JP2009136722A - 予備吐出装置、及び予備吐出方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】塗布装置における予備吐出動作において液状体が塗布される予備吐出面81を有する予備吐出板80を備える予備吐出装置である。予備吐出板80は、予備吐出面81を含む板状部材83とベース部材82とが着脱可能に接合されてなる。
【選択図】図3
Description
この構成によれば、吸着を解除することで板状部材及びベース部材間を容易に着脱可能とすることができ、予備吐出面のメンテナンス性を向上させることができる。また、接着層等を用いることなく板状部材間を接合できるので、接合面が平坦化されて高い密着性を得ることができる。
さらに、前記板状部材及び前記ベース部材における接合面の少なくとも一方には、内部が真空状態とされて前記板状部材及び前記ベース部材同士を真空吸着により接合させる真空溝が設けられているのがより好ましい。
このようにすれば、前記板状部材及び前記ベース部材の接合面に形成した真空溝により簡便且つ確実に各部材同士を真空吸着によって接合することができる。
この構成によれば、板状部材及びベース部材の一方における接合面を平面とすることができ、この部材の構造を単純化できる。
ここで、上記予備吐出装置においては、前記真空溝及び前記排出溝が前記ベース部材における前記接合面に設けられるのが望ましい。
このようにすれば、前記予備吐出面をなす最上層における前記板状部材が1枚の板で構成されるため、予備吐出面をなす板状部材の加工コストを抑えることができる。
このようにすれば、上述したような廃液の排出を良好に行うことが可能となる。
この構成によれば、真空溝が接合面に対して広域に配置されたものとなり、部材間の接合信頼性をより高めることができる。
予備吐出面をなす最上層における板状部材における厚みが0.1mmよりも小さくなると、部材の加工性が悪く、耐久性に問題が生じる。また、板状部材における厚みが5mmよりも大きくなると、部材が重くなりすぎてしまい取り扱いが困難となることでメンテナンス性が悪くなってしまう。そこで、本発明によって規定される板状部材を備えることで高い洗浄性、及びメンテナンス性を得ることができる。
このような材料を用いれば、高い平面粗度を得ることができ洗浄性に優れたものとなり、予備吐出面を構成する材料として最適である。
塗布装置1は、図11に示すように、例えば液晶パネルなどに用いられるガラス基板上にレジストを塗布する塗布装置であり、予備吐出面上にレジストの予備吐出を行い、当該予備吐出面の良好な洗浄を可能とするものである。このようなレジストの予備吐出及び予備吐出面の洗浄時に図4に示される予備吐出面洗浄ユニット(洗浄装置)が用いられる。塗布装置1は、基板搬送部2と、塗布部3と、管理部4とを主要な構成要素とし、基板搬送部2によって基板を浮上させて搬送しつつ塗布部3によって当該基板上にレジストが塗布されるようになっており、管理部4によって塗布部3の状態が管理されるようになっている。
まず管理部4の構成について図11〜15を参照して説明する。
管理部4は、基板Sに吐出されるレジスト(液状体)の吐出量が一定になるようにノズル32を管理する部位であり、基板搬送部2に平面視で重なるように塗布部3に対して−X方向側(基板搬送方向の上流側)に設けられている。この管理部4は、予備吐出機構(予備吐出装置)42と、ディップ槽41と、ノズル洗浄装置43と、これらを収容する収容部44と、当該収容部44を保持する保持部材45とを有している。保持部材45は、移動機構45aに接続されている。当該移動機構45aにより、収容部44がX方向に移動可能になっている。
ディップ槽41は、内部にシンナーなどの溶剤が貯留された液体槽である。ノズル洗浄装置43は、ノズル32の開口部32aの周辺領域をリンス洗浄する装置である。
図1に示されるように、予備吐出機構42はノズル32(塗布部3)の予備吐出動作に用いられるものであって、レジストの予備吐出を行うための予備吐出ユニット103と、この予備吐出面81を洗浄する予備吐出面洗浄ユニット(洗浄装置)100とを有している。
また、真空吸着により接着層等を用いることなくベース部材82及び板状部材83同士を接合できるので、接合面が平坦化されて高い密着性を得ることができる。
予備吐出面洗浄ユニット100は、レジストRが塗布された上記予備吐出面81上を移動することで洗浄処理を行うもので予備吐出面81上を摺動してレジストRを掻き取るスキージ110を有している。
これらスキージ110(110a,110b,110c)は、平面視矩形状の板状部材から構成されており、その構成材料としては予備吐出面81上に塗布されるレジストを掻き取ることができれば種々のものを採用でき、本実施形態では例えばポリエステルが用いられる。スキージ110の長さは予備吐出面81の幅と同等以上に設定され、これによりスキージ110が予備吐出面81上に塗布されたレジストを掻き取ることができる。
図8に示すように、アーム部101には開口部108が形成されており、この開口部108に挿入されることでクロスローラベアリング150はアーム部101の下面(予備吐出面81に対向する面)側から上面側に通りぬけた状態となっている。
クロスローラベアリング150は、アーム部101の上面側に固定配置された軸部152に支持されている。したがって、クロスローラベアリング150は、軸部152に沿って回転可能となりアーム部101に対して揺動自在となっている。
この構成により、スキージヘッド部105が回転(揺動)することでスキージ110を予備吐出面81上に確実に接触させることができ、良好に摺動できるようになっている。
次に上記予備吐出ユニット103の構成について説明する。図9は予備吐出ユニット103の概略構成を示し、図9(a)は平面図、図9(b)は側面図である。
図9(a)、(b)に示されるように、予備吐出ユニット103は、ノズル32(塗布部3)の予備吐出動作によってレジストが塗布される予備吐出面81を有する予備吐出プレート80を主体として構成され、上記予備吐出面81が水平となるように上記予備吐出プレート80が保持されている。そして、予備吐出面洗浄ユニット100のスキージ110が予備吐出面81上を摺動するようになっている。
次に、本実施形態に係る塗布装置1について図面を参照して説明する。本実施形態に係る塗布装置1は、予備吐出機構(予備吐出装置)42を備えている。図10は塗布装置1の斜視図、図11は塗布装置1の平面図、図12は塗布装置1の平面図、図13は塗布装置1の側面図である。
次に基板搬送部2の構成を説明する。
基板搬送部2は、基板搬入領域20と、塗布処理領域21と、基板搬出領域22と、搬送機構23と、これらを支持するフレーム部24とを有している。この基板搬送部2では、搬送機構23によって基板Sが基板搬入領域20、塗布処理領域21及び基板搬出領域22へと順に搬送されるようになっている。基板搬入領域20、塗布処理領域21及び基板搬出領域22は、基板搬送方向の上流側から下流側へこの順で配列されている。搬送機構23は、基板搬入領域20、塗布処理領域21及び基板搬出領域22の各部に跨るように当該各部の一側方に設けられている。
搬入側ステージ25は、フレーム部24の上部に設けられており、例えばステンレス(SUS)などからなる平面視で矩形の板状部材である。この搬入側ステージ25は、X方向が長手になっている。搬入側ステージ25には、エア噴出孔25aと、昇降ピン出没孔25bとがそれぞれ複数設けられている。これらエア噴出孔25a及び昇降ピン出没孔25bは、搬入側ステージ25を貫通するように設けられている。
処理ステージ27は、ステージ表面27cが例えば硬質アルマイトを主成分とする光吸収材料で覆われた平面視で矩形の板状部材であり、搬入側ステージ25に対して+X方向側に設けられている。処理ステージ27のうち光吸収材料で覆われた部分では、レーザ光などの光の反射が抑制されるようになっている。この処理ステージ27は、Y方向が長手になっている。処理ステージ27のY方向の寸法は、搬入側ステージ25のY方向の寸法とほぼ同一になっている。処理ステージ27には、ステージ表面27c上にエアを噴出する複数のエア噴出孔27aと、ステージ表面27c上のエアを吸引する複数のエア吸引孔27bとが設けられている。これらエア噴出孔27a及びエア吸引孔27bは、処理ステージ27を貫通するように設けられている。
次に、塗布部3の構成を説明する。
塗布部3は、基板S上にレジストを塗布する部分であり、門型フレーム31と、ノズル32とを有している。
門型フレーム31は、支柱部材31aと、架橋部材31bとを有しており、処理ステージ27をY方向に跨ぐように設けられている。支柱部材31aは処理ステージ27のY方向側に1つずつ設けられており、各支柱部材31aがフレーム部24のY方向側の両側面にそれぞれ支持されている。各支柱部材31aは、上端部の高さ位置が揃うように設けられている。架橋部材31bは、各支柱部材31aの上端部の間に架橋されており、当該支柱部材31aに対して昇降可能となっている。
次に、上記のように構成された塗布装置1の動作を説明する。
図15〜図18は、塗布装置1の動作過程を示す平面図である。各図を参照して、基板Sにレジストを塗布する動作を説明する。この動作では、基板Sを基板搬入領域20に搬入し、当該基板Sを浮上させて搬送しつつ塗布処理領域21でレジストを塗布し、当該レジストを塗布した基板Sを基板搬出領域22から搬出する。図15〜図18には門型フレーム31及び管理部4の輪郭のみを破線で示し、ノズル32及び処理ステージ27の構成を判別しやすくした。以下、各部分における詳細な動作を説明する。
以下、予備吐出機構42の動作方法について図面を参照しつつ説明する。
予備吐出面81上にレジストを塗布した後、待機部91上に載置されている予備吐出面洗浄ユニット100のスキージ110を予備吐出面81の高さに配置する。これにより、予備吐出面洗浄ユニット100は予備吐出面81上の洗浄開始位置に配置されることとなる(図1参照)。
したがって、第一スキージ110aによって予備吐出面81の粗洗浄処理を行うことができる。
さらに、第二スキージ110bが通過した予備吐出面81における仕上げスキージ110cの摺動方向前方に洗浄液を供給し、希釈化されたレジストRを仕上げスキージ110cによって掻き取る。
洗浄処理の終了後、予備吐出機構42は予備吐出面洗浄ユニット100を待機部91に載置する。以上のフローにより、予備吐出面洗浄ユニット100における予備吐出面81の洗浄処理が終了する。なお、載置部91aに載置された予備吐出面洗浄ユニット100に対し、必要に応じてスキージ110の洗浄処理を行ってもよい。これにより、スキージを良好な状態に保つことができ、予備吐出面上における洗浄品質を安定させることができる。
また、スキージ110と同様に、予備吐出面81にも経時的な磨耗が生じる。このような場合、予備吐出面81のメンテナンス処理を行う。本実施形態に係る予備吐出プレート80は、ベース部材82と板状部材83とが真空吸着により接合されることで構成されている。そのため、予備吐出面81を含む板状部材83をベース部材82から着脱可能となっている。
例えば、ベース部材82が複数の板状の部材を接合することで構成されていてもよく、各接合面に上記真空溝84及び排出溝85が形成されていてもよい。
また、上記実施形態では、真空溝84及び排出溝85をベース部材82側に形成していたが、いずれか一方を板状部材83側に形成する構成としてもよい。また、真空溝84及び排出溝85をベース部材82及び板状部材83の両方に形成するようにしてもよい。
例えば、高い洗浄性が必要となる摺動方向先頭側の第一スキージ110aの取付角度を予備吐出面81に対する接触抵抗が大きくなる45°近傍に設定し、仕上げ処理を行う仕上げスキージ110cの取付角度を予備吐出面81に対する接触抵抗が小さくなる20°近傍に設定してもよい。
なお、本実施形態では予備吐出洗浄ユニット100の洗浄処理を待機部91により行っている。そのため、予備吐出洗浄ユニット100を上記実施形態における右端部(図9参照)まで移動した後、載置部91に戻る過程において予備吐出面81上の洗浄処理を行うようにしてもよい。この場合、スキージの取付角度は上記実施形態と反対になるのはもちろんである。
Claims (11)
- 塗布装置における予備吐出動作において液状体が塗布される予備吐出面を有する予備吐出板を備える予備吐出装置において、
前記予備吐出板は、前記予備吐出面を含む板状部材とベース部材とが着脱可能に接合されることを特徴とする予備吐出装置。 - 前記板状部材及び前記ベース部材は、真空吸着により接合されてなることを特徴とする請求項1に記載の予備吐出装置。
- 前記板状部材及び前記ベース部材における接合面の少なくとも一方には、内部が真空状態とされて前記板状部材及び前記ベース部材同士を真空吸着により接合させる真空溝が設けられていることを特徴とする請求項2に記載の予備吐出装置。
- 前記板状部材及び前記ベース部材における前記接合面の少なくとも一方は、前記板状部材の洗浄処理時に用いられる廃液が前記板状部材の接合界面から前記予備吐出板の内部に侵入した際に回収可能とする排出溝を平面視した状態で前記真空溝の外側に備えることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の予備吐出装置。
- 前記真空溝及び前記排出溝は、前記板状部材及び前記ベース部材における接合面の同一側に設けられていることを特徴とする請求項4に記載の予備吐出装置。
- 前記真空溝及び前記排出溝が前記ベース部材における前記接合面に設けられることを特徴とする請求項5に記載の予備吐出装置。
- 前記排出溝の幅及び深さは、1mm以上5mm以下に設定されることを特徴とする請求項4〜6のいずれか一項に記載の予備吐出装置。
- 前記真空溝は前記板状部材及び前記ベース部材における前記接合面の一方向に沿って延在する主部と、該主部の延在方向に交差する方向に沿って延在する枝状部とを含むことを特徴とする請求項1〜7のいずれか一項に記載の予備吐出装置。
- 前記板状部材の厚みは0.1mm以上5mm以下に設定されることを特徴とする請求項1〜8のいずれか一項に記載の予備吐出装置。
- 前記板状部材の形成材料として、石材、ステンレス、及びガラスのいずれかが用いられることを特徴とする請求項1〜9のいずれか一項に記載の予備吐出装置。
- 塗布装置における塗布動作に先立つ予備吐出方法であって、
予備吐出処理時に液状体が塗布される予備吐出面を含む板状部材及びベース部材が着脱可能に接合されてなる予備吐出板に対し、前記液状体を塗布するステップと、
該予備吐出面上に塗布された前記液状体を洗浄するステップと、
前記板状部材を前記ベース部材から取り外し、前記予備吐出面のメンテナンスを行うステップと、を含むことを特徴とする予備吐出方法。
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