JP2009277972A - コイル部品およびその製造方法 - Google Patents
コイル部品およびその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2009277972A JP2009277972A JP2008129386A JP2008129386A JP2009277972A JP 2009277972 A JP2009277972 A JP 2009277972A JP 2008129386 A JP2008129386 A JP 2008129386A JP 2008129386 A JP2008129386 A JP 2008129386A JP 2009277972 A JP2009277972 A JP 2009277972A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- coil
- layer
- coil component
- electrode layer
- coil pattern
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Coils Or Transformers For Communication (AREA)
Abstract
【課題】コイル部品としての接続安定性と信頼性を向上させ、小型で高性能なコイル部品およびその製造方法を提供することを目的とするものである。
【解決手段】感光性樹脂からなる絶縁性樹脂であるレジスト層108と、このレジスト層108に内蔵したコイル部とからなる部品であって、前記コイル部は積層されたコイルパターン102をビア電極104にて接続し、前記ビア電極104の底部を金、銀、パラジウム、白金、錫またはニッケルからなる金属層110を介して他層のコイルパターン102と接続した構成とする。
【選択図】図2
【解決手段】感光性樹脂からなる絶縁性樹脂であるレジスト層108と、このレジスト層108に内蔵したコイル部とからなる部品であって、前記コイル部は積層されたコイルパターン102をビア電極104にて接続し、前記ビア電極104の底部を金、銀、パラジウム、白金、錫またはニッケルからなる金属層110を介して他層のコイルパターン102と接続した構成とする。
【選択図】図2
Description
本発明は、携帯電話などの電子機器に広く使われるコイル部品およびその製造方法に関するものである。
従来の小型化を目的としたコイル部品は、セラミックグリーンシート工法あるいはセミアディティブ法で代表される製造方法で積層コイルを形成することによって作製されていた。
図10は従来工法であるセミアディティブ法によって作製されるコイル部品の構造を示す斜視図である。図10において、202は基板であり、その表面には配線204が形成され、この配線204はモールド樹脂206で覆われており、前記配線204の一部は外部電極208に接続されている(例えば、特許文献1参照)。
特開平9−270355号公報
しかしながら、前記従来のコイル部品はビア電極の接合強度あるいは長期における信頼性が課題となっていた。
すなわち、前記従来の構成においては、半田実装時等における加熱により、配線204とモールド樹脂206との熱収縮率の違いから局所的に応力が加わり、その結果としてビア電極における信頼性が低下し、電気特性の劣化あるいは強度劣化などの品質課題を有していた。
本発明は、前記従来の課題を解決するもので、コイルパターンを形成するビア電極の底部に接合性と耐食性を有した金属層を介した他層のコイルパターンと接続することによって、コイル部品としてのビア電極の接続性と信頼性を向上させ、小型で高性能なコイル部品およびその製造方法を提供することを目的とする。
前記従来の課題を解決するために、本発明は、感光性樹脂からなる絶縁性樹脂と、この絶縁性樹脂に複数のコイルパターンからなるコイル部を内蔵したコイル部品であって、前記コイル部は積層されたコイルパターンをビア電極にて接続し、前記ビア電極の底部を金、銀、パラジウム、白金、錫またはニッケルからなる金属層を介して他層のコイルパターンと接続した構成とするものである。
本発明のコイル部品およびその製造方法は、コイルパターンを積層し、積層されたコイルパターンをビア電極にて接続する際、金、銀、パラジウム、白金、錫またはニッケルからなる金属層を介して接続することによって、ビア電極の接続性と密着性を高め、長期の信頼性に優れたコイル部品およびその製造方法を提供することができる。
(実施の形態1)
以下、本発明の実施の形態1におけるコイル部品およびその製造方法について、図面を参照しながら説明する。
以下、本発明の実施の形態1におけるコイル部品およびその製造方法について、図面を参照しながら説明する。
図1は本発明の実施の形態1におけるコイル部品のコイル部を透視した斜視図であり、図2はコイル部品のコイル部の構成を説明するための図1のAA部における断面図である。図1および図2において、100はチップ部品であるコイル部品の外観形状を示す点線であり、このチップコイルは感光性樹脂を硬化した絶縁性樹脂の内部にコイルパターン102が螺旋形状になるように、めっき技術とフォトリソ技術を用いて積層しながら形成したコイル部品の構造を示している。
そして、ビア電極104は複数のコイルパターン102の層間接続部分に相当しており、複数層で形成されたコイルパターン102は、所定位置に形成されたビア電極104によって螺旋状もしくはコイル状に接続されている。
なお、コイルパターン102としては渦巻き形状、ミアンダ形状などを用いることが可能であり、コイルパターン102の形状はどのようなパターンでも用いることができる。また、106は外部電極であり端子電極として実装され、前記螺旋状に形成されたコイルパターン102はその一部が複数の外部電極106に各々接続されている。
そして、図2に示したようにコイルパターン102の下層には下地電極層101を形成している。この下地電極層101はコイルパターン102を電気めっきによって形成するときの給電電極となるものであり、銅、ニッケル、クロム、金、銀、またはパラジウムなどの金属を用いることが可能である。
また、特に下地電極層101として、ニッケル、チタンあるいはクロムを主成分とする金属材料を用いたとき、これらの金属材料は樹脂との接合性が高く、且つ耐食性にも優れていることから、コイル部品の信頼性を高めるという利点を有している。また、この下地電極層101は無電解めっき法、あるいはスパッタ法などによって形成することが可能である。そして、このときの下地電極層101の厚みとしては、0.01〜1μmの範囲が好ましい。0.01μmを下回れば給電ポイントとして不安定となり、1μmを越えると生産性が低下する。
また、この下地電極層101の上に導電性に優れた銅などを用いてコイルパターン102を電気めっき法によって形成することが可能となる。
また、110は金属層であり、この金属層110はコイルパターン102のビア接続面に形成された状態でレジスト層108の中に埋め込まれている。この金属層110を形成することで、コイルパターン102のビア接続面における表面酸化を抑制することが可能となり、ビア電極104の接続性と密着強度を高めることができる。さらに、露光時での作業性(露光時における位置合わせパターンとして利用できる)を高めるという優れた作用効果が得られる。
また、ビア電極104を形成する金属との接合性を勘案し、選定することでビア電極104との接続性をさらに高めることも可能である。
従って、実際の電気特性に寄与するコイル部の電極パターンとしては、下地電極層101、コイルパターン102、ビア電極104および金属層110の積層体から構成しており、これらの積層体パターンがコイル部の導電体として作用している。
また、コイルパターン102を銅で形成したとき、銅の表面は酸化することが多く、その酸化膜の上に下地電極層101を介してビア電極104を形成すると、接続の信頼性の低いビア接続となることによって長期信頼性を低下させることとなる。これに対して、コイルパターン102のビア電極104と接続する一面を貴金属、あるいは銅よりも酸化しにくい金属薄膜、あるいは酸化しても容易に還元することができる金属薄膜などで被覆しておくことによって、ビア電極104とコイルパターン102の接続信頼性を高めることができる。そして、特に金属層110として金薄膜を形成し、下地電極層101として銅電極を形成し、ビア電極104に銅電極を形成したとき、加熱によって相互拡散を起こして銅の粒成長を促進し、さらに接続信頼性を高めたビア接続構造を実現できることが分かった。さらに、今回のコイル部品はビア電極の接続性と長期の信頼性を確立することができる。コイル部品の製造方法を実現することができる。
また、108は硬化済のレジスト層を示しており、このレジスト層108はコイルパターン102を形成するときのマスク材料となり、最終的には積層されてコイル部品の外観形状を構築している。従って、このレジスト層108に用いる材料としては、感光性材料であるとともに、優れた絶縁性と耐久性を有していることが好ましい。このような用途に適した有機材料としては、エポキシ樹脂、ポリイミド樹脂あるいはこれらの変性樹脂などが好ましい。
以上説明してきたような構成のコイル部品とすることによって、導電性に優れた銅などからなる複数のコイルパターン102をビア電極104を介してビア接続する界面における表面酸化の防止と、相互拡散による密着性の向上を実現できることから、優れた電気特性と長期の信頼性に優れたコイル部品を実現できるとともに、一括して製造することができるコイル部品の製造方法を提供することができる。
さらに、絶縁性樹脂に透過性を有しているときには、コイル部品の表裏の判別を容易にすることも可能である。
次に、本実施の形態1におけるコイル部品の製造方法について、図面を用いて詳細に説明する。
図3〜図9は本実施の形態1におけるコイル部品の製造方法を説明するための工程の断面図である。
まず始めに、図3に示したように基材112を準備し、その上に感光性樹脂よりなるレジスト層108を所定のパターン形状に形成している。この基材112としては、シリコン基板や金属基板あるいはガラス基板等の一時的な土台となる材料であれば良い。そして、101は下地電極層であり、基材112あるいはレジスト層108の表面を覆うように全面に形成している。
そして、この下地電極層101の形成方法としては、無電解めっき法、またはスパッタ法などの薄膜形成方法を用いることができる。
このようにして、基材112やレジスト層108の表面に、密着性に優れる下地電極層101を形成する。そして、この下地電極層101に適した材料としては、ニッケル、チタン、クロム、銅、金、銀またはパラジウムなどの金属を使うことが可能であり、この下地電極層101の導電性を利用して、次の工程で電気めっきの給電電極として用いることができる。
また、下地電極層101に銀、銅、ニッケル等の比較的抵抗値の低い金属を選択したとき、形成したコイルパターン102の導体の一部として利用することが可能であり、高周波領域での表皮効果による低抵抗化が実現できる。
さらに、ニッケル、チタンまたはクロム等の耐マイグレーション性の高い部材を用いた場合、金属マイグレーションの防止効果が得られる。
また、下地電極層101の厚みは0.01〜1μmが望ましい。厚みが0.01μm未満の場合、下地電極層101の抵抗値が増加するため、電気めっきの給電電極材としては使いにくい場合がある。また、厚みが1μmを超える場合は、下地電極層101の生産性が低下するとともに、その内部応力によって下地電極層101が基材112あるいはレジスト層108の表面から剥離する場合がある。
次に、図4に示したように下地電極層101の上に電気めっき法によって銅などの電極層116をめっき形成した。ここでは下地電極層101の導電性を利用することで、電気めっき等の技術を用いて安価にかつ高速で導電性に優れた電極層116を形成することができる。また、電極層116の電極材料としては、導電性に優れた銀を用いることも可能である。
なお、下地電極層101を形成せずとも無電解めっき法あるいはスパッタ法などを用いて電極層116を形成することも可能である。
その後、図5に示したようにレジスト層108の高さより突き出た上層部の余分な電極層116および下地電極層101を切削や研削等の機械研磨法あるいはCMP研磨法(化学的研磨)等で高精度に除去することによって、電極層116をパターン化してコイルパターン102とし、レジスト層108の内部に埋め込まれる。例えば、図5に示したレジスト層108の高さは図4のレジスト層108の高さよりも薄く研磨することもありうる。これによって、寸法精度を高くすることができる。
このとき、研磨された銅などの卑金属材料の表面は研磨中に発生する熱、あるいは大気中にて放置されることによって表面酸化膜が形成されることがある。この表面酸化膜は、レジスト層108を構成する絶縁性樹脂とコイルパターン102との密着性の低下をもたらす原因となるとともに、酸化膜の厚みが増大するとビア電極104の接続界面において、導電性を低下させることになる。
次に、図6に示したように新たなレジスト層108を形成し、フォトリソ技術とエッチング技術を用いることによって開口部128を形成する。
次に、図7に示したように表出したコイルパターン102の一面に金属層110を形成する。この金属層110としては、後述するようなコイルパターン102を構成する金属材料と選択的に化学反応する部材を用いることが好ましい。この方法としてはめっき法があり、特に置換めっき法および無電解めっき法であればパターニングが不必要となる。この置換めっき法は置換反応によって、また無電解めっき法は化学反応によって物体の表面に金属の被膜を形成する方法である。
これ以外にもパターニングを必要とするが薄膜法を用いて形成することも可能である。
そして、一般的に生産性と導電率の観点からコイルパターン102に用いる金属材料としては銅を用いることが最適であり、コイル部品の性能を高めることができる。コイルパターン102に銅を用いたとき、金属層を構成する金属としては、金、銀、パラジウム、白金、錫またはニッケルのうちのいずれか一つの金属を主成分として構成することが好ましい。そして、金属層110を形成する方法としては、置換めっき法および無電解めっき法などのめっき法を用いることが最適である。置換めっき法の場合、例えば、金、銀あるいは白金がイオンあるいは錯体として存在する各種置換めっき浴中にコイルパターン102を形成した基材112を浸漬させると、コイルパターン102の表出面が例えば銅よりなるコイルパターン102の材質より卑な標準電極電位を有した材質に置換されることで金属層110を形成することができる。また無電解めっき法の場合、前処理としてコイルパターン102が表出した一面に選択的に触媒付与することで、例えば、金、銀、パラジウム、白金、錫またはニッケルなどの金属を析出させることができるため金属層110を形成することができる。これらの化学反応によって、コイルパターン102のビア接続部における表面酸化膜は除去され、新しい金属層110をその表面とすることによって、銅の表面酸化を防止することが可能となり、導電性と密着性に優れたコイル部品を実現できるとともに、長期の信頼性に優れたコイル部品の製造方法を提供することが可能となる。ここで、金属層110が1μmを超えると、コイル部に占める金属層110の割合が増加し、コイル部品の電気的性能を低下させてしまうことがある。また、0.01μm未満であればピンホールなどが多く存在し、接続性は若干向上するが、接合性の向上は小さい。従って、金属層110の厚みは0.01〜1μmにすることが好ましい。
さらに、図8に示したように図3の工程を繰り返すことによって下地電極層101をレジスト層108の表面および金属層110の開口部128の露出面に形成することができる。
以上のように、下地電極層101を開口部128の内壁面にも形成することによって、開口部128を形成するレジスト層108とビア電極104の密着力を向上させることができる。そして、前記下地電極層101の形成方法としては、スパッタ等の薄膜法を選ぶことで、レジスト層108と下地電極層101との密着強度を高めることも可能である。また、複数のコイルパターン102を積層形成したコイル部を形成するとき、コイルパターン102の上層には、強固にレジスト層108と接合された下地電極層101に保護された電極層116を形成することができる。
その後、図4〜図5の工程を繰り返すことによって、図9に示したようにレジスト層108に形成された開口部128にも電極層116(コイルパターン102に相当)を形成することによって、ビア電極104を形成するとともに、コイルパターン102および金属層110を形成することができる。
このとき、下地電極層101およびビア電極104の構成を全て銅にて行うことによって導電性に優れたコイル部を実現することができる。これは、小さなビア径を必要とするときには有効な構成である。
そして、これらの工程を所定の回数まで繰り返すことによって所望のインダクタンス値を有するコイル部品を作製することができる。一例として、図1に示したコイル部品では形状が0603サイズのチップコイルであり、コイル部は6.5ターンのチップコイルであり、インダクタンス;4〜5nH、Q;25前後からなるチップコイルを作製することができた。
本発明によれば、コイルパターンを積層したコイル部品であっても、ビア電極の接続信頼性を高め、さらにコイルパターンを形成する電極層と絶縁性樹脂との密着力に優れた信頼性の高い小型のコイル部品として各種電子機器に有用である。
100 点線
101 下地電極層
102 コイルパターン
104 ビア電極
106 外部電極
108 レジスト層
110 金属層
112 基材
116 電極層
128 開口部
101 下地電極層
102 コイルパターン
104 ビア電極
106 外部電極
108 レジスト層
110 金属層
112 基材
116 電極層
128 開口部
Claims (8)
- 感光性樹脂からなる絶縁性樹脂と、この絶縁性樹脂に複数のコイルパターンからなるコイル部を内蔵したコイル部品であって、前記コイル部は積層されたコイルパターンをビア電極にて接続し、前記ビア電極の底部を金、銀、パラジウム、白金、錫またはニッケルからなる金属層を介して他層のコイルパターンと接続したコイル部品。
- コイルパターンおよびビア電極を銅とした請求項1に記載のコイル部品。
- 金属層の厚みを0.01〜1μmとした請求項1に記載のコイル部品。
- コイルパターンの一面に下地電極層を設けた請求項1に記載のコイル部品。
- 下地電極層の主成分をニッケル、チタンまたはクロムとした請求項4に記載のコイル部品。
- 下地電極層の厚みを0.01〜1μmとした請求項5に記載のコイル部品。
- 感光性樹脂の一面にコイルパターンを形成するための溝を形成する工程と、この形成した溝の底面に下地電極層を形成し、この下地電極層の上面に電極層を形成する工程と、この電極層の不要部分を除去することによってコイルパターンを形成し、このコイルパターンが上層のビア電極と接続する面に金属層を形成する工程と、この金属層の上面に下地電極層を形成したビア電極を介してコイルパターンを積層する工程を含むコイル部品の製造方法。
- 金属層を形成する方法をめっき法とした請求項7に記載のコイル部品の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008129386A JP2009277972A (ja) | 2008-05-16 | 2008-05-16 | コイル部品およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008129386A JP2009277972A (ja) | 2008-05-16 | 2008-05-16 | コイル部品およびその製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009277972A true JP2009277972A (ja) | 2009-11-26 |
Family
ID=41443109
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008129386A Pending JP2009277972A (ja) | 2008-05-16 | 2008-05-16 | コイル部品およびその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2009277972A (ja) |
Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102010024904A1 (de) | 2009-06-24 | 2011-05-26 | Sumitomo Chemical Company, Limited | Form und Verfahren zu deren Herstellung und Katalysator und Verfahren zu dessen Herstellung |
CN103377798A (zh) * | 2012-04-17 | 2013-10-30 | 英诺晶片科技股份有限公司 | 电路保护装置 |
CN103377797A (zh) * | 2012-04-17 | 2013-10-30 | 英诺晶片科技股份有限公司 | 电路保护装置 |
JP2016225611A (ja) * | 2015-05-27 | 2016-12-28 | サムソン エレクトロ−メカニックス カンパニーリミテッド. | チップインダクター |
US20170084378A1 (en) * | 2015-09-21 | 2017-03-23 | Qorvo Us, Inc. | Substrates with integrated three dimensional solenoid inductors |
JP2017174970A (ja) * | 2016-03-24 | 2017-09-28 | 太陽誘電株式会社 | 電子部品 |
JP2017191923A (ja) * | 2016-04-15 | 2017-10-19 | サムソン エレクトロ−メカニックス カンパニーリミテッド. | コイル電子部品 |
JP2018139290A (ja) * | 2018-03-28 | 2018-09-06 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 半導体装置 |
US10147533B2 (en) | 2015-05-27 | 2018-12-04 | Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. | Inductor |
KR20190038016A (ko) * | 2017-09-29 | 2019-04-08 | 삼성전기주식회사 | 코일 부품 및 그의 제조방법 |
US10629364B2 (en) * | 2017-04-12 | 2020-04-21 | Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. | Inductor and method for manufacturing the same |
JP7484643B2 (ja) | 2020-10-07 | 2024-05-16 | 株式会社村田製作所 | コイル部品 |
-
2008
- 2008-05-16 JP JP2008129386A patent/JP2009277972A/ja active Pending
Cited By (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102010024904A1 (de) | 2009-06-24 | 2011-05-26 | Sumitomo Chemical Company, Limited | Form und Verfahren zu deren Herstellung und Katalysator und Verfahren zu dessen Herstellung |
CN103377798A (zh) * | 2012-04-17 | 2013-10-30 | 英诺晶片科技股份有限公司 | 电路保护装置 |
CN103377797A (zh) * | 2012-04-17 | 2013-10-30 | 英诺晶片科技股份有限公司 | 电路保护装置 |
US10147533B2 (en) | 2015-05-27 | 2018-12-04 | Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. | Inductor |
JP2016225611A (ja) * | 2015-05-27 | 2016-12-28 | サムソン エレクトロ−メカニックス カンパニーリミテッド. | チップインダクター |
US20170084378A1 (en) * | 2015-09-21 | 2017-03-23 | Qorvo Us, Inc. | Substrates with integrated three dimensional solenoid inductors |
US20170084379A1 (en) * | 2015-09-21 | 2017-03-23 | Qorvo Us, Inc. | Substrates with integrated three dimensional inductors with via columns |
US11244786B2 (en) | 2015-09-21 | 2022-02-08 | Qorvo Us, Inc. | Substrates with integrated three dimensional inductors with via columns |
US11094459B2 (en) | 2015-09-21 | 2021-08-17 | Qorvo Us, Inc. | Substrates with integrated three dimensional inductors with via columns |
US10483035B2 (en) * | 2015-09-21 | 2019-11-19 | Qorvo Us, Inc. | Substrates with integrated three dimensional solenoid inductors |
JP2017174970A (ja) * | 2016-03-24 | 2017-09-28 | 太陽誘電株式会社 | 電子部品 |
JP2017191923A (ja) * | 2016-04-15 | 2017-10-19 | サムソン エレクトロ−メカニックス カンパニーリミテッド. | コイル電子部品 |
US10650958B2 (en) | 2016-04-15 | 2020-05-12 | Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. | Coil electronic component |
US10629364B2 (en) * | 2017-04-12 | 2020-04-21 | Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. | Inductor and method for manufacturing the same |
KR20190038016A (ko) * | 2017-09-29 | 2019-04-08 | 삼성전기주식회사 | 코일 부품 및 그의 제조방법 |
US11315718B2 (en) * | 2017-09-29 | 2022-04-26 | Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. | Coil component and method for manufacturing the same |
KR102450597B1 (ko) * | 2017-09-29 | 2022-10-07 | 삼성전기주식회사 | 코일 부품 및 그의 제조방법 |
JP2018139290A (ja) * | 2018-03-28 | 2018-09-06 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 半導体装置 |
JP7484643B2 (ja) | 2020-10-07 | 2024-05-16 | 株式会社村田製作所 | コイル部品 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2009277972A (ja) | コイル部品およびその製造方法 | |
JP2009152347A (ja) | コイル部品およびその製造方法 | |
CN109390138B (zh) | 电感器部件 | |
CN105742035B (zh) | 电子组件和制造电子组件的方法 | |
JP6207107B2 (ja) | コイル電子部品及びその製造方法 | |
CN103956265B (zh) | 嵌入在聚合物电介质中的薄膜电容器 | |
TWI295089B (en) | Wiring substrate and the manufacturing method of the same | |
US20140043129A1 (en) | Inductor element and manufacturing method thereof | |
JP4894067B2 (ja) | 導体パターンの形成方法 | |
JP2006324489A (ja) | チップコイル及びその製造方法 | |
KR101503144B1 (ko) | 박막 인덕터 소자 및 이의 제조방법 | |
JP2007503716A (ja) | 極薄フレキシブル・インダクタ | |
JP2009033106A (ja) | 磁性素子の製造方法及び磁性素子 | |
JP2012009798A (ja) | 薄型コモンモードフィルタおよびその製造方法 | |
CN105826050A (zh) | 电子组件及其制造方法 | |
JP2008159973A (ja) | 電子部品モジュールおよびこれを内蔵した部品内蔵回路基板 | |
JP2007180428A (ja) | 電子部品及びその製造方法 | |
JP2009267291A (ja) | コイル部品およびその製造方法 | |
JP2007201022A (ja) | 電子部品 | |
JP2008235762A (ja) | インダクタンス部品およびその製造方法 | |
JP2009094438A (ja) | コイル部品およびその製造方法 | |
JP2007227730A (ja) | チップコイル | |
JP2006324460A (ja) | チップ部品の製造方法 | |
JP2009182188A (ja) | チップコイルおよびその製造方法 | |
JP2006324492A (ja) | コイル部品及びその製造方法 |