JP2009016558A - 紫外線照射ユニット - Google Patents
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Abstract
【解決手段】マイクロ波電力の印加によって放電発光する、放電媒体が封入された光線透過性誘電体で成る管状の放電ランプ111と、放電ランプを収容し、当該放電ランプの放射する紫外線を下面開口から下方の被照射体に向けて出射させるランプハウス110と、マイクロ波を発振するマグネトロン121と、マグネトロンで発振されたマイクロ波電力を放電ランプに伝達する導波管122と、放電ランプから出射される光の照度を加減し、かつ、マグネトロンから放出されるマイクロ波を吸収する金属にて構成された光学機構とを備えた紫外線照射ユニット1であって、光学機構は、軸周りの回転によって散乱特性が変化する反射面を有するルーバー体115を複数体並置したものである。
【選択図】 図1
Description
なお、本実施の形態の紫外線照射ユニットでは、ルーバー体115の構造は特に限定されず、軸心の周りに回転可能で、かつ、回転させることで反射特性が変化する形状のものを採用することができ、例えば、楕円断面形状のもの、四角断面形状のもの、羽根形等でかつ外表面が鏡面となっている部材を採用することができる。
2 紫外線照射装置
10 紫外線照射装置
10A 紫外線照射ユニット
11 処理室
20 紫外線照射装置
20A 紫外線照射ユニット
21 処理室
110 ランプハウス
111 紫外線放電ランプ
112 主反射体
113 下面開口部
114 メッシュ
115 ルーバー体
115A 外殻
115B 回転心棒
121 マグネトロン
122 導波管
Claims (3)
- 長尺管状の放電ランプと、
前記放電ランプを収容し、当該放電ランプの放射する紫外線を下面開口から下方の被照射体に向けて出射させるランプハウスと、
前記放電ランプから出射される光の照度を調整する光学機構とを備えた紫外線照射ユニットであって、
前記光学機構は、軸周りの回転によって散乱特性が変化する反射面を有するルーバー体を複数体並置したルーバー装置で構成されていることを特徴とする紫外線照射ユニット。 - 前記ルーバー体は、菱形断面形状の反射面を持つ外殻と、前記外殻の中心部に挿通された回転心棒で構成されていることを特徴とする請求項1に記載の紫外線照射ユニット。
- 前記ルーバー体は、その水平状態で前記ランプハウスから被照射体に向けて出射する光を遮断できる数だけ並置されていることを特徴とする請求項2に記載の紫外線照射ユニット。
Priority Applications (1)
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---|---|---|---|
JP2007176374A JP2009016558A (ja) | 2007-07-04 | 2007-07-04 | 紫外線照射ユニット |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2007176374A JP2009016558A (ja) | 2007-07-04 | 2007-07-04 | 紫外線照射ユニット |
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Publication Number | Publication Date |
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JP2009016558A true JP2009016558A (ja) | 2009-01-22 |
Family
ID=40357113
Family Applications (1)
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JP2007176374A Abandoned JP2009016558A (ja) | 2007-07-04 | 2007-07-04 | 紫外線照射ユニット |
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2007
- 2007-07-04 JP JP2007176374A patent/JP2009016558A/ja not_active Abandoned
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