JP2009016558A - Uv irradiation unit - Google Patents

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幸一 玉井
Shohei Maeda
祥平 前田
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a UV irradiation unit which irradiates ultraviolet rays with uniform surface illuminance to an irradiated face of an irradiated object of the ultraviolet rays, and moreover effectively suppresses leakage of a microwave. <P>SOLUTION: The UV irradiation unit 1 includes: a tubular discharge lamp 111, a lamp housing 110, a magnetron 121 which oscillates the microwave, a waveguide 122 which transmits the microwave power oscillated by the magnetron to the discharge lamp, and an optical mechanism. The discharge lamp 111 discharges and emits light by applying microwave power, and comprises a light transmittable dielectric with a discharge medium sealed. The lamp housing holds 110 the discharge lamp, and irradiates the ultraviolet rays emitted by the discharge lamp toward the downward irradiated object from an opening of a lower face. The optical mechanism adjusts the illuminance of the light irradiated from the discharge lamp, and is constituted by metal to absorb the microwave emitted from the magnetron. The optical mechanism comprises a plurality of juxtaposed louver bodies 115 having reflection faces in which scattering characteristics are changed by rotation around an axis. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は、紫外線照射ユニットに関する。   The present invention relates to an ultraviolet irradiation unit.

近年、紫外線を放電発光させる長尺管状の放電ランプとして、特許文献１〜３に記載されているランプが知られている。その中でも特に、特許文献１に記載されたロングアークタイプの長尺放電ランプはランプ管内にハロゲン化鉄を封入したメタルハライドランプで、そのランプは、３６０〜３８０ｎｍ近辺に高い発光強度を持つ紫外線発光特性を持つので、半導体や液晶パネルの製造工程で紫外線照射装置の光源として多く用いられている。   In recent years, the lamps described in Patent Documents 1 to 3 are known as long tubular discharge lamps that discharge ultraviolet light. Among them, in particular, the long arc type long discharge lamp described in Patent Document 1 is a metal halide lamp in which iron halide is enclosed in a lamp tube, and the lamp has an ultraviolet emission characteristic having a high emission intensity around 360 to 380 nm. Therefore, it is often used as a light source for ultraviolet irradiation devices in the manufacturing process of semiconductors and liquid crystal panels.

従来の放電ランプを光源とする紫外線照射装置では、放電ランプを下方が開口するランプハウスの内部中央部に配置し、ランプハウスの上方に逆Ｕ字断面の反射面を持つ主反射体で覆って放電ランプからの紫外線をほぼ平行光線にして下方に反射させるようにし、またさらに、放電ランプの下方両側に補助反射板を斜めに配置して補助反射板にて被照射体の照射面で可能な限り照射強度が一様になるように紫外線が拡散反射される構成にしている。   In a conventional ultraviolet irradiation apparatus using a discharge lamp as a light source, the discharge lamp is disposed in the center of the interior of the lamp house having an opening at the bottom, and is covered with a main reflector having a reflective surface with an inverted U-shaped cross section above the lamp house. Ultraviolet rays from the discharge lamp are made to be substantially parallel rays and reflected downward, and an auxiliary reflector is arranged obliquely on both sides below the discharge lamp, and the auxiliary reflector can be used on the irradiated surface of the irradiated object. As long as the irradiation intensity is uniform, the ultraviolet rays are diffusely reflected.

ところが、このような従来の紫外線照射装置では、ランプハウスから出射する紫外線が被照射体の被照射面に一様な面照度で照射されるように配慮しても、一様性が十分に実現できない問題点があった。   However, in such a conventional ultraviolet irradiation device, evenness is sufficiently realized even if it is considered that the ultraviolet light emitted from the lamp house is irradiated to the irradiated surface of the irradiated body with a uniform surface illuminance. There was a problem that could not be done.

また、特許文献３等のマイクロ波無電極放電ランプにあっては、ランプ点灯中、紫外線を出射するランプハウスの開口部からマイクロ波が漏れ出て当該紫外線照射装置やその近傍に存在する金属が加熱され、異常昇温することがある問題点もあった。
特許第３４８２４４２号公報 特開平８−１２４５４０号公報 米国特許第４６３３１４０号公報 In the microwave electrodeless discharge lamp disclosed in Patent Document 3 or the like, when the lamp is lit, the microwave leaks from the opening of the lamp house that emits ultraviolet rays, and the ultraviolet irradiation device and the metal existing in the vicinity thereof are exposed. There was also a problem that it was heated and abnormally heated.
Japanese Patent No. 3482442 JP-A-8-124540 U.S. Pat. No. 4,633,140

本発明は、上述した従来技術の課題に鑑みてなされたもので、紫外線被照射体の被照射面に対して一様な面照度で紫外線を照射することができる紫外線照射ユニットを提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above-described problems of the prior art, and provides an ultraviolet irradiation unit capable of irradiating ultraviolet rays with a uniform surface illuminance on an irradiated surface of an ultraviolet irradiated body. Objective.

本発明は、長尺管状の放電ランプと、前記放電ランプを収容し、当該放電ランプの放射する紫外線を下面開口から下方の被照射体に向けて出射させるランプハウスと、前記放電ランプから出射される光の照度を調整する光学機構とを備えた紫外線照射ユニットであって、前記光学機構は、軸周りの回転によって散乱特性が変化する反射面を有するルーバー体を複数体並置したルーバー装置で構成されている紫外線照射ユニットを特徴とする。   The present invention includes a long tubular discharge lamp, a lamp house that accommodates the discharge lamp and emits ultraviolet rays emitted from the discharge lamp toward a lower irradiated body from a lower surface opening, and the discharge lamp. And an optical mechanism that adjusts the illuminance of light. The optical mechanism comprises a louver device in which a plurality of louver bodies having reflecting surfaces whose scattering characteristics change by rotation around an axis are juxtaposed. It is characterized by a UV irradiation unit.

本発明の紫外線照射ユニットによれば、ランプハウスの紫外線出射用開口の下方に複数体のルーバー体によるルーバー装置で構成される光学機構を設けているので、ルーバー装置の複数体のルーバー体を回転させて好適な角度姿勢に調整することで、ランプハウスの開口部から出射される紫外線を適切に反射散乱させることができ、これを複数体用いて紫外線照射装置を構成することで、被照射体の被照射面に一様な面照度で紫外線を照射する紫外線照射装置が構成できる。   According to the ultraviolet irradiation unit of the present invention, an optical mechanism composed of a plurality of louver bodies is provided below the ultraviolet emission opening of the lamp house, so that the plurality of louver bodies of the louver apparatus are rotated. By adjusting the angle to a suitable angle posture, it is possible to appropriately reflect and scatter the ultraviolet rays emitted from the opening of the lamp house. By constructing an ultraviolet irradiation device using a plurality of these, the irradiated object An ultraviolet irradiation device that irradiates ultraviolet rays with uniform surface illuminance on the surface to be irradiated can be configured.

以下、本発明の実施の形態を図に基づいて詳説する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

（第１の実施の形態）図１は、本発明の１つの実施の形態の紫外線照射ユニット１を示している。本実施の形態の紫外線照射ユニット１は、下方が開口するランプハウス１１０の内部中央部に紫外線放電ランプ１１１を配置し、ランプハウス１１０内で紫外線放電ランプ１１１の側方及び上方を覆い、当該紫外線放電ランプ１１１からの紫外線をほぼ平行光線にして下方に反射させるように逆Ｕ字断面の反射面を持ち、５００ｎｍ以上の光線は透過するコールドミラーで成る主反射体１１２を配置し、本実施の形態の特徴であるルーバー体１１５を２体、紫外線放電ランプ１１１の下方で、かつ、ランプハウス１１０の下面開口部１１３の直下の位置に配置した構成である。このランプハウス１１０の下面開口部１１３には、マイクロ波を吸収し、光線を透過させるマイクロ波漏洩防止兼光線透過メッシュ１１４が設置してある。この２体のルーバー体１１５がルーバー装置１１６を構成し、このルーバー装置１１６とマイクロ波漏洩防止兼光線透過メッシュ１１４とで光学機構１１７を構成している。   (First Embodiment) FIG. 1 shows an ultraviolet irradiation unit 1 according to one embodiment of the present invention. In the ultraviolet irradiation unit 1 of the present embodiment, an ultraviolet discharge lamp 111 is arranged in the center of the interior of the lamp house 110 that opens downward, and covers the side and top of the ultraviolet discharge lamp 111 in the lamp house 110. A main reflector 112 made of a cold mirror having a reflective surface with an inverted U-shaped cross-section so as to reflect ultraviolet rays from the discharge lamp 111 into a substantially parallel light beam and reflected downward is disposed. Two louver bodies 115, which is a feature of the form, are arranged below the ultraviolet discharge lamp 111 and at a position directly below the lower surface opening 113 of the lamp house 110. In the lower surface opening 113 of the lamp house 110, a microwave leakage preventing / light transmitting mesh 114 that absorbs the microwave and transmits the light is installed. The two louver bodies 115 constitute a louver device 116, and the louver device 116 and the microwave leakage preventing / light transmitting mesh 114 constitute an optical mechanism 117.

ランプハウス１１０の上面には、マイクロ波を発振するマグネトロン１２１を配置し、このマグネトロン１２１で発振されたマイクロ波電力を紫外線放電ランプ１１１に給電するようにマグネトロン１２１とランプハウス１１０との間に導波管１２２を設置してある。   A magnetron 121 that oscillates microwaves is disposed on the upper surface of the lamp house 110, and the microwave power oscillated by the magnetron 121 is guided between the magnetron 121 and the lamp house 110 so as to supply the ultraviolet discharge lamp 111. A wave tube 122 is provided.

紫外線放電ランプ１１１は、マイクロ波放電を利用するマイクロ波給電方式の無電極放電ランプであり、ランプ管内にハロゲン化鉄のようなメタルハライドを封入した無電極メタルハライドランプである。   The ultraviolet discharge lamp 111 is a microwave feeding type electrodeless discharge lamp using microwave discharge, and is an electrodeless metal halide lamp in which a metal halide such as iron halide is sealed in a lamp tube.

図２に示したように、ルーバー体１１５は高輝度アルミニウム材で菱形に形成した外殻１１５Ａとその中心に挿通した回転心棒１１５Ｂにより構成されていて、その複数体がランプ軸方向の両端においてランプハウス１１０の下方の近接位置にて回転自在に並置されている。   As shown in FIG. 2, the louver body 115 is composed of an outer shell 115A formed in a diamond shape with a high-luminance aluminum material and a rotating mandrel 115B inserted through the center thereof, and a plurality of the louver bodies 115 are arranged at both ends in the lamp axial direction. They are juxtaposed so as to be rotatable at close positions below the house 110.

図３に示したように、このルーバー体１１５は、回転心棒１１５Ｂを回転させることで独自に他のルーバー体１１５と異なる傾き角度の姿勢を保つことができ、被照射体（図示せず）の被照射面（水平面）の法線Ｌ１と当該ルーバー体１１５の菱形の外殻１１５Ａの長い方の対角線Ｌ２とのなす角度θを各自調整することができる。   As shown in FIG. 3, this louver body 115 can maintain a posture with an inclination angle different from that of other louver bodies 115 by rotating the rotating mandrel 115B. The angle θ formed between the normal line L1 of the irradiated surface (horizontal plane) and the longer diagonal line L2 of the rhomboid outer shell 115A of the louver body 115 can be adjusted.

上記構成の紫外線照射ユニット１は、図４に示すようにその複数体を縦列に設置し、所望の照射長の紫外線照射装置２を構成する。この紫外線照射装置２による紫外線照射動作について説明する。   As shown in FIG. 4, the ultraviolet irradiation unit 1 having the above-described configuration has a plurality of units arranged in a column to constitute an ultraviolet irradiation device 2 having a desired irradiation length. The ultraviolet irradiation operation by the ultraviolet irradiation device 2 will be described.

各紫外線照射ユニット１のマグネトロン１２１を起動してマイクロ波を無電極放電ランプである紫外線放電ランプ１１１に給電して紫外線放電ランプ１１１を放電点灯させて紫外線を放出させる。   The magnetron 121 of each ultraviolet irradiation unit 1 is activated, and microwaves are supplied to the ultraviolet discharge lamp 111 which is an electrodeless discharge lamp to discharge and turn on the ultraviolet discharge lamp 111 to emit ultraviolet rays.

マグネトロン１２１の発生するマイクロ波の一部はランプハウス１１０の下面開口に達するが、この位置に設置されているマイクロ波漏洩防止兼光線透過メッシュ１１４がマイクロ波を吸収して下方へ漏洩するのを抑制し、当該紫外線照射ユニット１やその近傍に存在する金属がマイクロ波によって加熱され、異常昇温するのを防止する。   Part of the microwave generated by the magnetron 121 reaches the lower surface opening of the lamp house 110. The microwave leakage prevention and light transmission mesh 114 installed at this position absorbs the microwave and leaks downward. It suppresses and prevents the ultraviolet irradiation unit 1 and the metal existing in the vicinity thereof from being heated by the microwaves and abnormally raising the temperature.

紫外線放電ランプ１１１から下側に放射される紫外線は直接に下方に向かい、また紫外線放電ランプ１１１から上側、側方に放射される紫外線は主反射体１１２により反射され、その反射紫外線が下方に向かう。これら紫外線はランプハウス１１０の下面開口部１１３からさらに下方に出射し、補助反射体としてのルーバー体１１５に達してその高輝度アルミニウムの外殻１１５Ａに当たって反射散乱され、さらに下方に向かい、被照射体に照射する。   The ultraviolet rays radiated downward from the ultraviolet discharge lamp 111 are directly directed downward, and the ultraviolet rays emitted upward and laterally from the ultraviolet discharge lamp 111 are reflected by the main reflector 112, and the reflected ultraviolet rays are directed downward. . These ultraviolet rays are emitted further downward from the lower surface opening 113 of the lamp house 110, reach the louver body 115 as an auxiliary reflector, and are reflected and scattered by the outer shell 115A of the high-brightness aluminum. Irradiate.

この際に、紫外線は各ルーバー体１１５の傾き角度に応じて反射方向が異なることになるので、各ルーバー体１１５の傾き角度を変更しながら被照射面上の照度分布を計測することでその均斉度がランプの長手方向で一様になるように調整する。   At this time, since the reflection direction of ultraviolet rays varies depending on the inclination angle of each louver body 115, the illuminance distribution on the irradiated surface is measured while changing the inclination angle of each louver body 115, and the uniformity is obtained. The degree is adjusted so as to be uniform in the longitudinal direction of the lamp.

図２に示したように、本実施の形態の紫外線照射ユニット１では、外殻１１５Ａの長い方の対角線の長さ（高さ）が６０ｍｍ、短い対角線の長さ（幅）が５ｍｍ、長さが２４０ｍのサイズの外殻１１５Ａを１．５ｍｍφ、３００ｍｍ長の回転心棒１１５Ｂに取り付けたルーバー体１１５を２体、図１に示したようにランプハウス１１０の下面開口部１１３のさらに下方に近接して並置している。   As shown in FIG. 2, in the ultraviolet irradiation unit 1 of the present embodiment, the length (height) of the longer diagonal of the outer shell 115A is 60 mm, and the length (width) of the short diagonal is 5 mm. Are two louver bodies 115 each having an outer shell 115A having a size of 240 m and attached to a rotating mandrel 115B having a length of 1.5 mm and a length of 300 mm, as shown in FIG. Are juxtaposed.

この場合、図５のグラフに示したように、並置した両ルーバー体１１５について、その傾き角度θを１５°にしたときに紫外線照度の均斉度が８％になった。これは、従来の補助反射板により得られる均斉度３２％に較べて格段に良好なものであった。   In this case, as shown in the graph of FIG. 5, when the inclination angle θ of the juxtaposed louver bodies 115 is 15 °, the uniformity of the ultraviolet illuminance is 8%. This was much better than the uniformity of 32% obtained with the conventional auxiliary reflector.

ただし、照度の均斉度は、次の式によって求めたものである。   However, the illuminance uniformity is obtained by the following equation.

（均斉度）＝（最高照度値−最低照度値）／（最高照度値＋最低照度値）×１００％
なお、本実施の形態の紫外線照射ユニットでは、ルーバー体１１５の構造は特に限定されず、軸心の周りに回転可能で、かつ、回転させることで反射特性が変化する形状のものを採用することができ、例えば、楕円断面形状のもの、四角断面形状のもの、羽根形等でかつ外表面が鏡面となっている部材を採用することができる。 (Uniformity) = (maximum illuminance value−minimum illuminance value) / (maximum illuminance value + minimum illuminance value) × 100%
In the ultraviolet irradiation unit of the present embodiment, the structure of the louver body 115 is not particularly limited, and a louver body having a shape that can be rotated around an axis and whose reflection characteristics are changed by being rotated is adopted. For example, a member having an elliptical cross-sectional shape, a square cross-sectional shape, a blade shape, or the like and having a mirror surface on the outer surface can be employed.

（第２の実施の形態）本発明の第２の実施の形態の紫外線照射装置について、図６〜図１２を用いて説明する。図６に示したように本実施の形態の紫外線照射装置１０は、処理室１１内の所定位置に置かれている被照射体に紫外線を照射して紫外線照射処理するために処理室１１の上に複数体の紫外線照射ユニット１０Ａを並べて設置した構成である。   (Second Embodiment) An ultraviolet irradiation apparatus according to a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. As shown in FIG. 6, the ultraviolet irradiation apparatus 10 of the present embodiment has an upper surface of the processing chamber 11 for irradiating the irradiated object placed at a predetermined position in the processing chamber 11 with ultraviolet irradiation. A plurality of ultraviolet irradiation units 10A are arranged side by side.

図７に示したように、各紫外線照射ユニット１０Ａは、下方が開口するランプハウス１３０の内部中央部に紫外線放電ランプ１３１を配置し、ランプハウス１３０内で紫外線放電ランプ１３１の側方及び上方を覆い、当該紫外線放電ランプ１３１からの紫外線をほぼ平行光線にして下方に反射させるように逆Ｕ字断面の反射面を持ち、５００ｎｍ以上の光線は透過するコールドミラーで成る主反射体１３２を配置し、本実施の形態の特徴である開閉自在なシャッター装置１３５を紫外線放電ランプ１３１の下方で、かつ、主反射体１３２の下面開口部を閉塞できる位置に配置し、さらにその下方のランプハウス開口部近くの両側に補助反射板１３３を配置した構成である。   As shown in FIG. 7, each ultraviolet irradiation unit 10 </ b> A has an ultraviolet discharge lamp 131 disposed in the center of the interior of the lamp house 130 that opens downward, and the side and upper side of the ultraviolet discharge lamp 131 are placed inside the lamp house 130. A main reflector 132 made of a cold mirror having a reflection surface with an inverted U-shaped cross section and transmitting a light beam of 500 nm or more is disposed so as to cover and reflect the ultraviolet light from the ultraviolet discharge lamp 131 into a substantially parallel light beam and reflect it downward. The openable / closable shutter device 135, which is a feature of the present embodiment, is disposed below the ultraviolet discharge lamp 131 and at a position where the lower surface opening of the main reflector 132 can be closed, and further, the lamp house opening below that In this configuration, auxiliary reflectors 133 are arranged on both sides in the vicinity.

紫外線放電ランプ１３１は、例えば、紫外線透過性を有する石英製の気密性容器の内部にタングステン（Ｗ）製等の電極が配置された外管径２７．５ｍｍ、肉厚１．５ｍｍ、発光長Ｌが１０００ｍｍ、ランプ電圧１２７５Ｖ、ランプ電圧値１３．５Ａの紫外線ランプが利用可能である。気密性容器の内部には、アルゴン（Ａｒ）ガス等の希ガス、水銀（Ｈｇ）、そして波長領域３００〜４００ｎｍにおいて水銀のスペクトル以外に少なくとも１つ以上の発光を有する金属封入物が封入されたランプが好適なものとして用いることができる。例えば、気密性容器の内部に水銀と少量の希ガスを封入させた高圧水銀ランプ、気密性容器の内部に水銀とハロゲン化した金属を封入したメタルハライドランプ、さらには、気密性容器の内部に水銀と少量の希ガスと共に、ハロゲン化タリウムを封入したタリウムランプを用いることができる。   The ultraviolet discharge lamp 131 is, for example, an outer tube diameter of 27.5 mm in which an electrode made of tungsten (W) or the like is disposed in an airtight container made of quartz having ultraviolet transparency, a wall thickness of 1.5 mm, and a light emission length L. Of 1000 mm, a lamp voltage of 1275 V, and a lamp voltage value of 13.5 A can be used. Inside the hermetic container, a rare gas such as argon (Ar) gas, mercury (Hg), and a metal enclosure having at least one light emission other than the spectrum of mercury in a wavelength region of 300 to 400 nm are enclosed. A lamp can be used as suitable. For example, a high-pressure mercury lamp with mercury and a small amount of rare gas sealed inside the hermetic container, a metal halide lamp with mercury and halogenated metal sealed inside the hermetic container, and mercury inside the hermetic container A thallium lamp enclosing thallium halide can be used together with a small amount of rare gas.

図７に示したように、シャッター装置１３５はルーバー体１３５Ａを複数体、本実施の形態では２体をランプハウス１３０内の放電ランプ１３１の下方で、かつ、主反射体１３２の下面開口部を閉塞するように配置して構成している。   As shown in FIG. 7, the shutter device 135 includes a plurality of louver bodies 135 </ b> A, two in the present embodiment, below the discharge lamp 131 in the lamp house 130 and the lower surface opening of the main reflector 132. It is arranged and configured to close.

図８に詳しく示したように、ルーバー体１３５Ａは、３６５ｎｍ波長における正反射率９０％の特性を有する高輝度アルミニウム材で菱形に形成した外殻１３５−１とその中心に挿通した回転心棒１３５−２により構成されていて、ランプ軸方向の両端においてランプハウス１３０の側面にて回転可能に支持される。このルーバー体１３５Ａは、回転心棒１３５−２を回転させることで所定の傾き角度に保つことができる。図８には、実施例として、用いるロングアークの紫外線放電ランプ１３１のランプ長が１０００ｍｍであるときの寸法が示してあり、外殻１３５−１の長さが１０００ｍｍ、長い方の対角線の長さ（高さ）１１０ｍｍ、短い方の対角線の長さ（幅）１０ｍｍ、回転心棒１３５−２の径は８ｍｍφ、長さは１２００ｍｍである。   As shown in detail in FIG. 8, the louver body 135A is composed of a high-luminance aluminum material having a regular reflectance of 90% at a wavelength of 365 nm and a rhombus-shaped outer shell 135-1, and a rotating mandrel 135- inserted through the center thereof. 2 and is rotatably supported by the side surface of the lamp house 130 at both ends in the lamp axial direction. The louver body 135A can be maintained at a predetermined inclination angle by rotating the rotating mandrel 135-2. FIG. 8 shows dimensions when the lamp length of the long arc ultraviolet discharge lamp 131 used is 1000 mm as an example, the length of the outer diagonal 135-1 is 1000 mm, and the length of the longer diagonal line. (Height) 110 mm, the shorter diagonal length (width) 10 mm, the diameter of the rotating mandrel 135-2 is 8 mmφ, and the length is 1200 mm.

図９、図１０に示したように、各ルーバー体１３５Ａは、回転心棒１３５−２を回転させることで独自に他のルーバー体１３５Ａと異なる傾き角度の姿勢を保つことができ、被照射体（図示せず）の被照射面（水平面）の法線Ｌ１と当該ルーバー体１３５Ａの菱形の外殻１３５−１の長い方の対角線Ｌ２とのなす角度θを各自調整することができる。図６、図１０（a）はシャッター装置１３５の閉塞状態を示し、図１０（ｂ）はシャッター装置１３５の開状態を示している。   As shown in FIGS. 9 and 10, each louver body 135A can independently maintain a posture with an inclination angle different from that of the other louver body 135A by rotating the rotating mandrel 135-2. The angle θ formed by the normal line L1 of the irradiated surface (horizontal plane) of the louver body 135A and the longer diagonal line L2 of the rhomboid outer shell 135-1 of the louver body 135A can be adjusted individually. 6 and 10A show the closed state of the shutter device 135, and FIG. 10B shows the opened state of the shutter device 135.

次に、上記構成の紫外線照射装置１０による紫外線照射動作について、図１１を用いて説明する。紫外線照射の停止時には、図１１（ａ）に示すように、並設された４体の紫外線照射ユニット１０Ａそれぞれにおいて、紫外線放電ランプ１３１を放電点灯させた状態のまま、各シャッター装置１３５を閉じた状態にする。つまり、各シャッター装置１３５を構成する並置された２体のルーバー体１３５Ａを長い方の対角線が水平になる状態に回転させて主反射体１３２の下面開口部を閉塞し、紫外線がこの下面開口部から下方へ放出しないようにする。   Next, the ultraviolet irradiation operation by the ultraviolet irradiation apparatus 10 having the above configuration will be described with reference to FIG. When the ultraviolet irradiation is stopped, as shown in FIG. 11A, in each of the four ultraviolet irradiation units 10A arranged in parallel, the shutter devices 135 are closed while the ultraviolet discharge lamps 131 are in a discharge lighting state. Put it in a state. That is, two juxtaposed louver bodies 135A constituting each shutter device 135 are rotated in a state where the longer diagonal line is horizontal to close the lower surface opening of the main reflector 132, and ultraviolet rays are applied to the lower surface opening. Do not release downward from

紫外線照射を開始し、あるいは再開する時には、図１１（ｂ）に示すように、各シャッター装置１３５のルーバー体１３５Ａを所定の傾き角度θまで回転させ、主反射体１３２の下面開口部を開放する。これにより、紫外線放電ランプ１３１から下側に放射される紫外線は直接に下方に向かい、また紫外線放電ランプ１３１から上側、側方に放射される紫外線は主反射体１３２により反射され、その反射紫外線が下方に向かう。これら紫外線はルーバー体１３５Ａに達してその高輝度アルミニウムの外殻１３５−１に当たって反射散乱され、さらに下方に向かい、ランプハウス１３０から下方へ出て被照射体に照射される。   When the ultraviolet irradiation is started or restarted, as shown in FIG. 11B, the louver body 135A of each shutter device 135 is rotated to a predetermined inclination angle θ to open the lower surface opening of the main reflector 132. . Thereby, the ultraviolet rays radiated downward from the ultraviolet discharge lamp 131 are directly directed downward, and the ultraviolet rays radiated upward and laterally from the ultraviolet discharge lamp 131 are reflected by the main reflector 132, and the reflected ultraviolet rays are reflected. Head down. These ultraviolet rays reach the louver body 135A, and are reflected and scattered by hitting the outer shell 135-1 of the high-luminance aluminum. Further, the ultraviolet rays go downward, exit downward from the lamp house 130, and irradiate the irradiated object.

このシャッター装置１３５の各ルーバー体１３５Ａを通過する際に、紫外線は各ルーバー体１３５Ａの傾き角度θに応じて反射方向が異なることになるので、各ルーバー体１３５Ａの傾き角度θを変更しながら被照射体の被照射面上の照度分布を計測することでその均斉度が一様になるように調整する。   When passing through each louver body 135A of the shutter device 135, the reflection direction of the ultraviolet rays differs depending on the inclination angle θ of each louver body 135A. Therefore, the ultraviolet light is covered while changing the inclination angle θ of each louver body 135A. By adjusting the illuminance distribution on the irradiated surface of the irradiator, the uniformity is adjusted.

本実施の形態では、図８に示したように、外殻１３５−１の高さが１１０ｍｍ、幅が１０ｍｍ、長さが１０００ｍｍのサイズのルーバー体１３５Ａを採用している。この場合、図６、図１１に示したように４体の紫外線照射ユニット１０Ａを並置して構成した紫外線照射装置について照度分布の均斉度を測定した。この照度分布の均斉度の測定結果を図１２のグラフに示してある。このグラフから明らかなように、シャッター装置１３５の各ルーバー体１３５Ａの開き角度θ＝１５°の時に照度分布の均斉度がいちばん良好になることが確認できた。そしてその時の均斉度は８％であった。これに対して、シャッター装置１３５を設置しない従来装置の場合、均斉度は１６％であった。   In the present embodiment, as shown in FIG. 8, a louver body 135A having a size of 110 mm in height, 10 mm in width, and 1000 mm in length is employed for the outer shell 135-1. In this case, as shown in FIG. 6 and FIG. 11, the uniformity of the illuminance distribution was measured for an ultraviolet irradiation device configured by juxtaposing four ultraviolet irradiation units 10A. The measurement result of the uniformity of the illuminance distribution is shown in the graph of FIG. As is apparent from this graph, it was confirmed that the uniformity of the illuminance distribution was the best when the opening angle θ of each louver body 135A of the shutter device 135 was 15 °. The uniformity at that time was 8%. On the other hand, in the case of the conventional device in which the shutter device 135 is not installed, the uniformity is 16%.

尚、本発明の紫外線照射装置では、ルーバー体１３５の構造は特に限定されず、軸心の周りに回転可能で、かつ、回転させることで主反射体１３２の下面開口部を閉塞できる形状で、かつ回転によって反射特性が変化する形状のものを採用することができ、例えば、楕円断面形状のものを採用することができる。   In the ultraviolet irradiation device of the present invention, the structure of the louver body 135 is not particularly limited, and can be rotated around the axis and can be closed to close the lower surface opening of the main reflector 132. In addition, it is possible to adopt a shape whose reflection characteristics change with rotation, for example, an elliptical cross-sectional shape.

（第３の実施の形態）図１３〜図１８を用いて、本発明の第３の実施の形態の紫外線照射装置２０について説明する。図１３、図１４に示したように本実施の形態の紫外線照射装置２０は、処理室２１内の所定位置に置かれている被照射体に紫外線照射処理をするために処理室２１の上に複数体の紫外線照射ユニット２０Ａを並べて設置した構成である。   (Third Embodiment) An ultraviolet irradiation apparatus 20 according to a third embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. As shown in FIGS. 13 and 14, the ultraviolet irradiation apparatus 20 according to the present embodiment is disposed on the processing chamber 21 in order to perform the ultraviolet irradiation processing on the irradiated object placed at a predetermined position in the processing chamber 21. A plurality of ultraviolet irradiation units 20A are arranged side by side.

図１５に示したように、各紫外線照射ユニット２０Ａは、下方が開口するランプハウス１４０の内部に複数本、本実施の形態では４本のエキシマ放電ランプ１４１を配置してある。このエキシマ放電ランプ１４１には、ランプハウス１４０内でエキシマ放電ランプ１４１の側方及び上方を覆い、当該放電ランプ１４１からの紫外線をほぼ平行光線にして下方に反射させるように半円形断面の反射面を持ち、１７２ｎｍの紫外線に対する反射率５０％の反射特性を持つＳＵＳ製の反射板兼外面電極１４２が設置してある。本実施の形態の特徴である補助反射板１４３が、ランプハウス１４０の下面開口部の両縁にランプ１４１の軸方向に平行に設置してある。１４４はランプハウス１４０の下面開口部に設けられた窓材である。   As shown in FIG. 15, each ultraviolet irradiation unit 20 </ b> A has a plurality of excimer discharge lamps 141 arranged in the lamp house 140 that is open at the bottom, and four excimer discharge lamps 141 in this embodiment. The excimer discharge lamp 141 has a semicircular cross-section reflecting surface that covers the side and upper side of the excimer discharge lamp 141 in the lamp house 140 and reflects the ultraviolet rays from the discharge lamp 141 into substantially parallel rays and reflects them downward. And a SUS reflector / outer surface electrode 142 having a reflection characteristic of 50% reflectivity with respect to ultraviolet rays of 172 nm. The auxiliary reflector 143, which is a feature of the present embodiment, is installed in parallel to the axial direction of the lamp 141 on both edges of the lower surface opening of the lamp house 140. Reference numeral 144 denotes a window member provided at the lower surface opening of the lamp house 140.

エキシマ放電ランプ１４１は、１７２ｎｍの単一波長の紫外線を放射する誘電体バリア放電を利用した誘電体バリア放電ランプであり、ランプ容器内にキセノンガスを封入し、上述した外面電極１４２をランプ容器の外面に設置したものである。   The excimer discharge lamp 141 is a dielectric barrier discharge lamp using a dielectric barrier discharge that emits ultraviolet light having a single wavelength of 172 nm. The xenon gas is sealed in the lamp container, and the outer electrode 142 described above is disposed in the lamp container. Installed on the outside.

図１６に示したように、補助反射板１４３は、１７２ｎｍの紫外線に対して正反射率５０％以上の特性を持つ高輝度アルミニウム材で菱形に形成した外殻１４３Ａとその中心に挿通した回転心棒１４３Ｂにより構成されていて、ランプ軸方向の両端においてランプハウス１４０の側面にて回転可能に支持されている。補助反射板１４３は、回転心棒１４３Ｂを回転させることで所定の傾き角度に保つことができる。図１６には、実施例として、用いるエキシマ放電ランプ１４１のランプ長が４００ｍｍであるときの寸法が示してあり、外殻１４３Ａの長さが４００ｍｍ、長い方の対角線の長さ（高さ）３ｍｍ、回転心棒１４３Ｂの径は１．５ｍｍφ、長さは５００ｍｍである。   As shown in FIG. 16, the auxiliary reflector 143 includes an outer shell 143A formed in a rhombus shape with a high-luminance aluminum material having a specular reflectance of 50% or more with respect to 172 nm ultraviolet rays, and a rotating mandrel inserted through the center thereof. 143B, and is rotatably supported by the side surface of the lamp house 140 at both ends in the lamp axis direction. The auxiliary reflector 143 can be maintained at a predetermined inclination angle by rotating the rotating mandrel 143B. FIG. 16 shows, as an example, dimensions when the excimer discharge lamp 141 used has a lamp length of 400 mm, the outer shell 143A has a length of 400 mm, and the longer diagonal length (height) of 3 mm. The diameter of the rotating mandrel 143B is 1.5 mmφ and the length is 500 mm.

図１７に示したように、各補助反射板１４３は、回転心棒１４３Ｂを回転させることで任意の傾き角度の姿勢を保つことができ、被照射体（図示せず）の被照射面（水平面）の法線Ｌ１と当該補助反射板１４３の菱形の外殻１４３Ａの長い方の対角線Ｌ２とのなす角度θを調整することができる。   As shown in FIG. 17, each auxiliary reflector 143 can maintain the posture of an arbitrary inclination angle by rotating the rotating mandrel 143 </ b> B, and the irradiated surface (horizontal plane) of the irradiated body (not shown). The angle θ between the normal line L1 and the longer diagonal line L2 of the rhomboid outer shell 143A of the auxiliary reflector 143 can be adjusted.

次に、上記構成の紫外線照射装置２０による紫外線照射動作について説明する。誘電体バリア放電ランプはバッチ点灯点滅制御ができ、瞬時に点灯できるので、シャッターを必要とせず、必要な時に点灯させて被照射体に対して紫外線照射することができる。そこで、補助反射板１４３を適宜の傾き角度θにした状態で、紫外線照射を開始する。これにより、各エキシマ放電ランプ１４１から下側に放射される紫外線は下方に向かい、ランプハウス１４０の側部に広がった光も補助反射板１４３にて反射されて中央側に戻されてさらに下方に向かい、ランプハウス１４０から下方へ出て被照射体に照射される。   Next, the ultraviolet irradiation operation by the ultraviolet irradiation apparatus 20 having the above configuration will be described. Since the dielectric barrier discharge lamp can be controlled to be turned on and off in a batch and can be turned on instantaneously, it does not require a shutter and can be turned on when necessary to irradiate the irradiated object with ultraviolet rays. Therefore, ultraviolet irradiation is started with the auxiliary reflector 143 at an appropriate tilt angle θ. As a result, the ultraviolet rays radiated downward from each excimer discharge lamp 141 are directed downward, and the light spread on the side of the lamp house 140 is also reflected by the auxiliary reflector 143 and returned to the central side, and further downward. Opposite, exits from the lamp house 140 and irradiates the irradiated object.

この補助反射板１４３によって反射する際に、紫外線はその傾き角度θに応じて反射方向が異なるので、傾き角度θを変更しながら被照射体の被照射面上の照度分布を計測することでその均斉度が一様になるように傾き角度θを調整することができる。   When reflected by the auxiliary reflector 143, the reflection direction of ultraviolet rays varies depending on the inclination angle θ, and thus the illuminance distribution on the irradiated surface of the irradiated object is measured by changing the inclination angle θ. The tilt angle θ can be adjusted so that the uniformity is uniform.

本実施の形態では、図１３、図１４に示したように、４体の紫外線照射ユニット２０Ａを並置して構成した紫外線照射装置について照度分布の均斉度を測定した。この照度分布の均斉度の測定結果を図１８のグラフに示してある。このグラフから明らかなように、補助反射板１４３の傾き角度θ＝１５°の時に照度分布の均斉度がいちばん良好になることが確認できた。そしてその時の均斉度は８％であった。これに対して、補助反射板を設置しない構造の場合、均斉度は３２％であった。   In this embodiment, as shown in FIGS. 13 and 14, the uniformity of the illuminance distribution was measured for an ultraviolet irradiation apparatus configured by juxtaposing four ultraviolet irradiation units 20A. The measurement result of the uniformity of the illuminance distribution is shown in the graph of FIG. As is clear from this graph, it was confirmed that the uniformity of the illuminance distribution was the best when the tilt angle θ of the auxiliary reflector 143 was 15 °. The uniformity at that time was 8%. On the other hand, in the case of a structure in which no auxiliary reflector is installed, the uniformity is 32%.

尚、本発明の紫外線照射装置では、補助反射板１４３の構造は特に限定されず、軸心の周りに回転可能で、かつ、回転させることで反射特性が変化する形状のものを採用することができ、例えば、楕円断面形状のものを採用することができる。   In addition, in the ultraviolet irradiation device of the present invention, the structure of the auxiliary reflector 143 is not particularly limited, and it is possible to adopt a shape that can be rotated around the axis and whose reflection characteristics are changed by the rotation. For example, the thing of elliptical cross-sectional shape is employable.

本発明の第１の実施の形態の紫外線照射ユニットの断面図。Sectional drawing of the ultraviolet irradiation unit of the 1st Embodiment of this invention. 上記実施の形態における紫外線照射ユニットにおけるルーバー体の斜視図。The perspective view of the louver body in the ultraviolet irradiation unit in the said embodiment. 上記実施の形態におけるルーバー体の作用説明図。Action | operation explanatory drawing of the louver body in the said embodiment. 上記実施の形態の紫外線照射ユニットを４体用いた紫外線照射装置の斜視図。The perspective view of the ultraviolet irradiation device using four ultraviolet irradiation units of the said embodiment. 上記実施の形態におけるルーバー体の開き角度θと紫外線照度分布の均斉度との関係を示すグラフ。The graph which shows the relationship between the opening angle (theta) of the louver body in the said embodiment, and the uniformity degree of ultraviolet illuminance distribution. 本発明の第２の実施の形態の紫外線照射装置の斜視図。The perspective view of the ultraviolet irradiation device of the 2nd Embodiment of this invention. 上記実施の形態の紫外線照射装置を構成する紫外線照射ユニットの断面図。Sectional drawing of the ultraviolet irradiation unit which comprises the ultraviolet irradiation device of the said embodiment. 上記実施の形態における紫外線照射ユニットにおけるシャッター装置に用いられるルーバー体の斜視図。The perspective view of the louver body used for the shutter apparatus in the ultraviolet irradiation unit in the said embodiment. 上記実施の形態におけるシャッター装置の作用説明図。Action | operation explanatory drawing of the shutter apparatus in the said embodiment. 上記実施の形態において紫外線放射を遮断するためにシャッター装置を閉じた状態の断面図及び紫外線照射のためにシャッター装置を開いた状態の断面図。Sectional drawing of the state which closed the shutter apparatus in order to interrupt | block ultraviolet radiation in the said embodiment, and sectional drawing of the state which opened the shutter apparatus for ultraviolet irradiation. 上記実施の形態の紫外線照射装置において紫外線放射を遮断するために各シャッター装置を閉じた状態の断面図及び紫外線照射のためにシャッター装置を開いた状態の断面図。Sectional drawing of the state which closed each shutter apparatus in order to interrupt | block ultraviolet radiation in the ultraviolet irradiation device of the said embodiment, and sectional drawing of the state which opened the shutter apparatus for ultraviolet irradiation. 上記実施の形態におけるシャッター装置の開き角度θと紫外線照度分布の均斉度との関係を示すグラフ。The graph which shows the relationship between the opening angle (theta) of the shutter apparatus in the said embodiment, and the uniformity degree of ultraviolet illuminance distribution. 本発明の第３の実施の形態の紫外線照射装置の斜視図。The perspective view of the ultraviolet irradiation device of the 3rd Embodiment of this invention. 上記実施の形態の紫外線照射装置の断面図。Sectional drawing of the ultraviolet irradiation device of the said embodiment. 上記実施の形態の紫外線照射装置を構成する紫外線照射ユニットの断面図。Sectional drawing of the ultraviolet irradiation unit which comprises the ultraviolet irradiation device of the said embodiment. 上記実施の形態における補助反射板の斜視図。The perspective view of the auxiliary reflector in the said embodiment. 上記実施の形態における補助反射板の作用説明図。Explanatory drawing of an effect | action of the auxiliary reflecting plate in the said embodiment. 上記実施の形態における補助反射板の傾き角度θと紫外線照度分布の均斉度との関係を示すグラフ。The graph which shows the relationship between inclination-angle (theta) of the auxiliary | assistant reflecting plate in the said embodiment, and the uniformity degree of ultraviolet illuminance distribution.

符号の説明Explanation of symbols

１ 紫外線照射ユニット
２ 紫外線照射装置
１０ 紫外線照射装置
１０Ａ 紫外線照射ユニット
１１ 処理室
２０ 紫外線照射装置
２０Ａ 紫外線照射ユニット
２１ 処理室
１１０ ランプハウス
１１１ 紫外線放電ランプ
１１２ 主反射体
１１３ 下面開口部
１１４ メッシュ
１１５ ルーバー体
１１５Ａ 外殻
１１５Ｂ 回転心棒
１２１ マグネトロン
１２２ 導波管 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Ultraviolet irradiation unit 2 Ultraviolet irradiation apparatus 10 Ultraviolet irradiation apparatus 10A Ultraviolet irradiation unit 11 Processing chamber 20 Ultraviolet irradiation apparatus 20A Ultraviolet irradiation unit 21 Processing chamber 110 Lamp house 111 Ultraviolet discharge lamp 112 Main reflector 113 Lower surface opening 114 Mesh 115 Louver body 115A Outer shell 115B Rotating mandrel 121 Magnetron 122 Waveguide

Claims (3)

長尺管状の放電ランプと、
前記放電ランプを収容し、当該放電ランプの放射する紫外線を下面開口から下方の被照射体に向けて出射させるランプハウスと、
前記放電ランプから出射される光の照度を調整する光学機構とを備えた紫外線照射ユニットであって、
前記光学機構は、軸周りの回転によって散乱特性が変化する反射面を有するルーバー体を複数体並置したルーバー装置で構成されていることを特徴とする紫外線照射ユニット。 A long tubular discharge lamp;
A lamp house that houses the discharge lamp and emits ultraviolet rays emitted from the discharge lamp toward a lower irradiated body from a lower surface opening;
An ultraviolet irradiation unit comprising an optical mechanism for adjusting the illuminance of light emitted from the discharge lamp,
The ultraviolet irradiation unit characterized in that the optical mechanism is composed of a louver device in which a plurality of louver bodies having reflecting surfaces whose scattering characteristics are changed by rotation around an axis are juxtaposed. 前記ルーバー体は、菱形断面形状の反射面を持つ外殻と、前記外殻の中心部に挿通された回転心棒で構成されていることを特徴とする請求項１に記載の紫外線照射ユニット。   2. The ultraviolet irradiation unit according to claim 1, wherein the louver body includes an outer shell having a reflecting surface having a rhombic cross-sectional shape, and a rotating mandrel inserted through a central portion of the outer shell. 前記ルーバー体は、その水平状態で前記ランプハウスから被照射体に向けて出射する光を遮断できる数だけ並置されていることを特徴とする請求項２に記載の紫外線照射ユニット。   3. The ultraviolet irradiation unit according to claim 2, wherein the louver bodies are juxtaposed in the horizontal state as many as the number of the louver bodies that can block the light emitted from the lamp house toward the irradiated body.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012037328A (en) * 2010-08-05 2012-02-23 Dainippon Printing Co Ltd Ultraviolet irradiation apparatus and inspection system
JP2012181997A (en) * 2011-03-01 2012-09-20 Ushio Inc Light irradiation device
JP2017216146A (en) * 2016-05-31 2017-12-07 東芝ライテック株式会社 Long arc type ultraviolet lamp and irradiation device

Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6314665Y2 (en) * 1982-08-06 1988-04-25
JPH0332942A (en) * 1989-06-22 1991-02-13 Keiper Recaro Gmbh & Co Rotary joint for vehicle seat, especially for automobile seat
JPH06168610A (en) * 1992-11-30 1994-06-14 Mitsubishi Electric Corp Indoor luminaire
JPH06291023A (en) * 1993-04-06 1994-10-18 Nec Corp Exposure-light projection device
JPH10165885A (en) * 1996-12-13 1998-06-23 Nec Corp Photoirradiation apparatus
JP2005017501A (en) * 2003-06-24 2005-01-20 Seiko Epson Corp Lighting system, projection type display and the method of driving the same
JP2006337858A (en) * 2005-06-03 2006-12-14 Fujifilm Holdings Corp Optical modulation element array
JP2007323927A (en) * 2006-05-31 2007-12-13 Koizumi Furnitech Corp Desk-top lighting fixture
JP2011014934A (en) * 2004-12-28 2011-01-20 Asml Holding Nv Method of calculating intensity integral

Patent Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6314665Y2 (en) * 1982-08-06 1988-04-25
JPH0332942A (en) * 1989-06-22 1991-02-13 Keiper Recaro Gmbh & Co Rotary joint for vehicle seat, especially for automobile seat
JPH06168610A (en) * 1992-11-30 1994-06-14 Mitsubishi Electric Corp Indoor luminaire
JPH06291023A (en) * 1993-04-06 1994-10-18 Nec Corp Exposure-light projection device
JPH10165885A (en) * 1996-12-13 1998-06-23 Nec Corp Photoirradiation apparatus
JP2005017501A (en) * 2003-06-24 2005-01-20 Seiko Epson Corp Lighting system, projection type display and the method of driving the same
JP2011014934A (en) * 2004-12-28 2011-01-20 Asml Holding Nv Method of calculating intensity integral
JP2006337858A (en) * 2005-06-03 2006-12-14 Fujifilm Holdings Corp Optical modulation element array
JP2007323927A (en) * 2006-05-31 2007-12-13 Koizumi Furnitech Corp Desk-top lighting fixture

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012037328A (en) * 2010-08-05 2012-02-23 Dainippon Printing Co Ltd Ultraviolet irradiation apparatus and inspection system
JP2012181997A (en) * 2011-03-01 2012-09-20 Ushio Inc Light irradiation device
JP2017216146A (en) * 2016-05-31 2017-12-07 東芝ライテック株式会社 Long arc type ultraviolet lamp and irradiation device

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