JP2009064524A - 磁気ディスク用基板及び磁気ディスク - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の磁気ディスク用基板は、略平坦な主表面12と、端面13と、前記主表面12と前記端面13との間の面取り面14と、を備え、前記主表面12に沿う方向Aと前記面取り面14に沿う方向Bとが交差するクロスポイントCPが、前記主表面12を平面視した際に、基板の全周にわたって基板の中心Cから略同じ距離に位置することを特徴とする。
【選択図】図1
Description
本実施の形態においては、磁気ディスク用基板がガラスで構成されている場合について説明するが、本発明はこれに限定されず、磁気ディスク用基板が金属やセラミックスで構成されていても良い。
ガラス基板の製造においては、(1)形状加工工程及び第1ラッピング工程、(2)端部形状工程(穴部を形成するコアリング工程、端部(外周端部及び内周端部)に面取り面を形成するチャンファリング工程(面取り面形成工程))、(3)端面研磨工程(外周端部及び内周端部)、(4)第2ラッピング工程、(5)主表面研磨工程(第1及び第2研磨工程)、(6)化学強化工程、(7)テクスチャー処理工程を備えている。なお、端部研磨工程と第2ラッピング工程とは前後する場合もある。また、テクスチャー処理工程については、垂直磁気記録方式のHDD装置に使用する磁気ディスク用基板には不要となる。
(実施例1〜3)
(1)形状加工工程及び第1ラッピング工程
まず、溶融させたアルミノシリケートガラスを上型、下型、胴型を用いたダイレクトプレスによりディスク形状に成型し、アモルファスの板状ガラスを得た。なお、アルミノシリケートガラスとしては、化学強化用のガラスを使用した。得られたディスク状の板状ガラスは、直径が68mm、板厚が1mmであった。
次に、ダイヤモンドカッタを用いてガラス母材を切断し、このガラス母材から、ガラス基板を切り出した。次に、円筒状のコアドリルを用いて、このガラス基板の中心部に穴部を形成し、円環状のガラス基板とした(コアリング)。なお、このとき、2つのコアドリルを用いて、ガラス基板の両面からそれぞれ穴を形成した。そして、外周端部については、図4に示す装置を用い、ダイヤモンド砥石によって研削し、所定の面取り加工を施した(チャンファリング)。
次に、ガラス基板の端面について、ブラシ研磨方法により、鏡面研磨を行った。このとき、研磨砥粒としては、酸化セリウム砥粒を含むスラリー(遊離砥粒)を用いた。また、内周端部については、磁気研磨法により鏡面研磨を行った。そして、鏡面研磨工程を終えたガラス基板を水洗浄した。この鏡面研磨工程により、ガラス基板の端部は、パーティクル等の発塵を防止できる鏡面状態に加工された。これにより、ガラス基板の直径は65mmとなり、2.5インチ型磁気ディスクに用いる基板とすることができた。
次に、得られたガラス基板の両主表面について、第1ラッピング工程と同様に、第2ラッピング加工を行った。この第2ラッピング加工を行うことにより、前工程である端部形状工程や鏡面研磨工程において主表面に形成された微細な凹凸形状を予め除去しておくことができ、後続の主表面に対する研磨工程を短時間で完了させることができた。
主表面研磨工程として、まず第1研磨工程を施した。この第1研磨工程は、上述したラッピング工程において主表面に残留したキズや歪みの除去を主たる目的とするものである。この第1研磨工程においては、遊星歯車機構を有する両面研磨装置により、硬質の研磨パッドを用いて、主表面の研磨を行った。研磨剤としては、酸化セリウム砥粒を用いた。そして、この第1研磨工程を終えたガラス基板を、中性洗剤、純水(1)、純水(2)、IPA(イソプロピルアルコール)、IPA(蒸気乾燥)の各洗浄槽に順次浸漬して、洗浄した。
次に、上述したラッピング工程及び研磨工程を終えたガラス基板に、化学強化を施した。化学強化は、硝酸カリウム(60%)と硝酸ナトリウム(40%)を混合した化学強化溶液を用意し、この化学強化溶液を380°Cに加熱し、その中に洗浄済みのガラス基板を約4時間浸漬することによって行った。この浸漬の際には、ガラス基板の表面全体が化学強化されるようにするため、複数のガラス基板が端面で保持されるように、ホルダーに収納した状態で行った。
チャンファリング工程において、外周端部及び内周端部をダイヤモンド砥石によって研削して面取り加工を施すこと以外上記実施例1〜3と同様にして磁気記録媒体用のガラス基板を得た。このようにして得られたガラス基板(比較例1,2)について、実施例1〜3と同様にして、主表面を平面視した際のガラス基板1の主表面におけるクロスポイントCPの位置及びクロスポイントスペーシングの位置を調べた。その結果をそれぞれ図6及び図7に併記する。
11 穴部
12 主表面
13 端面
14 面取り面
CP クロスポイント
C 基板中心
Claims (13)
- 略平坦な主表面と、端面と、前記主表面と前記端面との間の面取り面と、を備え、略円形状を有する磁気ディスク用基板であって、前記主表面に沿う方向と前記面取り面に沿う方向とが交差するクロスポイントが、前記主表面を平面視した際に、前記磁気ディスク用基板の全周にわたって前記磁気ディスク用基板の中心から略同じ距離に位置することを特徴とする磁気ディスク用基板。
- 前記主表面を平面視した際の前記クロスポイントの前記面取り面における投影位置が、前記磁気ディスク用基板の全周にわたって前記磁気ディスク用基板の厚さ方向において略同じ位置であることを特徴とする請求項1記載の磁気ディスク用基板。
- 略平坦な主表面と、端面と、前記主表面と前記端面との間の面取り面と、を備え、略円形状を有する磁気ディスク用基板であって、前記磁気ディスク用基板の中心から前記端面までの第1距離における前記中心から50%の前記主表面上の位置と前記中心から80%の前記主表面上の位置とを結ぶ第1仮想線と、前記第1距離における前記端面から0.15%の前記面取り面上の位置と前記端面から0.30%の前記面取り面上の位置とを結ぶ第2仮想線と、の交点をクロスポイントとしたときに、前記主表面を平面視した際に前記クロスポイントで形成される円の真円度が0.5mm以下であることを特徴とする磁気ディスク用基板。
- 前記クロスポイントから、前記主表面を平面視した際の前記クロスポイントの前記面取り面における投影位置までの第2距離が、15μm以下であることを特徴とする請求項3記載の磁気ディスク用基板。
- 前記磁気ディスク用基板の全周にわたる前記第2距離の変動が5μm以下であることを特徴とする請求項3又は請求項4記載の磁気ディスク用基板。
- 前記主表面を平面視した際に前記クロスポイントで形成される円の中心と、前記磁気ディスク用基板の中心との間の距離が1200μm以下であることを特徴とする請求項1から請求項5のいずれかに記載の磁気ディスク用基板。
- 前記磁気ディスク用基板がガラスで構成されていることを特徴とする請求項1から請求項6のいずれかに記載の磁気ディスク用基板。
- 請求項1から請求項7のいずれかに記載の磁気ディスク用基板と、前記磁気ディスク用基板上に形成された磁性層と、を具備することを特徴とする磁気ディスク。
- 前記磁気ディスクの外縁を経由して磁気ヘッドが前記磁気ディスクの主表面に対してロード/アンロードする方式の磁気ディスク装置に搭載されることを特徴とする請求項8記載の磁気ディスク。
- 少なくとも7200rpmの回転数で磁気ディスクを回転させる磁気ディスク装置に搭載されることを特徴とする請求項8又は請求項9記載の磁気ディスク。
- タッチダウンハイトが4nm以下であることを特徴とする請求項8から請求項10のいずれかに記載の磁気ディスク。
- 記録密度が200Gbit/inch2以上であることを特徴とする請求項8から請求項11のいずれかに記載の磁気ディスク。
- 請求項8から請求項12のいずれかに記載の磁気ディスクと、前記磁気ディスクに対して情報の記録及び/又は再生を行う磁気ヘッドと、を具備することを特徴とするハードディスクドライブ装置。
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