吐出装置１の各部を制御するコントローラ７（制御部１２０、図４参照）等が組み込まれている。さらに、図示しないが、液滴吐出装置１には、ロボットアームで構成された基板搬出入装置が添設されており、この基板搬出入装置を介して、液滴吐出装置１に基板Ｗが導入される。   As shown in FIG. 2, the droplet discharge device 1 includes a machine base 2, a drawing device 3 that is widely mounted on the entire area of the machine base 2 and includes a functional liquid droplet discharge head 18, and a functional liquid droplet discharge head. Maintenance that moves the machine base 2 by placing the functional liquid supply mechanism 6 that supplies the functional liquid to 18, the maintenance device 4 installed at the end of the machine base 2, and various units of the maintenance apparatus 4 together The system moving table 5 is provided, and maintenance processing of the functional liquid droplet ejection head 18 is performed by the maintenance device 4, and drawing processing for ejecting and landing functional liquid droplets on the substrate W is performed by the drawing device 3. . In addition, the droplet discharge device 1 is connected to a host computer 100 that controls the entire drawing system, and includes a controller 7 (control unit 120, see FIG. 4) that controls each unit of the droplet discharge device 1. It has been incorporated. Further, although not shown, the droplet discharge device 1 is provided with a substrate carry-in / out device configured by a robot arm, and the substrate W is introduced into the droplet discharge device 1 through the substrate carry-in / out device. Is done.

まず、液滴吐出装置１の描画装置３およびこれによる描画処理について説明する。描画装置３は、Ｘ軸テーブル１２およびＸ軸テーブル１２に直交するＹ軸テーブル１３から成るＸＹ移動機構１１と、Ｙ軸テーブル１３に移動自在に取り付けられ、ヘッドθ軸テーブル１５およびヘッドＺ軸テーブル（図示省略）を有するメインキャリッジ１４（キャリッジ）と、メインキャリッジ１４に垂設したヘッドユニット１６とを有している。そして、ヘッドユニット１６には、サブキャリッジ１７を介して、機能液滴吐出ヘッド１８が搭載されている。ヘッドθ軸テーブル１５は、ヘッドユニット１６を水平面内で回転させ、ヘッドＺ軸テーブルは、ヘッドユニット１６をＺ軸方向（上下方向）に昇降させる。なお、図示のサブキャリッジ１７には、１つの機能液滴吐出ヘッド１８が搭載されているが、これが複数であってもよい。   First, the drawing device 3 of the droplet discharge device 1 and the drawing process using the drawing device 3 will be described. The drawing apparatus 3 is movably attached to an XY moving mechanism 11 including an X-axis table 12 and a Y-axis table 13 orthogonal to the X-axis table 12, and a head θ-axis table 15 and a head Z-axis table. A main carriage 14 (carriage) having (not shown) and a head unit 16 suspended from the main carriage 14 are provided. A functional liquid droplet ejection head 18 is mounted on the head unit 16 via a sub-carriage 17. The head θ-axis table 15 rotates the head unit 16 in a horizontal plane, and the head Z-axis table moves the head unit 16 up and down in the Z-axis direction (vertical direction). In addition, although one functional liquid droplet ejection head 18 is mounted on the illustrated subcarriage 17, a plurality of functional liquid droplet ejection heads may be provided.

一方、基板Ｗは、Ｘ軸テーブル１２の端部に臨む一対の基板認識カメラ１９，１９により、Ｘ軸テーブル１２に位置決めされた状態で搭載されている。   On the other hand, the substrate W is mounted on the X-axis table 12 by a pair of substrate recognition cameras 19 and 19 facing the end of the X-axis table 12.

Ｘ軸テーブル１２は、Ｘ軸方向の駆動系を構成するモータ駆動のＸ軸スライダ２４を有し、これに吸着テーブル２２および基板θ軸テーブル２３等から成るセットテーブル２１を移動自在に搭載して、構成されている。同様に、Ｙ軸テーブル１３は、Ｙ軸方向の駆動系を構成するモータ駆動のＹ軸スライダ３１を有し、これに上記のメインキャリッジ１４を介してヘッドユニット１６を移動自在に搭載して、構成されている。   The X-axis table 12 has a motor-driven X-axis slider 24 constituting a drive system in the X-axis direction, and a set table 21 including a suction table 22 and a substrate θ-axis table 23 is movably mounted thereon. ,It is configured. Similarly, the Y-axis table 13 has a motor-driven Y-axis slider 31 that constitutes a drive system in the Y-axis direction, on which the head unit 16 is movably mounted via the main carriage 14. It is configured.

なお、基板Ｗを搭載したＸ軸テーブル１２の機能液滴吐出ヘッド１８に対する移動速度は、２００ｍｍ／秒である。また、Ｘ軸テーブル１２には、Ｘ軸方向に沿ってＸ軸リニアスケール（図示省略）が設けられており、これに基づいて、Ｘ軸テーブル１２を移動するセットテーブル２１の刻々の位置を正確に把握し、制御部１２０の駆動信号発生回路１２６（図４参照）に供給する吐出タイミング用基準パルス（トリガーパルス）を得ている。   The moving speed of the X-axis table 12 on which the substrate W is mounted with respect to the functional liquid droplet ejection head 18 is 200 mm / second. Further, the X-axis table 12 is provided with an X-axis linear scale (not shown) along the X-axis direction, and based on this, the position of the set table 21 that moves the X-axis table 12 is accurately determined. And a discharge timing reference pulse (trigger pulse) to be supplied to the drive signal generation circuit 126 (see FIG. 4) of the control unit 120 is obtained.

Ｘ軸テーブル１２は、機台２上に直接支持される一方、Ｙ軸テーブル１３は、機台２上に立設した左右の支柱３６，３６に支持されている。Ｘ軸テーブル１２とメンテナンス系移動テーブル５とは、Ｘ軸方向に相互に平行に配設されており、Ｙ軸テーブル１３は、Ｘ軸テーブル１２とメンテナンス系移動テーブル５とを跨ぐように延在している。   The X-axis table 12 is directly supported on the machine base 2, while the Y-axis table 13 is supported by left and right columns 36, 36 erected on the machine base 2. The X-axis table 12 and the maintenance system moving table 5 are arranged in parallel to each other in the X-axis direction, and the Y-axis table 13 extends so as to straddle the X-axis table 12 and the maintenance system moving table 5. is doing.

そして、Ｙ軸テーブル１３は、これに搭載したヘッドユニット１６を、Ｘ軸テーブル１２の直上部に位置する描画エリア４１と、メンテナンス系移動テーブル５の直上部に位置するメンテナンスエリア４２との相互間で、適宜移動させる。すなわち、Ｙ軸テーブル１３は、Ｘ軸テーブル１２に導入した基板Ｗに描画を行う場合には、ヘッドユニット１６を描画エリア４１に臨ませ、後述する機能液滴吐出ヘッド１８のメンテナンス処理を行う場合には、ヘッドユニット１６をメンテナンスエリア４２に臨ませる。   The Y-axis table 13 includes the head unit 16 mounted on the Y-axis table 13 between the drawing area 41 positioned directly above the X-axis table 12 and the maintenance area 42 positioned directly above the maintenance system moving table 5. Then, move as appropriate. That is, when drawing on the substrate W introduced into the X-axis table 12, the Y-axis table 13 places the head unit 16 on the drawing area 41 and performs maintenance processing of the functional liquid droplet ejection head 18 described later. First, the head unit 16 is allowed to face the maintenance area 42.

一方、Ｘ軸テーブル１２の一方の端部は、上記の基板搬出入装置により基板ＷをＸ軸テーブル１２にセットするための基板搬出入エリア４３となっており、この基板搬出入エリア４３には、上記一対の基板認識カメラ１９，１９が配設されている。そして、この一対の基板認識カメラ１９，１９により、吸着テーブル２２上に供給された基板Ｗの２箇所の基板アライメントマークＷｍ，Ｗｍが同時に認識され、この認識結果に基づいて、基板Ｗのアライメントがなされる。   On the other hand, one end of the X-axis table 12 serves as a substrate carry-in / out area 43 for setting the substrate W on the X-axis table 12 by the substrate carry-in / out device. The pair of substrate recognition cameras 19 and 19 are provided. The pair of substrate recognition cameras 19 and 19 simultaneously recognize the two substrate alignment marks Wm and Wm of the substrate W supplied on the suction table 22, and based on the recognition result, the alignment of the substrate W is performed. Made.

図３に示すように、機能液滴吐出ヘッド１８は、いわゆる２連のものであり、２連の接続針５２，５２を有する機能液導入部５１と、機能液導入部５１に連なる２連のヘッド基板５３と、機能液導入部５１の下方（同図では上方）に連なり、内部に機能液で満たされるヘッド内流路が形成されたヘッド本体５４と、を備えている。各接続針５２は、後述する機能液供給チューブ８３を介して機能液を貯留する機能液タンク８１に接続されており（図２参照）、機能液導入部５１は、各接続針５２から機能液の供給を受けるようになっている。また、ヘッド本体５４は、ピエゾ素子等で構成される２連のポンプ部６１（吐出駆動素子）と、２本のノズル列６４，６４を相互に平行に形成したノズル面６３を有するノズルプレート６２と、を有している。そして、機能液滴吐出ヘッド１８は、ノズル列方向画がＹ軸方向と平行になるようにして、メインキャリッジ１４に搭載されている。   As shown in FIG. 3, the functional liquid droplet ejection head 18 has a so-called double structure, a functional liquid introduction part 51 having two connection needles 52, 52, and two series of functional liquid introduction parts 51 connected to the functional liquid introduction part 51. A head substrate 53 and a head main body 54 which is connected to the lower side (upper side in the figure) of the functional liquid introducing portion 51 and has an in-head flow path filled with the functional liquid therein. Each connection needle 52 is connected to a functional liquid tank 81 that stores the functional liquid via a functional liquid supply tube 83 described later (see FIG. 2), and the functional liquid introduction unit 51 is connected to the functional liquid from each connection needle 52. To receive the supply. The head main body 54 includes a nozzle plate 62 having a nozzle surface 63 in which two pump units 61 (discharge driving elements) constituted by piezoelectric elements and the like and two nozzle rows 64 and 64 are formed in parallel to each other. And have. The functional liquid droplet ejection head 18 is mounted on the main carriage 14 so that the nozzle row direction image is parallel to the Y-axis direction.

各ノズル列６４は、複数（１８０個）のノズル６５が等ピッチ（例えば、１４０μｍ）で並べられて構成されている。そして、２本のノズル列６４，６４は、ノズル列方向（Ｙ軸方向）に互いにノズルピッチの１／２倍の長さづつ位置ずれして形成されており、計３６０個のノズル７５は、Ｙ軸方向に７０μｍのピッチで描画ラインを構成するようになっている。もっとも、ヘッド内流路の構造上、両端部に位置するノズル６５からの吐出量は、中央部に位置するノズル６５からの吐出量に比べてかなり多くなっているため、両端部のそれぞれ１０個のノズル６５を不吐出ノズルとし、中央部の１６０個のノズル６５を吐出ノズルとしている。そのため、ノズル列６４のうち中央部の１６０個の吐出ノズルにより構成される描画ラインの長さは、２２．６ｍｍとなる。なお、詳細は後述するが、中央部の１６０個のノズル６５間でも、各ノズル６５の吐出量が微妙に異なっている。   Each nozzle row 64 is configured by arranging a plurality (180) of nozzles 65 at an equal pitch (for example, 140 μm). The two nozzle rows 64, 64 are formed so as to be displaced from each other in the nozzle row direction (Y-axis direction) by a length that is ½ times the nozzle pitch. The drawing lines are configured with a pitch of 70 μm in the Y-axis direction. However, due to the structure of the flow path in the head, the discharge amount from the nozzles 65 located at both ends is considerably larger than the discharge amount from the nozzle 65 located at the center portion, and therefore 10 pieces at each of the both ends. The nozzles 65 are non-ejection nozzles, and the 160 nozzles 65 in the center are ejection nozzles. Therefore, the length of the drawing line constituted by 160 discharge nozzles in the center of the nozzle row 64 is 22.6 mm. Although details will be described later, the discharge amount of each nozzle 65 is slightly different between the 160 nozzles 65 in the center.

一方、ヘッド基板５３には、２連のコネクタ５６，５６が設けられており、各コネクタ５６はフレキシブルフラットケーブルを介してヘッドドライバ１１１（図４参照）に接続されている。そして、ヘッドドライバ１１１で生成された駆動波形（後述する）が各コネクタ５６を介して各ポンプ部６１に供給され、各ノズル６５から機能液滴が吐出される。   On the other hand, the head substrate 53 is provided with two series of connectors 56, 56, and each connector 56 is connected to the head driver 111 (see FIG. 4) via a flexible flat cable. A drive waveform (described later) generated by the head driver 111 is supplied to each pump unit 61 via each connector 56, and functional droplets are discharged from each nozzle 65.

図２に示すように、機能液供給装置６は、液滴吐出装置１の描画エリア４１の近傍に位置しており、機能液を貯留する機能液タンク８１と、機台２上に設けられ、機能液タンク８１を載置する昇降機構付きのタンク架台８２と、機能液タンク８１と機能液滴吐出ヘッド１８とを接続する機能液供給チューブ８３とを備えており、機能液滴吐出ヘッド１８のポンプ作用（機能液の吐出）で機能液タンク８１内の機能液を、機能液供給チューブ８３を介して機能液滴吐出ヘッド１８に供給する。   As shown in FIG. 2, the functional liquid supply device 6 is located in the vicinity of the drawing area 41 of the droplet discharge device 1 and is provided on the functional liquid tank 81 that stores the functional liquid and the machine base 2. A tank base 82 with an elevating mechanism for placing the functional liquid tank 81 and a functional liquid supply tube 83 connecting the functional liquid tank 81 and the functional liquid droplet ejection head 18 are provided. The functional liquid in the functional liquid tank 81 is supplied to the functional liquid droplet ejection head 18 through the functional liquid supply tube 83 by pump action (functional liquid discharge).

機能液タンク８１は、タンク架台８２により昇降自在に載置され、機能液滴吐出ヘッド１８よりも低い位置に、すなわち所定の水頭差を生じさせる高さ位置に調整した状態で設置されており、機能液滴吐出ヘッド１８のノズル６５からの液だれを防ぐと共に、所定量の液滴吐出が為されるようになっている。図示しないが、機能液タンク８１は、樹脂ケースに収容されたアルミ蒸着フィルム製の機能液パックから構成されており、１日稼動分の機能液（０．２リットル程度）が貯留されている。なお、機能液タンク８１は、機能液滴吐出ヘッド１８との間に、圧力調整弁を介在させることにより、メインキャリッジ１４に搭載することも可能である。   The functional liquid tank 81 is placed so as to be movable up and down by the tank mount 82, and is installed at a position lower than the functional liquid droplet ejection head 18, that is, adjusted to a height position that causes a predetermined water head difference, In addition to preventing dripping from the nozzle 65 of the functional liquid droplet ejection head 18, a predetermined amount of liquid droplets are ejected. Although not shown, the functional liquid tank 81 is composed of a functional liquid pack made of an aluminum vapor deposition film housed in a resin case, and stores the functional liquid for about one day operation (about 0.2 liter). The functional liquid tank 81 can be mounted on the main carriage 14 by interposing a pressure adjusting valve between the functional liquid tank 81 and the functional liquid droplet ejection head 18.

ここで、図２を参照して、描画装置３による基板Ｗへの一連の吐出動作（描画処理）について簡単に説明する。まず、機能液滴を吐出する前の準備として、吸着テーブル２２にセットされた基板Ｗの位置補正が、基板θ軸テーブル２３によるθ軸方向の位置補正と、基板ＷのＸ軸方向およびＹ軸方向の位置データ補正とにより行われると共に、メインキャリッジ１４にセットされたヘッドユニット１６の位置補正が、ヘッドθ軸テーブル１５によるθ軸方向の位置補正と、機能液滴吐出ヘッド１８のＸ軸方向およびＹ軸方向の位置データ補正とにより行われる。   Here, with reference to FIG. 2, a series of ejection operations (drawing process) onto the substrate W by the drawing apparatus 3 will be briefly described. First, as preparation before discharging functional droplets, position correction of the substrate W set on the suction table 22 includes position correction in the θ-axis direction by the substrate θ-axis table 23, and the X-axis direction and Y-axis of the substrate W. The position correction of the head unit 16 set on the main carriage 14 is performed by the position correction in the θ-axis direction by the head θ-axis table 15 and the X-axis direction of the functional liquid droplet ejection head 18. And correction of position data in the Y-axis direction.

そして、描画装置３は、制御部１２０による制御を受けながら、基板ＷをＸ軸テーブル１２によりＸ軸方向に往動させると共に、これに同期して機能液滴吐出ヘッド１８を選択的に駆動させて、基板Ｗに対する機能液の吐出走査（主走査）が行われる。そして、Ｙ軸テーブル１３によりヘッドユニット１６を描画ラインの長さ分Ｙ軸方向に移動（副走査）させた後、基板ＷをＸ軸方向に復動させると共に、これに同期して機能液滴吐出ヘッド１８を選択的に駆動させて、再度吐出走査が行われる。そして、このような基板の往復動に伴う吐出走査（主走査）および副走査を複数回繰り返すことで、基板Ｗの端から端まで描画が行われる。なお、ヘッドユニット１６をＸ軸方向に移動させる構成であってもよく、また、ヘッドユニット１６を固定とし、基板ＷをＸ軸方向およびＹ軸方向に移動させる構成であってもよい。   Then, the drawing apparatus 3 moves the substrate W forward in the X-axis direction by the X-axis table 12 while being controlled by the control unit 120, and selectively drives the functional liquid droplet ejection head 18 in synchronization therewith. Thus, the functional liquid discharge scanning (main scanning) is performed on the substrate W. Then, after the head unit 16 is moved in the Y-axis direction by the length of the drawing line by the Y-axis table 13 (sub-scanning), the substrate W is moved back in the X-axis direction, and functional droplets are synchronized with this. The ejection head 18 is selectively driven to perform ejection scanning again. Then, drawing is performed from end to end of the substrate W by repeating discharge scanning (main scanning) and sub-scanning associated with the reciprocating motion of the substrate a plurality of times. The head unit 16 may be configured to move in the X-axis direction, or the head unit 16 may be fixed and the substrate W may be moved in the X-axis direction and the Y-axis direction.

続いて、図２を参照して、液滴吐出装置１におけるメンテナンス装置４およびこれによる機能液滴吐出ヘッド１８のメンテナンス処理（機能検査・機能回復処理）について簡単に説明する。機能液滴吐出ヘッド１８のメンテナンス処理は、メンテナンス系移動テーブル５によりこれに載置したメンテナンス装置４の各種ユニットをメンテナンスエリア４２に移動させると共に、上述したようにＹ軸テーブル１３によりヘッドユニット１６をメンテナンスエリア４２に移動させて行われる。   Next, with reference to FIG. 2, the maintenance process (function inspection / recovery process) of the maintenance device 4 and the function droplet ejection head 18 in the droplet ejection device 1 will be briefly described. The maintenance process of the functional liquid droplet ejection head 18 is performed by moving the various units of the maintenance device 4 placed on the maintenance system moving table 5 to the maintenance area 42 and moving the head unit 16 by the Y-axis table 13 as described above. This is performed by moving to the maintenance area 42.

メンテナンス系移動テーブル５は、機台２本体の長手方向（Ｘ軸方向）に延在しており、モータ駆動のＸ軸移動機構（図示省略）を備え、共通ベース７１上に分散して載置されたメンテナンス装置４の各種ユニットをＸ軸方向に移動してメンテナンスエリア４２に位置させる。   The maintenance system moving table 5 extends in the longitudinal direction (X-axis direction) of the main body 2, and includes a motor-driven X-axis moving mechanism (not shown), and is distributed and placed on the common base 71. The various units of the maintenance device 4 thus moved are moved in the X-axis direction to be positioned in the maintenance area 42.

メンテナンス装置４は、上記のメンテナンス系移動テーブル５上に互いに隣接して載置され、機能液滴吐出ヘッド１８の機能液吐出量を重量測定する重量測定ユニット７６と、機能液滴吐出ヘッド１８内で増粘した機能液を除去するための吸引（クリーニング）を行う吸引ユニット７７と、機能液滴吐出ヘッド１８のノズル面６３を払拭するワイピングユニット７８とを備えている。   The maintenance device 4 is placed adjacent to each other on the maintenance system moving table 5, and includes a weight measuring unit 76 for measuring the functional liquid discharge amount of the functional liquid droplet ejection head 18, and the functional liquid droplet ejection head 18. And a wiping unit 78 for wiping the nozzle surface 63 of the functional liquid droplet ejection head 18.

重量測定ユニット７６は、機能液吐出量を重量測定して吐出機能を検査するためのものであって（詳細は後述する）、受け皿９５上に吐出された機能液の重量を測定する電子天秤９１と、電子天秤９１を収容する天秤収容ボックス９２と、天秤収容ボックス９２を支持すると共に、電子天秤９１の高さおよび平行度を調節可能な調節脚を有する天秤スタンド９３とを備えている。   The weight measuring unit 76 is for measuring the discharge amount of the functional liquid and examining the discharge function (details will be described later), and an electronic balance 91 for measuring the weight of the functional liquid discharged onto the tray 95. A balance storage box 92 for storing the electronic balance 91, and a balance stand 93 that supports the balance storage box 92 and has adjustment legs capable of adjusting the height and parallelism of the electronic balance 91.

電子天秤９１は、最小表示が０．１ｍｇの分析用精密天秤であって、機能液滴吐出ヘッド１８の各ノズル６５から吐出された機能液滴を受ける受け皿９５と、受け皿９５を支持すると共に、受け皿９５上に吐出された機能液の重量を計測する計測部９６（図７および図８参照）とを有している。受け皿９５は、機能液滴吐出ヘッド１８に対応する形状であって、計測部９６に対し着脱可能に載置されたステンレス製のもので構成され、また、その内部には、所定の間隙（２ｍｍ）を存して（所定の重量測定高さで）機能液滴吐出ヘッド３０が対峙するように、耐食性の連続多孔質体で構成された機能液吸収材９７（図７および図８参照）が敷設されており、吐出された機能液を確実に補足できるようになっている。なお、詳細は後述するが、本実施形態では、有効数字２桁の正確さでの秤量をすべく、５．０ｍｇを計測可能な機能液の重量としている。   The electronic balance 91 is an analytical precision balance with a minimum display of 0.1 mg, and supports a receiving tray 95 for receiving functional droplets discharged from the nozzles 65 of the functional droplet discharging head 18, and the receiving tray 95. A measuring unit 96 (see FIGS. 7 and 8) that measures the weight of the functional liquid discharged on the tray 95; The tray 95 has a shape corresponding to the functional liquid droplet ejection head 18 and is made of stainless steel that is detachably mounted on the measuring unit 96, and has a predetermined gap (2 mm) inside. ) (With a predetermined weight measurement height), the functional liquid absorbent material 97 (see FIGS. 7 and 8) configured of a corrosion-resistant continuous porous body is provided so that the functional liquid droplet ejection head 30 faces. It is laid, so that the discharged functional liquid can be surely supplemented. In addition, although mentioned later for details, in this embodiment, in order to measure with the precision of two significant figures, 5.0 mg is made into the weight of the functional liquid which can be measured.

天秤収容ボックス９２は、電子天秤９１の測定結果に対する気流の影響を防止するためのものであって、上面が開放され、内部に電子天秤９１を収容する没入部９４と、没入部９４の上面を閉蓋するように設けた透明な覆装プレート９８と、覆装プレート９８を開閉移動させる覆装シリンダ（図示省略）とを有している。そして、機能液滴吐出ヘッド１８から吐出された機能液滴を受け皿９５に受けるときのみ、覆装プレート９８が移動して、受け皿９５の上面が露出するようになっている。   The balance storage box 92 is for preventing the influence of the air flow on the measurement result of the electronic balance 91, and the upper surface is opened, and the immersing portion 94 for storing the electronic balance 91 inside, and the upper surface of the immersing portion 94 are provided. It has a transparent covering plate 98 provided so as to be closed, and a covering cylinder (not shown) for moving the covering plate 98 open and close. Only when the functional liquid droplets ejected from the functional liquid droplet ejection head 18 are received by the tray 95, the covering plate 98 is moved so that the upper surface of the tray 95 is exposed.

重量測定ユニット７６の一連の動作について簡単に説明する。まず、受け皿９５に機能液滴吐出ヘッド１８が臨むよう、ヘッドユニット１６を移動させる。このとき、電子天秤９１のゼロ点調整（ゼロ表示）を行う。そして、覆装シリンダを駆動して覆装プレート９８を開蓋すると共に、ヘッドＺ軸テーブルによりヘッドユニット１６を所定の重量測定高さまで下降させ、機能液滴吐出ヘッド１８から機能液を受け皿９５上に複数ショット吐出させる。機能液の吐出が終了すると、ヘッドユニット１６を上昇させると共に、覆装プレート９８を閉蓋し、受け皿９５上に吐出された機能液の重量を計測する。   A series of operations of the weight measurement unit 76 will be briefly described. First, the head unit 16 is moved so that the functional liquid droplet ejection head 18 faces the tray 95. At this time, zero adjustment (zero display) of the electronic balance 91 is performed. Then, the covering cylinder is driven to open the covering plate 98, and the head unit 16 is lowered to a predetermined weight measuring height by the head Z-axis table to receive the functional liquid from the functional liquid droplet ejection head 18 on the tray 95. A plurality of shots are discharged. When the discharge of the functional liquid is completed, the head unit 16 is raised, the covering plate 98 is closed, and the weight of the functional liquid discharged onto the tray 95 is measured.

なお、本実施形態では、電子天秤９１の計測部が受け皿９５の載置台を兼ねており、受け皿９５に機能液が吐出された後、即座に計測部により重量計測可能に構成されているが、受け皿９５の載置台を電子天秤９１（計測部９６）とは別に設け、受け皿載置台上の受け皿に機能液を吐出させた後、受け皿９５を計測部９６上に移載し、その重量を計測するようにしてもよい。   In the present embodiment, the measurement unit of the electronic balance 91 also serves as a mounting table for the tray 95, and after the functional liquid is discharged to the tray 95, the measurement unit can immediately measure the weight. A mounting table for the saucer 95 is provided separately from the electronic balance 91 (measuring unit 96). After the functional liquid is discharged onto the saucer on the saucer placing table, the receiving plate 95 is transferred onto the measuring unit 96 and its weight is measured. You may make it do.

吸引ユニット７７は、メンテナンスエリア４２に移動した機能液滴吐出ヘッド１８に対して下方から臨み、機能液滴吐出ヘッド１８のノズル面６３にそれぞれ封止させるキャップ７７ａを備えている。これにより、非稼動時等に、機能液滴吐出ヘッド１８のノズル６５の機能液が乾燥して吐出機能が低下することを防止できる。さらに、キャップ７７ａをノズル面６３に封止させた状態でノズル６５から機能液を吸引し、機能液滴吐出ヘッド１８内で増粘した機能液を排出する。   The suction unit 77 includes caps 77 a that face the functional liquid droplet ejection head 18 that has moved to the maintenance area 42 from below and seal the nozzle surfaces 63 of the functional liquid droplet ejection head 18. Thereby, it is possible to prevent the functional function of the nozzle 65 of the functional liquid droplet ejection head 18 from being dried and deteriorating the ejection function when not in operation. Further, the functional liquid is sucked from the nozzle 65 in a state where the cap 77 a is sealed to the nozzle surface 63, and the functional liquid thickened in the functional liquid droplet ejection head 18 is discharged.

ワイピングユニット７８は、機能液滴吐出ヘッド１８の吸引等により、機能液が付着して汚れたノズル面６３を、ワイピングシート７８ａを押し当てて拭き取るものである。そして、上記の吸引処理と、このワイピングとにより、ノズル詰まりの生じた機能液滴吐出ヘッド１８の吐出機能を回復させることができる。   The wiping unit 78 wipes the nozzle surface 63, which is contaminated with the functional liquid by the suction of the functional liquid droplet ejection head 18, by pressing the wiping sheet 78a. And by the above suction process and this wiping, the discharge function of the functional liquid droplet discharge head 18 in which nozzle clogging has occurred can be recovered.

次に、図４を参照して、液滴吐出装置１全体の制御系について説明する。液滴吐出装置１の制御系は、基本的に、描画システム全体を制御する上位コンピュータ１００（パーソナルコンピュータ）と、機能液滴吐出ヘッド１８、ＸＹ移動機構１１、メンテナンス装置４等を駆動する各種ドライバを有する駆動部１１０と、駆動部１１０を含め液滴吐出装置１全体を統括制御する制御部１２０（コントローラ７）とを備えている。   Next, with reference to FIG. 4, the control system of the droplet ejection apparatus 1 as a whole will be described. The control system of the droplet discharge apparatus 1 basically includes a host computer 100 (personal computer) that controls the entire drawing system, various liquid droplet discharge heads 18, the XY moving mechanism 11, the maintenance device 4 and the like. And a control unit 120 (controller 7) that performs overall control of the entire droplet discharge device 1 including the drive unit 110.

上位コンピュータ１００は、コントローラ７に接続されたコンピュータ本体１０１に、キーボード１０２や、キーボード１０２による入力結果等を画像表示するディスプレイ１０３等が接続されて構成されている。   The host computer 100 is configured by connecting a computer 102 connected to the controller 7 to a keyboard 102 and a display 103 for displaying an image of an input result or the like by the keyboard 102.

駆動部１１０は、機能液滴吐出ヘッド１８を吐出駆動制御するヘッドドライバ１１１と、Ｘ軸テーブル１２およびＹ軸テーブル１３の各モータをそれぞれ駆動制御する描画系移動用ドライバ１１２と、メンテナンス系移動テーブル５を駆動制御するメンテナンス系移動用ドライバ１１３と、メンテナンス装置４の吸引ユニット８２およびワイピングユニット８３を駆動制御するメンテナンス用ドライバ１１４とを備えている。   The drive unit 110 includes a head driver 111 that controls the ejection of the functional liquid droplet ejection head 18, a drawing system movement driver 112 that drives and controls the motors of the X axis table 12 and the Y axis table 13, and a maintenance system movement table. 5 includes a maintenance-system moving driver 113 that drives and controls 5 and a maintenance driver 114 that drives and controls the suction unit 82 and the wiping unit 83 of the maintenance device 4.

制御部１２０は、ＣＰＵ１２１と、ＲＯＭ１２２と、ＲＡＭ１２３と、Ｐ−ＣＯＮ１２４とを備え、これらは互いにバス１２５を介して接続されていると共に、ヘッドドライバ１１１に供給する吐出駆動信号を発生する駆動信号発生回路１２６を備えている。ＲＯＭ１２２は、ＣＰＵ１２１で処理する制御プログラム等を記憶する制御プログラム領域と、描画処理やメンテナンス処理等を行うための制御データ等を記憶する制御データ領域とを有している。   The control unit 120 includes a CPU 121, a ROM 122, a RAM 123, and a P-CON 124, which are connected to each other via a bus 125 and generate a drive signal for generating an ejection drive signal to be supplied to the head driver 111. A circuit 126 is provided. The ROM 122 has a control program area for storing a control program to be processed by the CPU 121, and a control data area for storing control data for performing drawing processing, maintenance processing, and the like.

ＲＡＭ１２３は、各種レジスタ群のほか、基板Ｗに描画を行うための描画データを記憶する描画データ記憶部、基板Ｗおよび機能液滴吐出ヘッド１８の位置データを記憶する位置データ記憶部等の各種記憶部を有し、制御処理のための各種作業領域として使用される。このＲＡＭには、機能液滴吐出ヘッド１８のノズル６５の個数およびノズルピッチＰｎ（図６参照）に関するノズル情報や、基板Ｗの画素領域５０７ａの個数、画素領域サイズ（Ｄａ×Ｄｂ）および画素領域ピッチ（Ｐａ，Ｐｂ）に関する画素領域情報が記憶されている。   The RAM 123 stores various registers such as a drawing data storage unit that stores drawing data for drawing on the substrate W, a position data storage unit that stores position data of the substrate W and the functional liquid droplet ejection head 18, in addition to various register groups. It is used as various work areas for control processing. In this RAM, nozzle information regarding the number of nozzles 65 and the nozzle pitch Pn (see FIG. 6) of the functional liquid droplet ejection head 18, the number of pixel regions 507a on the substrate W, the pixel region size (Da × Db), and the pixel region Pixel area information related to the pitch (Pa, Pb) is stored.

Ｐ−ＣＯＮ１２４には、駆動部１１０の各種ドライバのほか、上記の重量測定ユニット７６、基板認識カメラ１９、ヘッド認識カメラ２５および機能液供給機構６等が接続されており、ＣＰＵ１２１の機能を補うと共に、周辺回路とのインタフェース信号を取り扱うための論理回路が構成されて組み込まれている。   In addition to the various drivers of the drive unit 110, the weight measurement unit 76, the substrate recognition camera 19, the head recognition camera 25, the functional liquid supply mechanism 6, and the like are connected to the P-CON 124 to supplement the functions of the CPU 121. A logic circuit for handling interface signals with peripheral circuits is constructed and incorporated.

駆動信号発生回路１２６は、上記の吐出タイミング用基準パルスが供給されると、吐出駆動信号を発生させてヘッドドライバ１１１に出力し、ヘッドドライバ１１１は、吐出駆動信号が入力されると、１ないし複数の駆動波形を機能液滴吐出ヘッド１８に印加する。   When the ejection timing reference pulse is supplied, the drive signal generation circuit 126 generates an ejection drive signal and outputs the ejection drive signal to the head driver 111. The head driver 111 receives 1 to 1 when the ejection drive signal is input. A plurality of drive waveforms are applied to the functional liquid droplet ejection head 18.

図５に示すように、本実施形態では、機能液滴吐出ヘッド１８の各ノズル６５に連なるポンプ部６１に対して、電圧値の小さい小駆動波形（同図（ａ）参照）と、中間電圧の中駆動波形（同図（ｂ）参照）と、電圧値の大きい大駆動波形（同図（ｃ）参照）との３種類の駆動波形を印加可能に構成されている。そして、各ポンプ部６１に対する駆動波形の大きさ（印加電圧値の大きさ）に応じて、圧力発生室に生ずる圧力変動幅が変化するため、各ポンプ部６１に印加電圧値の異なる複数種の駆動波形を印加することで、各ノズル６５から液滴吐出量の異なる複数種の機能液滴を吐出させることができる。すなわち、各ノズル７５は、小駆動波形が印加されると、液滴吐出量が５ピコリットルの小液滴ＤＲｓを吐出し（同図（ｄ）参照）、中駆動波形が印加されると、液滴吐出量が１０ピコリットルの中液滴ＤＲｍを吐出し（同図（ｅ）参照）、大駆動波形が印加されると、液滴吐出量が１５ピコリットルの大液滴ＤＲｂを吐出しする（同図（ｆ）参照）。なお、上述したように、各駆動波形に対する液滴吐出量は、ノズル間で微妙に異なっている。   As shown in FIG. 5, in this embodiment, a small drive waveform (see FIG. 5A) with a small voltage value and an intermediate voltage are applied to the pump unit 61 connected to each nozzle 65 of the functional liquid droplet ejection head 18. The medium drive waveform (see (b) in the figure) and the large drive waveform having a large voltage value (see (c) in the figure) can be applied. Since the pressure fluctuation width generated in the pressure generating chamber changes according to the magnitude of the drive waveform for each pump section 61 (the magnitude of the applied voltage value), each pump section 61 has a plurality of types with different applied voltage values. By applying the drive waveform, a plurality of types of functional liquid droplets having different liquid droplet ejection amounts can be ejected from each nozzle 65. That is, each nozzle 75 discharges a small droplet DRs having a droplet discharge amount of 5 picoliters when a small drive waveform is applied (see FIG. 4D), and when a medium drive waveform is applied, When a medium droplet DRm having a droplet discharge amount of 10 picoliter is discharged (see (e) in the figure) and a large driving waveform is applied, a large droplet DRb having a droplet discharge amount of 15 picoliter is discharged. (Refer to (f) in the figure). As described above, the droplet discharge amount for each drive waveform is slightly different between nozzles.

このように、駆動波形のタイミング（間隔）、大きさ（電圧値）、個数を制御することで、機能液滴吐出ヘッド１８の各ノズル６５からの機能液滴の吐出周波数（吐出間隔）、吐出量、ショット数がそれぞれ制御される。また、吐出周波数は、通常１０ｋＨｚ程度であるが、この大小によっても、各ノズル６５からの機能液吐出量が増減する。   In this way, by controlling the timing (interval), size (voltage value), and number of drive waveforms, the ejection frequency (ejection interval) and ejection of functional droplets from each nozzle 65 of the functional droplet ejection head 18 are controlled. The amount and the number of shots are controlled respectively. The discharge frequency is usually about 10 kHz, but the amount of functional liquid discharged from each nozzle 65 increases or decreases depending on the size.

なお、同時に吐出させるノズル６５の個数が多いほど、駆動電流不足等により、図５に示すような整った駆動波形（台形波）とならず、機能液滴吐出ヘッド１８の各ノズル６５からの機能液吐出量は、減少する傾向にある。例えば、単一のノズル６５に対して中駆動波形を印加したときに、そのノズル６５からの液滴吐出量が１０ピコリットルであったとしても、全（１８０個）ノズル６５に対して中駆動波形を印加したときには、そのノズル６５からの液滴吐出量が９．５ピコリットルであったりする。   Note that the larger the number of nozzles 65 to be ejected simultaneously, the less the drive current (trapezoidal wave) as shown in FIG. The liquid discharge amount tends to decrease. For example, when a medium driving waveform is applied to a single nozzle 65, even if the droplet discharge amount from that nozzle 65 is 10 picoliters, medium driving is performed for all (180) nozzles 65. When a waveform is applied, the droplet discharge amount from the nozzle 65 may be 9.5 picoliters.

そして、ＣＰＵ１２１は、ＲＯＭ１２２内の制御プログラムに従って、Ｐ−ＣＯＮ１２４を介して各種検出信号、各種指令、各種データ等を入力し、ＲＡＭ１２３内の各種データ等を処理した後、Ｐ−ＣＯＮ１２４を介して駆動部１１０等に各種の制御信号を出力することにより、液滴吐出装置１全体を制御している。   The CPU 121 inputs various detection signals, various commands, various data, etc. via the P-CON 124 according to the control program in the ROM 122, processes various data, etc. in the RAM 123, and then drives via the P-CON 124. The entire droplet discharge device 1 is controlled by outputting various control signals to the unit 110 and the like.

例えば、ＣＰＵ１２１は、基板Ｗに対し描画処理を行う場合には、機能液滴吐出ヘッド１８の吐出駆動を制御すると共に、ＸＹ移動機構１１により基板Ｗおよびヘッドユニット１６の走査範囲の移動動作等を制御する。また、機能液滴吐出ヘッド１８のメンテナンス処理を行う場合には、メンテナンス系移動テーブル５の移動動作を制御すると共に、メンテナンス装置４の各種ユニットを制御する。   For example, when performing a drawing process on the substrate W, the CPU 121 controls the ejection drive of the functional liquid droplet ejection head 18 and moves the scanning range of the substrate W and the head unit 16 by the XY movement mechanism 11. Control. Further, when performing maintenance processing of the functional liquid droplet ejection head 18, the moving operation of the maintenance system moving table 5 is controlled and various units of the maintenance device 4 are controlled.

ここで、図６ないし図９を参照して、本発明の中心となる機能液滴吐出ヘッド１８の吐出量測定処理および駆動制御処理について詳細に説明する。なお、以下では、説明を簡略化するため、図６に示したように、基板Ｗには、上記の画素領域５０７ａ（Ｄａ×Ｄｂ）が、行方向にＰａ（４００μｍ）、列方向にＰｂ（１２０μｍ）の画素ピッチで、７行５列に配列されており、また、機能液滴吐出ヘッド１８には、１９個のノズル６５が一列に等ピッチ（Ｐｎ：１００μｍ）で列設されているものとする。また、機能液の比重は、１．０とする。   Here, with reference to FIGS. 6 to 9, the ejection amount measurement process and the drive control process of the functional liquid droplet ejection head 18 which are the center of the present invention will be described in detail. In the following, to simplify the description, as shown in FIG. 6, the pixel region 507 a (Da × Db) on the substrate W has Pa (400 μm) in the row direction and Pb (in the column direction). 120 μm) pixels are arranged in 7 rows and 5 columns, and the functional liquid droplet ejection head 18 has 19 nozzles 65 arranged in a row at an equal pitch (Pn: 100 μm). And The specific gravity of the functional fluid is 1.0.

機能液滴吐出ヘッド１８の吐出量測定処理として、はじめに、描画処理における機能液滴吐出ヘッド１８の全吐出パターンを生成する（図９のＳ１１）。ここでは、まず、制御部１２０（ＲＡＭ１２３）に記憶されているノズル情報や画素領域情報に基づいて、描画処理において吐出駆動させる有効ノズル６５ａを特定する。   As a discharge amount measurement process of the functional liquid droplet ejection head 18, first, an entire ejection pattern of the functional liquid droplet ejection head 18 in the drawing process is generated (S11 in FIG. 9). Here, first, based on the nozzle information and the pixel area information stored in the control unit 120 (RAM 123), the effective nozzle 65a to be driven for ejection in the drawing process is specified.

具体的には、図６に示すように、各列の画素領域５０７ａに臨む１５個のノズル６５を有効ノズル６５ａとして特定すると共に、画素領域５０７ａ間の区画壁部５０７ｂに臨んでいる図示左側から４番目、８番目、１２番目および１６番目の各ノズル６５（以下、図示左からｎ番目のノズルをｎ番ノズルという。）を、描画処理において吐出駆動しない不吐出ノズル６５ｂとして特定する。   Specifically, as shown in FIG. 6, the 15 nozzles 65 that face the pixel regions 507a in each column are identified as effective nozzles 65a and from the left side of the drawing facing the partition wall portion 507b between the pixel regions 507a. The fourth, eighth, twelfth, and sixteenth nozzles 65 (hereinafter, the nth nozzle from the left in the drawing is referred to as the nth nozzle) are identified as non-ejection nozzles 65b that are not ejected in the drawing process.

続いて、描画処理時に各有効ノズル６５ａ（のポンプ部６１）に印加する駆動波形を決定する。上述したように、各画素領域５０７ａに対する機能液吐出量は、２７０ピコリットルであるから、各画素領域５０７ａに臨む３個のノズル６５からは、例えば、それぞれ９ショットの中液滴ＤＲｍ（約１０ピコリットル）を吐出させるようにする。一方、各画素領域の列方向（Ｘ軸方向）の寸法Ｄｂは、１００μｍであるから、Ｘ軸方向に移動する基板Ｗに対し、例えば、９ショットの中液滴ＤＲｍをそれぞれ１０μｍの間隔で、着弾させるようにする。また、上記のように、基板Ｗの移動速度は２００ｍｍ／秒であるから、基板Ｗは５０マイクロ秒で１０μｍの着弾間隔分移動し、６００マイクロ秒で列方向の画素領域ピッチＰｂ（１２０μｍ）分移動する。そのため、各有効ノズル６５ａから、対応する各列７個の画素領域５０７ａのそれぞれに９ショットの機能液滴が着弾するように、６００マイクロ秒毎（１．７ｋＨｚ）に、９ショットの機能液滴を５０マイクロ秒間隔（２０ｋＨｚ）で吐出させるようにする。したがって、各有効ノズル６５ａに対し、２０ｋＨｚの９個の中駆動波形が６００マイクロ秒毎（１．７ｋＨｚ）に印加されるように、描画処理における駆動波形を決定する。このように、有効ノズル６５ａを特定すると共に、描画処理時に各有効ノズル６５ａに印加する駆動波形を決定して、機能液滴吐出ヘッド１８の全吐出パターンを生成する（Ｓ１１）。   Subsequently, a drive waveform to be applied to each effective nozzle 65a (the pump unit 61) during the drawing process is determined. As described above, since the functional liquid discharge amount for each pixel region 507a is 270 picoliters, for example, nine shots of medium droplet DRm (approximately 10 shots) from each of the three nozzles 65 facing each pixel region 507a. Picoliter) is discharged. On the other hand, since the dimension Db in the column direction (X-axis direction) of each pixel region is 100 μm, for example, 9 shots of medium droplets DRm are spaced at 10 μm intervals on the substrate W moving in the X-axis direction. Try to land. Further, as described above, since the moving speed of the substrate W is 200 mm / second, the substrate W moves by the landing interval of 10 μm in 50 microseconds, and the pixel region pitch Pb (120 μm) in the column direction in 600 microseconds. Moving. Therefore, 9 shots of functional droplets are made every 600 microseconds (1.7 kHz) so that 9 shots of functional droplets land on each of the corresponding seven pixel regions 507a from each effective nozzle 65a. At 50 microsecond intervals (20 kHz). Therefore, the driving waveform in the drawing process is determined so that nine medium driving waveforms of 20 kHz are applied to each effective nozzle 65a every 600 microseconds (1.7 kHz). In this manner, the effective nozzles 65a are specified, and the drive waveform applied to each effective nozzle 65a during the drawing process is determined to generate the entire ejection pattern of the functional liquid droplet ejection head 18 (S11).

次に、各列の画素領域５０７ａに臨む有効ノズル６５ａを、それぞれ測定対象ノズル群６６として特定する（Ｓ１２）。具体的には、図示左側から、１番〜３番ノズル６５を第１測定対象ノズル群６６と、５番〜７番ノズル６５を第２測定対象ノズル群６６と、９番〜１１番ノズル６５を第３測定対象ノズル群６６と、１３番〜１５番ノズル６５を第４測定対象ノズル群６６と、１７番〜１９番ノズル６５を第５測定対象ノズル群６６とを特定する。すなわち、各測定対象ノズル群６６は、３個（有効ノズル６５ａの個数（１５個）の半数未満）の測定対象ノズル６５ｃにより構成されている。   Next, the effective nozzles 65a facing the pixel region 507a in each column are specified as the measurement target nozzle group 66 (S12). Specifically, from the left side of the figure, the first to third nozzles 65 are the first measurement target nozzle group 66, the fifth to seventh nozzles 65 are the second measurement target nozzle group 66, and the ninth to eleventh nozzles 65. The third measurement target nozzle group 66, the 13th to 15th nozzles 65 are identified as the fourth measurement target nozzle group 66, and the 17th to 19th nozzles 65 are identified as the fifth measurement target nozzle group 66. In other words, each measurement target nozzle group 66 includes three measurement target nozzles 65c (less than half of the number (15) of effective nozzles 65a).

測定対象ノズル群６６が特定されると、重量測定処理を開始する（Ｓ１３〜Ｓ１４）。まず、１５個の有効ノズル６５ａから、電子天秤９１により計測可能な重量である７．５ｍｇ（５．０ｍｇ以上）となるように、各有効ノズル６５ａから０．５ｍｇすなわち０．５マイクロリットルの機能液を吐出させる（図７（ａ）参照）。すなわち、各有効ノズル６５ａから、中液滴ＤＲｍを５０，０００ショット吐出させる。ここで、各有効ノズル６５ａに対し、ヘッドドライバ１１１から、全吐出パターン生成工程（Ｓ１１）で決定した描画処理時における駆動波形と、同一吐出周波数（２０ｋＨｚの９個の中駆動波形を６００マイクロ秒毎（１．７ｋＨｚ）に印加）で同一印加電圧の駆動波形（中駆動波形）を印加する。そのため、この５０，０００ショットの吐出に要する時間、すなわち、電子天秤９１により計測可能な重量に達するまでの時間は、３．３秒である。   When the measurement target nozzle group 66 is specified, the weight measurement process is started (S13 to S14). First, from 15 effective nozzles 65a, a function of 0.5 mg, that is, 0.5 microliters from each effective nozzle 65a so that the weight can be measured by the electronic balance 91 is 7.5 mg (5.0 mg or more). The liquid is discharged (see FIG. 7A). That is, 50,000 shots of medium droplet DRm are ejected from each effective nozzle 65a. Here, for each effective nozzle 65a, the drive waveform at the time of the drawing process determined in the all-ejection pattern generation step (S11) from the head driver 111 and the nine ejection waveforms at the same ejection frequency (20 kHz, 9 medium driving waveforms are 600 microseconds. (Applied every 1.7 kHz)), the drive waveform (medium drive waveform) of the same applied voltage is applied. Therefore, the time required to discharge 50,000 shots, that is, the time required to reach the weight measurable by the electronic balance 91 is 3.3 seconds.

そして、上記の重量測定ユニット７６により、１５個の有効ノズル６５ａから受け皿９５上に吐出された５０，０００ショットに亘る機能液の重量を測定し、その重量測定結果（７．５ｍｇ）を制御部１２０に出力する。   The weight measuring unit 76 measures the weight of the functional liquid over 50,000 shots discharged from the 15 effective nozzles 65a onto the tray 95, and the weight measurement result (7.5 mg) is controlled by the control unit. 120 is output.

次に、各測定対象ノズル群６６について、順に単位ショット数当たりの機能液吐出量を重量測定していく。まず、第１測定対象ノズル群６６について測定する。具体的には、第１測定対象ノズル群６６以外の有効ノズル６５ａである１２個の測定対象外ノズル（第２〜第５測定対象ノズル群６６の有効ノズル６５ａ）から、上記と同様に、電子天秤９１により計測可能な重量である６．０ｍｇ（５．０ｍｇ以上）となるように、上記１２個の測定対象外ノズルに対し、描画処理時における駆動波形と同一吐出周波数・同一印加電圧（対駆動波形）の駆動波形を印加して、中液滴ＤＲｍを５０，０００ショット吐出させる（図７（ｂ）参照）。この場合も、５０，０００ショットの吐出に要する時間は３．３秒である。   Next, for each measurement target nozzle group 66, the functional liquid discharge amount per unit shot is weighed in order. First, the first measurement target nozzle group 66 is measured. Specifically, from the 12 non-measurement nozzles (effective nozzles 65a of the second to fifth measurement target nozzle groups 66), which are effective nozzles 65a other than the first measurement target nozzle group 66, in the same manner as described above, For the 12 non-measurement target nozzles, the same discharge frequency and the same applied voltage (to the drive waveform at the time of the drawing process) as the weight measurable by the balance 91 is 6.0 mg (5.0 mg or more). Drive waveform) is applied, and 50,000 shots of the medium droplet DRm are ejected (see FIG. 7B). Also in this case, the time required for discharging 50,000 shots is 3.3 seconds.

そして、重量測定ユニット７６により５０，０００ショットに亘る機能液の重量を測定し、その重量測定結果（６．０ｍｇ）を制御部１２０に出力する。この場合、１５個の有効ノズル６５ａからの機能液吐出量の測定結果である７．５ｍｇと、１２個の測定対象外ノズル（第２〜第５測定対象ノズル群６６の有効ノズル６５ａ）からの機能液吐出量の測定結果である６．０ｍｇとから、第１測定対象ノズル群６６からの５０，０００ショット当たりの機能液吐出量は、１．５ｍｇ（１．５マイクロリットル）であり、１ショット当たりの機能液吐出量は、３０ピコリットルであると算出される。   Then, the weight of the functional liquid over 50,000 shots is measured by the weight measurement unit 76, and the weight measurement result (6.0 mg) is output to the control unit 120. In this case, 7.5 mg, which is the measurement result of the functional liquid discharge amount from the 15 effective nozzles 65a, and 12 non-measurement target nozzles (effective nozzles 65a of the second to fifth measurement target nozzle groups 66). From 6.0 mg which is the measurement result of the functional liquid discharge amount, the functional liquid discharge amount per 50,000 shots from the first measurement target nozzle group 66 is 1.5 mg (1.5 microliters). The functional liquid discharge amount per shot is calculated to be 30 picoliters.

以下同様にして、図７（ｃ）に示すように、第２測定対象ノズル群６６以外の有効ノズル６５ａである１２個の測定対象外ノズル（第１、第３〜第５測定対象ノズル群６６の有効ノズル６５ａ）から吐出させた５０，０００ショットの機能液吐出量を重量測定して（６．３ｍｇ）、第２測定対象ノズル群６６からの１ショット当たりの機能液吐出量を算出し（２４ピコリットル）、図８（ａ）に示すように、第３測定対象ノズル群６６以外の有効ノズル６５ａである１２個の測定対象外ノズル（第１・第２・第４・第５測定対象ノズル群６６の有効ノズル６５ａ）から吐出させた５０，０００ショットの機能液吐出量を重量測定して（６．０ｍｇ）、第３測定対象ノズル群６６からの１ショット当たりの機能液吐出量を算出し（３０ピコリットル）、図８（ｂ）に示すように、第４測定対象ノズル群６６以外の有効ノズル６５ａである１２個の測定対象外ノズル（第１〜第３、第５測定対象ノズル群６６の有効ノズル６５ａ）から吐出させた５０，０００ショットの機能液吐出量を重量測定して（６．０ｍｇ）、第４測定対象ノズル群６６からの１ショット当たりの機能液吐出量を算出し（３０ピコリットル）、図８（ｃ）に示すように、第５測定対象ノズル群６６以外の有効ノズル６５ａである１２個の測定対象外ノズル（第１〜第４測定対象ノズル群６６の有効ノズル６５ａ）から吐出させた５０，０００ショットの機能液吐出量を重量測定して（５．７ｍｇ）、第５測定対象ノズル群６６からの１ショット当たりの機能液吐出量を算出する（３６ピコリットル）。   Similarly, as shown in FIG. 7C, twelve non-measurement target nozzles (first, third to fifth measurement target nozzle groups 66) that are effective nozzles 65 a other than the second measurement target nozzle group 66. The effective liquid discharge amount of 50,000 shots discharged from the effective nozzle 65a) is weighed (6.3 mg), and the functional liquid discharge amount per shot from the second measurement target nozzle group 66 is calculated ( 8 picoliters), as shown in FIG. 8A, twelve non-measuring nozzles (first, second, fourth, and fifth measuring objects) that are effective nozzles 65a other than the third measuring object nozzle group 66 The functional liquid discharge amount of 50,000 shots discharged from the effective nozzle 65a) of the nozzle group 66 is measured by weight (6.0 mg), and the functional liquid discharge amount per shot from the third measurement target nozzle group 66 is calculated. Calculated (30 picoric 8), as shown in FIG. 8B, twelve non-measuring nozzles (effective first to third and fifth measuring object nozzle groups 66) which are effective nozzles 65a other than the fourth measuring object nozzle group 66. The functional liquid discharge amount of 50,000 shots discharged from the nozzle 65a) is measured by weight (6.0 mg), and the functional liquid discharge amount per shot from the fourth measurement target nozzle group 66 is calculated (30 pico). Liter), as shown in FIG. 8C, twelve non-measuring nozzles (effective nozzles 65a of the first to fourth measuring object nozzle groups 66) which are effective nozzles 65a other than the fifth measuring object nozzle group 66. The functional liquid discharge amount of 50,000 shots discharged from is measured by weight (5.7 mg), and the functional liquid discharge amount per shot from the fifth measurement target nozzle group 66 is calculated (36 picoliters).

したがって、本実施形態では、５個の測定対象ノズル群６６のそれぞれの単位ショット数当たりの機能液吐出量を測定するために、５０，０００ショットの液滴吐出を６回行うことになり、それに要する時間は、３．３秒／回×６回＝２０秒である。
一方、各測定対象ノズル群６６（３個の測定対象ノズル６５ｃ）から、電子天秤９１により計測可能な重量である５．０ｍｇ以上に達するように、２００，０００ショット以上の機能液滴を吐出させることで、５個の測定対象ノズル群６６のそれぞれの単位ショット数当たりの機能液吐出量を測定した場合には、２００，０００ショットの液滴吐出を５回行うことになり、各２００，０００ショットの液滴吐出に要する時間は１３秒であるから、合計所要時間は、１３秒／回×５回＝６５秒となる。 Therefore, in this embodiment, in order to measure the functional liquid discharge amount per unit shot number of each of the five measurement target nozzle groups 66, 50,000 shots of liquid droplets are discharged six times. The time required is 3.3 seconds / time × 6 times = 20 seconds.
On the other hand, 200,000 shots or more of functional droplets are ejected from each measurement target nozzle group 66 (three measurement target nozzles 65c) so as to reach 5.0 mg or more, which is a weight measurable by the electronic balance 91. Thus, when the functional liquid discharge amount per unit shot number of each of the five measurement target nozzle groups 66 is measured, 200,000 shots of liquid droplets are discharged five times, each 200,000. Since the time required for discharging the droplets of the shot is 13 seconds, the total required time is 13 seconds / times × 5 times = 65 seconds.

このように、本実施形態では、１５個の有効ノズル６５ａまたは１２個の測定対象外ノズルから機能液を吐出するため、３個の測定対象ノズル６５ｃから機能液を吐出する場合に比べて、少ないショット数で５，０ｍｇ以上の機能液を吐出させることができる。このため、電子天秤９１による計測可能な機能液の重量を、短時間で得ることができる。したがって、各測定対象ノズル群６６から吐出される単位ショット数当たりの機能液吐出量の重量測定を、短時間で行うことができる。   Thus, in this embodiment, since functional liquid is discharged from 15 effective nozzles 65a or 12 non-measuring nozzles, it is less than when functional liquid is discharged from three measuring nozzles 65c. A functional liquid of 5,000 mg or more can be discharged in the number of shots. For this reason, the weight of the functional liquid measurable by the electronic balance 91 can be obtained in a short time. Accordingly, the weight measurement of the functional liquid discharge amount per unit shot discharged from each measurement target nozzle group 66 can be performed in a short time.

さらに、この場合、有効ノズル６５ａの個数（１５個）は、描画処理時に吐出するノズル６５の個数と同一であり、また、複数の測定対象外ノズルの個数（１２個）も、描画処理時に吐出するノズル６５の個数と極端に異なることがない。このため、１５個の有効ノズル６５ａからの機能液吐出量の測定結果は、描画処理時における当該１５個の有効ノズル６５ａからの機能液吐出量と略同一の吐出量を示し、同様に、１２個の対象外ノズルからの機能液吐出量の測定結果は、描画処理時における当該１２個の対象外ノズルからの機能液吐出量と略同一の吐出量を示す。したがって、１５個の有効ノズル６５ａからの機能液吐出量の測定結果と、複数の測定対象外ノズルからの機能液吐出量とから算出された測定対象ノズル群６６の機能液吐出量は、描画処理時の当該測定対象ノズル群６６からの機能液吐出量と略等しくなる。よって、各測定対象ノズル群６６から吐出される単位ショット数当たりの機能液吐出量を、描画処理時と同様の条件で、正確に重量測定することができる。   Furthermore, in this case, the number of effective nozzles 65a (15) is the same as the number of nozzles 65 ejected during the drawing process, and the number of non-measuring nozzles (12) is also ejected during the drawing process. The number of nozzles 65 to be used is not extremely different. For this reason, the measurement result of the functional liquid discharge amount from the fifteen effective nozzles 65a shows substantially the same discharge amount as the functional liquid discharge amount from the fifteen effective nozzles 65a during the drawing process. The measurement result of the functional liquid discharge amount from the non-target nozzles indicates a discharge amount substantially the same as the functional liquid discharge amount from the 12 non-target nozzles during the drawing process. Therefore, the functional liquid discharge amount of the measurement target nozzle group 66 calculated from the measurement results of the functional liquid discharge amounts from the 15 effective nozzles 65a and the functional liquid discharge amounts from the plurality of non-measurement target nozzles is the drawing process. It becomes substantially equal to the functional fluid discharge amount from the measurement target nozzle group 66 at the time. Therefore, it is possible to accurately measure the weight of the functional liquid discharge amount per unit shot discharged from each measurement target nozzle group 66 under the same conditions as in the drawing process.

さらに、このようにして、全測定対象ノズル群６６について、機能液吐出量の測定が終了すると、この測定結果に基づいて、各画素領域５０７ａ内に吐出される機能液量が５個の測定対象ノズル群６６間で均一化されるように、印加電圧を設定する（Ｓ１５）。   Further, when the measurement of the functional liquid discharge amount is completed for all the measurement target nozzle groups 66 in this manner, the functional liquid amount discharged into each pixel region 507a is measured based on the measurement result. The applied voltage is set so as to be uniform between the nozzle groups 66 (S15).

すなわち、上記の測定結果から、１列目の各画素領域５０７ａに対しては、２７０ピコリットルの機能液が吐出され、２列目の各画素領域５０７ａに対しては、２１６ピコリットルの機能液が吐出され、３列目の各画素領域５０７ａに対しては、２７０ピコリットルの機能液が吐出され、４列目の各画素領域５０７ａに対しては、２７０ピコリットルの機能液が吐出され、５列目の各画素領域５０７ａに対しては、３２４ピコリットルの機能液が吐出されることになるため、先の工程（Ｓ１１）で生成した全吐出パターンにより、描画処理を行うと、各画素領域５０７ａに対して均等量の機能液を吐出させることができない。   That is, from the above measurement results, 270 picoliters of functional liquid is discharged to each pixel area 507a in the first column, and 216 picoliters of functional liquid is applied to each pixel area 507a in the second column. 270 picoliters of functional liquid is ejected to each pixel area 507a in the third column, and 270 picoliters of functional liquid is ejected to each pixel area 507a in the fourth column. Since 324 picoliters of functional liquid is discharged to each pixel region 507a in the fifth column, each pixel is subjected to a drawing process using the entire discharge pattern generated in the previous step (S11). An equal amount of functional liquid cannot be discharged to the region 507a.

そこで、第２測定対象ノズル群６６に対して、３個の測定対象ノズル６５ｃから吐出される２７ショットの中液滴ＤＲｍの一部を、大液滴ＤＲｂとすることで、各測定対象ノズル群６６からの機能液吐出量が均一化されるようにする。具体的には、第２測定対象ノズル群６６からは、第１・第３・第４測定対象ノズル群６６に比べて、８０％の吐出量であるから、第１・第３・第４測定対象ノズル群６６であれば約３４０ピコリットルの吐出量となるように、例えば、中液滴ＤＲｍを１２ショット（１２０ピコリットル）、大液滴ＤＲｂを１５ショット（２２５ピコリットル）とする。したがって、第２測定対象ノズル群６６の各測定対象ノズル６５ｃに対し、各画素領域５０７ａについて、４個の中駆動波形と５個の大駆動波形とを印加するように制御する。   Therefore, a part of the 27-shot medium droplet DRm discharged from the three measurement target nozzles 65c is a large droplet DRb with respect to the second measurement target nozzle group 66, whereby each measurement target nozzle group. The functional liquid discharge amount from 66 is made uniform. Specifically, since the discharge amount of the second measurement target nozzle group 66 is 80% as compared with the first, third, and fourth measurement target nozzle groups 66, the first, third, and fourth measurement are performed. For the target nozzle group 66, for example, the medium droplet DRm is set to 12 shots (120 picoliters) and the large droplet DRb is set to 15 shots (225 picoliters) so that the discharge amount is about 340 picoliters. Therefore, control is performed so that four medium drive waveforms and five large drive waveforms are applied to each pixel region 507a for each measurement target nozzle 65c of the second measurement target nozzle group 66.

また、第５測定対象ノズル群６６に対しては、３個の測定対象ノズル６５ｃから吐出される２７ショットの中液滴ＤＲｍの一部を、小液滴ＤＲｓとする。具体的には、第２測定対象ノズル群６６からは、第１・第３・第４測定対象ノズル群６６に比べて、１２０％の吐出量であるから、第１・第３・第４測定対象ノズル群６６であれば約２２５ピコリットルの吐出量となるように、例えば、中液滴ＤＲｍを１８ショット（１８０ピコリットル）、小液滴ＤＲｓを９ショット（４５ピコリットル）とする。したがって、第２測定対象ノズル群６６の各測定対象ノズル６５ｃに対し、各画素領域５０７ａについて、６個の中駆動波形と３個の大駆動波形とを印加するように制御する。なお、ショット数を増減してもよいが、ショット数を減らす場合には、ドット抜けが生ずるおそれがあるため、本実施形態のように、駆動波形の種類（印加電圧）を変更することで、各測定対象ノズル６５ｃの吐出駆動を制御することが好ましい。なお、駆動波形の種類をさらに増やすことも可能であり、より細かい吐出量の調整が可能となる。   For the fifth measurement target nozzle group 66, a part of 27 shots of the medium droplet DRm discharged from the three measurement target nozzles 65c is a small droplet DRs. Specifically, since the second measurement target nozzle group 66 has a discharge amount of 120% as compared with the first, third, and fourth measurement target nozzle groups 66, the first, third, and fourth measurement are performed. In the target nozzle group 66, for example, the medium droplet DRm is set to 18 shots (180 picoliters) and the small droplet DRs is set to 9 shots (45 picoliters) so that the discharge amount is about 225 picoliters. Therefore, control is performed so that six medium drive waveforms and three large drive waveforms are applied to each pixel region 507a for each measurement target nozzle 65c of the second measurement target nozzle group 66. The number of shots may be increased or decreased. However, when the number of shots is decreased, dot dropout may occur. Therefore, by changing the type (applied voltage) of the drive waveform as in the present embodiment, It is preferable to control the ejection drive of each measurement target nozzle 65c. Note that the number of types of drive waveforms can be further increased, and a finer adjustment of the discharge amount is possible.

これによれば、上述した信頼性の高い吐出量測定方法の測定結果に基づいて、各測定対象ノズル６５ｃの吐出駆動を制御することで、基板Ｗに吐出される機能液滴の吐出量を、描画処理時に吐出駆動する５個の測定対象ノズル群６６間で、短時間且つ正確に均一化させることができる。このため、各測定対象ノズル群６６に対応する各列の画素領域５０７ａ内に均等な量の機能液を着弾させることができ、基板Ｗに対し、精度の高い描画処理を行うことができる。   According to this, the discharge amount of the functional liquid droplets discharged onto the substrate W is controlled by controlling the discharge drive of each measurement target nozzle 65c based on the measurement result of the reliable discharge amount measurement method described above. It is possible to make uniform evenly in a short time among the five measurement target nozzle groups 66 that are driven to discharge during the drawing process. For this reason, an equal amount of functional liquid can be landed in the pixel region 507a of each column corresponding to each measurement target nozzle group 66, and a highly accurate drawing process can be performed on the substrate W.

なお、各測定対象ノズル６５ｃに対する印家電圧の設定が終了し、確認測定を実行する場合には、上記と同様にして、１５個の有効ノズルからの機能液吐出量を測定すると共に（Ｓ１６）、各測定対象ノズル群６６について、測定対象外ノズルからの機能液吐出量を順に測定して（Ｓ１７）、各測定対象ノズル群６６の単位ショット当たりの機能液吐出量を測定し、全測定対象ノズル群６６の測定が終了すると、測定結果をログファイルに書き込み（Ｓ１８）、一連の吐出量測定処理および駆動波形制御処理が終了する。   When the setting of the stamp voltage for each measurement target nozzle 65c is completed and the confirmation measurement is executed, the functional liquid discharge amount from the 15 effective nozzles is measured in the same manner as described above (S16). For each measurement target nozzle group 66, the functional liquid discharge amount from the non-measurement target nozzles is measured in order (S17), and the functional liquid discharge amount per unit shot of each measurement target nozzle group 66 is measured. When the measurement of the nozzle group 66 is completed, the measurement result is written in the log file (S18), and the series of discharge amount measurement processing and drive waveform control processing is completed.

以上のように、本実施形態の機能液滴吐出ヘッド１８の吐出量測定方法によれば、測定対象ノズル群６６から吐出される単位ショット数当たりの機能液吐出量を、短時間且つ正確に重量測定することができる。また、本実施形態の機能液滴吐出ヘッド１８の駆動制御方法によれば、基板Ｗに吐出される機能液滴の吐出量を、描画処理時に吐出駆動する複数の測定対象ノズル群６６間で、短時間且つ正確に均一化させることができる。   As described above, according to the method for measuring the ejection amount of the functional liquid droplet ejection head 18 of the present embodiment, the functional liquid ejection amount per unit shot ejected from the measurement target nozzle group 66 is accurately measured in a short time. Can be measured. Moreover, according to the drive control method of the functional liquid droplet ejection head 18 of the present embodiment, the functional liquid droplet ejection amount ejected onto the substrate W is set between the plurality of measurement target nozzle groups 66 that are ejected and driven during the drawing process. It can be made uniform in a short time and accurately.

なお、本実施形態では、ノズルピッチＰｎ（１００μｍ）に対し行方向の画素領域ピッチＰａ（４００μｍ）が整数倍となっているが、ノズルピッチＰｎに対し画素領域ピッチＰａが整数倍とならず、測定対象ノズル群６６に属する測定対象ノズル６５ｃの個数が相違する場合でも、本発明が適用できることは、いうまでもない。   In this embodiment, the pixel area pitch Pa (400 μm) in the row direction is an integer multiple of the nozzle pitch Pn (100 μm), but the pixel area pitch Pa is not an integer multiple of the nozzle pitch Pn. It goes without saying that the present invention can be applied even when the number of measurement target nozzles 65c belonging to the measurement target nozzle group 66 is different.

また、全測定対象ノズル群６６について、それぞれ単位ショット数当たりの機能液吐出量を重量測定したが、特定の測定対象ノズル群６６のみ吐出量の過多或いは過少が認められる場合には、その測定対象ノズル群６６についてのみ、機能液吐出量を測定し、機能液滴吐出ヘッド１８の駆動制御を行うようにすればよい。   In addition, for all the measurement target nozzle groups 66, the functional liquid discharge amount per unit shot number was measured by weight. When only a specific measurement target nozzle group 66 has an excessive discharge amount or a low discharge amount, the measurement target Only for the nozzle group 66, the functional liquid discharge amount may be measured and the drive control of the functional liquid droplet discharge head 18 may be performed.

また、単一の機能液滴吐出ヘッド１８が搭載された場合について説明したが、複数の機能液滴吐出ヘッド１８が搭載された場合には、各機能液滴吐出ヘッド１８について、順次、この吐出量測定処理・駆動制御処理をそれぞれ行うようにする。もっとも、同一製造ロットのものであれば、任意の１の機能液滴吐出ヘッド１８についてのみ、吐出量測定処理を行い、その測定結果に基づいて、他の機能液滴吐出ヘッド１８を吐出駆動制御するようにしてもよい。同一製造ロットの機能液滴吐出ヘッド１８に交換された場合も同様である。   Further, the case where a single functional liquid droplet ejection head 18 is mounted has been described. However, when a plurality of functional liquid droplet ejection heads 18 are mounted, the ejection of each functional liquid droplet ejection head 18 is sequentially performed. A quantity measurement process and a drive control process are performed respectively. However, if the same production lot is used, the discharge amount measurement process is performed only for one arbitrary functional liquid droplet ejection head 18, and the ejection drive control of other functional liquid droplet ejection heads 18 is performed based on the measurement result. You may make it do. The same applies when the functional droplet discharge heads 18 of the same production lot are replaced.

また、本実施形態では、機能液滴吐出ヘッド１８から受け皿９５上に吐出された機能液の重量を計測することで、機能液滴吐出ヘッド１８からの機能液吐出量を重量測定したが、これに代えて、上記の機能液供給装置６のタンク架台８２上に電子天秤を設置すると共に、この電子天秤上に機能液タンク８１を載置して、機能液タンク８１の吐出前後の重量を計測することで、機能液滴吐出ヘッド１８からの機能液吐出量を重量測定するようにしてもよい。   In this embodiment, the weight of the functional liquid ejected from the functional liquid droplet ejection head 18 is measured by measuring the weight of the functional liquid ejected from the functional liquid droplet ejection head 18 onto the tray 95. Instead of this, an electronic balance is installed on the tank base 82 of the functional liquid supply device 6 described above, and the functional liquid tank 81 is placed on the electronic balance, and the weight of the functional liquid tank 81 before and after discharge is measured. By doing so, the functional liquid ejection amount from the functional liquid droplet ejection head 18 may be measured by weight.

本実施形態のように、受け皿９５上に吐出された機能液の重量を計測する場合には、受け皿９５上に着弾した機能液滴（１０ピコリットル程度）から溶媒が揮発すると、その揮発溶媒が機能液滴全体に占める重量割合が小さくないため、無視できない測定誤差が生ずるおそれがある。この点、この機能液タンク８１の吐出前後の重量を計測する構成によれば、機能液タンク８１からの溶媒の揮発は生じないため、吐出前後において、機能液の吐出以外に、機能液タンク８１の重量が変化する要因がなく、仮に、機能液タンク８１から溶媒が揮発したとしても、その揮発溶媒が機能液タンク８１全体に占める重量割合はごく小さいため、その測定誤差は無視できるものとなる。すなわち、機能液の揮発により測定誤差が生ずることを防止できる。本構成は、特に、機能液に揮発性の高い溶媒を使用している場合に有効である。また、計測ミスを防止すべく、上記両測定方法を併用することも可能である。   When measuring the weight of the functional liquid discharged on the tray 95 as in this embodiment, when the solvent volatilizes from the functional liquid droplets (about 10 picoliters) landed on the tray 95, the volatile solvent Since the weight ratio of the entire functional droplet is not small, a measurement error that cannot be ignored may occur. In this regard, according to the configuration for measuring the weight of the functional liquid tank 81 before and after the discharge, the solvent from the functional liquid tank 81 does not volatilize. Therefore, even if the solvent is volatilized from the functional liquid tank 81, the weight ratio of the volatile solvent to the entire functional liquid tank 81 is very small, so the measurement error can be ignored. . That is, it is possible to prevent a measurement error from occurring due to volatilization of the functional liquid. This configuration is particularly effective when a highly volatile solvent is used for the functional liquid. It is also possible to use both of the above measuring methods in combination in order to prevent measurement errors.

さらに、本実施形態の機能液滴吐出ヘッド１８の吐出量測定方法および駆動制御方法は、液滴吐出装置１を金属配線形成に用いる場合にも有効である。この場合、使用されるノズル６５をノズル単位で測定対象ノズル群６６とし、ノズル６５毎の単位ショット数当たりの機能液吐出量を測定することが好ましい。これによれば、信頼性の高い上記の吐出量測定方法の測定結果に基づいて、各測定対象ノズル６５ｃの吐出駆動を制御することで、ワークに吐出される機能液滴（液状金属材料）の吐出量を、ノズル単位で、短時間且つ正確に均一化させることができる。したがって、各ノズル６５に対応するワーク側の部位に機能液を均一に着弾させることができ、ワークに対し、精度の高い描画処理（金属配線形成）を行うことができる。   Furthermore, the discharge amount measuring method and the drive control method of the functional droplet discharge head 18 of the present embodiment are also effective when the droplet discharge device 1 is used for metal wiring formation. In this case, it is preferable that the nozzles 65 to be used be the measurement target nozzle group 66 for each nozzle, and the functional liquid discharge amount per unit shot number for each nozzle 65 is measured. According to this, by controlling the ejection drive of each measurement target nozzle 65c based on the measurement result of the above-described highly reliable ejection amount measurement method, the functional droplet (liquid metal material) ejected to the workpiece is controlled. The discharge amount can be made uniform in a short time and accurately in units of nozzles. Therefore, the functional liquid can be landed uniformly on the workpiece-side portion corresponding to each nozzle 65, and a highly accurate drawing process (metal wiring formation) can be performed on the workpiece.

なお、金属配線形成方法では、機能液滴吐出ヘッド１８に液状金属材料を導入し、機能液滴吐出ヘッド１８を主走査および副走査し、液状金属材料を選択的に吐出して、基板上に金属配線を形成する。例えば、後述する液晶表示装置におけるドライバと各電極とを接続する金属配線や、後述する有機ＥＬ装置におけるＴＦＴ等と各電極とを接続する金属配線に適用することができる。また、この種のフラットディスプレイの他、一般的な半導体製造技術に適用できることはいうまでもない。   In the metal wiring forming method, a liquid metal material is introduced into the functional liquid droplet ejection head 18, the functional liquid droplet ejection head 18 is main-scanned and sub-scanned, and the liquid metal material is selectively ejected onto the substrate. Metal wiring is formed. For example, the present invention can be applied to a metal wiring that connects a driver and each electrode in a liquid crystal display device described later, or a metal wiring that connects a TFT and the like in an organic EL device described later to each electrode. In addition to this type of flat display, it goes without saying that it can be applied to general semiconductor manufacturing techniques.

次に、本実施形態の液滴吐出装置１を用いて製造される電気光学装置（フラットパネルディスプレイ）として、カラーフィルタ、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、プラズマディスプレイ（ＰＤＰ装置）、電子放出装置（ＦＥＤ装置、ＳＥＤ装置）、さらにこれら表示装置に形成されてなるアクティブマトリクス基板等を例に、これらの構造およびその製造方法について説明する。なお、アクティブマトリクス基板とは、薄膜トランジスタ、および薄膜トランジスタに電気的に接続するソース線、データ線が形成された基板をいう。   Next, as an electro-optical device (flat panel display) manufactured using the droplet discharge device 1 of this embodiment, a color filter, a liquid crystal display device, an organic EL device, a plasma display (PDP device), an electron emission device ( FED devices, SED devices), and active matrix substrates formed in these display devices will be described as an example for their structures and manufacturing methods. Note that an active matrix substrate refers to a substrate on which a thin film transistor, a source line electrically connected to the thin film transistor, and a data line are formed.

まず、液晶表示装置や有機ＥＬ装置等に組み込まれるカラーフィルタの製造方法について説明する。図１０は、カラーフィルタの製造工程を示すフローチャート、図１１は、製造工程順に示した本実施形態のカラーフィルタ５００（フィルタ基体５００Ａ）の模式断面図である。
まず、ブラックマトリクス形成工程（Ｓ１０１）では、図１１（ａ）に示すように、基板（Ｗ）５０１上にブラックマトリクス５０２を形成する。ブラックマトリクス５０２は、金属クロム、金属クロムと酸化クロムの積層体、または樹脂ブラック等により形成される。金属薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成するには、スパッタ法や蒸着法等を用いることができる。また、樹脂薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成する場合には、グラビア印刷法、フォトレジスト法、熱転写法等を用いることができる。 First, a method for manufacturing a color filter incorporated in a liquid crystal display device, an organic EL device or the like will be described. FIG. 10 is a flowchart showing the manufacturing process of the color filter, and FIG. 11 is a schematic cross-sectional view of the color filter 500 (filter base body 500A) of this embodiment shown in the order of the manufacturing process.
First, in the black matrix forming step (S101), a black matrix 502 is formed on a substrate (W) 501 as shown in FIG. The black matrix 502 is formed of metal chromium, a laminate of metal chromium and chromium oxide, resin black, or the like. A sputtering method, a vapor deposition method, or the like can be used to form the black matrix 502 made of a metal thin film. Further, when forming the black matrix 502 made of a resin thin film, a gravure printing method, a photoresist method, a thermal transfer method, or the like can be used.

続いて、バンク形成工程（Ｓ１０２）において、ブラックマトリクス５０２上に重畳する状態でバンク５０３を形成する。即ち、まず図１１（ｂ）に示すように、基板５０１およびブラックマトリクス５０２を覆うようにネガ型の透明な感光性樹脂からなるレジスト層５０４を形成する。そして、その上面をマトリクスパターン形状に形成されたマスクフィルム５０５で被覆した状態で露光処理を行う。
さらに、図１１（ｃ）に示すように、レジスト層５０４の未露光部分をエッチング処理することによりレジスト層５０４をパターニングして、バンク５０３を形成する。なお、樹脂ブラックによりブラックマトリクスを形成する場合は、ブラックマトリクスとバンクとを兼用することが可能となる。
このバンク５０３とその下のブラックマトリクス５０２は、各画素領域５０７ａを区画する区画壁部５０７ｂとなり、後の着色層形成工程において機能液滴吐出ヘッド１８により着色層（成膜部）５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する際に機能液滴の着弾領域を規定する。 Subsequently, in a bank formation step (S102), a bank 503 is formed in a state of being superimposed on the black matrix 502. That is, first, as shown in FIG. 11B, a resist layer 504 made of a negative transparent photosensitive resin is formed so as to cover the substrate 501 and the black matrix 502. Then, an exposure process is performed with the upper surface covered with a mask film 505 formed in a matrix pattern shape.
Further, as shown in FIG. 11C, the resist layer 504 is patterned by etching an unexposed portion of the resist layer 504 to form a bank 503. When the black matrix is formed from resin black, it is possible to use both the black matrix and the bank.
The bank 503 and the black matrix 502 below the partition 507b partition each pixel region 507a, and in the subsequent colored layer forming process, the colored liquid layers (film forming portions) 508R, 508G, When forming 508B, the landing area of the functional droplet is defined.

以上のブラックマトリクス形成工程およびバンク形成工程を経ることにより、上記フィルタ基体５００Ａが得られる。
なお、本実施形態においては、バンク５０３の材料として、塗膜表面が疎液（疎水）性となる樹脂材料を用いている。そして、基板（ガラス基板）５０１の表面が親液（親水）性であるので、後述する着色層形成工程においてバンク５０３（区画壁部５０７ｂ）に囲まれた各画素領域５０７ａ内への液滴の着弾位置のばらつきを自動補正できる。 The filter substrate 500A is obtained through the above black matrix forming step and bank forming step.
In the present embodiment, as the material for the bank 503, a resin material whose surface is lyophobic (hydrophobic) is used. Since the surface of the substrate (glass substrate) 501 is lyophilic (hydrophilic), the droplets into each pixel region 507a surrounded by the bank 503 (partition wall portion 507b) in the colored layer forming step described later. Variations in landing position can be automatically corrected.

次に、着色層形成工程（Ｓ１０３）では、図１１（ｄ）に示すように、機能液滴吐出ヘッド１８によって機能液滴を吐出して区画壁部５０７ｂで囲まれた各画素領域５０７ａ内に着弾させる。この場合、機能液滴吐出ヘッド１８を用いて、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の機能液（フィルタ材料）を導入して、機能液滴の吐出を行う。なお、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライプ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。   Next, in the colored layer forming step (S103), as shown in FIG. 11 (d), functional droplets are ejected by the functional droplet ejection head 18, and each pixel region 507a surrounded by the partition wall portion 507b is placed. Let it land. In this case, the functional liquid droplet ejection head 18 is used to introduce functional liquids (filter materials) of three colors of R, G, and B to eject functional liquid droplets. Note that the three-color arrangement pattern of R, G, and B includes a stripe arrangement, a mosaic arrangement, and a delta arrangement.

その後、乾燥処理（加熱等の処理）を経て機能液を定着させ、３色の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する。着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成したならば、保護膜形成工程（Ｓ１０４）に移り、図１１（ｅ）に示すように、基板５０１、区画壁部５０７ｂ、および着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂの上面を覆うように保護膜５０９を形成する。
即ち、基板５０１の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが形成されている面全体に保護膜用塗布液が吐出された後、乾燥処理を経て保護膜５０９が形成される。
そして、保護膜５０９を形成した後、カラーフィルタ５００は、次工程の透明電極となるＩＴＯ（Indium Tin Oxide）などの膜付け工程に移行する。 Thereafter, the functional liquid is fixed through a drying process (a process such as heating), and three colored layers 508R, 508G, and 508B are formed. If the colored layers 508R, 508G, and 508B are formed, the process proceeds to the protective film forming step (S104), and as shown in FIG. 11E, the substrate 501, the partition wall portion 507b, and the colored layers 508R, 508G, and 508B are moved. A protective film 509 is formed so as to cover the upper surface.
That is, after the protective film coating liquid is discharged over the entire surface of the substrate 501 where the colored layers 508R, 508G, and 508B are formed, the protective film 509 is formed through a drying process.
Then, after forming the protective film 509, the color filter 500 moves to a film forming process such as ITO (Indium Tin Oxide) which becomes a transparent electrode in the next process.

図１２は、上記のカラーフィルタ５００を用いた液晶表示装置の一例としてのパッシブマトリックス型液晶装置（液晶装置）の概略構成を示す要部断面図である。この液晶装置５２０に、液晶駆動用ＩＣ、バックライト、支持体などの付帯要素を装着することによって、最終製品としての透過型液晶表示装置が得られる。なお、カラーフィルタ５００は図１１に示したものと同一であるので、対応する部位には同一の符号を付し、その説明は省略する。   FIG. 12 is a cross-sectional view of a main part showing a schematic configuration of a passive matrix liquid crystal device (liquid crystal device) as an example of a liquid crystal display device using the color filter 500 described above. By attaching auxiliary elements such as a liquid crystal driving IC, a backlight, and a support to the liquid crystal device 520, a transmissive liquid crystal display device as a final product can be obtained. Since the color filter 500 is the same as that shown in FIG. 11, the corresponding parts are denoted by the same reference numerals, and description thereof is omitted.

この液晶装置５２０は、カラーフィルタ５００、ガラス基板等からなる対向基板５２１、および、これらの間に挟持されたＳＴＮ（Super Twisted Nematic）液晶組成物からなる液晶層５２２により概略構成されており、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置している。
なお、図示していないが、対向基板５２１およびカラーフィルタ５００の外面（液晶層５２２側とは反対側の面）には偏光板がそれぞれ配設され、また対向基板５２１側に位置する偏光板の外側には、バックライトが配設されている。 The liquid crystal device 520 is roughly configured by a color filter 500, a counter substrate 521 made of a glass substrate, and a liquid crystal layer 522 made of an STN (Super Twisted Nematic) liquid crystal composition sandwiched between them, The filter 500 is arranged on the upper side (observer side) in the figure.
Although not shown, polarizing plates are provided on the outer surfaces of the counter substrate 521 and the color filter 500 (surfaces opposite to the liquid crystal layer 522 side), and the polarizing plates located on the counter substrate 521 side are also provided. A backlight is disposed outside.

カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層側）には、図１２において左右方向に長尺な短冊状の第１電極５２３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５２３のカラーフィルタ５００側とは反対側の面を覆うように第１配向膜５２４が形成されている。
一方、対向基板５２１におけるカラーフィルタ５００と対向する面には、カラーフィルタ５００の第１電極５２３と直交する方向に長尺な短冊状の第２電極５２６が所定の間隔で複数形成され、この第２電極５２６の液晶層５２２側の面を覆うように第２配向膜５２７が形成されている。これらの第１電極５２３および第２電極５２６は、ＩＴＯなどの透明導電材料により形成されている。 On the protective film 509 of the color filter 500 (on the liquid crystal layer side), a plurality of strip-shaped first electrodes 523 elongated in the left-right direction in FIG. 12 are formed at a predetermined interval. The color of the first electrode 523 A first alignment film 524 is formed so as to cover the surface opposite to the filter 500 side.
On the other hand, a plurality of strip-shaped second electrodes 526 elongated in a direction orthogonal to the first electrode 523 of the color filter 500 are formed on the surface of the counter substrate 521 facing the color filter 500 at a predetermined interval. A second alignment film 527 is formed so as to cover the surface of the two electrodes 526 on the liquid crystal layer 522 side. The first electrode 523 and the second electrode 526 are made of a transparent conductive material such as ITO.

液晶層５２２内に設けられたスペーサ５２８は、液晶層５２２の厚さ（セルギャップ）を一定に保持するための部材である。また、シール材５２９は液晶層５２２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するための部材である。なお、第１電極５２３の一端部は引き回し配線５２３ａとしてシール材５２９の外側まで延在している。
そして、第１電極５２３と第２電極５２６とが交差する部分が画素であり、この画素となる部分に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。 The spacer 528 provided in the liquid crystal layer 522 is a member for keeping the thickness (cell gap) of the liquid crystal layer 522 constant. The sealing material 529 is a member for preventing the liquid crystal composition in the liquid crystal layer 522 from leaking to the outside. Note that one end of the first electrode 523 extends to the outside of the sealing material 529 as a lead-out wiring 523a.
A portion where the first electrode 523 and the second electrode 526 intersect with each other is a pixel, and the color layers 508R, 508G, and 508B of the color filter 500 are located in the portion that becomes the pixel.

通常の製造工程では、カラーフィルタ５００に、第１電極５２３のパターニングおよび第１配向膜５２４の塗布を行ってカラーフィルタ５００側の部分を作成すると共に、これとは別に対向基板５２１に、第２電極５２６のパターニングおよび第２配向膜５２７の塗布を行って対向基板５２１側の部分を作成する。その後、対向基板５２１側の部分にスペーサ５２８およびシール材５２９を作り込み、この状態でカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる。次いで、シール材５２９の注入口から液晶層５２２を構成する液晶を注入し、注入口を閉止する。その後、両偏光板およびバックライトを積層する。   In a normal manufacturing process, patterning of the first electrode 523 and application of the first alignment film 524 are performed on the color filter 500 to create a portion on the color filter 500 side. Patterning of the electrode 526 and application of the second alignment film 527 are performed to create a portion on the counter substrate 521 side. Thereafter, a spacer 528 and a sealing material 529 are formed in the portion on the counter substrate 521 side, and the portion on the color filter 500 side is bonded in this state. Next, liquid crystal constituting the liquid crystal layer 522 is injected from the inlet of the sealing material 529, and the inlet is closed. Thereafter, both polarizing plates and the backlight are laminated.

実施形態の液滴吐出装置１は、例えば上記のセルギャップを構成するスペーサ材料（機能液）を塗布すると共に、対向基板５２１側の部分にカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる前に、シール材５２９で囲んだ領域に液晶（機能液）を均一に塗布することが可能である。また、上記のシール材５２９の印刷を、機能液滴吐出ヘッド１８で行うことも可能である。さらに、第１・第２両配向膜５２４，５２７の塗布を機能液滴吐出ヘッド１８で行うことも可能である。   The droplet discharge device 1 according to the embodiment applies, for example, a spacer material (functional liquid) that constitutes the cell gap, and before the portion on the color filter 500 side is bonded to the portion on the counter substrate 521 side, the sealing material Liquid crystal (functional liquid) can be uniformly applied to the region surrounded by 529. Further, the printing of the sealing material 529 can be performed by the functional liquid droplet ejection head 18. Furthermore, the first and second alignment films 524 and 527 can be applied by the functional liquid droplet ejection head 18.

図１３は、本実施形態において製造したカラーフィルタ５００を用いた液晶装置の第２の例の概略構成を示す要部断面図である。
この液晶装置５３０が上記液晶装置５２０と大きく異なる点は、カラーフィルタ５００を図中下側（観測者側とは反対側）に配置した点である。
この液晶装置５３０は、カラーフィルタ５００とガラス基板等からなる対向基板５３１との間にＳＴＮ液晶からなる液晶層５３２が挟持されて概略構成されている。なお、図示していないが、対向基板５３１およびカラーフィルタ５００の外面には偏光板等がそれぞれ配設されている。 FIG. 13 is a cross-sectional view of an essential part showing a schematic configuration of a second example of a liquid crystal device using the color filter 500 manufactured in the present embodiment.
The liquid crystal device 530 is significantly different from the liquid crystal device 520 in that the color filter 500 is arranged on the lower side (the side opposite to the observer side) in the figure.
The liquid crystal device 530 is generally configured by sandwiching a liquid crystal layer 532 made of STN liquid crystal between a color filter 500 and a counter substrate 531 made of a glass substrate or the like. Although not shown, polarizing plates and the like are provided on the outer surfaces of the counter substrate 531 and the color filter 500, respectively.

カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層５３２側）には、図中奥行き方向に長尺な短冊状の第１電極５３３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５３３の液晶層５３２側の面を覆うように第１配向膜５３４が形成されている。
対向基板５３１のカラーフィルタ５００と対向する面上には、カラーフィルタ５００側の第１電極５３３と直交する方向に延在する複数の短冊状の第２電極５３６が所定の間隔で形成され、この第２電極５３６の液晶層５３２側の面を覆うように第２配向膜５３７が形成されている。 On the protective film 509 of the color filter 500 (on the liquid crystal layer 532 side), a plurality of strip-shaped first electrodes 533 elongated in the depth direction in the figure are formed at predetermined intervals, and the liquid crystal of the first electrodes 533 is formed. A first alignment film 534 is formed so as to cover the surface on the layer 532 side.
A plurality of strip-shaped second electrodes 536 extending in a direction orthogonal to the first electrode 533 on the color filter 500 side are formed on the surface of the counter substrate 531 facing the color filter 500 at a predetermined interval. A second alignment film 537 is formed so as to cover the surface of the second electrode 536 on the liquid crystal layer 532 side.

液晶層５３２には、この液晶層５３２の厚さを一定に保持するためのスペーサ５３８と、液晶層５３２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するためのシール材５３９が設けられている。
そして、上記した液晶装置５２０と同様に、第１電極５３３と第２電極５３６との交差する部分が画素であり、この画素となる部位に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。 The liquid crystal layer 532 is provided with a spacer 538 for keeping the thickness of the liquid crystal layer 532 constant and a sealing material 539 for preventing the liquid crystal composition in the liquid crystal layer 532 from leaking to the outside. Yes.
Similarly to the liquid crystal device 520 described above, a portion where the first electrode 533 and the second electrode 536 intersect with each other is a pixel, and the colored layers 508R, 508G, and 508B of the color filter 500 are located at the portion that becomes the pixel. Is configured to do.

図１４は、本発明を適用したカラーフィルタ５００を用いて液晶装置を構成した第３の例を示したもので、透過型のＴＦＴ（Thin Film Transistor）型液晶装置の概略構成を示す分解斜視図である。
この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置したものである。 FIG. 14 shows a third example in which a liquid crystal device is configured using a color filter 500 to which the present invention is applied, and is an exploded perspective view showing a schematic configuration of a transmissive TFT (Thin Film Transistor) type liquid crystal device. It is.
In the liquid crystal device 550, the color filter 500 is arranged on the upper side (observer side) in the figure.

この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００と、これに対向するように配置された対向基板５５１と、これらの間に挟持された図示しない液晶層と、カラーフィルタ５００の上面側（観測者側）に配置された偏光板５５５と、対向基板５５１の下面側に配設された偏光板（図示せず）とにより概略構成されている。
カラーフィルタ５００の保護膜５０９の表面（対向基板５５１側の面）には液晶駆動用の電極５５６が形成されている。この電極５５６は、ＩＴＯ等の透明導電材料からなり、後述の画素電極５６０が形成される領域全体を覆う全面電極となっている。また、この電極５５６の画素電極５６０とは反対側の面を覆った状態で配向膜５５７が設けられている。 The liquid crystal device 550 includes a color filter 500, a counter substrate 551 disposed so as to face the color filter 500, a liquid crystal layer (not shown) sandwiched therebetween, and an upper surface side (observer side) of the color filter 500. The polarizing plate 555 and the polarizing plate (not shown) arranged on the lower surface side of the counter substrate 551 are roughly configured.
A liquid crystal driving electrode 556 is formed on the surface of the protective film 509 of the color filter 500 (the surface on the counter substrate 551 side). The electrode 556 is made of a transparent conductive material such as ITO, and is a full surface electrode that covers the entire region where a pixel electrode 560 described later is formed. An alignment film 557 is provided so as to cover the surface of the electrode 556 opposite to the pixel electrode 560.

対向基板５５１のカラーフィルタ５００と対向する面には絶縁層５５８が形成されており、この絶縁層５５８上には、走査線５６１および信号線５６２が互いに直交する状態で形成されている。そして、これらの走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた領域内には画素電極５６０が形成されている。なお、実際の液晶装置では、画素電極５６０上に配向膜が設けられるが、図示を省略している。   An insulating layer 558 is formed on the surface of the counter substrate 551 facing the color filter 500, and the scanning lines 561 and the signal lines 562 are formed on the insulating layer 558 in a state of being orthogonal to each other. A pixel electrode 560 is formed in a region surrounded by the scanning lines 561 and the signal lines 562. In an actual liquid crystal device, an alignment film is provided on the pixel electrode 560, but the illustration is omitted.

また、画素電極５６０の切欠部と走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた部分には、ソース電極、ドレイン電極、半導体、およびゲート電極とを具備する薄膜トランジスタ５６３が組み込まれて構成されている。そして、走査線５６１と信号線５６２に対する信号の印加によって薄膜トランジスタ５６３をオン・オフして画素電極５６０への通電制御を行うことができるように構成されている。   In addition, a thin film transistor 563 including a source electrode, a drain electrode, a semiconductor, and a gate electrode is incorporated in a portion surrounded by the cutout portion of the pixel electrode 560 and the scanning line 561 and the signal line 562. . The thin film transistor 563 is turned on / off by application of signals to the scanning line 561 and the signal line 562 so that energization control to the pixel electrode 560 can be performed.

なお、上記の各例の液晶装置５２０，５３０，５５０は、透過型の構成としたが、反射層あるいは半透過反射層を設けて、反射型の液晶装置あるいは半透過反射型の液晶装置とすることもできる。   Note that the liquid crystal devices 520, 530, and 550 in the above examples are transmissive, but a reflective liquid crystal device or a transflective liquid crystal device is provided by providing a reflective layer or a transflective layer. You can also

次に、図１５は、有機ＥＬ装置の表示領域（以下、単に表示装置６００と称する）の要部断面図である。   Next, FIG. 15 is a cross-sectional view of a main part of a display region of the organic EL device (hereinafter simply referred to as a display device 600).

この表示装置６００は、基板（Ｗ）６０１上に、回路素子部６０２、発光素子部６０３および陰極６０４が積層された状態で概略構成されている。
この表示装置６００においては、発光素子部６０３から基板６０１側に発した光が、回路素子部６０２および基板６０１を透過して観測者側に出射されると共に、発光素子部６０３から基板６０１の反対側に発した光が陰極６０４により反射された後、回路素子部６０２および基板６０１を透過して観測者側に出射されるようになっている。 The display device 600 is schematically configured with a circuit element portion 602, a light emitting element portion 603, and a cathode 604 laminated on a substrate (W) 601.
In the display device 600, light emitted from the light emitting element portion 603 to the substrate 601 side is transmitted through the circuit element portion 602 and the substrate 601 and emitted to the observer side, and the light emitting element portion 603 is opposite to the substrate 601. After the light emitted to the side is reflected by the cathode 604, the light passes through the circuit element portion 602 and the substrate 601 and is emitted to the observer side.

回路素子部６０２と基板６０１との間にはシリコン酸化膜からなる下地保護膜６０６が形成され、この下地保護膜６０６上（発光素子部６０３側）に多結晶シリコンからなる島状の半導体膜６０７が形成されている。この半導体膜６０７の左右の領域には、ソース領域６０７ａおよびドレイン領域６０７ｂが高濃度陽イオン打ち込みによりそれぞれ形成されている。そして陽イオンが打ち込まれない中央部がチャネル領域６０７ｃとなっている。   A base protective film 606 made of a silicon oxide film is formed between the circuit element portion 602 and the substrate 601, and an island-shaped semiconductor film 607 made of polycrystalline silicon is formed on the base protective film 606 (on the light emitting element portion 603 side). Is formed. In the left and right regions of the semiconductor film 607, a source region 607a and a drain region 607b are formed by high concentration cation implantation, respectively. A central portion where no positive ions are implanted is a channel region 607c.

また、回路素子部６０２には、下地保護膜６０６および半導体膜６０７を覆う透明なゲート絶縁膜６０８が形成され、このゲート絶縁膜６０８上の半導体膜６０７のチャネル領域６０７ｃに対応する位置には、例えばＡｌ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｗ等から構成されるゲート電極６０９が形成されている。このゲート電極６０９およびゲート絶縁膜６０８上には、透明な第１層間絶縁膜６１１ａと第２層間絶縁膜６１１ｂが形成されている。また、第１、第２層間絶縁膜６１１ａ、６１１ｂを貫通して、半導体膜６０７のソース領域６０７ａ、ドレイン領域６０７ｂにそれぞれ連通するコンタクトホール６１２ａ，６１２ｂが形成されている。   In the circuit element portion 602, a transparent gate insulating film 608 covering the base protective film 606 and the semiconductor film 607 is formed, and a position corresponding to the channel region 607c of the semiconductor film 607 on the gate insulating film 608 is formed. For example, a gate electrode 609 made of Al, Mo, Ta, Ti, W or the like is formed. On the gate electrode 609 and the gate insulating film 608, a transparent first interlayer insulating film 611a and a second interlayer insulating film 611b are formed. Further, contact holes 612a and 612b are formed through the first and second interlayer insulating films 611a and 611b and communicating with the source region 607a and the drain region 607b of the semiconductor film 607, respectively.

そして、第２層間絶縁膜６１１ｂ上には、ＩＴＯ等からなる透明な画素電極６１３が所定の形状にパターニングされて形成され、この画素電極６１３は、コンタクトホール６１２ａを通じてソース領域６０７ａに接続されている。
また、第１層間絶縁膜６１１ａ上には電源線６１４が配設されており、この電源線６１４は、コンタクトホール６１２ｂを通じてドレイン領域６０７ｂに接続されている。 A transparent pixel electrode 613 made of ITO or the like is patterned and formed in a predetermined shape on the second interlayer insulating film 611b, and the pixel electrode 613 is connected to the source region 607a through the contact hole 612a. .
A power supply line 614 is disposed on the first interlayer insulating film 611a, and the power supply line 614 is connected to the drain region 607b through the contact hole 612b.

このように、回路素子部６０２には、各画素電極６１３に接続された駆動用の薄膜トランジスタ６１５がそれぞれ形成されている。   Thus, the driving thin film transistors 615 connected to the pixel electrodes 613 are formed in the circuit element portion 602, respectively.

上記発光素子部６０３は、複数の画素電極６１３上の各々に積層された機能層６１７と、各画素電極６１３および機能層６１７の間に備えられて各機能層６１７を区画するバンク部６１８とにより概略構成されている。
これら画素電極６１３、機能層６１７、および、機能層６１７上に配設された陰極６０４によって発光素子が構成されている。なお、画素電極６１３は、平面視略矩形状にパターニングされて形成されており、各画素電極６１３の間にバンク部６１８が形成されている。 The light emitting element portion 603 includes a functional layer 617 stacked on each of the plurality of pixel electrodes 613, and a bank portion 618 provided between each pixel electrode 613 and the functional layer 617 to partition each functional layer 617. It is roughly structured.
The pixel electrode 613, the functional layer 617, and the cathode 604 provided on the functional layer 617 constitute a light emitting element. Note that the pixel electrode 613 is formed by patterning in a substantially rectangular shape in plan view, and a bank portion 618 is formed between the pixel electrodes 613.

バンク部６１８は、例えばＳｉＯ、ＳｉＯ2、ＴｉＯ2等の無機材料により形成される無機物バンク層６１８ａ（第１バンク層）と、この無機物バンク層６１８ａ上に積層され、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂等の耐熱性、耐溶媒性に優れたレジストにより形成される断面台形状の有機物バンク層６１８ｂ（第２バンク層）とにより構成されている。このバンク部６１８の一部は、画素電極６１３の周縁部上に乗上げた状態で形成されている。
そして、各バンク部６１８の間には、画素電極６１３に対して上方に向けて次第に拡開した開口部６１９が形成されている。 The bank unit 618 is laminated on the inorganic bank layer 618a (first bank layer) 618a formed of an inorganic material such as SiO, SiO 2 , TiO 2, and the like, and is made of an acrylic resin, a polyimide resin, or the like. It is composed of an organic bank layer 618b (second bank layer) having a trapezoidal cross section formed of a resist having excellent heat resistance and solvent resistance. A part of the bank unit 618 is formed on the peripheral edge of the pixel electrode 613.
An opening 619 that gradually expands upward with respect to the pixel electrode 613 is formed between the bank portions 618.

上記機能層６１７は、開口部６１９内において画素電極６１３上に積層状態で形成された正孔注入／輸送層６１７ａと、この正孔注入／輸送層６１７ａ上に形成された発光層６１７ｂとにより構成されている。なお、この発光層６１７ｂに隣接してその他の機能を有する他の機能層をさらに形成しても良い。例えば、電子輸送層を形成することも可能である。
正孔注入／輸送層６１７ａは、画素電極６１３側から正孔を輸送して発光層６１７ｂに注入する機能を有する。この正孔注入／輸送層６１７ａは、正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物（機能液）を吐出することで形成される。正孔注入／輸送層形成材料としては、公知の材料を用いる。 The functional layer 617 includes a hole injection / transport layer 617a formed in a stacked state on the pixel electrode 613 in the opening 619, and a light emitting layer 617b formed on the hole injection / transport layer 617a. Has been. Note that another functional layer having other functions may be further formed adjacent to the light emitting layer 617b. For example, it is possible to form an electron transport layer.
The hole injection / transport layer 617a has a function of transporting holes from the pixel electrode 613 side and injecting them into the light emitting layer 617b. The hole injection / transport layer 617a is formed by discharging a first composition (functional liquid) containing a hole injection / transport layer forming material. A known material is used as the hole injection / transport layer forming material.

発光層６１７ｂは、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、または青色（Ｂ）のいずれかに発光するもので、発光層形成材料（発光材料）を含む第２組成物（機能液）を吐出することで形成される。第２組成物の溶媒（非極性溶媒）としては、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な公知の材料を用いることが好ましく、このような非極性溶媒を発光層６１７ｂの第２組成物に用いることにより、正孔注入／輸送層６１７ａを再溶解させることなく発光層６１７ｂを形成することができる。   The light emitting layer 617b emits light in red (R), green (G), or blue (B), and discharges a second composition (functional liquid) containing a light emitting layer forming material (light emitting material). Is formed. As the solvent (nonpolar solvent) of the second composition, a known material that is insoluble in the hole injection / transport layer 617a is preferably used, and such a nonpolar solvent is used as the second composition of the light emitting layer 617b. By using the light emitting layer 617b, the light emitting layer 617b can be formed without re-dissolving the hole injection / transport layer 617a.

そして、発光層６１７ｂでは、正孔注入／輸送層６１７ａから注入された正孔と、陰極６０４から注入される電子が発光層で再結合して発光するように構成されている。   The light emitting layer 617b is configured such that the holes injected from the hole injection / transport layer 617a and the electrons injected from the cathode 604 are recombined in the light emitting layer to emit light.

陰極６０４は、発光素子部６０３の全面を覆う状態で形成されており、画素電極６１３と対になって機能層６１７に電流を流す役割を果たす。なお、この陰極６０４の上部には図示しない封止部材が配置される。   The cathode 604 is formed so as to cover the entire surface of the light emitting element portion 603, and plays a role of flowing current to the functional layer 617 in a pair with the pixel electrode 613. Note that a sealing member (not shown) is disposed on the cathode 604.

次に、上記の表示装置６００の製造工程を図１６〜図２４を参照して説明する。
この表示装置６００は、図１６に示すように、バンク部形成工程（Ｓ１１１）、表面処理工程（Ｓ１１２）、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）、発光層形成工程（Ｓ１１４）、および対向電極形成工程（Ｓ１１５）を経て製造される。なお、製造工程は例示するものに限られるものではなく必要に応じてその他の工程が除かれる場合、また追加される場合もある。 Next, a manufacturing process of the display device 600 will be described with reference to FIGS.
As shown in FIG. 16, the display device 600 includes a bank part forming step (S111), a surface treatment step (S112), a hole injection / transport layer forming step (S113), a light emitting layer forming step (S114), It is manufactured through an electrode formation step (S115). In addition, a manufacturing process is not restricted to what is illustrated, and when other processes are removed as needed, it may be added.

まず、バンク部形成工程（Ｓ１１１）では、図１７に示すように、第２層間絶縁膜６１１ｂ上に無機物バンク層６１８ａを形成する。この無機物バンク層６１８ａは、形成位置に無機物膜を形成した後、この無機物膜をフォトリソグラフィ技術等によりパターニングすることにより形成される。このとき、無機物バンク層６１８ａの一部は画素電極６１３の周縁部と重なるように形成される。
無機物バンク層６１８ａを形成したならば、図１８に示すように、無機物バンク層６１８ａ上に有機物バンク層６１８ｂを形成する。この有機物バンク層６１８ｂも無機物バンク層６１８ａと同様にフォトリソグラフィ技術等によりパターニングして形成される。
このようにしてバンク部６１８が形成される。また、これに伴い、各バンク部６１８間には、画素電極６１３に対して上方に開口した開口部６１９が形成される。この開口部６１９は、画素領域を規定する。 First, in the bank part forming step (S111), as shown in FIG. 17, an inorganic bank layer 618a is formed on the second interlayer insulating film 611b. The inorganic bank layer 618a is formed by forming an inorganic film at a formation position and then patterning the inorganic film by a photolithography technique or the like. At this time, a part of the inorganic bank layer 618 a is formed so as to overlap with the peripheral edge of the pixel electrode 613.
When the inorganic bank layer 618a is formed, an organic bank layer 618b is formed on the inorganic bank layer 618a as shown in FIG. The organic bank layer 618b is also formed by patterning using a photolithography technique or the like in the same manner as the inorganic bank layer 618a.
In this way, the bank portion 618 is formed. Accordingly, an opening 619 opening upward with respect to the pixel electrode 613 is formed between the bank portions 618. The opening 619 defines a pixel region.

表面処理工程（Ｓ１１２）では、親液化処理および撥液化処理が行われる。親液化処理を施す領域は、無機物バンク層６１８ａの第１積層部６１８ａａおよび画素電極６１３の電極面６１３ａであり、これらの領域は、例えば酸素を処理ガスとするプラズマ処理によって親液性に表面処理される。このプラズマ処理は、画素電極６１３であるＩＴＯの洗浄等も兼ねている。
また、撥液化処理は、有機物バンク層６１８ｂの壁面６１８ｓおよび有機物バンク層６１８ｂの上面６１８ｔに施され、例えば四フッ化メタンを処理ガスとするプラズマ処理によって表面がフッ化処理（撥液性に処理）される。
この表面処理工程を行うことにより、機能液滴吐出ヘッド１８を用いて機能層６１７を形成する際に、機能液滴を画素領域に、より確実に着弾させることができ、また、画素領域に着弾した機能液滴が開口部６１９から溢れ出るのを防止することが可能となる。 In the surface treatment step (S112), a lyophilic process and a lyophobic process are performed. The region to be subjected to the lyophilic treatment is the first laminated portion 618aa of the inorganic bank layer 618a and the electrode surface 613a of the pixel electrode 613. These regions are made lyophilic by plasma treatment using, for example, oxygen as a treatment gas. Is done. This plasma treatment also serves to clean the ITO that is the pixel electrode 613.
In addition, the lyophobic treatment is performed on the wall surface 618s of the organic bank layer 618b and the upper surface 618t of the organic bank layer 618b, and the surface is fluorinated (treated to be liquid repellent) by plasma treatment using, for example, tetrafluoromethane. )
By performing this surface treatment process, when forming the functional layer 617 using the functional liquid droplet ejection head 18, the functional liquid droplets can be landed more reliably on the pixel area. It is possible to prevent the functional droplets from overflowing from the opening 619.

そして、以上の工程を経ることにより、表示装置基体６００Ａが得られる。この表示装置基体６００Ａは、図２に示した液滴吐出装置１のセットテーブル２１に載置され、以下の正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）および発光層形成工程（Ｓ１１４）が行われる。   Then, the display device base 600A is obtained through the above steps. The display device base 600A is placed on the set table 21 of the droplet discharge device 1 shown in FIG. 2, and the following hole injection / transport layer forming step (S113) and light emitting layer forming step (S114) are performed. .

図１９に示すように、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）では、機能液滴吐出ヘッド１８から正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物を画素領域である各開口部６１９内に吐出する。その後、図２０に示すように、乾燥処理および熱処理を行い、第１組成物に含まれる極性溶媒を蒸発させ、画素電極（電極面６１３ａ）６１３上に正孔注入／輸送層６１７ａを形成する。   As shown in FIG. 19, in the hole injection / transport layer forming step (S113), the first composition containing the hole injection / transport layer forming material is transferred from the functional liquid droplet ejection head 18 to each opening 619 that is a pixel region. Discharge inside. Thereafter, as shown in FIG. 20, a drying process and a heat treatment are performed to evaporate the polar solvent contained in the first composition, thereby forming a hole injection / transport layer 617a on the pixel electrode (electrode surface 613a) 613.

次に発光層形成工程（Ｓ１１４）について説明する。この発光層形成工程では、上述したように、正孔注入／輸送層６１７ａの再溶解を防止するために、発光層形成の際に用いる第２組成物の溶媒として、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な非極性溶媒を用いる。
しかしその一方で、正孔注入／輸送層６１７ａは、非極性溶媒に対する親和性が低いため、非極性溶媒を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａ上に吐出しても、正孔注入／輸送層６１７ａと発光層６１７ｂとを密着させることができなくなるか、あるいは発光層６１７ｂを均一に塗布できない虞がある。
そこで、非極性溶媒並びに発光層形成材料に対する正孔注入／輸送層６１７ａの表面の親和性を高めるために、発光層形成の前に表面処理（表面改質処理）を行うことが好ましい。この表面処理は、発光層形成の際に用いる第２組成物の非極性溶媒と同一溶媒またはこれに類する溶媒である表面改質材を、正孔注入／輸送層６１７ａ上に塗布し、これを乾燥させることにより行う。
このような処理を施すことで、正孔注入／輸送層６１７ａの表面が非極性溶媒になじみやすくなり、この後の工程で、発光層形成材料を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａに均一に塗布することができる。 Next, the light emitting layer forming step (S114) will be described. In this light emitting layer forming step, as described above, in order to prevent re-dissolution of the hole injection / transport layer 617a, the hole injection / transport layer 617a is used as a solvent for the second composition used in forming the light emitting layer. A non-polar solvent insoluble in.
However, since the hole injection / transport layer 617a has a low affinity for the nonpolar solvent, the hole injection / transport layer 617a has a low affinity even if the second composition containing the nonpolar solvent is discharged onto the hole injection / transport layer 617a. There is a possibility that the injection / transport layer 617a and the light emitting layer 617b cannot be adhered to each other, or the light emitting layer 617b cannot be applied uniformly.
Therefore, in order to increase the surface affinity of the hole injection / transport layer 617a with respect to the nonpolar solvent and the light emitting layer forming material, it is preferable to perform surface treatment (surface modification treatment) before forming the light emitting layer. In this surface treatment, a surface modifying material which is the same solvent as the non-polar solvent of the second composition used in the formation of the light emitting layer or a similar solvent is applied on the hole injection / transport layer 617a, and this is applied. This is done by drying.
By performing such treatment, the surface of the hole injection / transport layer 617a is easily adapted to the nonpolar solvent. In the subsequent step, the second composition containing the light emitting layer forming material is added to the hole injection / transport layer. It can be uniformly applied to 617a.

そして次に、図２１に示すように、各色のうちのいずれか（図２１の例では青色（Ｂ））に対応する発光層形成材料を含有する第２組成物を機能液滴として画素領域（開口部６１９）内に所定量打ち込む。画素領域内に打ち込まれた第２組成物は、正孔注入／輸送層６１７ａ上に広がって開口部６１９内に満たされる。なお、万一、第２組成物が画素領域から外れてバンク部６１８の上面６１８ｔ上に着弾した場合でも、この上面６１８ｔは、上述したように撥液処理が施されているので、第２組成物が開口部６１９内に転がり込み易くなっている。   Then, as shown in FIG. 21, the second composition containing the light emitting layer forming material corresponding to one of the colors (blue (B) in the example of FIG. 21) is used as a functional droplet as a pixel region ( A predetermined amount is driven into the opening 619). The second composition driven into the pixel region spreads on the hole injection / transport layer 617a and fills the opening 619. Even if the second composition deviates from the pixel region and lands on the upper surface 618t of the bank portion 618, the upper composition 618t is subjected to the liquid repellent treatment as described above. Things are easy to roll into the opening 619.

その後、乾燥工程等を行うことにより、吐出後の第２組成物を乾燥処理し、第２組成物に含まれる非極性溶媒を蒸発させ、図２２に示すように、正孔注入／輸送層６１７ａ上に発光層６１７ｂが形成される。この図の場合、青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂが形成されている。   Thereafter, by performing a drying process or the like, the second composition after discharge is dried, the nonpolar solvent contained in the second composition is evaporated, and as shown in FIG. 22, the hole injection / transport layer 617a A light emitting layer 617b is formed thereon. In the case of this figure, a light emitting layer 617b corresponding to blue (B) is formed.

同様に、機能液滴吐出ヘッド１８を用い、図２３に示すように、上記した青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂの場合と同様の工程を順次行い、他の色（赤色（Ｒ）および緑色（Ｇ））に対応する発光層６１７ｂを形成する。なお、発光層６１７ｂの形成順序は、例示した順序に限られるものではなく、どのような順番で形成しても良い。例えば、発光層形成材料に応じて形成する順番を決めることも可能である。また、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライプ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。   Similarly, using the functional liquid droplet ejection head 18, as shown in FIG. 23, the same steps as in the case of the light emitting layer 617b corresponding to the blue (B) described above are sequentially performed, and other colors (red (R) and red (R) and A light emitting layer 617b corresponding to green (G) is formed. Note that the order in which the light-emitting layers 617b are formed is not limited to the illustrated order, and may be formed in any order. For example, the order of formation can be determined according to the light emitting layer forming material. In addition, the arrangement pattern of the three colors R, G, and B includes a stripe arrangement, a mosaic arrangement, a delta arrangement, and the like.

以上のようにして、画素電極６１３上に機能層６１７、即ち、正孔注入／輸送層６１７ａおよび発光層６１７ｂが形成される。そして、対向電極形成工程（Ｓ１１５）に移行する。   As described above, the functional layer 617, that is, the hole injection / transport layer 617a and the light emitting layer 617b are formed on the pixel electrode 613. And it transfers to a counter electrode formation process (S115).

対向電極形成工程（Ｓ１１５）では、図２４に示すように、発光層６１７ｂおよび有機物バンク層６１８ｂの全面に陰極６０４（対向電極）を、例えば蒸着法、スパッタ法、ＣＶＤ法等によって形成する。この陰極６０４は、本実施形態においては、例えば、カルシウム層とアルミニウム層とが積層されて構成されている。
この陰極６０４の上部には、電極としてのＡｌ膜、Ａｇ膜や、その酸化防止のためのＳｉＯ2、ＳｉＮ等の保護層が適宜設けられる。 In the counter electrode forming step (S115), as shown in FIG. 24, a cathode 604 (counter electrode) is formed on the entire surface of the light emitting layer 617b and the organic bank layer 618b by, for example, vapor deposition, sputtering, CVD, or the like. In the present embodiment, the cathode 604 is configured by, for example, laminating a calcium layer and an aluminum layer.
On top of the cathode 604, an Al film, an Ag film as an electrode, and a protective layer such as SiO 2 or SiN for preventing oxidation thereof are appropriately provided.

このようにして陰極６０４を形成した後、この陰極６０４の上部を封止部材により封止する封止処理や配線処理等のその他処理等を施すことにより、表示装置６００が得られる。   After forming the cathode 604 in this way, the display device 600 is obtained by performing other processes such as a sealing process for sealing the upper part of the cathode 604 with a sealing member and a wiring process.

次に、図２５は、プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置：以下、単に表示装置７００と称する）の要部分解斜視図である。なお、同図では表示装置７００を、その一部を切り欠いた状態で示してある。
この表示装置７００は、互いに対向して配置された第１基板７０１、第２基板７０２、およびこれらの間に形成される放電表示部７０３を含んで概略構成される。放電表示部７０３は、複数の放電室７０５により構成されている。これらの複数の放電室７０５のうち、赤色放電室７０５Ｒ、緑色放電室７０５Ｇ、青色放電室７０５Ｂの３つの放電室７０５が組になって１つの画素を構成するように配置されている。 Next, FIG. 25 is an exploded perspective view of an essential part of a plasma display device (PDP device: hereinafter simply referred to as a display device 700). In the figure, the display device 700 is shown with a part thereof cut away.
The display device 700 is schematically configured to include a first substrate 701, a second substrate 702, and a discharge display portion 703 formed between them, which are disposed to face each other. The discharge display unit 703 includes a plurality of discharge chambers 705. Among the plurality of discharge chambers 705, the three discharge chambers 705 of the red discharge chamber 705R, the green discharge chamber 705G, and the blue discharge chamber 705B are arranged to form one pixel.

第１基板７０１の上面には所定の間隔で縞状にアドレス電極７０６が形成され、このアドレス電極７０６と第１基板７０１の上面とを覆うように誘電体層７０７が形成されている。誘電体層７０７上には、各アドレス電極７０６の間に位置し、且つ各アドレス電極７０６に沿うように隔壁７０８が立設されている。この隔壁７０８は、図示するようにアドレス電極７０６の幅方向両側に延在するものと、アドレス電極７０６と直交する方向に延設された図示しないものを含む。
そして、この隔壁７０８によって仕切られた領域が放電室７０５となっている。 Address electrodes 706 are formed in stripes at predetermined intervals on the upper surface of the first substrate 701, and a dielectric layer 707 is formed so as to cover the address electrodes 706 and the upper surface of the first substrate 701. On the dielectric layer 707, partition walls 708 are provided so as to be positioned between the address electrodes 706 and along the address electrodes 706. The partition 708 includes one extending on both sides in the width direction of the address electrode 706 as shown, and one not shown extending in the direction orthogonal to the address electrode 706.
A region partitioned by the partition 708 is a discharge chamber 705.

放電室７０５内には蛍光体７０９が配置されている。蛍光体７０９は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のいずれかの色の蛍光を発光するもので、赤色放電室７０５Ｒの底部には赤色蛍光体７０９Ｒが、緑色放電室７０５Ｇの底部には緑色蛍光体７０９Ｇが、青色放電室７０５Ｂの底部には青色蛍光体７０９Ｂが各々配置されている。   A phosphor 709 is disposed in the discharge chamber 705. The phosphor 709 emits red (R), green (G), or blue (B) fluorescence, and the red phosphor 709R is disposed at the bottom of the red discharge chamber 705R, and the green discharge chamber 705G. A green phosphor 709G and a blue phosphor 709B are arranged at the bottom and the blue discharge chamber 705B, respectively.

第２基板７０２の図中下側の面には、上記アドレス電極７０６と直交する方向に複数の表示電極７１１が所定の間隔で縞状に形成されている。そして、これらを覆うように誘電体層７１２、およびＭｇＯなどからなる保護膜７１３が形成されている。
第１基板７０１と第２基板７０２とは、アドレス電極７０６と表示電極７１１が互いに直交する状態で対向させて貼り合わされている。なお、上記アドレス電極７０６と表示電極７１１は図示しない交流電源に接続されている。
そして、各電極７０６，７１１に通電することにより、放電表示部７０３において蛍光体７０９が励起発光し、カラー表示が可能となる。 On the lower surface of the second substrate 702 in the drawing, a plurality of display electrodes 711 are formed in stripes at predetermined intervals in a direction orthogonal to the address electrodes 706. A dielectric layer 712 and a protective film 713 made of MgO or the like are formed so as to cover them.
The first substrate 701 and the second substrate 702 are bonded so that the address electrodes 706 and the display electrodes 711 face each other in a state of being orthogonal to each other. The address electrode 706 and the display electrode 711 are connected to an AC power source (not shown).
When the electrodes 706 and 711 are energized, the phosphor 709 emits light in the discharge display portion 703, and color display is possible.

本実施形態においては、上記アドレス電極７０６、表示電極７１１、および蛍光体７０９を、図２に示した液滴吐出装置１を用いて形成することができる。以下、第１基板７０１におけるアドレス電極７０６の形成工程を例示する。
この場合、第１基板７０１を液滴吐出装置１のセットテーブル２１に載置された状態で以下の工程が行われる。
まず、機能液滴吐出ヘッド１８により、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴としてアドレス電極形成領域に着弾させる。この液体材料は、導電膜配線形成用材料として、金属等の導電性微粒子を分散媒に分散したものである。この導電性微粒子としては、金、銀、銅、パラジウム、またはニッケル等を含有する金属微粒子や、導電性ポリマー等が用いられる。 In the present embodiment, the address electrode 706, the display electrode 711, and the phosphor 709 can be formed by using the droplet discharge device 1 shown in FIG. Hereinafter, a process of forming the address electrode 706 on the first substrate 701 will be exemplified.
In this case, the following steps are performed with the first substrate 701 placed on the set table 21 of the droplet discharge device 1.
First, a liquid material (functional liquid) containing a conductive film wiring forming material is landed on the address electrode formation region as a functional liquid droplet by the functional liquid droplet ejection head 18. This liquid material is obtained by dispersing conductive fine particles such as metal in a dispersion medium as a conductive film wiring forming material. As the conductive fine particles, metal fine particles containing gold, silver, copper, palladium, nickel, or the like, a conductive polymer, or the like is used.

補充対象となるすべてのアドレス電極形成領域について液体材料の補充が終了したならば、吐出後の液体材料を乾燥処理し、液体材料に含まれる分散媒を蒸発させることによりアドレス電極７０６が形成される。   When the replenishment of the liquid material is completed for all the address electrode formation regions to be replenished, the address material 706 is formed by drying the discharged liquid material and evaporating the dispersion medium contained in the liquid material. .

ところで、上記においてはアドレス電極７０６の形成を例示したが、上記表示電極７１１および蛍光体７０９についても上記各工程を経ることにより形成することができる。
表示電極７１１の形成の場合、アドレス電極７０６の場合と同様に、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴として表示電極形成領域に着弾させる。
また、蛍光体７０９の形成の場合には、各色（Ｒ，Ｇ，Ｂ）に対応する蛍光材料を含んだ液体材料（機能液）を機能液滴吐出ヘッド１８から液滴として吐出し、対応する色の放電室７０５内に着弾させる。 By the way, although the formation of the address electrode 706 has been exemplified in the above, the display electrode 711 and the phosphor 709 can also be formed through the above steps.
In the case of forming the display electrode 711, as in the case of the address electrode 706, a liquid material (functional liquid) containing a conductive film wiring forming material is landed on the display electrode formation region as a functional droplet.
Further, in the case of forming the phosphor 709, a liquid material (functional liquid) containing a fluorescent material corresponding to each color (R, G, B) is ejected as droplets from the functional liquid droplet ejection head 18, and corresponding. Land in the color discharge chamber 705.

次に、図２６は、電子放出装置（ＦＥＤ装置あるいはＳＥＤ装置ともいう：以下、単に表示装置８００と称する）の要部断面図である。なお、同図では表示装置８００を、その一部を断面として示してある。
この表示装置８００は、互いに対向して配置された第１基板８０１、第２基板８０２、およびこれらの間に形成される電界放出表示部８０３を含んで概略構成される。電界放出表示部８０３は、マトリクス状に配置した複数の電子放出部８０５により構成されている。 Next, FIG. 26 is a cross-sectional view of an essential part of an electron emission device (also referred to as an FED device or an SED device: hereinafter simply referred to as a display device 800). In the drawing, a part of the display device 800 is shown as a cross section.
The display device 800 is schematically configured to include a first substrate 801, a second substrate 802, and a field emission display portion 803 formed therebetween, which are disposed to face each other. The field emission display unit 803 includes a plurality of electron emission units 805 arranged in a matrix.

第１基板８０１の上面には、カソード電極８０６を構成する第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂが相互に直交するように形成されている。また、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂで仕切られた部分には、ギャップ８０８を形成した導電性膜８０７が形成されている。すなわち、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７により複数の電子放出部８０５が構成されている。導電性膜８０７は、例えば酸化パラジウム（ＰｄＯ）等で構成され、またギャップ８０８は、導電性膜８０７を成膜した後、フォーミング等で形成される。   On the upper surface of the first substrate 801, a first element electrode 806a and a second element electrode 806b constituting the cathode electrode 806 are formed so as to be orthogonal to each other. In addition, a conductive film 807 having a gap 808 is formed in a portion partitioned by the first element electrode 806a and the second element electrode 806b. That is, the first element electrode 806a, the second element electrode 806b, and the conductive film 807 constitute a plurality of electron emission portions 805. The conductive film 807 is made of, for example, palladium oxide (PdO), and the gap 808 is formed by forming after forming the conductive film 807.

第２基板８０２の下面には、カソード電極８０６に対峙するアノード電極８０９が形成されている。アノード電極８０９の下面には、格子状のバンク部８１１が形成され、このバンク部８１１で囲まれた下向きの各開口部８１２に、電子放出部８０５に対応するように蛍光体８１３が配置されている。蛍光体８１３は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のいずれかの色の蛍光を発光するもので、各開口部８１２には、赤色蛍光体８１３Ｒ、緑色蛍光体８１３Ｇおよび青色蛍光体８１３Ｂが、上記した所定のパターンで配置されている。   An anode electrode 809 that faces the cathode electrode 806 is formed on the lower surface of the second substrate 802. A grid-like bank portion 811 is formed on the lower surface of the anode electrode 809, and a phosphor 813 is disposed in each downward opening 812 surrounded by the bank portion 811 so as to correspond to the electron emission portion 805. Yes. The phosphor 813 emits fluorescence of any one of red (R), green (G), and blue (B), and each opening 812 has a red phosphor 813R, a green phosphor 813G, and a blue color. The phosphors 813B are arranged in the predetermined pattern described above.

そして、このように構成した第１基板８０１と第２基板８０２とは、微小な間隙を存して貼り合わされている。この表示装置８００では、導電性膜（ギャップ８０８）８０７を介して、陰極である第１素子電極８０６ａまたは第２素子電極８０６ｂから飛び出す電子を、陽極であるアノード電極８０９に形成した蛍光体８１３に当てて励起発光し、カラー表示が可能となる。   The first substrate 801 and the second substrate 802 configured as described above are bonded together with a minute gap. In this display device 800, electrons that jump out of the first element electrode 806 a or the second element electrode 806 b that are cathodes through the conductive film (gap 808) 807 are formed on the phosphor 813 formed on the anode electrode 809 that is an anode. When excited, it emits light and enables color display.

この場合も、他の実施形態と同様に、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂ、導電性膜８０７およびアノード電極８０９を、液滴吐出装置１を用いて形成することができると共に、各色の蛍光体８１３Ｒ，８１３Ｇ，８１３Ｂを、液滴吐出装置１を用いて形成することができる。   Also in this case, as in the other embodiments, the first element electrode 806a, the second element electrode 806b, the conductive film 807, and the anode electrode 809 can be formed using the droplet discharge device 1 and each color. The phosphors 813R, 813G, and 813B can be formed using the droplet discharge device 1.

第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７は、図２７（ａ）に示す平面形状を有しており、これらを成膜する場合には、図２７（ｂ）に示すように、予め第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７を作り込む部分を残して、バンク部ＢＢを形成（フォトリソグラフィ法）する。次に、バンク部ＢＢにより構成された溝部分に、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂを形成（液滴吐出装置１によるインクジェット法）し、その溶剤を乾燥させて成膜を行った後、導電性膜８０７を形成（液滴吐出装置１によるインクジェット法）する。そして、導電性膜８０７を成膜後、バンク部ＢＢを取り除き（アッシング剥離処理）、上記のフォーミング処理に移行する。なお、上記の有機ＥＬ装置の場合と同様に、第１基板８０１および第２基板８０２に対する親液化処理や、バンク部８１１，ＢＢに対する撥液化処理を行うことが、好ましい。   The first element electrode 806a, the second element electrode 806b, and the conductive film 807 have the planar shape shown in FIG. 27A, and when these are formed, as shown in FIG. In addition, the bank portion BB is formed (photolithographic method), leaving portions where the first element electrode 806a, the second element electrode 806b, and the conductive film 807 are previously formed. Next, the first element electrode 806a and the second element electrode 806b were formed in the groove portion constituted by the bank portion BB (inkjet method using the droplet discharge device 1), and the solvent was dried to form a film. After that, a conductive film 807 is formed (an ink jet method using the droplet discharge device 1). Then, after forming the conductive film 807, the bank portion BB is removed (ashing peeling process), and the process proceeds to the above forming process. As in the case of the organic EL device described above, it is preferable to perform a lyophilic process on the first substrate 801 and the second substrate 802 and a lyophobic process on the bank portions 811 and BB.

また、他の電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等の装置が考えられる。上記した液滴吐出装置１を各種の電気光学装置（デバイス）の製造に用いることにより、各種の電気光学装置を効率的に製造することが可能である。   As other electro-optical devices, devices such as metal wiring formation, lens formation, resist formation, and light diffuser formation are conceivable. By using the droplet discharge device 1 described above for manufacturing various electro-optical devices (devices), various electro-optical devices can be efficiently manufactured.

基板を模式的に表した平面図である。It is the top view which represented the board | substrate typically. 液滴吐出装置の平面模式図である。It is a plane schematic diagram of a droplet discharge device. 機能液滴吐出ヘッドの外観斜視図である。It is an external appearance perspective view of a functional droplet discharge head. 液滴吐出装置の制御系について説明するブロック図である。It is a block diagram explaining the control system of a droplet discharge apparatus. （ａ）は機能液滴吐出ヘッドに印加される小駆動波形、（ｂ）は中駆動波形、（ｃ）は大駆動波形であり、（ｄ）は小駆動波形による吐出された小液滴、（ｄ）は中駆動波形による吐出された中液滴、（ｄ）は大駆動波形による吐出された大液滴である。(A) is a small drive waveform applied to the functional liquid droplet ejection head, (b) is a medium drive waveform, (c) is a large drive waveform, (d) is a small droplet ejected by the small drive waveform, (D) is a medium droplet ejected with a medium driving waveform, and (d) is a large droplet ejected with a large driving waveform. 有効ノズルの特定を説明する図である。It is a figure explaining specification of an effective nozzle. 重量測定ユニットによる重量測定を模式的に表した図である。It is the figure which represented weight measurement by a weight measurement unit typically. 図７と同様に、重量測定ユニットによる重量測定を模式的に表した図である。FIG. 8 is a diagram schematically illustrating weight measurement by the weight measurement unit, as in FIG. 7. 機能液滴吐出ヘッドの吐出量測定処理および駆動制御処理を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the discharge amount measurement process and drive control process of a functional droplet discharge head. カラーフィルタ製造工程を説明するフローチャートである。It is a flowchart explaining a color filter manufacturing process. （ａ）〜（ｅ）は、製造工程順に示したカラーフィルタの模式断面図である。(A)-(e) is a schematic cross section of the color filter shown to the manufacturing process order. 本発明を適用したカラーフィルタを用いた液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。It is principal part sectional drawing which shows schematic structure of the liquid crystal device using the color filter to which this invention is applied. 本発明を適用したカラーフィルタを用いた第２の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。It is principal part sectional drawing which shows schematic structure of the liquid crystal device of the 2nd example using the color filter to which this invention is applied. 本発明を適用したカラーフィルタを用いた第３の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。It is principal part sectional drawing which shows schematic structure of the liquid crystal device of the 3rd example using the color filter to which this invention is applied. 有機ＥＬ装置である表示装置の要部断面図である。It is principal part sectional drawing of the display apparatus which is an organic electroluminescent apparatus. 有機ＥＬ装置である表示装置の製造工程を説明するフローチャートである。It is a flowchart explaining the manufacturing process of the display apparatus which is an organic electroluminescent apparatus. 無機物バンク層の形成を説明する工程図である。It is process drawing explaining formation of an inorganic bank layer. 有機物バンク層の形成を説明する工程図である。It is process drawing explaining formation of an organic substance bank layer. 正孔注入／輸送層を形成する過程を説明する工程図である。It is process drawing explaining the process in which a positive hole injection / transport layer is formed. 正孔注入／輸送層が形成された状態を説明する工程図である。It is process drawing explaining the state in which the positive hole injection / transport layer was formed. 青色の発光層を形成する過程を説明する工程図である。It is process drawing explaining the process in which a blue light emitting layer is formed. 青色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。It is process drawing explaining the state in which the blue light emitting layer was formed. 各色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。It is process drawing explaining the state in which the light emitting layer of each color was formed. 陰極の形成を説明する工程図である。It is process drawing explaining formation of a cathode. プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置）である表示装置の要部分解斜視図である。It is a principal part disassembled perspective view of the display apparatus which is a plasma type display apparatus (PDP apparatus). 電子放出装置（ＦＥＤ装置）である表示装置の要部断面図である。It is principal part sectional drawing of the display apparatus which is an electron emission apparatus (FED apparatus). 表示装置の電子放出部廻りの平面図（ａ）およびその形成方法を示す平面図（ｂ）である。It is the top view (a) around the electron emission part of a display apparatus, and the top view (b) which shows the formation method.

符号の説明Explanation of symbols

１…液滴吐出装置 ７…コントローラ １８…機能液滴吐出ヘッド ６１…ポンプ部 ６５ａ…有効ノズル ６５ｃ…測定対象ノズル ６６…測定対象ノズル群 ７６…重量測定ユニット ８１…機能液タンク ９１…電子天秤 ９５…受け皿 １１１…ヘッドドライバ ５００…カラーフィルタ ５０７ａ…画素領域 ５０８…着色層 Ｗ…基板   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Droplet discharge apparatus 7 ... Controller 18 ... Functional droplet discharge head 61 ... Pump part 65a ... Effective nozzle 65c ... Measurement object nozzle 66 ... Measurement object nozzle group 76 ... Weight measurement unit 81 ... Functional liquid tank 91 ... Electronic balance 95 ... Dish 111 ... Head driver 500 ... Color filter 507a ... Pixel area 508 ... Colored layer W ... Substrate

Claims (11)

機能液滴吐出ヘッドのｎ個の有効ノズルのうちの、測定対象となるｍ個（ｎ＞２ｍ）の測定対象ノズルにより構成される測定対象ノズル群から吐出される単位ショット数当たりの機能液吐出量を重量測定する機能液滴吐出ヘッドの吐出量測定方法であって、
重量計測手段により計測可能な重量に達するように、前記ｎ個の有効ノズルからそれぞれ複数ショットの機能液滴を吐出させ、当該複数ショットに亘る機能液吐出量を重量測定する第１測定工程と、
前記重量計測手段により計測可能な重量に達するように、前記ｍ個の測定対象ノズル以外の前記有効ノズルである（ｎ−ｍ）個の測定対象外ノズルからそれぞれ複数ショットの機能液滴を吐出させ、当該複数ショットに亘る機能液吐出量を重量測定する第２測定工程と、
前記第１測定工程で重量測定した第１測定重量と、前記第２測定工程で重量測定した第２測定重量との差に基づいて、前記測定対象ノズル群の単位ショット数当たりの機能液吐出量を算出する算出工程と、
を備えたことを特徴とする機能液滴吐出ヘッドの吐出量測定方法。 Of the n effective nozzles of the functional liquid droplet ejection head, functional liquid ejection per unit shot number ejected from a measurement target nozzle group constituted by m measurement target nozzles (n> 2m) to be measured A method for measuring a discharge amount of a functional liquid droplet discharge head for measuring an amount by weight,
A first measurement step of discharging a plurality of shots of functional liquid droplets from each of the n effective nozzles so as to reach a weight measurable by a weight measuring unit, and measuring the weight of the functional liquid discharge over the plurality of shots;
A plurality of shots of functional droplets are ejected from (nm) non-measuring nozzles, which are effective nozzles other than the m measuring nozzles, so as to reach a weight measurable by the weight measuring means. , A second measurement step for measuring the weight of the functional liquid discharge amount over the plurality of shots;
Based on the difference between the first measured weight measured in the first measuring step and the second measured weight measured in the second measuring step, the functional liquid discharge amount per unit shot number of the measurement target nozzle group A calculation step of calculating
A method for measuring a discharge amount of a functional liquid droplet discharge head, comprising: 請求項１に記載の機能液滴吐出ヘッドの吐出量測定方法の測定結果に基づいて、ワークに対し、機能液滴を吐出する機能液滴吐出ヘッドの駆動制御方法であって、
前記ワークに吐出される機能液量が複数の前記測定対象ノズル群間で均一化されるように、前記各測定対象ノズルの吐出駆動を制御する駆動制御工程を、備えたことを特徴とする機能液滴吐出ヘッドの駆動制御方法。 A functional droplet discharge head drive control method for discharging functional droplets onto a workpiece based on the measurement result of the discharge amount measuring method of the functional droplet discharge head according to claim 1,
A function comprising a drive control step of controlling the discharge drive of each measurement target nozzle so that the amount of functional liquid discharged to the workpiece is made uniform among the plurality of measurement target nozzle groups. Drive control method for droplet discharge head. 前記駆動制御工程において、前記各測定対象ノズルの吐出駆動素子への印加電圧を制御することで、前記各測定対象ノズルの吐出駆動を制御することを特徴とする請求項２に記載の機能液滴吐出ヘッドの駆動制御方法。   3. The functional liquid droplet according to claim 2, wherein in the drive control step, the ejection drive of each measurement target nozzle is controlled by controlling the voltage applied to the ejection drive element of each measurement target nozzle. Discharge head drive control method. 機能液滴吐出ヘッドのｎ個の有効ノズルのうちの、測定対象となるｍ個（ｎ＞２ｍ）の測定対象ノズルにより構成される測定対象ノズル群から吐出される単位ショット数当たりの機能液吐出量を重量測定する機能液滴吐出ヘッドの吐出量測定装置であって、
前記機能液滴吐出ヘッドから受け容器上に吐出された機能液の重量を計測することで、機能液滴吐出ヘッドからの機能液吐出量を重量測定する重量計測手段と、
重量測定に際し、前記機能液滴吐出ヘッドの吐出駆動を制御し、前記重量計測手段により計測可能な重量に達するように、前記ｎ個の有効ノズルおよび前記ｍ個の測定対象ノズル以外の前記有効ノズルである（ｎ−ｍ）個の測定対象外ノズルから、それぞれ複数ショット数の機能液滴を前記受け容器上に吐出させる制御手段と、
前記重量計測手段による測定結果を、演算処理する演算手段と、を備え、
前記重量計測手段は、前記ｎ個の有効ノズルからの複数ショットに亘る機能液吐出量を重量測定すると共に、前記（ｎ−ｍ）個の測定対象外ノズルからの複数ショットに亘る機能液吐出量を重量測定し、
前記演算手段は、前記ｎ個の有効ノズルからの機能液吐出量の測定結果である第１測定重量と、前記複数の対象外ノズルからの機能液吐出量の測定結果である第２測定重量との差に基づいて、前記測定対象ノズル群の単位ショット数当たりの機能液吐出量を算出することを特徴とする機能液滴吐出ヘッドの吐出量測定装置。 Of the n effective nozzles of the functional liquid droplet ejection head, functional liquid ejection per unit shot number ejected from a measurement target nozzle group constituted by m measurement target nozzles (n> 2m) to be measured An apparatus for measuring the amount of discharge of a functional liquid droplet discharge head that measures the amount of weight,
A weight measuring means for measuring the weight of the functional liquid discharged from the functional liquid droplet discharging head by measuring the weight of the functional liquid discharged from the functional liquid droplet discharging head onto the receiving container;
In the weight measurement, the effective nozzles other than the n effective nozzles and the m measurement target nozzles are controlled so as to reach a weight measurable by the weight measuring unit by controlling the ejection drive of the functional liquid droplet ejection head. Control means for discharging a plurality of shots of functional liquid droplets onto the receiving container from the (nm) non-measuring nozzles,
Computation means for computing the measurement result by the weight measurement means,
The weight measuring means measures the weight of the functional liquid discharge amount over a plurality of shots from the n effective nozzles, and discharges the functional liquid discharge amount over a plurality of shots from the (nm) non-measurement target nozzles. Weigh and
The calculation means includes a first measurement weight that is a measurement result of the functional liquid discharge amount from the n effective nozzles, and a second measurement weight that is a measurement result of the functional liquid discharge amount from the plurality of non-target nozzles. The functional liquid discharge amount of the functional liquid droplet ejection head is characterized in that the functional liquid discharge amount per unit shot number of the measurement target nozzle group is calculated on the basis of the difference. 前記重量計測手段は、前記機能液滴吐出ヘッドから前記受け容器上に吐出された機能液の重量を計測することに代えて、前記機能液滴吐出ヘッドに機能液を供給する機能液タンクの吐出前後の重量を計測することで、前記機能液滴吐出ヘッドからの機能液吐出量を重量測定することを特徴とする請求項４に記載の機能液滴吐出ヘッドの吐出量測定装置。   The weight measuring unit is configured to discharge the functional liquid tank that supplies the functional liquid to the functional liquid droplet ejection head instead of measuring the weight of the functional liquid discharged from the functional liquid droplet ejection head onto the receiving container. The functional liquid droplet ejection head ejection amount measuring apparatus according to claim 4, wherein the functional liquid ejection amount from the functional liquid droplet ejection head is weighed by measuring the weight before and after. ワークに対し、搭載した前記機能液滴吐出ヘッドから機能液滴を吐出する液滴吐出装置であって、
請求項４または５に記載の機能液滴吐出ヘッドの吐出量測定装置と、
前記ｎ個の有効ノズルのうちの、前記描画処理に際して吐出駆動する複数の前記有効ノズルをそれぞれ前記測定対象ノズル群として特定するノズル特定手段と、を備え、
前記制御手段は、前記機能液滴吐出ヘッドの吐出量測定装置による測定結果に基づいて、前記ワークに吐出される機能液量が複数の前記測定対象ノズル群間で均一化されるように、前記各測定対象ノズルの吐出駆動を制御することを特徴とする液滴吐出装置。 A liquid droplet ejection apparatus that ejects functional liquid droplets from the functional liquid droplet ejection head mounted on a workpiece,
A discharge amount measuring device for a functional droplet discharge head according to claim 4 or 5,
Nozzle specifying means for specifying, as the measurement target nozzle group, a plurality of effective nozzles that are driven to perform the drawing process among the n effective nozzles,
The control means, based on the measurement result by the discharge amount measuring device of the functional liquid droplet discharge head, so that the amount of the functional liquid discharged to the workpiece is made uniform among the plurality of measurement target nozzle groups. A droplet discharge device that controls the discharge drive of each measurement target nozzle. 複数の画素領域を行方向および列方向に配列したワークに対し、搭載した前記機能液滴吐出ヘッドを前記列方向に相対的に移動させながら、前記複数の画素領域内に前記各有効ノズルから機能液滴を吐出・着弾させて描画処理を行う液滴吐出装置であって、
請求項４または５に記載の機能液滴吐出ヘッドの吐出量測定装置と、
前記ワークに対し、前記機能液滴吐出ヘッドを前記列方向に相対的に移動させる移動手段と、
前記ｎ個の有効ノズルのうちの、前記描画処理に際して前記各列の画素領域に臨む前記有効ノズルを前記測定対象ノズル群として特定するノズル特定手段と、を備え、
前記制御手段は、前記機能液滴吐出ヘッドの吐出量測定装置による測定結果に基づいて、前記各画素領域内に吐出される機能液量が複数の前記測定対象ノズル群間で均一化されるように、前記各測定対象ノズルの吐出駆動を制御することを特徴とする液滴吐出装置。 The function liquid droplet ejection head mounted on the work in which a plurality of pixel areas are arranged in the row direction and the column direction is moved relative to the column direction, and functions from each effective nozzle in the plurality of pixel areas. A droplet discharge device that performs drawing processing by discharging and landing droplets,
A discharge amount measuring device for a functional droplet discharge head according to claim 4 or 5,
Moving means for moving the functional liquid droplet ejection head relative to the workpiece in the row direction;
Nozzle specifying means for specifying, as the measurement target nozzle group, the effective nozzles that face the pixel region of each column during the drawing process among the n effective nozzles,
The control means is configured so that the amount of the functional liquid discharged into each pixel region is made uniform among the plurality of measurement target nozzle groups based on the measurement result by the discharge amount measuring device of the functional liquid droplet discharge head. In addition, a droplet discharge device that controls the discharge drive of each nozzle to be measured. 前記制御手段は、前記各測定対象ノズルの吐出駆動素子への印加電圧を制御することで、前記各測定対象ノズルの吐出駆動を制御することを特徴とする請求項６または７に記載の液滴吐出装置。   8. The droplet according to claim 6, wherein the control unit controls the ejection drive of each measurement target nozzle by controlling the voltage applied to the ejection drive element of each measurement target nozzle. 9. Discharge device. 請求項６ないし８のいずれかに記載の液滴吐出装置を用い、前記ワーク上に機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする電気光学装置の製造方法。   9. A method of manufacturing an electro-optical device, wherein the droplet discharge device according to claim 6 is used to form a film forming portion with functional droplets on the workpiece. 請求項６ないし８のいずれかに記載の液滴吐出装置を用い、前記ワーク上に機能液滴による成膜部を形成したことを特徴とする電気光学装置。   An electro-optical device using the droplet discharge device according to any one of claims 6 to 8, wherein a film forming portion is formed by functional droplets on the workpiece. 請求項９に記載の電気光学装置の製造方法により製造した電気光学装置または請求項１０に記載の電気光学装置を搭載したことを特徴とする電子機器。   An electronic apparatus comprising the electro-optical device manufactured by the method for manufacturing the electro-optical device according to claim 9 or the electro-optical device according to claim 10.
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