JP2009005023A - 音叉型振動子、発振器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明に係る音叉型振動子は、(a)各々が第1方向へ向けて配置された第1面(11a,13a)と当該第1面と対向配置された第2面(11b,13b)とを有し、上記第1方向と交差する第2方向に沿って配列された複数の腕部(11,13)と、(b)上記複数の腕部の各々の上記第1面上に1個ずつ設けられた圧電体素子(15,17)と、(c)上記複数の腕部のそれぞれの一端を連結する基部と、(d)上記複数の腕部の各々の上記第2面上に設けられた無機膜(31,33)と、を含む。そして、上記複数の腕部及び上記基部は、水晶で構成される。上記圧電体素子の各々は、上記第1面上に配置された下部電極膜(15a,17a)と、当該下部電極膜上に配置された圧電体膜(15b,17b)と、当該圧電体膜上に配置された上部電極膜(15c,17c)と、を含む。
【選択図】図4
Description
上部電極膜15cと上部電極膜17cとは、接続部21cを介して相互に電気的に接続されている。本実施形態では、これらの上部電極膜15c、17cと接続部21cとは一体に形成される。下部電極膜16aは、接続部22aおよびプラグ(接続片)23を介して接続部21cと電気的に接続されている。これらにより、上部電極膜15c、17cと下部電極膜16aとの相互間が電気的に接続される。また、接続部21cは、電極パッド24と電気的に接続されている。この電極パッド24を通じて、上部電極膜15c、17cおよび下部電極膜16aに対して電気信号を供給することができる。
Claims (6)
- 各々が第1方向へ向けて配置された第1面と当該第1面と対向配置された第2面とを有し、前記第1方向と交差する第2方向に沿って配列された複数の腕部と、
前記腕部の各々の前記第1面上に1個ずつ設けられた圧電体素子と、
前記腕部の一端を連結する基部と、
前記腕部の各々の前記第2面上に設けられた無機膜と、
を含み、
前記腕部及び前記基部は、水晶で構成され、
前記圧電体素子の各々は、前記第1面上に配置された下部電極膜と、当該下部電極膜上に配置された圧電体膜と、当該圧電体膜上に配置された上部電極膜と、を含む、
音叉型振動子。 - 前記無機膜が酸化硅素膜である、
請求項1に記載の音叉型振動子。 - 前記水晶がXカット板である、
請求項1又は2に記載の音叉型振動子。 - 前記圧電体膜がZnO、AlN、PZT、LiNbO3又はKNbO3の何れかを含む膜である、
請求項1乃至3の何れか1項に記載の音叉型振動子。 - 前記圧電体膜と前記上部電極膜との間に配置された絶縁膜、
を更に含む、請求項1乃至4の何れか1項に記載の音叉型振動子。 - 請求項1乃至5の何れか1項に記載の音叉型振動子と、
前記音叉型振動子と接続されたインバータと、
を含む、発振器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007163084A JP5067034B2 (ja) | 2007-06-20 | 2007-06-20 | 音叉型振動子、発振器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007163084A JP5067034B2 (ja) | 2007-06-20 | 2007-06-20 | 音叉型振動子、発振器 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
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JP2009005023A true JP2009005023A (ja) | 2009-01-08 |
JP2009005023A5 JP2009005023A5 (ja) | 2010-07-29 |
JP5067034B2 JP5067034B2 (ja) | 2012-11-07 |
Family
ID=40320938
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2007163084A Expired - Fee Related JP5067034B2 (ja) | 2007-06-20 | 2007-06-20 | 音叉型振動子、発振器 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP5067034B2 (ja) |
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