JP6003369B2 - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Description
図1は第1の実施形態に係る半導体装置の製造方法で使用する基板の平面図、図2〜図6は第1の実施形態に係る半導体装置の製造方法を工程順に示す断面図である。なお、図2〜図6は、図1にI−I線で示す位置における断面図である。
図7〜図12は、第2の実施形態に係る半導体装置の製造方法を工程順に示す断面図である。本実施形態においても、図1を参照して説明する。図7〜図12は、図1にI−I線の位置における断面図である。
上述の第2の実施形態では、基板11の開口部11aの壁面に水又はアルカリ性水溶液に溶解する樹脂からなる樹脂膜51を形成しているが、図14(a)に示すように、開口部11aの壁面に金属膜81を形成してもよい。
前記開口部内に樹脂を注入して、前記基板と前記デバイスとが一体化した疑似ウエハを形成する工程と、
前記疑似ウエハ上に前記複数のデバイスと電気的に接続した配線を形成して、前記複数のデバイスと前記配線とを有する疑似SoCチップを得る工程と、
前記疑似SoCチップを前記基板から分離する工程と
を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。
前記疑似SoCチップを前記基板から分離する工程では前記可溶性膜を水、アルカリ性水溶液又は酸性水溶液により溶解することを特徴とする付記1又は2に記載の半導体装置の製造方法。
前記基板の前記開口部内に配置された複数のデバイスと、
前記開口部内に充填されて前記基板と前記複数のデバイスとを一体化する樹脂と
を有することを特徴とする疑似ウエハ。
Claims (5)
- 一方の面側から他方の面側に貫通する開口部が設けられた基板の前記開口部の壁面に可溶性膜を付着させる工程と、
前記可溶性膜の内側の前記開口部内に複数のデバイスを配置する工程と、
前記開口部内に樹脂を注入して、前記基板と前記デバイスとが一体化した疑似ウエハを形成する工程と、
前記基板、前記可溶性膜、前記樹脂、及び前記複数のデバイスの上に第1の絶縁層を形成する工程と、
前記第1の絶縁層上に前記複数のデバイスと電気的に接続した配線を形成して、前記複数のデバイスと前記配線とを有する疑似SoCチップを得る工程と、
前記可溶性膜を水、アルカリ性水溶液又は酸性水溶液により溶解する工程と、
前記可溶性膜を溶解する工程の後に、前記疑似SoCチップを前記基板から分離する工程と
を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記基板が、シリコン、セラミックス、ガラス及び石英のいずれかにより形成されていることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記疑似SoCチップを前記基板から分離する工程の後に、前記基板に付着している前記樹脂を除去する工程を有することを特徴とする請求項1又は2に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記疑似SoCチップを前記基板から分離する工程では、真空ピンセットを用いることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記複数のデバイスと電気的に接続した配線を形成する工程の前に、前記第1の絶縁層の上に第2の絶縁層を形成する工程と、前記第2の絶縁層の前記可溶性膜に対応する位置に、前記第1の絶縁層が露出するスリットを形成する工程とを有することを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。
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