JP5067033B2 - 音叉型振動子、発振器 - Google Patents
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Description
また、本発明に係る第1の態様の音叉型振動子は、(a)各々が第1方向へ向けて配置された第1面を有し、上記第1方向と交差する第2方向に沿って配列された3個の腕部と、(b)上記腕部の各々の上記第1面上に1個ずつ設けられた圧電体素子と、(c)上記腕部の一端を連結する基部と、を含む。そして、上記圧電体素子の各々は、上記第1面上に配置された下部電極膜と、当該下部電極膜上に配置された圧電体膜と、当該圧電体膜上に配置された上部電極膜と、を含む。これらの圧電体素子のうち、外側に配置された上記腕部に設けられた上記圧電体素子の上記下部電極膜と、内側に配置された上記腕部に設けられた上記圧電体素子の上記上部電極膜と、が相互に電気的に接続され、かつ、外側に配置された上記腕部に設けられた上記圧電体素子の上記上部電極膜と、内側に配置された上記腕部に設けられた上記圧電体素子の上記下部電極膜と、が相互に電気的に接続される。
また、この水晶はXカット板であることが望ましい。
また、圧電体膜としては、例えばZnO、AlN、PZT、LiNbO3又はKNbO3の何れかを含む膜を用いることができる。
また、上記圧電体膜と上記上部電極膜との間に配置された絶縁膜、を更に含むことも好ましい。
これらによる作用効果は上記した第1の態様の音叉型振動子における場合と同様であり、ここでは説明を省略する。
上部電極膜15cと上部電極膜17cとは、接続部21cを介して相互に電気的に接続されている。本実施形態では、これらの上部電極膜15c、17cと接続部21cとは一体に形成される。下部電極膜16aは、接続部22aおよびプラグ(接続片)23を介して接続部21cと電気的に接続されている。これらにより、上部電極膜15c、17cと下部電極膜16aとの相互間が電気的に接続される。また、接続部21cは、電極パッド24と電気的に接続されている。この電極パッド24を通じて、上部電極膜15c、17cおよび下部電極膜16aに対して電気信号を供給することができる。
Claims (8)
- 第1面を有し、3以上の奇数本が配列された腕部と、
前記腕部の各々の前記第1面上に設けられた圧電体素子と、
前記腕部の一端を互いに連結した基部と、を含み、
前記圧電体素子は、前記第1面上に設けられた第1電極膜と、前記第1電極膜上方に設けられた第2電極膜と、前記第1電極膜と前記第2電極膜との間に配置された圧電体膜および絶縁膜と、を含んだ積層構造体であり、且つ、前記絶縁膜が、前記第1電極膜の全体を覆うように配置され、
前記腕部のうち、端から数えて奇数番目に配置された前記腕部を第1腕部とし、偶数番目に配置された前記腕部を第2腕部としたときに、前記第1腕部の前記第1電極膜と、前記第2腕部の前記第2電極膜と、が相互に電気的に接続され、
かつ、前記第1腕部の前記第2電極膜と、前記第2腕部の前記第1電極膜と、が相互に電気的に接続されたことを特徴とする音叉型振動子。 - 前記絶縁膜の膜厚は、50nm以上であり、500nm以下であることを特徴とする、請求項1に記載の音叉型振動子。
- 前記腕部及び前記基部が水晶で構成されたことを特徴とする、請求項1または2に記載の音叉型振動子。
- 前記水晶がXカット板であることを特徴とする、請求項3に記載の音叉型振動子。
- 前記腕部及び前記基部が半導体で構成されたことを特徴とする、請求項1または2に記載の音叉型振動子。
- 前記圧電体膜がZnO、AlN、PZT、LiNbO3およびKNbO3の何れかを含む膜であることを特徴とする、請求項1乃至5の何れか1項に記載の音叉型振動子。
- 前記腕部は3本であることを特徴とする、請求項1乃至6の何れか一項に記載の音叉型振動子。
- 請求項1乃至請求項7の何れか1項に記載の音叉型振動子と、
前記音叉型振動子と接続されたインバータと、
を含む、発振器。
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JPH085382A (ja) * | 1994-06-23 | 1996-01-12 | Nippondenso Co Ltd | 角速度センサ |
JPH11257965A (ja) * | 1998-03-09 | 1999-09-24 | Hitachi Ltd | 角速度検出センサ |
JP2003051732A (ja) * | 2001-08-08 | 2003-02-21 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電共振子、フィルタおよび電子通信機器 |
JP4862639B2 (ja) * | 2001-10-31 | 2012-01-25 | 有限会社ピエデック技術研究所 | 水晶振動子とその製造方法と水晶ユニットの製造方法 |
JP3896585B2 (ja) * | 2001-12-18 | 2007-03-22 | 株式会社大真空 | 音叉型圧電振動子 |
JP2004251663A (ja) * | 2003-02-18 | 2004-09-09 | Fujitsu Media Device Kk | 角速度センサ |
JP2005249646A (ja) * | 2004-03-05 | 2005-09-15 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 角速度センサ用音叉型振動子、この振動子を用いた角速度センサ及びこの角速度センサを用いた自動車 |
JP2007096900A (ja) * | 2005-09-29 | 2007-04-12 | Seiko Epson Corp | 圧電振動片および圧電デバイス |
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