JP2009049047A - 気相成長装置及び気相成長方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 少なくとも、チャンバー17と、前記チャンバー内に連通し、ガスを導入するガス導入管13と、前記チャンバー内に連通し、ガスを排出するガス排出管16と、前記チャンバー内に配置され、ウェーハWを載置するサセプタ12とを具備する気相成長装置10であって、該気相成長装置を構成する部材のうち、該部材の少なくとも一部が金属を含む材料からなり、該金属を含む材料からなる部位が、前記チャンバー並びに該チャンバーに連通する前記ガス導入管及び前記ガス排出管の内部に導通されるガスに対して露出されたものである金属露出部材において、前記金属露出部材の露出されている部位の少なくとも一部が保護膜で覆われている気相成長装置。
【選択図】 図1
Description
そこで、気相成長工程中における金属汚染を防止するために、従来、気相成長装置では、ウェーハに近接する部分(サセプタ等)では、石英(SiO2)や炭化珪素(SiC)などのセラミック部材が使用されている。
しかし、このような、ウェーハに近接する部分をセラミック製とした気相成長装置であっても、ウェーハの金属汚染のレベルが高い場合があった。
このように、保護膜が、液体状の無機ポリマーからなるシリカガラス材が塗布され、焼成されて形成された酸化膜であれば、該保護膜は極めて低コストで緻密な保護膜を形成することができ、このような保護膜で覆われた金属露出部材を具備する気相成長装置とすることができる。
従って、ウェーハへの金属汚染が効果的に防止された気相成長装置を、極めて低コストで実現することができる。
ステンレスで構成された部材は優れた強度と耐久性を有するため、ステンレスは、気相成長装置を構成する部材の材料として、適した材料の一つであり、広く用いられている。そして、このようなステンレス製部材が、反応雰囲気に対して露出されている気相成長装置であっても、本発明によれば、ステンレスからの金属の放出を防止して気相成長を行うことができる。
このような、上記のいずれかの気相成長装置を用いて行う気相成長方法であれば、金属露出部材から反応雰囲気中への金属の放出を効果的に防止し、ウェーハへの金属汚染を効果的に防止して気相成長を行うことができる。
前述のように、従来、気相成長装置では、金属汚染を防止するため、ウェーハに近接する部分では、石英や炭化珪素などのセラミック部材が使用されているにも関わらず、ウェーハへの金属汚染が十分防止されない場合があるという問題があった。
前述のように、従来、気相成長装置では、ウェーハへの金属汚染を防止するため、サセプタ等のウェーハに近接する部分では、石英や炭化珪素などのセラミック部材が使用されている。
しかし、気相成長装置の構造上、全ての部品をセラミック製とすることは困難であり、外周壁やガス導入部、排ガス部などにステンレス部材が使われていた。このステンレス部材は水分の存在下でHCl(塩化水素)やSiHCl3(トリクロロシラン)等に触れると容易に腐食されてしまい、これが金属汚染源となる。
すなわち、従来の気相成長装置では、装置のメンテナンス時に空気中の水分が入り、反応ガスであるSiHCl3や、反応副生成物等から発生するHClなどによって腐食が進行し、プロセスを再開したときに腐食された部分から、金属の塩化ガスや金属を含むパーティクル等の状態で金属(金属元素)が放出され、ウェーハに到達し、ウェーハを金属汚染する。この汚染源は徐々に金属を放出し、やがては汚染レベルが下がってくるが、それまでに相当な時間を要する。また、汚染レベルは下がっても、あるレベルで安定的に金属を放出し続け、エピタキシャル成長ウェーハを汚染し続けることになる。
気相成長装置10は、内部で気相成長を行うためのチャンバー17と、チャンバー17内に連通し、チャンバー17内に反応ガス等の各種のガスを導入するガス導入管13と、チャンバー17内に連通し、チャンバー17内からガスを排出するガス排出管16と、チャンバー17内に配置され、ウェーハWを載置するサセプタ12とを具備する。
サセプタ回転機構15は、サセプタ12を回転させることによりウェーハWを回転させ、気相成長がウェーハ面内において均一に行われるようにするためのものである。
また、加熱手段は、ランプ加熱装置等、種々のものをチャンバーの構造に応じて選択して用いることができる。
また、図1中には、サセプタ12に形成された貫通孔を貫通し、ウェーハWをサセプタ12から持ち上げて保持することができる突起等からなるウェーハ持上機構20も示している。
チャンバー17の内部は、上記各部材により、外気から遮断される。
このような金属露出部材としては、通常、ガス導入管13やガス排出管16、チャンバー側部部材14、サセプタ回転機構15等が挙げられるが、これらに限定されず、様々な種類の気相成長装置が存在する。金属を含む材料の具体的な材質としては、機械的強度や加工性、化学的耐久性、耐熱性等の観点から、ステンレスが一般に使用されている。
液体状シリカガラス材としては、ポリシラザン等のOH基を有しない無機ポリマーが有機溶剤に溶けているもの等を用いることができる。また、必要に応じてアミン、Pd等の脱水素、酸化機能等を有する触媒等の添加剤を含有する。具体的には、市販の液体状シリカコート材を用いることができ、例えば、(有)エクスシア社製シリカコート型番EPP等が挙げられる。
また、液体状シリカガラス材の塗布厚さも特に限定されず、装置の設計に応じて適宜選択することができる。
なお、液体状シリカガラス材の硬化方法は、焼成する他に、液体状シリカガラス材の組成等に応じて、空気中に放置することによって有機溶剤が揮発し、無機ポリマーが空気中の水分や酸素と反応して酸化膜としたり、加湿することによっても行うことができるが、上記のように、焼成することによって硬化させることが特に好ましい。焼成によれば、短時間でほぼ完全に酸化膜への転化を行うことができ、その結果、金属露出部材からの金属の放出レベルをより確実に抑制することができるためである。
例えば、上述した(有)エクスシア社製シリカコート型番EPPを用いれば、3μm程度以下の厚さの塗布膜を加熱温度200℃、加熱時間60分でほぼ完全に硬化させることができる。
すなわち、金属露出部材が保護膜に覆われている気相成長装置10を用いる以外は、通常の気相成長方法に従って気相成長を行うことができる。
特に、保護膜を、液体状シリカガラス材が焼成されて形成された酸化膜で形成すれば、保護膜は容易な方法により極めて低コストで形成することができるため、極めて低コストで、容易に本発明の効果を得ることができる。
図1に示したような、枚葉式の気相成長装置10を構成する各部材のうち、ステンレスからなる部材(具体的には、ガス導入管13、ガス排出管16、チャンバー側部部材14、サセプタ回転機構15)に対して、保護膜コーティング処理として、液体状の無機ポリマーからなるシリカガラス材((有)エクスシア社製シリカコート型番EPP)を、ステンレス露出部に塗布したうえで、200℃、60分の熱処理を行って酸化膜とした。
ウェーハWとして、CZ法で作製された面方位(100)、直径200mm、P型、抵抗率10Ωcmのシリコン単結晶ウェーハを、サセプタ12上に載置し、所定の反応温度で反応ガスとしてSiHCl3(シリコン原料)とジボラン(不純物源)をチャンバー17内に流し、P型、10Ωcm、厚さ10μmのエピタキシャル層の成長を連続して繰り返し行った。
適当な頻度でウェーハを抜き取り、ライフタイムを測定した。なお、ウェーハのライフタイムは、ウェーハ中の微量の金属に対し敏感なため、結晶の金属汚染の指標として用いられる。
上記した実施例1を終了した後、再び気相成長装置のチャンバーを開放してメンテナンスを行い、実施例1と同様に、気相成長を連続して繰り返し行い、適当な頻度でウェーハを抜き取り、ライフタイムを測定した。
気相成長装置として、金属露出部材を保護膜で覆わないこと以外は実施例1と同様の枚葉式気相成長装置を用意した。
このような従来の気相成長装置を用いて、実施例1と同様に、チャンバーを大気に開放してメンテナンスをした後、ウェーハ上にエピタキシャル層を形成する気相成長を連続して繰り返し行い、適当な頻度でウェーハを抜き取り、ライフタイムを測定した。
上記した比較例1を終了した後、再び気相成長装置のチャンバーを開放してメンテナンスを行い、比較例1と同様に、気相成長を連続して繰り返し行い、適当な頻度でウェーハを抜き取り、ライフタイムを測定した。
本発明に従う気相成長装置を用いて気相成長を行った実施例1、2は、従来の気相成長装置を用いて気相成長を行った比較例1、2よりも、メンテナンス直後からウェーハのライフタイムが高く、また、その後定常レベルに到達後もライフタイムが高いことが認められる。
14…チャンバー側部部材、 15…サセプタ回転機構、
16…ガス排出管、 17…チャンバー、
18…チャンバー上部部材、 19…チャンバー下部部材、
20…ウェーハ持上機構、
W…ウェーハ。
Claims (4)
- 少なくとも、
チャンバーと、
前記チャンバー内に連通し、該チャンバー内にガスを導入するガス導入管と、
前記チャンバー内に連通し、該チャンバー内からガスを排出するガス排出管と、
前記チャンバー内に配置され、ウェーハを載置するサセプタと
を具備する気相成長装置であって、
該気相成長装置を構成する部材のうち、該部材の少なくとも一部が金属を含む材料からなり、該金属を含む材料からなる部位が、前記チャンバー並びに該チャンバーに連通する前記ガス導入管及び前記ガス排出管の内部に導通されるガスに対して露出されたものである金属露出部材において、前記金属露出部材の露出されている部位の少なくとも一部が保護膜で覆われていることを特徴とする気相成長装置。 - 前記保護膜は、液体状の無機ポリマーからなるシリカガラス材が塗布され、焼成されて形成された酸化膜であることを特徴とする請求項1に記載の気相成長装置。
- 前記金属を含む材料が、ステンレスであることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の気相成長装置。
- 請求項1ないし請求項3のいずれか一項に記載の気相成長装置を用いて、前記サセプタ上にウェーハを載置し、前記ガス導入管から反応ガスを前記チャンバー内に導入しながら前記ウェーハ上に気相成長を行い、反応後のガスを前記ガス排出管から排出することを特徴とする気相成長方法。
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