JP2009272448A - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体ウエハ21上の全面に形成された下地金属層8の上面周辺部にリング状のレジスト高さ位置規制部27が形成され、下地金属層の上面には配線用上部金属層9が形成されている。そして、ウエハステージ31の凹部32内に半導体ウエハを上部金属層およびレジスト高さ位置規制部の上面がウエハステージの凹部の周囲における上面と面一となるように配置する。次に、ウエハステージ、上部金属層およびレジスト高さ位置規制部の上面にドライフィルムレジスト33をラミネートする。この状態で、ドライフィルムレジストと下地金属層との間に空間35が形成されており、配線用上部金属層間の気泡の発生を防止することができる。
【選択図】図16
Description
請求項2に記載の発明は、請求項1に記載の発明において、前記ドライフィルムレジストをラミネートする工程は、ウエハステージの上面に形成された凹部内に前記半導体ウエハを前記レジスト高さ位置規制部および前記配線用上部金属層の上面が前記ウエハステージの凹部の周囲における上面と面一となるように配置する工程と、前記ウエハステージの凹部の周囲における上面と前記レジスト高さ位置規制部および前記配線用上部金属層の上面とに前記ドライフィルムレジストをラミネートする工程とを含むことを特徴とするものである。
請求項3に記載の発明は、請求項2に記載の発明において、前記ウエハステージの凹部は円形状であり、前記ドライフィルムレジストのラミネートは、長さが前記ウエハステージの凹部の直径よりも大きいラミネートローラを用いて行なうことを特徴とするものである。
請求項4に記載の発明は、請求項2に記載の発明において、前記ドライフィルムレジストをラミネートした後に、前記ドライフィルムレジストを前記半導体ウエハの周側面に沿って切断する工程を有することを特徴とするものである。
請求項5に記載の発明は、請求項1に記載の発明において、前記ドライフィルムレジストをラミネートする工程は、ラミネートローラを用いて、前記ドライフィルムレジストが前記レジスト高さ位置規制部および前記配線用上部金属層の上面よりも下側に押し込まれないように行なう工程であることを特徴とするものである。
請求項6に記載の発明は、請求項1に記載の発明において、前記レジスト高さ位置規制部を形成する工程および前記配線用上部金属層を形成する工程は、前記下地金属層の上面全体に未露光のポジ型レジスト膜を形成する工程と、前記ポジ型レジスト膜に対して露光および現像を行なうことにより、配線用上部金属層形成領域に対応する部分に開口部を有する配線用上部金属層形成用メッキレジスト膜を形成し、且つ、前記下地金属層の上面周辺部に前記レジスト高さ位置規制部を形成する工程と、前記下地金属層をメッキ電流路とした電解メッキを行なうことにより、前記配線用上部金属層形成用メッキレジスト膜の開口部内の前記下地金属層の上面に配線用上部金属層を形成する工程と、未露光の前記配線用上部金属層形成用メッキレジスト膜のみに対して露光および現像を行なうことにより、前記配線用上部金属層形成用メッキレジスト膜を除去する工程と、を有することを特徴とするものである。
請求項7に記載の発明は、請求項6に記載の発明において、前記柱状電極を形成した後に、前記柱状電極形成用メッキレジスト膜および前記レジスト高さ位置規制部をレジスト剥離液を用いて剥離する工程と、前記配線用上部金属層をマスクとして前記下地金属層の不要な部分をエッチングして除去する工程とを有することを特徴とするものである。
請求項8に記載の発明は、請求項7に記載の発明において、前記下地金属層の不要な部分を除去した後に、前記柱状電極の周囲を覆う封止膜を形成する工程と、前記柱状電極上に半田ボールを形成する工程と、ダイシングにより前記半導体ウエハを切断して半導体装置を複数個得る工程とを有することを特徴とするものである。
請求項9に記載の発明は、請求項6に記載の発明において、前記レジスト高さ位置規制部は前記下地金属層の上面周辺部にリング状に形成することを特徴とするものである。
請求項10に記載の発明は、請求項9に記載の発明において、未露光の前記ポジ型レジスト膜を形成した後に、前記ポジ型レジスト膜の周辺部を除去して前記下地金属層の周辺部をメッキ用接続端子部として使用するために露出させる工程を有し、前記配線用上部金属層を形成する工程および前記柱状電極を形成する工程は、前記メッキ用接続端子部の部分にメッキ液が入り込まないようにするためのメッキ治具のシールリングを前記レジスト高さ位置規制部の上面に接触させる工程を含むことを特徴とするものである。
2 接続パッド
3 絶縁膜
5 保護膜
7 配線
8 下地金属層
8a メッキ用接続端子部
9 上部金属層
10 柱状電極
11 封止膜
12 半田ボール
21 半導体ウエハ
22 半導体装置形成領域
23 ポジ型レジスト膜
24 第1の遮光リング
25 第1の露光マスク
26 第1のメッキレジスト膜
27 レジスト高さ位置規制部
28 メッキ治具のシールリング
29 第2の遮光リング
31 ウエハステージ
32 凹部
33 ドライフィルムレジスト
34 ラミネートローラ
35 空間
36 カッタ
37 第3の遮光リング
38 柱状電極形成用露光マスク
39 第2のメッキレジスト膜
Claims (10)
- 半導体ウエハ上の全面に下地金属層を形成する工程と、
前記下地金属層の上面周辺部にレジスト高さ位置規制部を形成する工程と、
前記下地金属層の上面に複数の配線用上部金属層をその上面が前記レジスト高さ位置規制部の上面と面一となるように形成する工程と、
前記レジスト高さ位置規制部および前記配線用上部金属層の上面にドライフィルムレジストをその下面が前記レジスト高さ位置規制部および前記配線用上部金属層の上面と面一となるようにラミネートする工程と、
前記ドライフィルムレジストに対して露光および現像を行なうことにより、前記配線用上部金属層の接続パッド部に対応する部分に開口部を有する柱状電極形成用メッキレジスト膜を形成する工程と、
前記下地金属層をメッキ電流路とした電解メッキを行なうことにより、前記柱状電極形成用メッキレジスト膜の開口部内の前記配線用上部金属層の接続パッド部上面に柱状電極を形成する工程と、
を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項1に記載の発明において、前記ドライフィルムレジストをラミネートする工程は、ウエハステージの上面に形成された凹部内に前記半導体ウエハを前記レジスト高さ位置規制部および前記配線用上部金属層の上面が前記ウエハステージの凹部の周囲における上面と面一となるように配置する工程と、前記ウエハステージの凹部の周囲における上面と前記レジスト高さ位置規制部および前記配線用上部金属層の上面とに前記ドライフィルムレジストをラミネートする工程とを含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。
- 請求項2に記載の発明において、前記ウエハステージの凹部は円形状であり、前記ドライフィルムレジストのラミネートは、長さが前記ウエハステージの凹部の直径よりも大きいラミネートローラを用いて行なうことを特徴とする半導体装置の製造方法。
- 請求項2に記載の発明において、前記ドライフィルムレジストをラミネートした後に、前記ドライフィルムレジストを前記半導体ウエハの周側面に沿って切断する工程を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。
- 請求項1に記載の発明において、前記ドライフィルムレジストをラミネートする工程は、ラミネートローラを用いて、前記ドライフィルムレジストが前記レジスト高さ位置規制部および前記配線用上部金属層の上面よりも下側に押し込まれないように行なう工程であることを特徴とする半導体装置の製造方法。
- 請求項1に記載の発明において、前記レジスト高さ位置規制部を形成する工程および前記配線用上部金属層を形成する工程は、
前記下地金属層の上面全体に未露光のポジ型レジスト膜を形成する工程と、
前記ポジ型レジスト膜に対して露光および現像を行なうことにより、配線用上部金属層形成領域に対応する部分に開口部を有する配線用上部金属層形成用メッキレジスト膜を形成し、且つ、前記下地金属層の上面周辺部に前記レジスト高さ位置規制部を形成する工程と、
前記下地金属層をメッキ電流路とした電解メッキを行なうことにより、前記配線用上部金属層形成用メッキレジスト膜の開口部内の前記下地金属層の上面に配線用上部金属層を形成する工程と、
未露光の前記配線用上部金属層形成用メッキレジスト膜のみに対して露光および現像を行なうことにより、前記配線用上部金属層形成用メッキレジスト膜を除去する工程と、
を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項6に記載の発明において、前記柱状電極を形成した後に、前記柱状電極形成用メッキレジスト膜および前記レジスト高さ位置規制部をレジスト剥離液を用いて剥離する工程と、前記配線用上部金属層をマスクとして前記下地金属層の不要な部分をエッチングして除去する工程とを有することを特徴とする半導体装置の製造方法。
- 請求項7に記載の発明において、前記下地金属層の不要な部分を除去した後に、前記柱状電極の周囲を覆う封止膜を形成する工程と、前記柱状電極上に半田ボールを形成する工程と、ダイシングにより前記半導体ウエハを切断して半導体装置を複数個得る工程とを有することを特徴とする半導体装置の製造方法。
- 請求項6に記載の発明において、前記レジスト高さ位置規制部は前記下地金属層の上面周辺部にリング状に形成することを特徴とする半導体装置の製造方法。
- 請求項9に記載の発明において、未露光の前記ポジ型レジスト膜を形成した後に、前記ポジ型レジスト膜の周辺部を除去して前記下地金属層の周辺部をメッキ用接続端子部として使用するために露出させる工程を有し、前記配線用上部金属層を形成する工程および前記柱状電極を形成する工程は、前記メッキ用接続端子部の部分にメッキ液が入り込まないようにするためのメッキ治具のシールリングを前記レジスト高さ位置規制部の上面に接触させる工程を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2008121836A JP2009272448A (ja) | 2008-05-08 | 2008-05-08 | 半導体装置の製造方法 |
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JP2008121836A JP2009272448A (ja) | 2008-05-08 | 2008-05-08 | 半導体装置の製造方法 |
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JP2008121836A Pending JP2009272448A (ja) | 2008-05-08 | 2008-05-08 | 半導体装置の製造方法 |
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JP (1) | JP2009272448A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013168453A (ja) * | 2012-02-14 | 2013-08-29 | Renesas Electronics Corp | 半導体装置の製造方法及びウェハ |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05144822A (ja) * | 1991-11-25 | 1993-06-11 | Hamamatsu Photonics Kk | 突起電極の形成方法 |
JP2008047579A (ja) * | 2006-08-11 | 2008-02-28 | Casio Comput Co Ltd | 半導体装置の製造方法 |
-
2008
- 2008-05-08 JP JP2008121836A patent/JP2009272448A/ja active Pending
Patent Citations (2)
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