JP2009286651A - 石英ガラスルツボとその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】シリコン結晶の引上げに用いる石英ガラスルツボであって、少なくともルツボの壁部において、ルツボ内表面11の真円度Sxとルツボ外表面12の真円度Syが、真円度と同一測定高さにおける最大肉厚Mに対して、何れも0.4以下(Sx/M≦0.4、Sy/M≦0.4)とし、また、少なくともルツボの壁部において、ルツボ内表面11の中心とルツボ外表面12の中心との距離Lが、ルツボ外表面12中心を通る最長直径Dの0.01以下(L≦0.01D)とする。
【選択図】図2
Description
〔1〕シリコン結晶の引上げに用いる石英ガラスルツボであって、少なくともルツボの壁部において、ルツボ内表面の真円度Sxとルツボ外表面の真円度Syが、真円度と同一測定高さにおける最大肉厚Mに対して、何れも0.4以下(Sx/M≦0.4、Sy/M≦0.4)であることを特徴とする石英ガラスルツボ。
〔2〕シリコン結晶の引上げに用いる石英ガラスルツボであって、少なくともルツボの壁部において、ルツボ内表面の中心とルツボ外表面の中心との距離Lが、ルツボ外表面中心を通る最長直径Dの0.01以下(L≦0.01D)であることを特徴とする石英ガラスルツボ。
〔3〕回転するルツボ状のモールドの内表面に石英粉を堆積し、モールドの回転下で、この石英粉層を高温加熱してガラス化するルツボの製造方法において、モールド内表面の横振れ量をモールド内径の0.1%以下に制御することを特徴する石英ガラスルツボの製造方法。
本発明の石英ガラスルツボは、シリコン結晶の引上げに用いる石英ガラスルツボであって、少なくともルツボの壁部において、ルツボ内表面の真円度Sxとルツボ外表面の真円度Syが、真円度と同一測定高さにおける最大肉厚Mに対して、何れも0.4以下(Sx/M≦0.4、Sy/M≦0.4)であることを特徴とする石英ガラスルツボである。
表1示す条件に従って本発明の石英ガラスルツボ(内径32インチ)を製造し、シリコン結晶の引上げを行った。この結果を表1に示した。
表1示す条件に従って内径32インチの石英ガラスルツボを製造し、シリコン結晶の引上げを行った。この結果を表1に示した。
表2示す条件に従って本発明の石英ガラスルツボ(内径32インチ)を製造し、シリコン結晶の引上げを行った。この結果を表2に示した。
表2示す条件に従って内径32インチの石英ガラスルツボを製造し、シリコン結晶の引上げを行った。この結果を表2に示した。
Sy−外表面真円度、M−最大肉厚、D−外表面最長直径
Claims (3)
- シリコン結晶の引上げに用いる石英ガラスルツボであって、少なくともルツボの壁部において、ルツボ内表面の真円度Sxとルツボ外表面の真円度Syが、真円度と同一測定高さにおける最大肉厚Mに対して、何れも0.4以下(Sx/M≦0.4、Sy/M≦0.4)であることを特徴とする石英ガラスルツボ。
- シリコン結晶の引上げに用いる石英ガラスルツボであって、少なくともルツボの壁部において、ルツボ内表面の中心とルツボ外表面の中心との距離Lが、ルツボ外表面中心を通る最長直径Dの0.01以下(L≦0.01D)であることを特徴とする石英ガラスルツボ。
- 回転するルツボ状のモールドの内表面に石英粉を堆積し、モールドの回転下で、この石英粉層を高温加熱してガラス化するルツボの製造方法において、モールド内表面の横振れ量をモールド内径の0.1%以下に制御することを特徴する石英ガラスルツボの製造方法。
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