JP2009204492A - プローブカードの傾き調整方法、プローブカードの傾き検出方法及びプローブカードの傾き検出方法を記録したプログラム記録媒体 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明のプローブカードの傾き調整方法は、プローブ装置10にプローブカード12を装着した後、移動可能なウエハチャック11の載置面とプローブカード12とを平行にするために、プローブカード12の傾きを調整する際に、針先位置検出装置16を用いてプローブカード12の複数個所において複数のプローブ12Aの平均針先高さを検出する第1の工程と、複数個所それぞれの複数のプローブ12Aの平均針先高さの高低差に基づいてウエハチャック11に対するプローブカード12の傾きを求める第2の工程と、プローブカード12の傾きを調整する第3の工程と、を備えている。
【選択図】図4
Description
針先位置検出装置16を用いてプローブカード12の複数個所において複数のプローブ12Aの平均針先高さを検出する第1の工程と、複数個所それぞれの複数のプローブ12Aの平均針先高さの高低差に基づいてウエハチャック11に対するプローブカード12の傾きを求める第2の工程と、プローブカード12の傾きに基づいてプローブカード12の傾きを調整する第3の工程と、を備えているため、複数のプローブ12の針先高さにバラツキがあっても、その影響を受けることなく高精度にプローブ12Aの針先高さを求めることができ、プローブカード12の傾きを高精度にウエハチャック11に合わせることができ、複数のプローブ12Aと半導体ウエハWの検査用の電極パッドを確実に一括接触させることができ、信頼性の高い検査を行うことができる。また、従来のようにプローブ12Aの針先にカメラの焦点合わせを行うことが不要であり迅速に針先高さを検出し、プローブカード12の傾きを迅速に調整することができる。
11 ウエハチャック(載置台)
12 プローブカード
12A プローブ
16 針先位置検出装置
162 センサ機構
162A センサ部
162C 接触体
W 半導体ウエハ(被検査体)
Claims (10)
- プローブ装置にプローブカードを装着した後、被検査体を載置する移動可能な載置台の載置面と上記プローブカードとを平行にするために、上記プローブカードの傾きを調整する方法であって、
針先位置検出装置を用いて上記プローブカードの複数個所において複数のプローブの平均針先高さを検出する第1の工程と、
上記複数個所それぞれの複数のプローブの平均針先高さの高低差に基づいて上記載置台に対する上記プローブカードの傾きを求める第2の工程と、
上記プローブカードの傾きを調整する第3の工程と、を備えた
ことを特徴とするプローブカードの傾き調整方法。 - 上記第1の工程では、上記プローブカードの互いに離間する複数個所の複数のプローブの平均針先高さを検出することを特徴とする請求項1に記載のプローブカードの傾き調整方法。
- 上記針先位置検出装置は、上記載置台に設けられ、且つ、上記複数のプローブの針先高さを検出するセンサ部と、このセンサ部に属する移動可能な接触体とを備えており、
上記第1の工程は、
上記載置台を介して上記針先位置検出装置が移動して上記接触体を上記複数のプローブの針先と接触させる工程と、
上記載置台の更なる移動により上記接触体を上記センサ部側へ移動させる工程と、
上記接触体が移動し始める位置を上記複数のプローブの平均針先高さとして検出する工程と、を有する
ことを特徴とする請求項1または請求項2に記載のプローブカードの傾き調整方法。 - 上記第3の工程は、上記第1の工程を繰り返すことを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載のプローブカードの傾き調整方法。
- プローブ装置にプローブカードを装着した後、被検査体を載置する移動可能な載置台の載置面と上記プローブカードとを平行にするために、上記載置台に対する上記プローブカードの傾きを検出する方法であって、
針先位置検出装置を用いて上記プローブカードの複数個所にある複数のプローブの平均針先高さをそれぞれ検出する第1の工程と、
上記複数個所それぞれの上記複数のプローブの平均針先高さの高低差を求める第2の工程と、を備えた
ことを特徴とするプローブカードの傾き検出方法。 - 上記第1の工程では、上記プローブカードの互いに離間する複数個所の複数のプローブの平均針先高さを検出することを特徴とする請求項5に記載のプローブカードの傾き検出方法。
- 上記針先位置検出装置は、上記載置台に設けられ、且つ、上記複数のプローブの針先を検出するセンサ部と、このセンサ部に属する移動可能な接触体とを備えており、
上記第1の工程は、
上記載置台を介して上記針先位置検出装置が移動して上記接触体を上記複数のプローブの針先と接触させる工程と、
上記載置台の更なる移動により上記接触体を上記センサ部側へ移動させる工程と、
上記接触体が移動し始める位置を上記複数のプローブの平均針先高さとする工程と、を有する
ことを特徴とする請求項5または請求項6に記載のプローブカードの傾き検出方法。 - プローブ装置にプローブカードを装着した後、被検査体を載置する移動可能な載置台の載置面と上記プローブカードとを平行にするために、上記プローブカードの傾きを検出する方法を実行するプログラム記録媒体であって、
上記コンピュータを駆動させて、針先位置検出装置を用いて上記プローブカードの複数個所にある複数のプローブの平均針先高さをそれぞれ検出する第1の工程と、
上記複数個所それぞれの上記複数のプローブの平均針先高さの高低差を求める第2の工程と、を実行する
ことを特徴とするプログラム記録媒体。 - 上記第1の工程では、上記プローブカードの互いに離間する複数個所の複数のプローブの平均針先高さを検出させることを特徴とする請求項8に記載のプログラム記録媒体。
- 上記針先位置検出装置は、上記載置台に設けられ、且つ、上記複数のプローブの針先を検出するセンサ部と、このセンサ部に属する移動可能な接触体とを備えており、
上記第1の工程は、
上記載置台を介して上記針先位置検出装置が移動して上記接触体を上記複数のプローブの針先と接触させる工程と、
上記載置台の更なる移動により上記接触体を上記センサ部側へ移動させる工程と、
上記接触体が移動し始める位置を上記複数のプローブの平均針先高さとする工程と、を実行させる
ことを特徴とする請求項8または請求項9に記載のプログラム記録媒体。
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