JP2009238832A - 面発光半導体レーザの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】メサポスト38内に形成された上部DBRミラー22のペア層のうち、低屈折層を構成するAl組成が高いAlGaAs層42の酸化部分をウェットエッチングによって除去する。エッチングで除去された部分43は、ポリイミド層26によって埋め戻す。ウェットエッチングには、フッ酸や、バッファード・フッ酸、アンモニア水などを含むエッチャントを用いる。
【選択図】図1
Description
前記選択酸化電流狭窄層を作製する選択酸化工程の後に、前記DBRミラーの積層のうち前記選択酸化工程で酸化した部分をウェットエッチングによって選択的に除去する工程を有することを特徴とする面発光半導体レーザの製造方法を提供する。
ここで、選択酸化電流狭窄層はその構成するAlxGa1−xAsのxの値が0.9であるもの、すなわちAl0.9Ga0.1Asを用いたが、多層膜反射鏡との選択酸化比の観点からはxは0.95以上であることが好ましい。
図3は、酸化部分を除去しない従来の面発光レーザの信頼性試験の結果、図4は、本発明の手法により酸化部分を除去した面発光レーザの信頼性試験の結果を示す。信頼性試験は、バーンイン後の高温加速試験により行った。加速試験の温度は120℃、運転電流を10mAと一定にした条件(ACC;Auto Current Control)を採用した。試験を行った素子数はそれぞれ30個である。
12:n−GaAs基板
14:下部DBRミラー
16:下部クラッド層
18:量子井戸活性層
20:上部クラッド層
22:上部DBRミラー
24:電流狭窄層
24a:電流開口
24b:電流阻止領域
26:ポリイミド層
27:酸化部分
28:p側電極
30:n側電極
32:電極パッド
38:メサポスト
Claims (3)
- 少なくとも低屈折率層がAlを含む化合物半導体積層からなりメサポストとして形成された多層膜反射鏡と、該多層膜反射鏡に近接して又は該多層膜反射鏡内に形成される、AlxGa1−xAs(x>0.9)を含む選択酸化電流狭窄層とを備える電流注入型の面発光半導体レーザを製造する方法において、
前記選択酸化電流狭窄層を作製する選択酸化工程の後に、前記多層膜反射鏡の積層のうち前記選択酸化工程で酸化した部分をウェットエッチングによって選択的に除去する工程を有することを特徴とする面発光半導体レーザの製造方法。 - 前記ウェットエッチングは、フッ酸または/及びアンモニアを含むエッチング液を用いる、請求項1に記載の面発光半導体レーザの製造方法。
- 前記ウェットエッチングは、前記選択酸化電流狭窄層の酸化された部分を残留させる、請求項1又は2に記載の面発光半導体レーザの製造方法。
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