JP2009182188A - チップコイルおよびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】本発明は、耐湿性を向上させた高占積率を有するチップコイルおよびその製造方法を提供することを目的とするものである。
【解決手段】この目的を達成するために、吸水率が0.8%以下である樹脂硬化物からなる素体と、前記素体内に形成されたビア接続を有するコイルパターンと、前記素体の表面に配置した電極を有する構成とすることによって、コイルパターンの高占積率性を確保しつつ、耐湿性に優れたチップコイルを提供することができる。
【選択図】図1
【解決手段】この目的を達成するために、吸水率が0.8%以下である樹脂硬化物からなる素体と、前記素体内に形成されたビア接続を有するコイルパターンと、前記素体の表面に配置した電極を有する構成とすることによって、コイルパターンの高占積率性を確保しつつ、耐湿性に優れたチップコイルを提供することができる。
【選択図】図1
Description
本発明は、携帯電話などの小型の電子機器に用いられるインダクタンス部品に関するものである。
電子機器の高機能化、小型化を実現するためには電子部品の役割は重要であり、この電子部品の一つにインダクタンス部品がある。このインダクタンス部品の小型化を実現するために、素体を感光性樹脂のみで構成し、フォトリソ工程を用いてファインパターンを形成し、導体を電解めっき法で形成し、導体が銅から構成されたチップコイルが提案されている(例えば、特許文献1参照)。
特開2003−203813号公報
しかしながら、前記従来の構成においては、渦巻きコイルが巻回されている平面において、高占積率性を有するコイルパターンを形成するために、素体を形成する感光性樹脂には解像度、即ちフォトリソプロセスにおける微細なエッチングによる高精度で、高アスペクト比を実現できるファインパターン形成性能の優れた樹脂材料を用いて構成しており、このような構成とすることによって、耐湿信頼性試験において、感光性樹脂の吸湿膨張等により、L値、Q値などの電気特性が変動するという課題を有している。
本発明は、前記従来の課題を解決するもので、耐湿信頼性に優れた高占積率のコイルパターンを有するチップコイルおよびその製造方法を提供することを目的とする。
前記従来の課題を解決するために、本発明は、感光性樹脂の硬化物からなる素体と、前記素体の内部に形成したビア電極を有する銅からなるコイルパターンと、前記素体の表面に配置した電極からなるチップコイルであって、感光性樹脂の硬化物の吸水率を0.8%以下とし、前記コイルパターンの感光性樹脂よりなる外装部の厚みを20μm以上とした構成とするものである。
本発明のチップコイルおよびその製造方法は、吸水率が0.8%以下である感光性樹脂の硬化物からなる素体と、前記素体の内部に形成されたビア接続を有する複数のコイルパターンと、前記素体の表面に配置した電極を有する構成とすることによって、コイルパターンの高占積率性を確保しつつ、信頼性に優れたチップコイルを実現することができる。
(実施の形態1)
以下、本発明の実施の形態1におけるチップコイルおよびその製造方法について、図面を参照しながら説明する。図1は本発明の実施の形態1におけるチップコイルの断面図である。
以下、本発明の実施の形態1におけるチップコイルおよびその製造方法について、図面を参照しながら説明する。図1は本発明の実施の形態1におけるチップコイルの断面図である。
図1において、感光性を有した絶縁樹脂からなる素体1はコイルパターン2を形成するために積層構造として形成している。そして、このコイルパターン2は、所定の層に形成した渦巻き状の平面コイル2aと別の層に形成した渦巻き状の平面コイル2bとをビア電極3を介して接続している。そして、前記平面コイル2aと平面コイル2bに引き出し電極4を介して端子電極5を接続することによって、チップ形状を有したチップコイルを構成している。
さらに具体的には、素体1の所定の層の内部に設けた平面コイル2bを一方の端子電極5から内周方向へ渦巻き状に巻回し、この平面コイル2bの最内周部と別の層に設けた平面コイル2aの最内周部とをビア電極3により接続し、この平面コイル2aを他方の端子電極5へ向かう外周方向へ渦巻き状に巻回してチップコイルを構成している。図1では、二層の平面コイル2a、2bを例として説明しているが、所望のインダクタンス値を実現するためには所定の積層数をあらかじめシミュレーションによって設計しておくことによって所定の層数となるように平面コイル2a、2bを組み合わせて作製することができる。
また、チップ部品のなかでも1005サイズあるいは0603サイズなどの小型のチップコイルとするためには、一層あたりの渦巻きの巻き数を多くする必要がある。これに対して平面コイル2a、2bのパターン幅を小さくしていくと直流抵抗が大きくなり、チップコイルの電気特性を劣化させることとなる。これらを考慮すると、パターン幅を小さくし、パターン厚みを厚くしたアスペクト比の高い平面コイル2a、2bを形成することが重要である。これを実現するために、例えばパターン間距離を20μm以下とし、アスペクト比が1.5以上とし、パターン幅を10〜30μmとした平面コイル2a、2bを形成することが好ましい。また、一つのビア電極3の高さは5μm以上100μm以下であることが高占積率のコイルパターンを実現する上で好ましい。特に、5μmを下回ると絶縁性が低下し、100μmを越えると応力がビア電極3とコイルパターン2接合界面で大きくなり、断線などの不良を発生する確率が高くなる。
そして、この素体1に用いる絶縁樹脂としては感光性を有するエポキシ系樹脂、あるいはポリイミド系樹脂を用いることが好ましい。特に解像度の高いコイルパターン2を形成する場合にはアクリル変成エポキシ系樹脂が好ましい。
このような構成を有するチップコイルとして、チップサイズが0603サイズ、そのときのL値が1.8nHのコイルパターン2を作製し、吸水率の異なる樹脂を有したチップコイルを試作した。吸水率は、85℃85%RH−120時間前後の重量変化より求めた。また、前記コイルパターン2を被覆している外装部である素体1の厚みを略20μmとなるように形成した。
以上のように作製したチップコイルの耐湿信頼性を評価した。試験内容としては、高温高湿負荷試験(温度;60℃、湿度;95%、負荷条件;定格電流である0.5Aを連続印加、試験時間;1000時間)、および高温高湿放置試験(温度;60℃、湿度;95%、無負荷、試験時間;1000時間)を行った、その結果を(表1)に示す。その判定条件は、Lの変化率:±5%以内、Qの変化率:±20%以内のものを実用性の観点から問題なしとして判断できる。
(表1)の結果より、吸水率は0.8%以下の範囲が好ましいことが分かった。このような構成のチップコイルとすることによって、平面コイル2a、2bのコイルパターンの高占積率性を確保すると同時に、このチップコイル全体における耐湿性の向上を図ることができる。これは、従来のセラミック素体のチップコイルと異なり、本発明は、素体1が感光性を有した樹脂硬化物であり、かつコイル部の周りがすべて前記樹脂硬化物による外装構造となるために、素体1を構成する樹脂硬化物の吸湿膨張により、コイル部に応力がかかり易く特性値が変化するためと考えられる。そのため、本検討で吸水率0.8%以下の感光性樹脂の硬化物を素体1として用いることで、銅などの導電性に優れた電極材料を用いてめっき工法などの生産性に優れたファインパターンからなるコイルパターン2を形成した構造体のチップコイルの耐湿性を向上させることができ、吸湿膨張によるコイルパターン2への応力集中を低減できるチップコイルを実現できることが分かった。
また、コイルパターン2を被覆している素体の厚みを20μm以上とすることによって耐湿性を満足できるチップコイルとすることができる。そして、占積率を考慮しながら素体1の厚みを大きく設計することも可能であるが、コイルパターン2の積層数を多くする必要のないときには外装部の素体1の厚みを厚くすることによって信頼性をより高めることができる。
また、別の具体的な構成としては、素体1の内層部の主成分をエポキシ系樹脂としつつ、チップコイルの上面側と下面側に用いる素体1の絶縁材料として、エポキシ系樹脂の中に無機フィラーなどの異種材料を混入させる構成とすることによって、さらに耐湿性、機械的強度などに優れたチップコイルとすることができる。この上面側と下面側はコイルパターン2を形成していない層であり、高精度なフォトリソによるパターン形成が不要となることからこのような構成とすることができる。
また、これに用いる無機フィラーとしては、Al2O3、SiO2、TiO2、ZrO2またはMgOなどの金属酸化物が好ましい。
また、素体1を構成する感光性を有する絶縁樹脂の体積抵抗を10GΩcm以上の絶縁樹脂を用いることが好ましい。この体積抵抗が10GΩcm以上の感光性を有する絶縁樹脂を用いることによって、高周波においても特性劣化の少ないチップコイルとすることができる。
なお、平面コイル2a、2bの断面は方形状に限らず、円環形状等としてもかまわないが、方形状とすることでコイルの断面積を大きくとることができ、その結果として銅損を低減することができる。
なお、平面コイル2a、2bの厚みを10μm以上とすることにより、大電流に対応することができることから、より望ましい。
次に、このチップコイルの製造方法について図面を用いて説明する。図2〜図10は本実施の形態1におけるチップコイルの製造工程を説明するための断面図である。
このチップコイルの製造方法は、一枚のシリコンなどのウエハ基板などの上に互いに連結した状態で、一度に複数個形成し、最終的に複数のチップコイルを分離し個片化して製造する製造方法である。
まず、図2に示すように、例えば厚みが0.2〜1.0mmのシリコンウエハからなる基板8の上に厚みが80〜100nmのアルミニウム薄膜をめっき法、スパッタ法、蒸着法などによって犠牲層9として形成する。このとき、基板8としてはシリコン、ガラスまたは石英のいずれかを用いることが好ましい。これらの材料は平坦性、表面粗さおよび材料の入手性の観点から好ましい。特にシリコンウエハはこの目的に最適な材料である。
また、犠牲層9はエッチング性に優れた金属材料が好ましく、特にアルミニウムが好ましい。これは基板8との密着性と、エッチング性の観点から特に好ましい。
次に、犠牲層9の上に感光性のエポキシ樹脂などをスピンコータ等の塗布機を用いて絶縁樹脂層10を形成した後、フォトリソグラフィ法によって枠状の空隙部11を形成する。
次に、図3に示すようにめっき法などを用いて金属層12を形成する。この金属層12は所定の厚みよりも厚めに形成しておき、その後、図4に示すように絶縁樹脂層10の少なくとも上面までCMP研磨などを用いて、所定の厚みに制御することによって平坦性と寸法精度に優れた薄い金属材料からなる枠状のポスト部13を形成することができる。この金属層12を所定の厚みよりも厚めに形成した後、研磨によって絶縁樹脂層10の少なくとも上面まで研磨する工法を積層していくことによって、積層精度と寸法精度に優れたチップコイルの製造方法を実現することができる。
また、この金属層12は電解めっき工法により形成しており、このような工法を用いることによって微細なコイルパターン2を有するチップコイルを一括して効率良く作製することができる。このように、コイルパターン2をめっき法によるめっき電極とすることによって、生産性に優れるとともに、導体の回路抵抗値を下げることができ、優れた高周波特性、特にQ値を実現できるチップコイルとすることができる。
また、めっき法によって金属層12を形成するとき、銅を用いて形成することが電気特性および生産性の観点から好ましい。
なお、コイルパターン2を形成する材料としては、導電性に優れた銀を用いることも可能である。
そして、コイルパターン2として銅を用いるとき、コイルパターン2の表面をチタン、あるいはクロムなどの耐食性に優れた金属にて被覆しておくことによって、より耐湿性に優れたチップコイルとすることができる。そのために、銅をめっき法によって形成する前に、チタンあるいはクロムなどをスパッタ法で空隙部11の内壁面に形成しておき、銅をめっき法で形成した後、再度銅の表層を前記方法にてチタンあるいはクロムなどの金属を被覆することによってコイルパターン2の表面を被覆することができる。これによって、耐湿性に優れたコイルパターン2を作製することができる。
その後、図5に示すように所定のパターンを形成した絶縁樹脂層10の上に、フォトリソグラフィ工法を用いて空隙部11を有する絶縁樹脂層10を形成した後、この空隙部11の内部にめっき法とCMP研磨などを用いて銅などの導電性に優れた金属材料を所定の渦巻状の平面コイル2a、2bおよび枠状のポスト部13の所定のパターンが精度良く重なるように形成しながら積層を繰り返すことによって、枠状のポスト部13の内部に平面コイル2a、2bからなるコイルパターン2を形成した積層体を作製することができる。
このコイルパターン2は平面コイル2aと平面コイル2bからなる二層の積層構造をしているが、このコイルパターン2はインダクタンス値によって決定するものであり、任意の積層数とすることによって所定のインダクタンス値を設計することができる。
また、空隙部11は、枠状のポスト部13を形成するための複数の枠状の空隙部11aと、この枠状の空隙部11aの内側に配置した渦巻状の空隙部11bと、ビア電極14を形成するための空隙部11cとからなり、この枠状の空隙部11aは、製造工程の後半部でそれぞれのチップ状の部品へ個片化するための枠状のポスト部13として機能させるように積層して形成している。
また、渦巻状の空隙部11bに平面コイル2a、2bからなるコイルパターン2を形成し、スルホール用の空隙部11cには金属からなるビア電極14を形成し、かつ、コイルパターン2と枠状のポスト部13との絶縁を図っている。
また、二層の平面コイル2a、2bを形成する場合、この二層の平面コイル2a、2bはビア電極14により導通させている。
また、ポスト部13の幅は100μm以下(0を含まず)とすることが好ましい。
次に、チップコイルを形成するための積層工程を終了した素体1を分割するためのエッチング工程に入る。そのため、図6に示すようにエッチングプロセスから保護するためのレジストパターン15をフォトリソグラフィ法にて形成する。
その後、図7に示すように枠状のポスト部13をエッチング剤によって溶融して除去するとともに、エッチングによってできた空隙部11aから侵入させるように基板8の上に形成していた犠牲層9を除去することによって個片化することができる。
次に、図8に示すようにレジストパターン15を除去した後、表出した電極14と導通するように素体1の両端面の表面にニッケルめっき電極、Snめっき電極を積層して被覆することによって図9に示すような実装性に優れた端子電極5を形成する。この端子電極5は5面電極の構造をとることになるが、必要に応じて端子電極5の構成は変更することが可能である。
この製造方法によって作製したチップコイルの形状は、長さ;1.00mm×幅;0.50mm×厚み;0.30mm(1005サイズ)で8.4nHのインダクタンス値を有するチップコイルを作製できた。
以上説明してきたように、樹脂硬化物からなる素体1と、前記素体1の内部に形成されたビア接続を有するコイルパターン2と、前記素体1の表面に配置した端子電極4からなり、前記樹脂硬化物の吸水率が0.8%以下であるチップコイルで、少なくとも感光性を有した絶縁樹脂で形成した素体1とコイルパターン2をフォトリソ法によって複数回積層し、コイルパターン2を絶縁樹脂である素体1の内層部に形成する工程と、コイルパターンをめっき銅で形成する工程とエッチングによって個片に分割する工程を少なくとも含むことによって、効率よく小型の耐湿性およびコイルパターンの高占積率性に優れたチップコイルの製造方法を提供することができる。
本発明のチップコイルおよびその製造方法は、高い耐湿性を有していることから、携帯電話等の各種電気機器において有用である。
1 素体
2 コイルパターン
2a、2b 平面コイル
3 ビア電極
4 引き出し電極
5 端子電極
8 基板
9 犠牲層
10 絶縁樹脂層
11、11a、11b、11c 空隙部
12 金属層
13 ポスト部
14 ビア電極
15 レジストパターン
2 コイルパターン
2a、2b 平面コイル
3 ビア電極
4 引き出し電極
5 端子電極
8 基板
9 犠牲層
10 絶縁樹脂層
11、11a、11b、11c 空隙部
12 金属層
13 ポスト部
14 ビア電極
15 レジストパターン
Claims (6)
- 感光性樹脂の硬化物からなる素体と、前記素体の内部に形成したビア電極を有する銅からなるコイルパターンと、前記素体の表面に配置した電極からなるチップコイルであって、感光性樹脂の硬化物の吸水率を0.8%以下とし、前記コイルパターンを被覆している素体の厚みを20μm以上としたチップコイル。
- 素体の外装部に無機フィラーを含む感光性樹脂の硬化物を用いた請求項1に記載のチップコイル。
- コイルパターンおよびビア電極をめっき膜とした請求項1に記載のチップコイル。
- コイルパターン、ビア電極の表層をチタンまたはクロムにて被覆した請求項1に記載のチップコイル。
- ビア電極の高さを5〜100μmとした請求項1に記載のチップコイル。
- 感光性樹脂の硬化物からなる素体と、前記素体の内部に形成したビア電極を有する銅からなるコイルパターンと、前記素体の表面に配置した電極からなるチップコイルであって、感光性樹脂の硬化物の吸水率を0.8%以下とし、前記コイルパターンの感光性樹脂よりなる外装部の厚みを20μm以上としたチップコイルの製造方法であって、
感光性を有した絶縁樹脂をフォトリソ法によって形成する工程と、
絶縁樹脂の内層部にコイルパターンをめっき法によって形成する工程と、
前記工程を積層することによってコイルパターンをビア電極によって接続しながらフォトリソ法とめっき法を用いて積層形成する工程と、
個片に分割する工程を少なくとも含むチップコイルの製造方法。
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US10147533B2 (en) | 2015-05-27 | 2018-12-04 | Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. | Inductor |
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