JP2009111135A - 不良検出方法及び不良検出装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ウェーハに複数の領域区分を設定し、ウェーハ処理工程における各処理工程後の異物検査で作成される異物検査マップから前記領域区分の各々における異物密度を算出し、プロットして異物検査マップ波形特徴量を算出する異物検査マップ波形特徴量算出部12と、ダイソートテストで作成されるダイソートマップから前記領域区分の各々における不良密度を算出し、プロットしてダイソートマップ波形特徴量を算出するダイソートマップ波形特徴量算出部14と、前記異物検査マップ波形特徴量と前記ダイソートマップ波形特徴量との相関係数を算出する波形特徴量比較部15と、前記相関係数が所定の閾値以上の異物検査マップ波形特徴量を検出する類似マップ検索部16と、を備える。
【選択図】図1
Description
(ステップS1301)ダイソートマップが入力される。
(ステップS1302)複数の異物検査マップが入力される。
(ステップS1303)ダイソートマップ波形特徴量が算出される。
(ステップS1304)異物検査マップから局所的に集中する異物が除去される。
(ステップS1305)異物検査マップ波形特徴量が算出される。
(ステップS1306)ダイソートマップ波形特徴量と異物検査マップ波形特徴量との相関係数が算出される。
(ステップS1307)相関係数が閾値以上か否かが判定される。閾値以上の場合はステップS1308へ進み、閾値未満の場合はステップS1309へ進む。
(ステップS1308)ダイソートマップ(ダイソートマップ波形特徴量)と異物検査マップ(異物検査マップ波形特徴量)とが類似していると判定される。
(ステップS1309)ダイソートマップ(ダイソートマップ波形特徴量)と異物検査マップ(異物検査マップ波形特徴量)とが類似していないと判定される。
(ステップS1310)ダイソートマップと異物検査マップとの類似判定結果が結果出力部17へ出力される。
(ステップS1311)ダイソートマップ波形特徴量とすべての異物検査マップ波形特徴量との類似判定(相関係数の算出)が終了したか判定される。終了した場合はステップS1312へ進み、終了していない場合はステップS1306へ戻る。
(ステップS1312)ダイソートマップと異物検査マップとの類似判定結果が比較結果データベース46に格納される。
2 クリーンルーム
3 ダイソートテスター
21、22 製造装置
23、24 異物検査装置
41 生産管理サーバー
42 異物検査マップサーバー
43 ダイソートマップサーバー
44 異物検査マップデータベース
45 ダイソートマップデータベース
46 比較結果データベース
47 ユーザインタフェース端末装置
Claims (5)
- ウェーハ処理工程における各処理工程後のウェーハ表面の異物検査により作成される異物検査マップを入力し、
前記ウェーハ処理工程後のダイソートテストにより作成されるダイソートマップを入力し、
前記ウェーハに複数の領域区分を設定し、
前記領域区分の各々に領域番号を設定し、
前記異物検査マップに基づき前記領域区分の各々における異物密度を算出し、前記領域番号を用いて前記異物密度をプロットして異物検査マップ波形特徴量を算出し、
前記ダイソートマップに基づき前記領域区分の各々における不良密度を算出し、前記領域番号を用いて前記不良密度をプロットしてダイソートマップ波形特徴量を算出し、
前記異物検査マップ波形特徴量と前記ダイソートマップ波形特徴量との類似度を算出し、
前記類似度に基づき不良発生原因となっている処理工程を特定する不良検出方法。 - 前記類似度は前記異物検査マップ波形特徴量と前記ダイソートマップ波形特徴量との相関係数であることを特徴とする請求項1に記載の不良検出方法。
- 前記異物密度の算出において、前記複数の領域区分のそれぞれを複数の領域に分割し、複数の異物が存在する前記領域の異物数を1に変換してから前記異物密度を算出することを特徴とする請求項1又は2に記載の不良検出方法。
- ウェーハ処理工程における各処理工程後のウェーハ表面の異物検査により作成される異物検査マップが入力される異物検査マップ入力部と、
前記ウェーハ処理工程後のダイソートテストにより作成されるダイソートマップが入力されるダイソートマップ入力部と、
前記ウェーハに複数の領域区分を設定し、前記領域区分の各々に領域番号を設定し、前記異物検査マップに基づき前記領域区分の各々における異物密度を算出し、前記領域番号を用いて前記異物密度をプロットして異物検査マップ波形特徴量を算出する異物検査マップ波形特徴量算出部と、
前記異物検査マップ波形特徴量算出部により設定される前記領域区分及び前記領域番号と同一の領域区分及び領域番号を前記ウェーハに設定し、前記ダイソートマップに基づき前記領域区分の各々における不良密度を算出し、前記領域番号を用いて前記不良密度をプロットしてダイソートマップ波形特徴量を算出するダイソートマップ波形特徴量算出部と、
前記異物検査マップ波形特徴量と前記ダイソートマップ波形特徴量との相関係数を算出する波形特徴量比較部と、
前記相関係数が所定の閾値以上の異物検査マップ波形特徴量を検出する類似マップ検索部と、
を備える不良検出装置。 - 前記異物検査マップ波形特徴量算出部は、前記複数の領域区分のそれぞれを複数の領域に分割し、複数の異物が存在する前記領域の異物数を1に変換することを特徴とする請求項4に記載の不良検出装置。
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