JP2007007544A - Droplet discharging method, droplet discharging device, electro-optic device, and electronic equipment - Google Patents

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a droplet discharging method where droplets by an amount to be required can be dropped into a part to be discharged on by scanning of small number of times, and the improvement of the discharging efficiency can be attained, to provide a droplet discharging device, to provide an electro-optic device, and to provide electronic equipment. <P>SOLUTION: Since the droplets of a liquid material 111 are impacted in the short direction of the part 18 to be discharged on in a pitch b shorter than a pitch shorter than the dimension in the short direction of the part 18 to be discharge on, a plurality of droplets can be impacted in the short direction of the part 18 to be discharged on. In this way, the droplets by an amount to be required can be dropped into the part 18 to be discharged on, thus the improvement of the discharging efficiency can be attained. Further, there is an advantage that, by suitably setting the pitch b, the number of the droplets discharged in single scanning can be set. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、液滴吐出方法、液滴吐出装置、電気光学装置及び電子機器に関する。   The present invention relates to a droplet discharge method, a droplet discharge device, an electro-optical device, and an electronic apparatus.

インクジェットプリンタの液滴吐出ヘッドは、微小なインク滴をドット状に吐出することが可能であり、インク滴の大きさやピッチの均一性の面で極めて精度が高い。この技術は、各種製品、例えば電気光学装置等の製造分野への応用がなされている。例えば、液晶装置のカラーフィルタ層や有機ＥＬ表示装置の発光部等の膜を形成する場合に応用することができる。   A droplet discharge head of an ink jet printer is capable of discharging minute ink droplets in a dot shape, and has extremely high accuracy in terms of ink droplet size and pitch uniformity. This technique has been applied to the manufacturing field of various products such as electro-optical devices. For example, it can be applied when forming a film such as a color filter layer of a liquid crystal device or a light emitting portion of an organic EL display device.

具体的には、液滴吐出ヘッドに特殊なインクや感光性の樹脂液等（機能液）を含ませ、基板上を走査しながら当該基板に設けられた矩形の被吐出部にこの機能液の液滴を吐出するものである（例えば、特許文献１参照。）。液滴吐出ヘッドには複数のノズルが所定のピッチで配列されている。走査の際には、ノズルの配列方向が被吐出部の長手方向になるように吐出ヘッドを配置し、被吐出部の短手方向に沿う方向に走査しながら液滴を吐出する。１回の走査においては、各被吐出部の短手方向に１滴ずつ着弾させるように機能液の液滴を吐出する。
特開２００４−２６７９２７号公報 Specifically, the droplet discharge head includes special ink, photosensitive resin liquid, or the like (functional liquid), and the functional liquid is applied to a rectangular target portion provided on the substrate while scanning the substrate. A droplet is ejected (for example, refer to Patent Document 1). In the droplet discharge head, a plurality of nozzles are arranged at a predetermined pitch. At the time of scanning, the ejection head is arranged so that the arrangement direction of the nozzles is the longitudinal direction of the ejected part, and the liquid droplets are ejected while scanning in the direction along the short direction of the ejected part. In one scan, functional liquid droplets are ejected so as to land one droplet at a time in the short direction of each ejection target.
JP 2004-267927 A

しかしながら、液滴の体積は被吐出部の体積に比べて極めて小さく、上記の手法では１回の走査で被吐出部の短手方向に着弾される液滴が１滴だけであるため、１回の走査で被吐出部に吐出される機能液の量は、本来必要な量に比べてはるかに少なくなってしまう。ノズルの個数やピッチは一定である、すなわち、被吐出部の長手方向に着弾する液滴の数は一定であるため、必要な量の液滴を被吐出部に滴下するには、走査回数を多くすることでカバーせざるを得ず、効率が悪い。また、このように吐出効率が悪いと、電気光学装置自体の製造効率も低下してしまう。   However, the volume of the droplet is extremely small compared to the volume of the discharged portion, and in the above method, only one droplet is landed in the short direction of the discharged portion in one scan, so that In this scanning, the amount of the functional liquid discharged to the discharged portion is much smaller than the originally required amount. Since the number and pitch of the nozzles are constant, that is, the number of droplets that land in the longitudinal direction of the ejected portion is constant, the number of scans is required to drop a required amount of droplets onto the ejected portion. It must be covered by increasing the number, and the efficiency is poor. In addition, when the discharge efficiency is poor as described above, the manufacturing efficiency of the electro-optical device itself is also lowered.

上記のような事情に鑑み、本発明の目的は、吐出効率の向上を図ることができる液滴吐出方法、液滴吐出装置、電気光学装置及び電子機器を提供することにある。   In view of the circumstances as described above, an object of the present invention is to provide a droplet discharge method, a droplet discharge device, an electro-optical device, and an electronic apparatus that can improve discharge efficiency.

上記目的を達成するため、本発明に係る液滴吐出方法は、基板と吐出ヘッドとを対向させて相対的に走査させながら、前記基板上に機能液の液滴を吐出する液滴吐出方法であって、前記基板上には、矩形に設けられ前記機能液を着弾させる複数の被吐出部が設けられており、前記吐出ヘッドには、前記基板と対向させた状態で前記被吐出部の長手方向にほぼ一致する方向に、前記被吐出部の短手方向の寸法よりも短い第１のピッチで、前記機能液を吐出する複数のノズルが設けられており、前記走査において、前記吐出ヘッドが前記被吐出部の短手方向に前記基板上を移動し、前記機能液の吐出において、各被吐出部の前記短手方向に前記第１のピッチよりも短い第２のピッチで前記複数の機能液の液滴を着弾させることを特徴とする。   In order to achieve the above object, a droplet discharge method according to the present invention is a droplet discharge method for discharging a droplet of a functional liquid onto the substrate while relatively scanning the substrate and the discharge head facing each other. On the substrate, there are provided a plurality of discharge target portions that are provided in a rectangular shape and land the functional liquid, and the discharge head has a length of the discharge target portion facing the substrate. A plurality of nozzles for discharging the functional liquid at a first pitch shorter than the dimension in the short direction of the discharge target portion in a direction substantially coincident with the direction; In the discharge of the functional liquid, the plurality of functions are moved at a second pitch shorter than the first pitch in the short direction of each discharged portion in the discharge of the functional liquid. It is characterized in that liquid droplets are landed.

本発明によれば、被吐出部の短手方向の寸法より短い第１のピッチよりもさらに短い第２のピッチで、被吐出部の短手方向に機能液の液滴を着弾させるため、各被吐出部の短手方向に液滴を複数着弾させることができる。これにより、少ない回数の走査でも必要量の液滴を被吐出部に滴下することができるようになり、吐出効率の向上を図ることができる。また、第２のピッチを適宜設定することにより、１回の走査で吐出される液滴の数を設定することができるという利点もある。   According to the present invention, the liquid droplets of the functional liquid are landed in the short direction of the discharged portion at a second pitch that is shorter than the first pitch that is shorter than the dimension of the discharged portion in the short direction. A plurality of liquid droplets can be landed in the short direction of the discharged portion. As a result, a required amount of droplets can be dropped onto the discharge target portion even with a small number of scans, and the discharge efficiency can be improved. There is also an advantage that the number of droplets ejected in one scan can be set by appropriately setting the second pitch.

本発明の別の観点に係る液滴吐出装置は、吐出ヘッドを基板に対向させて相対的に走査させながら、前記吐出ヘッドから前記基板上に機能液の液滴を吐出する液滴吐出装置であって、前記基板上には、矩形に設けられ前記機能液を着弾させる複数の被吐出部が設けられており、前記吐出ヘッドには、前記基板と対向させた状態で前記被吐出部の長手方向にほぼ一致する方向に、前記被吐出部の短手方向の寸法よりも短い第１のピッチで、前記機能液を吐出する複数のノズルが設けられており、前記走査において前記吐出ヘッドが前記被吐出部の短手方向に前記基板上を移動し、前記機能液の吐出において各被吐出部の前記短手方向に前記第１のピッチよりも短い第２のピッチで前記複数の機能液の液滴が着弾されるように、前記吐出ヘッドの移動速度及び前記ノズルから前記液滴が吐出されるタイミングのうち少なくとも一方を制御する制御部が設けられていることを特徴とする。   A liquid droplet ejection apparatus according to another aspect of the present invention is a liquid droplet ejection apparatus that ejects functional liquid droplets from the ejection head onto the substrate while the ejection head is opposed to the substrate and relatively scanned. On the substrate, there are provided a plurality of discharge target portions that are provided in a rectangular shape and land the functional liquid, and the discharge head has a length of the discharge target portion facing the substrate. A plurality of nozzles that discharge the functional liquid at a first pitch that is shorter than a dimension in a short direction of the discharge target portion in a direction that substantially coincides with the discharge direction; The plurality of functional liquids move at a second pitch shorter than the first pitch in the short direction of each of the discharged parts in discharging the functional liquid. In order for the droplets to land, Wherein the control unit for controlling at least one of timing at which the liquid droplets are ejected from the moving speed and the nozzle is provided.

本発明によれば、制御部が吐出ヘッドの走査速度及び複数のノズルから機能液の液滴が吐出されるタイミングのうち少なくとも一方を制御することにより、吐出ヘッドを走査させながら第１のピッチよりも第２のピッチの方が短くなるように被吐出部に機能液の液滴を着弾させることができるため、短手方向に液滴を複数着弾させることが可能となる。これにより、少ない回数の走査で必要量の液滴を被吐出部に滴下することができ、吐出効率の向上を図ることができる。   According to the present invention, the control unit controls at least one of the scanning speed of the ejection head and the timing at which the functional liquid droplets are ejected from the plurality of nozzles, thereby scanning the ejection head from the first pitch. However, since the liquid droplets of the functional liquid can be landed on the portion to be ejected so that the second pitch is shorter, a plurality of liquid droplets can be landed in the short direction. As a result, a required amount of droplets can be dropped onto the discharge target portion with a small number of scans, and the discharge efficiency can be improved.

本発明の別の観点に係る電気光学装置は、上記の液滴吐出方法により機能液が吐出された基板を含むことを特徴とする。
本発明によれば、少ない回数の走査で必要量の液滴を被吐出部に滴下することができ、吐出効率の向上を図ることができる液滴吐出方法により機能液の液滴が吐出されているため、製造効率が高く、低コストの電気光学装置を得ることができる。 An electro-optical device according to another aspect of the invention includes a substrate on which a functional liquid is discharged by the droplet discharge method described above.
According to the present invention, functional liquid droplets are ejected by a liquid droplet ejection method that can drop a required amount of liquid droplets onto a portion to be ejected with a small number of scans and can improve ejection efficiency. Therefore, an electro-optical device with high manufacturing efficiency and low cost can be obtained.

本発明の別の観点に係る電子機器は、上記の電気光学装置を搭載したことを特徴とする。
本発明によれば、製造効率が高く、低コストの電気光学装置を搭載したので、コストパフォーマンスの高い電子機器を得ることができる。 An electronic apparatus according to another aspect of the present invention includes the above-described electro-optical device.
According to the present invention, since an electro-optical device with high manufacturing efficiency and low cost is mounted, an electronic apparatus with high cost performance can be obtained.

以下、本発明の実施の形態を図面に基づき説明する。以下の図では、各部材を認識可能な大きさとするため、縮尺を適宜変更している。
（電気光学装置）
図１は、本実施形態に係る液晶装置１の構成を示す斜視図である。
同図に示すように、液晶装置１は、液晶パネル４０と、バックライト４１とを主体として構成されている。液晶パネル４０は、アクティブマトリクス基板２とカラーフィルタ基板３とがシール材２６を介して貼り合わされ、当該アクティブマトリクス基板２とカラーフィルタ基板３とシール材２６との間に液晶６が挟持された構成になっている。図中破線で表された表示領域２ａは、画像や動画等が表示される領域である。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In the following drawings, the scale is appropriately changed to make each member a recognizable size.
(Electro-optical device)
FIG. 1 is a perspective view showing a configuration of a liquid crystal device 1 according to the present embodiment.
As shown in the figure, the liquid crystal device 1 is mainly composed of a liquid crystal panel 40 and a backlight 41. The liquid crystal panel 40 has a configuration in which the active matrix substrate 2 and the color filter substrate 3 are bonded to each other through a sealing material 26, and the liquid crystal 6 is sandwiched between the active matrix substrate 2, the color filter substrate 3 and the sealing material 26. It has become. A display area 2a represented by a broken line in the figure is an area where an image, a moving image, or the like is displayed.

なお、本実施形態の液晶装置１は、スイッチング素子として二端子型非線形素子である薄膜ダイオード（ＴＦＤ）素子を用いたアクティブマトリクス方式の液晶装置を採用しているが、例えばスイッチング素子として薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）素子を用いた液晶装置や、パッシブマトリクス方式の液晶装置であっても勿論構わない。また、液晶パネル４０は、２枚の大判のマザー基板を張り合わせ、切断することにより形成される（多数個取り）。２枚のマザー基板としては、カラーフィルタ基板３を生成するカラーフィルタ側マザー基板と、アクティブマトリクス基板２を生成するアクティブマトリクス側マザー基板とがある。   The liquid crystal device 1 of the present embodiment employs an active matrix type liquid crystal device using a thin-film diode (TFD) element that is a two-terminal nonlinear element as a switching element. For example, a thin film transistor (TFT) is used as the switching element. Of course, a liquid crystal device using an element or a passive matrix liquid crystal device may be used. Further, the liquid crystal panel 40 is formed by laminating and cutting two large-sized mother substrates (many pieces). The two mother substrates include a color filter side mother substrate that generates the color filter substrate 3 and an active matrix side mother substrate that generates the active matrix substrate 2.

図２は、カラーフィルタ基板３の構成を示す平面図である。図２（ａ）はカラーフィルタ基板３の全体構成を示す図であり、図２（ｂ）はカラーフィルタ基板３の一部を拡大して示す図である。
図２（ａ）に示すように、カラーフィルタ基板３は、例えばガラスやプラスチック等の透明な材料によって形成された矩形の基板である。カラーフィルタ基板３上には遮光層１３が設けられており、遮光層１３で囲まれた領域（画素領域）に対応して赤色層１６Ｒ、緑色層１６Ｇ、青色層１６Ｂを有するカラーフィルタ１６が設けられている。なお、本実施形態では当該カラーフィルタ１６の各層１６Ｒ、１６Ｇ及び１６Ｂがインクジェット方式によって形成されるものであり、後述する液滴吐出装置から各画素領域に液体材料が吐出されるものであるから、以下の説明において、この画素領域を「被吐出部」と呼ぶこともある。 FIG. 2 is a plan view showing the configuration of the color filter substrate 3. FIG. 2A is a diagram illustrating the entire configuration of the color filter substrate 3, and FIG. 2B is a diagram illustrating a part of the color filter substrate 3 in an enlarged manner.
As shown in FIG. 2A, the color filter substrate 3 is a rectangular substrate formed of a transparent material such as glass or plastic. A light shielding layer 13 is provided on the color filter substrate 3, and a color filter 16 having a red layer 16R, a green layer 16G, and a blue layer 16B corresponding to a region (pixel region) surrounded by the light shielding layer 13 is provided. It has been. In this embodiment, the layers 16R, 16G, and 16B of the color filter 16 are formed by an ink jet method, and a liquid material is discharged to each pixel region from a droplet discharge device described later. In the following description, this pixel region may be referred to as a “part to be ejected”.

また、遮光層１３で囲まれた領域をカラーフィルタ基板３には、当該カラーフィルタ１６を覆うようにオーバーコート層（図示せず）が形成され、オーバーコート層上には配向膜（図示せず）が形成されている。当該配向膜は、例えばポリイミド等からなり、表面がラビング処理された水平配向膜である。   In addition, an overcoat layer (not shown) is formed on the color filter substrate 3 so as to cover the color filter 16 in a region surrounded by the light shielding layer 13, and an alignment film (not shown) is formed on the overcoat layer. ) Is formed. The alignment film is a horizontal alignment film made of, for example, polyimide and the surface of which is rubbed.

また、図２（ｂ）に示すように、１個の赤色層１６Ｒ（または緑色層１６Ｇ、青色層１６Ｂ）については、短辺の長さＳが例えば１７０μｍ程度、長辺の長さＬが例えば５１０μｍ程度の矩形に設けられている。また、隣接するカラーフィルタ１６同士の間隔については、行方向の間隔Ｔ１は約２０μｍとなっており、列方向の間隔Ｔ２は約４０μｍとなっている。   As shown in FIG. 2B, for one red layer 16R (or green layer 16G, blue layer 16B), the short side length S is, for example, about 170 μm, and the long side length L is, for example, It is provided in a rectangle of about 510 μm. As for the interval between adjacent color filters 16, the interval T1 in the row direction is about 20 μm, and the interval T2 in the column direction is about 40 μm.

（液滴吐出装置）
次に、本実施形態に係る液滴吐出装置（以下、「吐出装置」と称呼する。）１００について説明する。
図３に示すように、吐出装置１００は、液体材料１１１を保持するタンク１０１と、チューブ１１０を介してタンク１０１から液体材料１１１が供給される吐出走査部１０２とを主体として構成されている。 (Droplet discharge device)
Next, a droplet discharge apparatus (hereinafter referred to as “discharge apparatus”) 100 according to the present embodiment will be described.
As shown in FIG. 3, the ejection device 100 is mainly configured by a tank 101 that holds a liquid material 111 and an ejection scanning unit 102 that is supplied with the liquid material 111 from the tank 101 via a tube 110.

液体材料１１１には、例えば上述した液晶装置１のカラーフィルタ１６の赤色層１６Ｒを構成する材料（以下、「赤色材料」という。）１１１Ｒと、緑色層１６Ｇを構成する材料（以下、「緑色材料」という。）１１１Ｇと、青色層１６Ｂを構成する材料（以下、「青色材料」という。）１１１Ｂとの３種類がある。   The liquid material 111 includes, for example, a material constituting the red layer 16R (hereinafter referred to as “red material”) 111R of the color filter 16 of the liquid crystal device 1 and a material constituting the green layer 16G (hereinafter referred to as “green material”). There are three types, 111G, and a material constituting the blue layer 16B (hereinafter referred to as “blue material”) 111B.

タンク１０１は、赤色材料１１１Ｒを保持する赤色材料タンク１０１Ｒと、緑色材料１１１Ｇを保持する緑色材料タンク１０１Ｇと、青色材料１１１Ｂを保持する青色材料タンク１０１Ｂとを有しており、上述した３種類の液体材料１１１を個別に保持するようになっている。各タンク１０１には、例えば図示しない圧力ポンプが取り付けられている。当該圧力ポンプが駆動してタンク１０１内部に圧力を加えることで、液体材料１１１がタンク１０１内から吐出走査部１０２へと供給されるようになっている。   The tank 101 includes a red material tank 101R that holds a red material 111R, a green material tank 101G that holds a green material 111G, and a blue material tank 101B that holds a blue material 111B. The liquid material 111 is held individually. For example, a pressure pump (not shown) is attached to each tank 101. When the pressure pump is driven to apply pressure to the inside of the tank 101, the liquid material 111 is supplied from the tank 101 to the discharge scanning unit 102.

ここで、赤色材料１１１Ｒとしては、例えばポリウレタンオリゴマーに赤色の無機顔料（例えば、赤色酸化鉄(III)やカドミウム赤等）を分散させた後、溶剤としてブチルカルビトールアセテートを加え、更に非イオン系界面活性剤を分散剤として添加し、粘度を所定の範囲に調整した溶液が用いられている。
また、緑色材料１１１Ｇとしては、例えばポリウレタンオリゴマーに緑色の無機顔料（例えば、酸化クロム緑やコバルト緑等）を分散させた後、溶剤としてシクロヘキサノン及び酢酸ブチルを加え、非イオン系界面活性剤を分散剤として添加し、粘度を所定の範囲に調整した溶液が用いられている。
また、青色材料１１１Ｂとしては、例えばポリウレタンオリゴマーに青色の無機顔料（例えば、群青や紺青等）を分散させた後、溶剤としてブチルカルビトールアセテートを加え、非イオン系界面活性剤を分散剤として添加し、粘度を所定の範囲に調整した溶液が用いられている。
吐出走査部１０２は、複数のヘッド１１４（図４参照）を保持するキャリッジ１０３と、キャリッジ１０３の位置を制御するキャリッジ位置制御装置１０４と、カラーフィルタ側マザー基板を構成する基体１０Ａを保持するステージ１０６と、ステージ１０６の位置を制御するステージ位置制御装置１０８と、制御部１１２とを有している。なお、実際には、吐出装置１００には複数（例えば１０個）のキャリッジ１０３が設置されている。図３では、説明の簡単のため、１個のキャリッジ１０３を図示して説明することにした。 Here, as the red material 111R, for example, a red inorganic pigment (for example, red iron oxide (III), cadmium red, etc.) is dispersed in a polyurethane oligomer, and then butyl carbitol acetate is added as a solvent. A solution in which a surfactant is added as a dispersant and the viscosity is adjusted to a predetermined range is used.
As the green material 111G, for example, a green inorganic pigment (for example, chromium oxide green or cobalt green) is dispersed in a polyurethane oligomer, and then cyclohexanone and butyl acetate are added as a solvent to disperse a nonionic surfactant. A solution which is added as an agent and has a viscosity adjusted to a predetermined range is used.
As the blue material 111B, for example, a blue inorganic pigment (for example, ultramarine blue or bitumen) is dispersed in a polyurethane oligomer, butyl carbitol acetate is added as a solvent, and a nonionic surfactant is added as a dispersant. However, a solution having a viscosity adjusted to a predetermined range is used.
The ejection scanning unit 102 includes a carriage 103 that holds a plurality of heads 114 (see FIG. 4), a carriage position control device 104 that controls the position of the carriage 103, and a stage that holds a base 10A that forms a color filter-side mother substrate. 106, a stage position control device 108 that controls the position of the stage 106, and a control unit 112. Actually, a plurality of (for example, ten) carriages 103 are installed in the ejection device 100. In FIG. 3, for the sake of simplicity, one carriage 103 is illustrated and described.

キャリッジ位置制御装置１０４は、制御部１１２からの信号に応じて、キャリッジ１０３をＸ軸方向又はＺ軸方向に沿って移動させるようになっている。ステージ位置制御装置１０８は、制御部１１２からの信号に応じて、Ｙ軸方向に沿ってステージ１０６を移動させるようになっている。   The carriage position control device 104 is configured to move the carriage 103 along the X-axis direction or the Z-axis direction according to a signal from the control unit 112. The stage position control device 108 moves the stage 106 along the Y-axis direction in response to a signal from the control unit 112.

上述のように、キャリッジ１０３はキャリッジ位置制御装置１０４の制御によってＸ軸方向に移動するようになっている。一方、ステージ１０６はステージ位置制御装置１０８の制御によってＹ軸方向に移動するようになっている。つまり、キャリッジ位置制御装置１０４およびステージ位置制御装置１０８によって、ステージ１０６に対するヘッド１１４の相対位置が変わるようになっている。   As described above, the carriage 103 is moved in the X-axis direction under the control of the carriage position control device 104. On the other hand, the stage 106 moves in the Y-axis direction under the control of the stage position controller 108. That is, the relative position of the head 114 with respect to the stage 106 is changed by the carriage position control device 104 and the stage position control device 108.

つまり、キャリッジ１０３及びステージ１０６のうち双方若しくはいずれか一方を移動させることで、キャリッジ１０３がステージ１０６（あるいはステージ１０６に保持される基体１０Ａ）を走査することができるようになっている。以下、本実施形態では、キャリッジ１０３を静止させ、ステージ１０６を移動させることで走査を行う場合について説明する。   That is, by moving both or one of the carriage 103 and the stage 106, the carriage 103 can scan the stage 106 (or the base body 10A held by the stage 106). Hereinafter, in the present embodiment, a case will be described in which the carriage 103 is stationary and the stage 106 is moved to perform scanning.

図４は、１個のキャリッジ１０３をステージ１０６側から観察した図であり、図４の紙面に垂直な方向がＺ軸方向である。また、図４の紙面の左右方向がＸ軸方向であり、紙面の上下方向がＹ軸方向である。
同図に示すように、キャリッジ１０３は、それぞれほぼ同じ構造を有する複数のヘッド１１４を保持している。ヘッド１１４には、液体材料１１１のうち赤色材料１１１Ｒを吐出するヘッド１１４Ｒ、緑色材料１１１Ｇを吐出するヘッド１１４Ｇ、青色材料１１１Ｂを吐出するヘッド１１４Ｂの３種類がある。 4 is a view of one carriage 103 observed from the stage 106 side, and the direction perpendicular to the paper surface of FIG. 4 is the Z-axis direction. 4 is the X-axis direction, and the vertical direction of the paper is the Y-axis direction.
As shown in the figure, the carriage 103 holds a plurality of heads 114 each having substantially the same structure. There are three types of heads 114: a head 114R that ejects a red material 111R, a head 114G that ejects a green material 111G, and a head 114B that ejects a blue material 111B.

キャリッジ１０３には、ヘッド群１１４Ｐが２箇所に設けられている。各ヘッド群１１４Ｐには、ヘッド１１４Ｒ、ヘッド１１４Ｇ、ヘッド１１４Ｂがそれぞれ２個ずつ、Ｙ軸方向に直線状に設けられている。したがって、１つのキャリッジ１０３においては、ヘッド１１４Ｒ、ヘッド１１４Ｇ、ヘッド１１４Ｂがそれぞれ４個ずつ設けられており、ヘッド１１４は、計１２個設けられていることになる。   The carriage 103 is provided with two head groups 114P. In each head group 114P, two heads 114R, 114G, and 114B are provided linearly in the Y-axis direction. Accordingly, in each carriage 103, four heads 114R, four heads 114G, and four heads 114B are provided, and a total of twelve heads 114 are provided.

図５は、ヘッド１１４の底面１１４ａを示した図である。底面１１４ａの形状は、対向する２つの長辺及び対向する２つの短辺を有する矩形である。当該底面１１４ａはステージ１０６側を（図中Ｚ軸方向）向いている。ヘッド１１４の長辺方向と図中Ｘ軸方向、また、ヘッド１１４の短辺方向と図中Ｙ軸方向については、それぞれ平行になっている。   FIG. 5 is a view showing the bottom surface 114 a of the head 114. The shape of the bottom surface 114a is a rectangle having two long sides facing each other and two short sides facing each other. The bottom surface 114a faces the stage 106 side (Z-axis direction in the figure). The long side direction of the head 114 and the X-axis direction in the drawing are parallel, and the short side direction of the head 114 and the Y-axis direction in the drawing are parallel to each other.

また、当該底面１１４ａには、ノズル１１８がＸ軸方向に例えば９０個ずつ、２列（列１１６Ａと列１１６Ｂ）に配置されている。また、各ノズル１１８のノズル径ｒは、約３０μｍとなっている。列１１６Ａ側のノズル１１８及び列１１６Ｂ側のノズル１１８は、それぞれ各列において所定のピッチＬＮＰ（ＬＮＰ：約１４０μｍ）で配置されている。   In addition, on the bottom surface 114a, for example, 90 nozzles 118 are arranged in two rows (row 116A and row 116B) in the X-axis direction. The nozzle diameter r of each nozzle 118 is about 30 μm. The nozzles 118 on the row 116A side and the nozzles 118 on the row 116B side are arranged at a predetermined pitch LNP (LNP: about 140 μm) in each row.

また、ノズル列１１６Ｂの各ノズル１１８の位置が、ノズル列１１６Ａの各ノズル１１８位置に対して、ノズルピッチＬＮＰの半分の長さ（約７０μｍ）だけＸ軸方向の負の方向（図５の下方向）にずれるように配置されている。なお、ヘッド１１４に設けられるノズル列は２列でなくても良い。例えば、３列、４列、・・・Ｍ列（Ｍは自然数）と列数を増やしても良いし、あるいは１列であっても構わない。   In addition, the position of each nozzle 118 in the nozzle row 116B is negative in the X-axis direction (lower part in FIG. 5) by a length half the nozzle pitch LNP (about 70 μm) with respect to each nozzle 118 position in the nozzle row 116A. (Direction). The number of nozzle rows provided in the head 114 may not be two. For example, the number of columns may be increased to three columns, four columns,... M columns (M is a natural number), or one column.

ノズル列１１６Ａおよびノズル列１１６Ｂのそれぞれが９０個のノズルからなるため、１つのヘッド１１４には１８０個のノズルが設けられている。ただし、ノズル列１１６Ａの両端から５つ目までのノズルは、液体材料１１１が吐出されないようになっている（休止ノズル：図５中、破線で囲まれた部分）。   Since each of the nozzle row 116A and the nozzle row 116B is composed of 90 nozzles, one head 114 is provided with 180 nozzles. However, the liquid material 111 is not discharged from the fifth nozzle from the both ends of the nozzle row 116A (pause nozzle: a portion surrounded by a broken line in FIG. 5).

同様に、ノズル列１１６Ｂの両端から５つ目までのノズルも液体材料１１１が吐出されない休止ノズルとなっている（図５中、破線で囲まれた部分）。このため、ヘッド１１４における１８０個のノズル１１８のうち、両端の２０個のノズルを除いた１６０個のノズル１１８が液体材料１１１を吐出するようになっている（吐出ノズル）。   Similarly, the fifth nozzle from the both ends of the nozzle row 116B is also a pause nozzle from which the liquid material 111 is not discharged (a portion surrounded by a broken line in FIG. 5). For this reason, of the 180 nozzles 118 in the head 114, 160 nozzles 118 excluding 20 nozzles at both ends are adapted to eject the liquid material 111 (ejection nozzles).

本明細書では、ノズル列１１６Ａに含まれる９０個のノズル１１８のうち、図中上端から６番目のノズル１１８をヘッド１１４の「基準ノズル１１８Ｒ」と表記する。つまり、ノズル列１１６Ａにおける８０個の吐出ノズルのうち、図中最上部に位置する吐出ノズルがヘッド１１４の「基準ノズル１１８Ｒ」である。なお、すべてのヘッド１１４に対して、「基準ノズル１１８Ｒ」の指定の仕方が同じであればよいので、「基準ノズル１１８Ｒ」の位置は、上記位置でなくてもよい。   In the present specification, among the 90 nozzles 118 included in the nozzle row 116A, the sixth nozzle 118 from the upper end in the drawing is referred to as a “reference nozzle 118R” of the head 114. That is, among the 80 discharge nozzles in the nozzle row 116A, the discharge nozzle located at the top of the drawing is the “reference nozzle 118R” of the head 114. Note that the “reference nozzle 118R” may be specified in the same manner for all the heads 114, so the position of the “reference nozzle 118R” does not have to be the above position.

次に、ヘッド１１４の内部の構成を説明する。図６（ａ）および図６（ｂ）に示すように、それぞれのヘッド１１４は、インクジェットヘッドである。より具体的には、それぞれのヘッド１１４は、振動板１２６と、ノズルプレート１２８とを備えている。振動板１２６と、ノズルプレート１２８との間には、タンク１０１から孔１３１を介して供給される液体材料１１１が常に充填される液たまり１２９が設けられている。   Next, the internal configuration of the head 114 will be described. As shown in FIGS. 6A and 6B, each head 114 is an inkjet head. More specifically, each head 114 includes a diaphragm 126 and a nozzle plate 128. Between the diaphragm 126 and the nozzle plate 128, there is provided a liquid pool 129 that is always filled with the liquid material 111 supplied from the tank 101 through the hole 131.

また、振動板１２６と、ノズルプレート１２８との間には、複数の隔壁１２２が設けられている。そして、振動板１２６と、ノズルプレート１２８と、１対の隔壁１２２とによって囲まれた部分がキャビティ１２０である。キャビティ１２０は、ノズル１１８ごとに設けられているおり、キャビティ１２０の数とノズル１１８の数とは同じである。キャビティ１２０には、１対の隔壁１２２間に設けられた供給口１３０を介して、液たまり１２９から液体材料１１１が供給される。   In addition, a plurality of partition walls 122 are provided between the diaphragm 126 and the nozzle plate 128. A portion surrounded by the diaphragm 126, the nozzle plate 128, and the pair of partition walls 122 is a cavity 120. The cavities 120 are provided for each nozzle 118, and the number of cavities 120 and the number of nozzles 118 are the same. The liquid material 111 is supplied from the liquid pool 129 to the cavity 120 through the supply port 130 provided between the pair of partition walls 122.

振動板１２６上には、それぞれのキャビティ１２０に対応して、振動子１２４が位置する。振動子１２４は、ピエゾ素子１２４Ｃと、ピエゾ素子１２４Ｃを挟む１対の電極１２４Ａ、１２４Ｂとを有している。この１対の電極１２４Ａ、１２４Ｂとの間に駆動電圧を与えることで、対応するノズル１１８から液体材料１１１が吐出される。なお、ノズル１１８からＺ軸方向に液状の材料が吐出されるように、ノズル１１８の形状が調整されている。なお、ピエゾ素子の代わりに電気熱変換素子を有してもよい。つまり、電気熱変換素子による材料の熱膨張を利用して液体材料１１１を吐出する構成を有していてもよい。   On the diaphragm 126, the vibrator 124 is positioned corresponding to each cavity 120. The vibrator 124 includes a piezo element 124C and a pair of electrodes 124A and 124B that sandwich the piezo element 124C. By applying a driving voltage between the pair of electrodes 124A and 124B, the liquid material 111 is discharged from the corresponding nozzle 118. The shape of the nozzle 118 is adjusted so that a liquid material is discharged from the nozzle 118 in the Z-axis direction. In addition, you may have an electrothermal conversion element instead of a piezo element. That is, you may have the structure which discharges the liquid material 111 using the thermal expansion of the material by an electrothermal conversion element.

次に、制御部１１２の構成を説明する。図７は、制御部１１２の構成を示すブロック図である。
制御部１１２は、液体材料１１１を吐出するタイミングや、キャリッジ１０３の固定位置、ステージ１０６の移動（移動速度、移動距離等）等、吐出装置１の動作に関して統括して制御する部位である。
図７に示すように、制御部１１２は、入力バッファメモリ２００と、記憶手段２０２と、処理部２０４と、走査駆動部２０６と、ヘッド駆動部２０８とを備えており、各部分同士が通信可能に接続されている。 Next, the configuration of the control unit 112 will be described. FIG. 7 is a block diagram illustrating a configuration of the control unit 112.
The control unit 112 is a part that performs overall control regarding the operation of the discharge device 1 such as the timing at which the liquid material 111 is discharged, the fixed position of the carriage 103, the movement of the stage 106 (movement speed, movement distance, etc.).
As shown in FIG. 7, the control unit 112 includes an input buffer memory 200, a storage unit 202, a processing unit 204, a scan driving unit 206, and a head driving unit 208, and the respective parts can communicate with each other. It is connected to the.

入力バッファメモリ２００は、外部に接続される例えば情報処理装置等から液体材料１１１の液滴の吐出を行うための吐出データを受け取る。入力バッファメモリ２００は、吐出データを処理部２０４に供給し、処理部２０４は吐出データを記憶手段２０２に格納する。記憶手段２０２としては、例えばＲＡＭ等が用いられている。   The input buffer memory 200 receives ejection data for ejecting droplets of the liquid material 111 from, for example, an information processing apparatus connected to the outside. The input buffer memory 200 supplies the ejection data to the processing unit 204, and the processing unit 204 stores the ejection data in the storage unit 202. For example, a RAM or the like is used as the storage unit 202.

処理部２０４は、記憶手段２０２内に格納された吐出データにアクセスし、当該吐出データを基にして、走査駆動部２０６及びヘッド駆動部２０８に、必要な駆動信号を供給する。
走査駆動部２０６はこの駆動信号に基づいて、キャリッジ制御装置１０４およびステージ制御装置１０８に所定の制御信号を供給する。また、ヘッド駆動部２０８は駆動信号に基づいて、各ヘッド１１４に液体材料１１１を吐出する吐出信号を供給する。 The processing unit 204 accesses the ejection data stored in the storage unit 202, and supplies necessary drive signals to the scanning drive unit 206 and the head drive unit 208 based on the ejection data.
The scanning drive unit 206 supplies a predetermined control signal to the carriage control device 104 and the stage control device 108 based on this drive signal. Further, the head drive unit 208 supplies an ejection signal for ejecting the liquid material 111 to each head 114 based on the drive signal.

ヘッド駆動部２０８は、図８（ａ）に示すように、１つの駆動信号生成部２０３と、複数のアナログスイッチＡＳとを有している。アナログスイッチＡＳは、ヘッド１１４内の振動子１２４に接続されている（具体的には、電極１２４Ａに接続されている。ただし、電極１２４Ａは図８（ａ）には示されていない。）。当該アナログスイッチＡＳは、ノズル１１８のそれぞれに対応するように設けられており、ノズル１１８の個数と同数設けられている。   As shown in FIG. 8A, the head drive unit 208 includes one drive signal generation unit 203 and a plurality of analog switches AS. The analog switch AS is connected to the vibrator 124 in the head 114 (specifically, connected to the electrode 124A. However, the electrode 124A is not shown in FIG. 8A). The analog switches AS are provided so as to correspond to the respective nozzles 118, and are provided in the same number as the number of the nozzles 118.

駆動信号生成部２０３は、図８（ｂ）に示すような駆動信号ＤＳを生成する。駆動信号ＤＳは、アナログスイッチＡＳのそれぞれの入力端子に独立して供給される。駆動信号ＤＳの電位は、基準電位Ｌに対して時間的に変化する。すなわち、駆動信号ＤＳは、複数の吐出波形Ｐが吐出周期ＥＰで繰り返される信号である。吐出周期ＥＰは、例えば処理部２０４によって所望の値に調節されるようになっている。この吐出周期ＥＰを適宜調節することによって、複数のノズル１１８から所定の順序で液体材料１１１が吐出されるように吐出信号を生成することができる。このように、吐出のタイミングを制御することができるようになっている。   The drive signal generation unit 203 generates a drive signal DS as shown in FIG. The drive signal DS is supplied independently to each input terminal of the analog switch AS. The potential of the drive signal DS changes with respect to the reference potential L over time. That is, the drive signal DS is a signal in which a plurality of ejection waveforms P are repeated at the ejection cycle EP. The ejection cycle EP is adjusted to a desired value by the processing unit 204, for example. By appropriately adjusting the discharge period EP, a discharge signal can be generated so that the liquid material 111 is discharged from the plurality of nozzles 118 in a predetermined order. In this way, the ejection timing can be controlled.

また、吐出のタイミングの他、例えば、ステージ１０６を走査させながら液体材料１１１を吐出する動作を行う場合に、液体材料１１１を吐出している間は、液体材料１１１を吐出しない間よりもステージ１０６の移動のスピードを遅くするように、すなわち、走査速度を低くするように制御可能になっている。   In addition to the timing of ejection, for example, when performing an operation of ejecting the liquid material 111 while scanning the stage 106, the stage 106 is more ejected during ejection of the liquid material 111 than during ejection of the liquid material 111. It is possible to control so as to slow down the movement speed, i.e., to lower the scanning speed.

なお、制御部１１２は、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭを含んだコンピュータであってもよい。この場合には、制御部１１２の上記機能は、コンピュータによって実行されるソフトウェアプログラムによって実現される。もちろん、制御部１１２は、専用の回路（ハードウェア）によって実現されてもよい。   The control unit 112 may be a computer including a CPU, a ROM, and a RAM. In this case, the function of the control unit 112 is realized by a software program executed by a computer. Of course, the control unit 112 may be realized by a dedicated circuit (hardware).

（液晶装置の製造方法（液滴吐出方法））
次に、このように構成された液晶装置１の製造工程について説明する。
本実施形態では、大面積のマザー基板を用いて複数の液晶装置を一括して形成し、切断によって個々の液晶装置１に分離する方法を例に挙げて説明する。 (Manufacturing method of liquid crystal device (droplet discharge method))
Next, a manufacturing process of the liquid crystal device 1 configured as described above will be described.
In the present embodiment, a method in which a plurality of liquid crystal devices are collectively formed using a mother substrate having a large area and separated into individual liquid crystal devices 1 by cutting will be described as an example.

まず、カラーフィルタ側マザー基板の形成工程について簡単に説明する。
吐出装置１００のステージ１０６に、基体１０Ａを保持させる。当該基体１０Ａには、カラーフィルタ１６の各層を保持する被吐出部１８（１８Ｒ、１８Ｇ、１８Ｂ：図９等参照）が形成されている。被吐出部１８Ｒには赤色層１６Ｒが保持され、被吐出部１８Ｇには緑色層１６Ｇが保持され、被吐出部１８Ｂには青色層１６Ｂが保持されるようになっている。なお、基体１０Ａをステージ１０６に保持する際には、基体１０Ａの短辺方向がＸ軸方向に一致し、長辺方向がＹ軸方向に一致するように位置を調節する。 First, the process of forming the color filter side mother substrate will be briefly described.
The base 10 </ b> A is held on the stage 106 of the discharge device 100. The substrate 10A is formed with discharged portions 18 (18R, 18G, 18B: see FIG. 9 and the like) that hold the layers of the color filter 16. The discharged layer 18R holds the red layer 16R, the discharged portion 18G holds the green layer 16G, and the discharged portion 18B holds the blue layer 16B. When holding the base 10A on the stage 106, the position is adjusted so that the short side direction of the base 10A matches the X-axis direction and the long side direction matches the Y-axis direction.

この状態で、図９に示すようにステージ１０６を図中左側から右側へ移動させる。キャリッジ１０３は例えば図中右側から左側に基体１０Ａ上を走査し、各ヘッド１１４からは液体材料１１１の液滴が各被吐出部１８に吐出される。なお、このとき上述した制御部１１２により液体材料１１１の吐出のタイミング及び走査速度が制御される。１回目の走査によって、図９に示すように、例えば図中最上行及び図中最下行の各被吐出部１８に赤色材料１１１Ｒ、緑色材料１１１Ｇ、青色材料１１１Ｂの液滴が吐出される。複数行にわたって設けられている被吐出部１８のうちどの行に液体材料１１１の液滴を吐出するかは、適宜設定することが可能である。   In this state, the stage 106 is moved from the left side to the right side in the drawing as shown in FIG. For example, the carriage 103 scans the base 10 </ b> A from the right side to the left side in the drawing, and droplets of the liquid material 111 are discharged from the heads 114 to the discharge target portions 18. At this time, the discharge timing and scanning speed of the liquid material 111 are controlled by the control unit 112 described above. By the first scanning, as shown in FIG. 9, for example, droplets of the red material 111R, the green material 111G, and the blue material 111B are discharged to each of the discharge target portions 18 in the uppermost row and the lowermost row in the drawing. It can be set as appropriate to which row of the discharged portions 18 provided over a plurality of rows the droplets of the liquid material 111 are discharged.

ここで、図１０をもとにして、個々の被吐出部１８に吐出される液体材料１１１のピッチについて説明する。図１０は、図９に示す基体１０Ａに設けられた被吐出部１８のうちの１個について示したものである。なお、図１０では、説明をわかりやすくするため、実際の状態とは液滴の数が異なるように示している。   Here, based on FIG. 10, the pitch of the liquid material 111 discharged to each discharged portion 18 will be described. FIG. 10 shows one of the portions to be ejected 18 provided on the base body 10A shown in FIG. In FIG. 10, the number of droplets is different from the actual state for easy understanding.

同図に示すように、被吐出部１８の底面には、液体材料１１１（赤色材料１１１Ｒ、緑色材料１１１Ｇ及び青色材料１１１Ｂ）が、例えば被吐出部１８の長手方向（Ｘ方向）にはピッチａ（第１のピッチ）で３個ずつ、短手方向（Ｙ方向）にはピッチｂ（第２のピッチ）で２個ずつ着弾している。なお本実施形態では、例えばＹ方向に設けられた液体材料１１１のように、ある方向に設けられた個数が２個であるものの間隔についても「ピッチ」と表現する。   As shown in the figure, the liquid material 111 (the red material 111R, the green material 111G, and the blue material 111B) is formed on the bottom surface of the discharged portion 18, for example, with a pitch a in the longitudinal direction (X direction) of the discharged portion 18. Three (first pitch) and two in the short direction (Y direction) are landed at pitch b (second pitch). In this embodiment, for example, the interval between two pieces of material provided in a certain direction, such as the liquid material 111 provided in the Y direction, is also expressed as “pitch”.

Ｘ方向のピッチａの値は、ノズルのピッチと等しく、上述のＬＮＰ（図５参照）に該当する。このａの値（ＬＮＰの値：約１４０μｍ）は、被吐出部１８の短手方向の寸法Ｓ（図２（ｂ）参照：約１７０μｍ）の値よりも小さい値に設定されている。また、Ｙ方向のピッチｂの値は、Ｘ方向のピッチａの値よりも小さい値に設定され、例えば、１０μｍ〜７０μｍの範囲の値になっている。Ｙ方向のピッチｂの値は、例えば、上述した制御部１１２により液体材料１１１の吐出のタイミング及び走査速度を制御することによって、所望の値に設定することができる。   The value of the pitch a in the X direction is equal to the nozzle pitch and corresponds to the above-described LNP (see FIG. 5). The value of a (LNP value: about 140 μm) is set to a value smaller than the value of the dimension S in the short direction of the ejected portion 18 (see FIG. 2B: about 170 μm). Further, the value of the pitch b in the Y direction is set to a value smaller than the value of the pitch a in the X direction, for example, a value in the range of 10 μm to 70 μm. The value of the pitch b in the Y direction can be set to a desired value, for example, by controlling the ejection timing and scanning speed of the liquid material 111 by the control unit 112 described above.

１回目の走査では液体材料１１１が吐出されなかった被吐出部１８についても、同様の方法により液体材料１１１の吐出を行う。例えば、図中左側から右側に基体１０Ａの領域Ｗをキャリッジ１０３が走査し、各ヘッド１１４からは液体材料１１１の液滴が吐出される。例えば、１回目の走査の際に液体材料１１１が吐出されなかった図中上から２行目、上から３行目の各被吐出部１８に、赤色材料１１１Ｒ、緑色材料１１１Ｇ、青色材料１１１Ｂの液滴を吐出する。複数行にわたって設けられている被吐出部１８のうち、液体材料１１１が吐出されてない被吐出部１８の行を選択しながら液体材料１１１の液滴を吐出し、各被吐出部１８に液体材料１１１が計１回ずつ吐出されるまで、吐出及び走査を繰り返す。   The liquid material 111 is also discharged by the same method for the portion 18 to which the liquid material 111 has not been discharged in the first scan. For example, the carriage 103 scans the region W of the base body 10A from the left side to the right side in the drawing, and droplets of the liquid material 111 are ejected from each head 114. For example, the liquid material 111 was not discharged during the first scan, and the red material 111R, the green material 111G, and the blue material 111B A droplet is discharged. Liquid droplets of the liquid material 111 are discharged while selecting the row of the discharged portion 18 from which the liquid material 111 is not discharged among the discharged portions 18 provided over a plurality of rows, and the liquid material is discharged to each discharged portion 18. Discharging and scanning are repeated until 111 is discharged once in total.

各被吐出部１８に液体材料１１１が計１回ずつ全体吐出走査がされた状態においては、各被吐出部１８の全体に液体材料１１１が吐出されてはいるものの、カラーフィルタ１６の各層１６Ｒ、１６Ｇ、１６Ｂを形成するのに液体材料１１１の体積がまだ不足している状態である。したがって、上記の走査を、カラーフィルタ１６の各層１６Ｒ、１６Ｇ、１６Ｂを形成するために十分な体積の液体材料１１１で満たされる状態になるまで繰り返して行うようにする。   In a state where the liquid material 111 has been subjected to a total discharge scan once for each of the discharged portions 18, the liquid material 111 is discharged to the entire of the discharged portions 18, but each layer 16 R of the color filter 16, In this state, the volume of the liquid material 111 is still insufficient to form 16G and 16B. Therefore, the above scanning is repeated until the liquid material 111 is filled with a sufficient volume for forming the layers 16R, 16G, and 16B of the color filter 16.

これ以降の工程については簡単に説明する。カラーフィルタ１６が形成された基材１０Ａ上には、図示しない電極や配線等を形成し、平坦化膜を形成する。また、基材１０Ａの表面にギャップ制御用の図示しないスペーサ及び隔壁を形成する。この基材１０Ａに形成された配線やカラーフィルタを覆うように配向膜を形成し、この配向膜に対してラビング処理を実行する。配向膜は、例えばポリイミドを塗布又は印刷することによって形成することができる。また、エポキシ樹脂等からなるシール材を矩形環状に形成し、シール材で囲まれた領域に液晶を塗布する。   The subsequent steps will be briefly described. On the base material 10A on which the color filter 16 is formed, electrodes, wirings, etc. (not shown) are formed, and a planarizing film is formed. In addition, spacers and partition walls (not shown) for gap control are formed on the surface of the substrate 10A. An alignment film is formed so as to cover the wiring and color filter formed on the substrate 10A, and a rubbing process is performed on the alignment film. The alignment film can be formed by applying or printing polyimide, for example. In addition, a sealing material made of epoxy resin or the like is formed in a rectangular ring shape, and liquid crystal is applied to a region surrounded by the sealing material.

次に、アクティブマトリクス側マザー基板の形成については、ガラスやプラスチック等の透光性材料からなる大判の基材に配線、電極等を形成し、当該配線、電極等が形成された領域に、平坦化膜を形成する。平坦化膜を形成したら、ポリイミド等からなる配向膜を形成し、この配向膜に対してラビング処理を実行する。   Next, with respect to the formation of the active matrix side mother substrate, wiring, electrodes, etc. are formed on a large base material made of a light-transmitting material such as glass or plastic, and the area where the wiring, electrodes, etc. are formed is flat. A chemical film is formed. After the planarization film is formed, an alignment film made of polyimide or the like is formed, and a rubbing process is performed on the alignment film.

次に、カラーフィルタ側マザー基板とアクティブマトリクス側マザー基板とをパネル状に貼り合わせる。両基板を近接させ、アクティブマトリクス側マザー基板がカラーフィルタ側マザー基板上のシール材に接着させるようにする。その後、接着した両マザー基板にスクライブ線を形成し、当該スクライブ線に沿ってパネルを切断し、切断した各パネルの洗浄を行い、各パネルに駆動ドライバ等を実装する。各液晶パネルの外側表面に偏光板を貼着し、バックライト４１を取り付けて、液晶装置１が完成する。   Next, the color filter side mother substrate and the active matrix side mother substrate are bonded together in a panel shape. Both substrates are brought close to each other so that the active matrix side mother substrate adheres to the sealing material on the color filter side mother substrate. After that, scribe lines are formed on both bonded mother substrates, the panel is cut along the scribe lines, each cut panel is cleaned, and a drive driver or the like is mounted on each panel. A liquid crystal device 1 is completed by attaching a polarizing plate to the outer surface of each liquid crystal panel and attaching a backlight 41.

このように、本実施形態によれば、被吐出部１８の短手方向の寸法より短いピッチａよりもさらに短いピッチｂで、被吐出部１８の短手方向に液体材料１１１の液滴を着弾させるため、各被吐出部１８の短手方向に液滴を複数着弾させることができる。これにより、少ない回数の走査でも必要量の液滴を被吐出部１８に滴下することができるようになり、吐出効率の向上を図ることができる。また、ピッチｂを適宜設定することにより、１回の走査で吐出される液滴の数を設定することができるという利点もある。   As described above, according to the present embodiment, the droplet of the liquid material 111 is landed in the short direction of the discharged portion 18 at a pitch b shorter than the pitch a shorter than the short size of the discharged portion 18. Therefore, a plurality of liquid droplets can be landed in the short direction of each discharged portion 18. As a result, a required amount of droplets can be dropped onto the discharge target 18 even with a small number of scans, and the discharge efficiency can be improved. In addition, by appropriately setting the pitch b, there is an advantage that the number of droplets ejected in one scan can be set.

（電子機器）
次に、本発明に係る電子機器について、携帯電話を例に挙げて説明する。
図１１は、携帯電話３００の全体構成を示す斜視図である。
携帯電話３００は、筺体３０１、複数の操作ボタンが設けられた操作部３０２、画像や動画、文字等を表示する表示部３０３を有する。表示部３０３には、本発明に係る液晶装置１が搭載される。
このように、製造効率が高く、低コストの液晶装置１を搭載したので、コストパフォーマンスの高い電子機器（携帯電話３００）を得ることができる。 (Electronics)
Next, an electronic apparatus according to the present invention will be described using a mobile phone as an example.
FIG. 11 is a perspective view showing the overall configuration of the mobile phone 300.
The mobile phone 300 includes a housing 301, an operation unit 302 provided with a plurality of operation buttons, and a display unit 303 that displays images, moving images, characters, and the like. The liquid crystal device 1 according to the present invention is mounted on the display unit 303.
As described above, since the liquid crystal device 1 with high manufacturing efficiency and low cost is mounted, an electronic device (cell phone 300) with high cost performance can be obtained.

本発明の技術範囲は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更を加えることができる。
例えば、本発明を液晶装置１のカラーフィルタ基板３にカラーフィルタ層１６を形成する場合の例であるが、この例に限られることは無く、例えば他の用途に用いられるカラーフィルタ基板を形成する場合にも適用することが可能である。 The technical scope of the present invention is not limited to the above-described embodiment, and appropriate modifications can be made without departing from the spirit of the present invention.
For example, the present invention is an example of the case where the color filter layer 16 is formed on the color filter substrate 3 of the liquid crystal device 1, but the present invention is not limited to this example. For example, a color filter substrate used for other purposes is formed. It can also be applied to cases.

本発明の実施形態に係る液晶装置の構成を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the structure of the liquid crystal device which concerns on embodiment of this invention. 本実施形態に係るカラーフィルタ基板の構成を示す平面図である。It is a top view which shows the structure of the color filter board | substrate which concerns on this embodiment. 本実施形態に係る液滴吐出装置の全体構成を示す斜視図である。1 is a perspective view showing an overall configuration of a droplet discharge device according to an embodiment. 本実施形態に係る液滴吐出装置のキャリッジの構成を示す平面図である。It is a top view which shows the structure of the carriage of the droplet discharge apparatus which concerns on this embodiment. 本実施形態に係る液滴吐出装置のヘッドの外部構成を示す平面図である。It is a top view which shows the external structure of the head of the droplet discharge apparatus which concerns on this embodiment. 本実施形態に係る液滴吐出装置のヘッドの内部構成を示す図である。It is a figure which shows the internal structure of the head of the droplet discharge apparatus which concerns on this embodiment. 本実施形態に係る液滴吐出装置の制御部の構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the structure of the control part of the droplet discharge apparatus which concerns on this embodiment. 本実施形態に係る液滴吐出装置のヘッド駆動部の構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the head drive part of the droplet discharge apparatus which concerns on this embodiment. 本実施形態に係る液滴吐出方法を示す図（その１）である。It is FIG. (1) which shows the droplet discharge method which concerns on this embodiment. 本実施形態に係る液滴吐出方法を示す図（その２）である。It is FIG. (2) which shows the droplet discharge method which concerns on this embodiment. 本発明に係る電子機器の構成を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the structure of the electronic device which concerns on this invention.

符号の説明Explanation of symbols

１…液晶装置 ２…アクティブマトリクス基板 ３…カラーフィルタ基板 １０Ａ…基体 １６…カラーフィルタ １８（１８Ｒ、１８Ｇ、１８Ｂ）…被吐出部 １００…液滴吐出装置（吐出装置） １０３…キャリッジ １０６…ステージ １１１（１１１Ｒ、１１１Ｇ、１１１Ｂ）…液体材料 １１４（１１４Ｒ、１１４Ｇ、１１４Ｂ）…ヘッド １１４Ｐ…ヘッド群 １１４Ｇ…ヘッド １１８…ノズル ３００…携帯電話

DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Liquid crystal device 2 ... Active matrix board | substrate 3 ... Color filter board | substrate 10A ... Base | substrate 16 ... Color filter 18 (18R, 18G, 18B) ... To-be-discharged part 100 ... Droplet discharge apparatus (discharge apparatus) 103 ... Carriage 106 ... Stage 111 (111R, 111G, 111B) ... Liquid material 114 (114R, 114G, 114B) ... Head 114P ... Head group 114G ... Head 118 ... Nozzle 300 ... Mobile phone

Claims (4)

基板と吐出ヘッドとを対向させて相対的に走査させながら、前記基板上に機能液の液滴を吐出する液滴吐出方法であって、
前記基板上には、矩形に設けられ前記機能液を着弾させる複数の被吐出部が設けられており、
前記吐出ヘッドには、前記基板と対向させた状態で前記被吐出部の長手方向にほぼ一致する方向に、前記被吐出部の短手方向の寸法よりも短い第１のピッチで、前記機能液を吐出する複数のノズルが設けられており、
前記走査において、前記吐出ヘッドが前記被吐出部の短手方向に前記基板上を移動し、
前記機能液の吐出において、各被吐出部の前記短手方向に前記第１のピッチよりも短い第２のピッチで前記複数の機能液の液滴を着弾させることを特徴とする液滴吐出方法。 A droplet discharge method for discharging droplets of a functional liquid onto the substrate while relatively scanning the substrate and the discharge head facing each other,
On the substrate, there are provided a plurality of discharged portions that are provided in a rectangular shape and land the functional liquid,
In the discharge head, the functional liquid is disposed at a first pitch that is shorter than the dimension in the short direction of the discharged portion in a direction substantially coincident with the longitudinal direction of the discharged portion in a state of being opposed to the substrate. Are provided with a plurality of nozzles,
In the scanning, the discharge head moves on the substrate in the short direction of the discharged portion,
In discharging the functional liquid, the liquid droplet discharging method is characterized by causing the liquid droplets of the plurality of functional liquids to land at a second pitch shorter than the first pitch in the short direction of each discharged portion. . 吐出ヘッドを基板に対向させて相対的に走査させながら、前記吐出ヘッドから前記基板上に機能液の液滴を吐出する液滴吐出装置であって、
前記基板上には、矩形に設けられ前記機能液を着弾させる複数の被吐出部が設けられており、
前記吐出ヘッドには、前記基板と対向させた状態で前記被吐出部の長手方向にほぼ一致する方向に、前記被吐出部の短手方向の寸法よりも短い第１のピッチで、前記機能液を吐出する複数のノズルが設けられており、
前記走査において前記吐出ヘッドが前記被吐出部の短手方向に前記基板上を移動し、前記機能液の吐出において各被吐出部の前記短手方向に前記第１のピッチよりも短い第２のピッチで前記複数の機能液の液滴が着弾されるように、前記吐出ヘッドの移動速度及び前記ノズルから前記液滴が吐出されるタイミングのうち少なくとも一方を制御する制御部が設けられていることを特徴とする液滴吐出装置。 A liquid droplet ejection apparatus that ejects functional liquid droplets from the ejection head onto the substrate while causing the ejection head to face the substrate and performing scanning relatively,
On the substrate, there are provided a plurality of discharged portions that are provided in a rectangular shape and land the functional liquid,
In the discharge head, the functional liquid is disposed at a first pitch that is shorter than the dimension in the short direction of the discharged portion in a direction substantially coincident with the longitudinal direction of the discharged portion in a state of being opposed to the substrate. Are provided with a plurality of nozzles,
In the scanning, the discharge head moves on the substrate in the short direction of the discharged portion, and in discharging the functional liquid, a second shorter than the first pitch in the short direction of each discharged portion. A control unit for controlling at least one of a moving speed of the discharge head and a timing at which the droplets are discharged from the nozzles so that the droplets of the plurality of functional liquids are landed at a pitch; A droplet discharge device characterized by the above. 請求項１に記載の液滴吐出方法により機能液が吐出された基板を含むことを特徴とする電気光学装置。   An electro-optical device comprising a substrate on which a functional liquid is discharged by the droplet discharge method according to claim 1. 請求項３に記載の電気光学装置を搭載したことを特徴とする電子機器。
An electronic apparatus comprising the electro-optical device according to claim 3.

Images