JP2009135219A - 半導体装置およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】複数のコンタクトプラグCP0のうちMOSトランジスタQ1のドレイン層となる拡散層3に達するものは、その端部が層間絶縁膜IL1上に選択的に配設された薄膜絶縁膜19の下面に接している。この薄膜絶縁膜19上には、カルコゲナイド化合物系の相変化材料であるGSTで構成された相変化膜20が配設され、その上には上部電極21が配設されている。複数のコンタクトプラグCP0のうちソース層となる拡散層3に達するものは、その端部が層間絶縁膜IL2を貫通するコンタクトプラグCP1の端部にダイレクトに接続されている。
【選択図】図1
Description
図20に示すように、シリコン基板1上にアクセス用のMOSトランジスタQ1が配設され、MOSトランジスタQ1を覆うように層間絶縁膜IL1が配設されている。そして、シリコン基板1の表面内に配設された複数の拡散層3に達するように、層間絶縁膜IL1を貫通する複数のコンタクトプラグCP1が設けられている。なお、拡散層3上にはシリサイド層SSが配設されており、各コンタクトプラグCP1は実際にはシリサイド層SSに接することになるが、便宜的に拡散層3に達するという表現を使用する。
<A.装置構成>
本発明に係る実施の形態の半導体装置100の構成について図1を用いて説明する。なお、図1においてメモリセル領域と周辺回路領域とを並べて示している。
このように、相変化素子PE1を第1金属配線M1(ソース線SLおよび接続パッドPD)の下方に配置したRUML(Resistor Under Metal-Line)型のメモリセル構造を採ることで、第1金属配線と第2金属配線との間の層間絶縁膜の厚さを薄くすることができる。よって、線間容量が減少することが防止される。また、ソース線SLと拡散層3との接続を、コンタクトプラグCP0およびCP1で構成される2連プラグを介して行うので、第1金属配線M1とシリコン基板1との距離が広くなった場合でも、個々のプラグのアスペクト比は大きくならないので、高アスペクト比対応のプロセス技術やプロセス装置は不要で、コストの増加も抑制できる。
図1を用いて説明した半導体装置100においては、相変化素子PE1の上部電極21に接するコンタクトプラグCP1は、薄膜絶縁膜19に接するコンタクトプラグCP0の上方に配設される構成となっていたが、メモリセルの製造歩留りと信頼性の向上を考慮して図5に示す半導体装置100Aのような構成を採用しても良い。
図1を用いて説明した半導体装置100においては、相変化素子PE1の上部電極21に接するコンタクトプラグCP1と、MOSトランジスタQ1のソース層となる拡散層3に達するコンタクトプラグCP0に接続されるコンタクトプラグCP1とでは、その深さに若干の違いがある。
相変化膜20の材質によってはエッチングの際のマスクとしてレジスト材を使えないことがある。すなわち、ドライエッチングによる生成物が有機材料であるレジスト材と反応し、エッチング終了後のレジスト除去を困難にする場合があるからである。その場合、無機材料で構成されるハードマスク22を用いることで、このような問題は生じない。
次に、図6に示した半導体装置100Bの製造方法について、製造工程を順に示す断面図である図7〜図18を用いて説明する。
図19に示すように、層間絶縁膜IL2上に、層間絶縁膜IL3を堆積し、配線層を形成するための配線溝をした後、シングルダマシンにより、めっきで配線溝を銅層で埋め込むことで、銅配線によりソース線SLおよび接続パッドPDを形成する。その後、層間絶縁膜IL3上全面に、CVD法によりシリコン酸化膜を堆積し、CMPにより平坦化することで層間絶縁膜IL4を得る。
Claims (13)
- 半導体基板上に配設された電界効果トランジスタと、
前記電界効果トランジスタを覆う第1の層間絶縁膜と、
前記第1の層間絶縁膜を覆う第2の層間絶縁膜と、
前記電界効果トランジスタの主電流によって結晶状態および非晶質状態に相変化可能な相変化膜を有する相変化素子と、
前記半導体基板上に配設された多層配線層と、を備え、
前記多層配線層の最下層配線は、前記第2の層間絶縁膜上に配設され、
前記第1の層間絶縁膜は、
前記第1の層間絶縁膜を貫通して、前記電界効果トランジスタの第1および第2の拡散層に接する複数の第1層コンタクトプラグを有し、
前記第2の層間絶縁膜は、
前記第2の層間絶縁膜を貫通して、前記最下層配線に接する複数の第2層コンタクトプラグを有し、
前記相変化素子は、
前記第1の層間絶縁膜上に配設され、その下面が、前記複数の第1層コンタクトプラグのうち前記第1の拡散層に達する第1のプラグの端面に接し、
前記複数の第1層コンタクトプラグのうち、前記第2の拡散層に達する第2のプラグと、前記複数の第2層コンタクトプラグの1つである第3のプラグとがダイレクトに接続されて2連プラグを構成する、半導体装置。 - 前記相変化素子は、前記相変化膜と前記第1の層間絶縁膜との間に配設された薄膜絶縁膜を有し、
前記薄膜絶縁膜は、前記電界効果トランジスタの主電流を透過電流として流すことが可能な厚さを有する、請求項1記載の半導体装置。 - 前記薄膜絶縁膜の前記厚さは0.5nmないし5nmである、請求項2記載の半導体装置。
- 前記薄膜絶縁膜は、Ta酸化膜、Ti酸化膜、Zr酸化膜、Hf酸化膜、Nb酸化膜、Cr酸化膜、Mo酸化膜、W酸化膜およびAl酸化膜の中から選択される、請求項3記載の半導体装置。
- 前記第3のプラグの直径は、前記第2のプラグの直径よりも大きい、請求項1記載の半導体装置。
- 前記第2のプラグの直径に対する前記第3のプラグの直径の比率は、1.1ないし1.5である、請求項5記載の半導体装置。
- 前記相変化素子の上面に配設され、前記相変化素子のパターニングに使用されるハードマスクと、
前記ハードマスクを含む前記相変化素子上とともに、前記第1の層間絶縁膜上を覆うエッチングストッパー膜とをさらに備える、請求項1記載の半導体装置。 - 前記エッチングストッパー膜と、前記第2の層間絶縁膜とは材質が異なり、
前記ハードマスクと前記エッチングストッパー膜とは材質が同一である、請求項7記載の半導体装置。 - 前記エッチングストッパー膜の材質はシリコン窒化膜であって、前記第2の層間絶縁膜の材質はシリコン酸化膜である、請求項8記載の半導体装置。
- 前記複数の第2層コンタクトプラグのうち、前記相変化素子の上面と前記最下層配線とを接続する第4のプラグが、前記第1のプラグの上方からずれた位置で、前記相変化素子の前記上面に接する、請求項1記載の半導体装置。
- 半導体基板上に配設された電界効果トランジスタと、
前記電界効果トランジスタを覆う第1の層間絶縁膜と、
前記第1の層間絶縁膜を覆う第2の層間絶縁膜と、
前記電界効果トランジスタの主電流によって結晶状態および非晶質状態に相変化可能な相変化膜を有する相変化素子と、
前記半導体基板上に配設された多層配線層とを備えた半導体装置の製造方法であって、
(a)前記第1の層間絶縁膜を形成した後、前記第1の層間絶縁膜を貫通して、前記電界効果トランジスタの第1および第2の拡散層に接する複数の第1層コンタクトプラグを形成する工程と、
(b)前記工程(a)の後、前記第1の層間絶縁膜上全面に前記相変化素子を構成する多層膜を形成する工程と、
(c)前記多層膜上全面にハードマスク材を形成する工程と、
(d)前記ハードマスク材をパターニングして、前記多層膜上の前記相変化素子の形成領域に対応する部分にハードマスクを形成する工程と、
(e)前記ハードマスクを用いて前記多層膜をパターニングし、前記複数の第1層コンタクトプラグのうち、前記第1の拡散層に達する第1のプラグ上を含む領域に前記相変化素子を形成する工程と、
(f)前記相変化素子上に前記ハードマスクが残った状態で、前記第1の層間絶縁膜上全面にエッチングストッパー膜を形成する工程と、
(g)前記工程(f)の後、前記第1の層間絶縁膜上に前記第2の層間絶縁膜を形成する工程と、
(h)前記第2の層間絶縁膜を貫通して、前記相変化素子上および前記複数の第1層コンタクトプラグのうち、前記第2の拡散層に達する第2のプラグ上の前記エッチングストッパー膜に達する複数のコンタクトホールを形成する工程と、
(i)前記複数のコンタクトホールの底部の前記エッチングストッパー膜を除去し、前記第2のプラグ上においては、その端面を露出させ、前記相変化素子上においては前記ハードマスクも併せて除去することで前記相変化素子の最上面を露出させる工程と、
(j)前記複数のコンタクトホールを導体層で埋め埋め込んで、複数の第2層コンタクトプラグを形成する工程と、
(k)前記工程(j)の後、前記第2の層間絶縁膜上に、前記多層配線層の最下層配線をパターニングする工程と、を備える、半導体装置の製造方法。 - 前記工程(b)は、前記第1の層間絶縁膜上に、前記電界効果トランジスタの主電流を透過電流として流すことが可能な厚さを有する薄膜絶縁膜を形成する工程を含む、請求項11記載の半導体装置の製造方法。
- 前記工程(h)は、前記複数の第2層コンタクトプラグのうち、前記第2のプラグにダイレクトに接続される第3のプラグの直径が、前記第2のプラグの直径よりも大きくなるように、前記複数のコンタクトホールを形成する工程を含む、請求項12記載の半導体装置の製造方法。
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