JP2009140990A - 基板処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板処理装置1は、処理室10の内部に、基板Sの搬送方向上流側から順に帯状にリンス液を吐出する液ナイフ16と、シャワーノズル18a,18bとを有している。液ナイフ16から吐出されるリンス液の軌道上であって供給地点Pの下方には、処理室10の内底面から立ち上がって搬入口12a側へのミストの侵入を防止するための立ち上がり部32a(遮蔽板)と、基板Sの非搬送状態のときに液ナイフ16から吐出されるリンス液を受ける平坦な水平部32b(液受け板)とを備えた仕切板32が設けられている。
【選択図】図2
Description
図1は、本発明に係る基板処理装置を断面図で概略的に示している。この図に示す基板処理装置1は、基板Sを図中の矢印方向に水平姿勢で搬送しながら、前工程で薬液処理(例えばエッチング処理)が施された当該基板Sに対して洗浄処理を施すものである。
図3,図4は、第2の実施形態に係る基板処理装置1を断面図で概略的に示している。
10 処理室
14 搬送ローラ
16 液ナイフ
18a,18b シャワーノズル
32 仕切板
32a 立ち上がり部(遮蔽板)
32b 水平部(液受け板)
S 基板
Claims (5)
- 搬入された基板を搬出口へ向かわせる搬送経路を有する処理槽を備え、この処理槽内で基板を搬送しながら当該基板に処理液を供給して所定の処理を施す基板処理装置において、
前記処理槽の搬入側に設けられ、搬入されてきた基板の上面全幅に亘って搬送方向上流側から下流側に向かって垂直方向に対して斜め方向に処理液を吐出するノズル部材と、
前記ノズル部材から吐出される処理液の軌道上であって前記搬送経路の下方に備えられ、基板の非搬送状態において前記処理液を受けつつ下流側に案内する前記搬送経路に沿う液受け面をもつ液受け板と、
この液受け板に連続して前記搬送経路の下方に設けられ、前記搬送経路のうち少なくとも液受け板よりも前記搬送方向上流側部分へのミスト状処理液の拡散を防止する遮蔽板と、を備えている
ことを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1に記載の基板処理装置において、
前記処理槽内に、基板を搬送するための複数の搬送ローラが所定の間隔で基板搬送方向に配置され、前記ノズル部材は、隣接する搬送ローラの間に向かって処理液を吐出するように構成され、前記液受け板は、前記搬送ローラの間で処理液を受けるように配置されていることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1又は2に記載の基板処理装置において、
前記遮蔽板は、前記処理槽の内底部から垂直方向に沿って設けられその上端が前記液受け板に連続していることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1又は2に記載の基板処理装置において、
前記遮蔽板は、前記処理槽における基板搬入側の壁面から前記搬送経路に沿って設けられ、前記搬送方向における下流側端部が前記液受け板に連続していることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1乃至4の何れか一項に記載の基板処理装置において、
前記ノズル部材を第1ノズル部材としたときに、この第1ノズル部材とは別に、当該第1ノズル部材よりも基板搬送方向下流側において搬送中の基板に向かって液滴状に処理液を吐出する第2ノズル部材が前記処理槽内に設けられていることを特徴とする基板処理装置。
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