JP2008532765A - スパッタリングターゲットおよびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (59)
- 金属板を所望厚さになるまでクロック圧延して圧延板とする工程を含む金属の処理方法。
- 請求項1記載の方法において、上記クロック圧延に供する上記金属板は、ビレットを鍛造して得ることを特徴とする方法。
- 請求項1記載の方法において、上記金属板が円形であることを特徴とする方法。
- 請求項2記載の方法において、上記ビレットは、金属インゴットを所望の直径まで押出しまたはスエージングして押出しまたはスエージインゴットとし、更に任意に、該押出しまたはスエージインゴットを切断することにより得ることを特徴とする方法。
- 請求項4記載の方法において、上記金属インゴットは出発直径が約7インチ以上であり、上記ビレットは直径が約3インチ〜約6インチであることを特徴とする方法。
- 請求項1記載の方法において、上記圧延板を焼鈍する工程を更に含む方法。
- 請求項4記載の方法において、上記押出しまたはスエージインゴットを焼鈍する工程を更に含むことを特徴とする方法。
- 請求項1記載の方法において、上記クロック圧延を、各圧延パス後に100°〜170°回転させて行なうことを特徴とする方法。
- 請求項1記載の方法において、個々のクロック圧延を、各圧延パス後に約120°回転させて行なうことを特徴とする方法。
- 請求項1記載の方法において、上記圧延板を焼鈍する工程を更に含み、上記方法の前には焼鈍を行なわないことを特徴とする方法。
- 請求項1記載の方法において、上記方法により上記圧延板に3.0以上の真歪み圧下を付与することを特徴とする方法。
- 請求項1記載の方法において、上記方法により上記圧延板に4.0以上の真歪み圧下を付与することを特徴とする方法。
- 請求項1記載の方法において、上記方法により上記圧延板に約3.0〜約6.0の真歪み圧下を付与することを特徴とする方法。
- 請求項4記載の方法において、上記押出しまたはスエージインゴットに付与する真歪みが約0.5〜約2.0であることを特徴とする方法。
- 請求項4記載の方法において、上記ビレットはビレット直径に対するビレット長の比が約3以下であることを特徴とする方法。
- 請求項2記載の方法において、上記鍛造が軸鍛造であることを特徴とする方法。
- 請求項16記載の方法において、上記軸鍛造により約0.75〜約2.0の真歪みを付与することを特徴とする方法。
- 請求項1記載の方法において、上記クロック圧延は、上記金属板の一方の面をクロック圧延する工程と、次いで該金属板の他方の面をクロック圧延する工程とを含むことを特徴とする方法。
- 請求項18記載の方法において、上記一方の面および上記他方の面のクロック圧延は、圧延パス回数が同じかほぼ同じであることを特徴とする方法。
- 請求項1記載の方法において、上記圧延パスにより約0.02〜約2.0の真歪みを付与することを特徴とする方法。
- 請求項1記載の方法において、上記クロック圧延により約1.0〜約2.0の真歪みを付与することを特徴とする方法。
- 請求項1記載の方法において、圧延パス回数が3以上であることを特徴とする方法。
- 請求項1記載の方法において、圧延パス回数が6以上であることを特徴とする方法。
- 金属板の耳発生を低減または制御する方法であって、該金属板に2パス以上のクロック圧延を行なうことを特徴とする方法。
- 請求項4記載の方法において、上記インゴットは出発直径が約10〜14インチであることを特徴とする方法。
- 請求項1記載の方法において、上記金属板がタンタル板であることを特徴とする方法。
- 請求項1記載の方法において、上記圧延板がスパッタリングターゲットであることを特徴とする方法。
- 円形金属部材を作製する方法であって、円柱形の金属インゴットを、該円柱形を維持しつつ処理する工程を含むことを特徴とする方法。
- 金属部材の面内のどの方向にも等方的に変形するBCC金属部材。
- 請求項29記載のBCC金属部材において、円板であることを特徴とするBCC金属部材。
- 請求項29記載のBCC金属部材において、スパッタリングターゲットの円板であることを特徴とするBCC金属部材。
- 請求項29記載のBCC金属部材において、タンタル部材であることを特徴とするBCC金属部材。
- 請求項29記載のBCC金属部材において、ニオブ部材であることを特徴とするBCC金属部材。
- 1つの軸に対して軸対称集合組織を備えたBCC金属板。
- 図3に示す極点図を備えたBCC金属板。
- 請求項34記載のBCC金属板において、上記軸が<111>結晶軸である主集合組織を有することを特徴とするBCC金属板。
- 請求項34記載のBCC金属板において、上記軸が<100>結晶軸である主集合組織を有することを特徴とするBCC金属板。
- 請求項34記載のBCC金属板において、タンタル板であることを特徴とするBCC金属板。
- 請求項34記載のBCC金属板において、ニオブ板であることを特徴とするBCC金属板。
- 請求項34記載のBCC金属板において、BCC金属スパッタリングターゲットであることを特徴とするBCC金属板。
- 請求項40記載のBCC金属板において、裏当て板を取り付けたBCC金属スパッタリングターゲットであることを特徴とするBCC金属板。
- 請求項40記載のBCC金属板において、タンタル板であることを特徴とするBCC金属板。
- 請求項40記載のBCC金属板において、ニオブ板であることを特徴とするBCC金属板。
- 1次集合組織を備えた金属部材であって、該主集合組織に対して不整合または不均一な集合組織バンドの面積が0.5%未満であることを特徴とする金属部材。
- 請求項44記載の金属部材において、BCC金属部材であることを特徴とする金属部材。
- 請求項44記載の金属部材において、タンタル部材、ニオブ部材、またはタンタル、ニオブまたはこれら両方を含有する合金部材であることを特徴とする金属部材。
- 請求項40記載のBCC金属板において、
a)純度95%以上、
b)平均結晶粒径150μm以下
の少なくともいずれか一方を備えていることを特徴とするBCC金属板。 - 請求項46記載の金属部材において、上記主集合組織が(111)主集合組織であることを特徴とする金属部材。
- 請求項48記載の金属部材において、上記集合組織バンドの面積が(100)集合組織バンドに対するものであることを特徴とする金属部材。
- 請求項46記載の金属部材において、均一な(111):(100)混合集合組織を供えていることを特徴とする金属部材。
- 請求項46記載の金属部材において、スパッタリングターゲット用ブランク材であることを特徴とする金属部材。
- 請求項46記載の金属部材において、裏当て板を接合したスパッタリングターゲットであることを特徴とする金属部材。
- 請求項46記載の金属部材において、板、ビレット、ロッド、またはディスクであることを特徴とする金属部材。
- 請求項46記載の金属部材において、バンド領域が0.1%以上、0.5%未満であることを特徴とする金属部材。
- 請求項46記載の金属部材において、バンド領域が0.1〜0.4%であることを特徴とする金属部材。
- 請求項46記載の金属部材において、バンド領域が0.1〜0.25%であることを特徴とする金属部材。
- 請求項46記載の金属部材において、タンタル部材であることを特徴とする金属部材。
- 請求項57記載の金属部材において、上記タンタル部材がスパッタリングターゲット用ブランク材であることを特徴とする金属部材。
- 請求項57記載の金属部材において、上記タンタル部材が裏当て板を接合したスパッタリングターゲットであることを特徴とする金属部材。
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