JP2008524565A - 座標測定装置ならびに座標測定装置を用いて測定する方法 - Google Patents
座標測定装置ならびに座標測定装置を用いて測定する方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008524565A JP2008524565A JP2007545955A JP2007545955A JP2008524565A JP 2008524565 A JP2008524565 A JP 2008524565A JP 2007545955 A JP2007545955 A JP 2007545955A JP 2007545955 A JP2007545955 A JP 2007545955A JP 2008524565 A JP2008524565 A JP 2008524565A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sensor
- coordinate measuring
- measuring device
- image
- measurement
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
- G01B11/03—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness by measuring coordinates of points
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/24—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
- G01B11/245—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures using a plurality of fixed, simultaneously operating transducers
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B21/00—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant
- G01B21/02—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness
- G01B21/04—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness by measuring coordinates of points
- G01B21/045—Correction of measurements
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B5/00—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
- G01B5/0011—Arrangements for eliminating or compensation of measuring errors due to temperature or weight
- G01B5/0014—Arrangements for eliminating or compensation of measuring errors due to temperature or weight due to temperature
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
Abstract
【解決手段】本発明は座標測定装置(10)を用いて加工物の幾何形状を測定する方法およびこの装置自体に関する。本発明によれば、測定作業は異なる種類の装置を必要とすることなく最適に実行され、これにより関連作業に対して最適利用である1つまたは複数のセンサを使用できる。
【選択図】 図1
Description
座標測定装置における上述の照射デバイス特性の線形化に基づいて、測定対象物の照射が正しく提供されないために、様々な輝度の測定対象物が同じ照射設定を用いて問題なく測定できないという問題を解決することが可能である。これは、本発明による以下の処理ステップを実行することにより達成される。
輪郭の交点または円形構造または他の反復構造といった個々に記録される特徴に対して、所望の輪郭および実際の輪郭のグループにおける実際の輪郭と所望の輪郭と間の適合を実行することにより強化され、この結果、所望の輪郭を備える最適な有効範囲に対する実際の輪郭の変形を生成する。これはまた同様な方法で円筒形部品において可能であり、この場合、円筒表面上で測定される輪郭が円筒外被面上で部分的に回転されるまたはねじでクランプされることで、所望の輪郭と実際の輪郭との間の最適な有効範囲を生成する。この動作モードは特に、医療分野で一般化しているステントの測定に使用される。上述の方法はまた、同様の逆動作モードにおいて可能であり、すなわち、実際の幾何形状に所望の幾何形状を適合する。
Claims (134)
- 可動横軸を備え、および加工物の表面上の測定点を記録する1つまたは複数のセンサを有する座標測定装置を用いて加工物の幾何形状を測定する方法であって、
画像処理センサおよび/または切換走査システムおよび/または測定走査システムおよび/または前記画像処理センサに組み込まれたレーザ近接センサおよび/または別個のレーザ近接センサおよび/または白色光干渉計および/または触知/光センサデバイスを備え、
前記成形された走査要素の位置は、前記画像処理センサにより直接決定され、および/または点状の動作干渉計センサおよび/または一体の回転軸を有する点状の動作干渉計センサおよび/または湾曲した視野方向を有する点状の動作干渉計センサおよび/またはX線センサおよび/または色焦点センサおよび/または共焦点走査測定ヘッドが、前記センサとして設定され、
使用されるセンサの種類または数は、それぞれ個々の測定作業に対して設計される、方法。 - 1つまたは複数のセンサが、交換インタフェースに装着され、手動または自動で交換される、請求項1に記載の方法。
- 前記画像処理センサ用に選択されるカメラが、使用されるモニタまたは画像を表示するために使用されるモニタ断面部の解像度より高い解像度(ピクセル数)を有する、請求項1または2に記載の方法。
- 全体画像の特定断面部に場合によってアクセスできるカメラが使用される、少なくとも請求項3に記載の方法。
- 前記表示ウィンドウの大きさにまで拡大される、前記全体画像の1つの断面部だけは、前記座標測定装置の生の画像または観測される画像内に表示される、前記全ての請求項のいずれか1項に記載の方法。
- 前記測定対象物と前記モニタ画像との間の倍率は、ソフトウェアにより前記カメラ画像の前記選択された断面部を変更することにより制御され、および/または前記生の画像も前記同様の方法で表示される、前記全ての請求項のいずれか1項に記載の方法。
- 前記測定対象物とモニタ画像との間の倍率は、ソフトウェアによりカメラ画像の前記選択された断面部を変更することにより制御され、および/または前記生の画像も前記同様の方法で表示され、および前記断面部振幅の操作は、好ましくは回転ノブまたはソフトウェアコントローラにより実行される、前記全ての請求項のいずれか1項に記載の方法。
- 高解像度カメラを使用する場合、前記画像または画像断面部はモニタの低い解像度においてのみ表示されるが、前記カメラの最高解像度は、前記デジタル画像処理のためにバックグラウンドで利用される、前記全ての請求項のいずれか1項に記載の方法。
- 画像処理の前記結像光学系の実際の光学的倍率は比較的低く(通常1倍、しかし最大でも5倍)、高解像度の光学的効果は、前記低解像度のモニタ上の前記高解像度カメラ画像の1つの断面部のみの表示により達成される、前記全ての請求項のいずれか1項に記載の方法。
- 複数の、ただし少なくとも2つのカメラは、光学ビーム経路内にミラー系を介して組み込まれ、前記同一の結像対物レンズを利用する、前記全ての請求項のいずれか1項に記載の方法。
- レーザ近接センサがさらに組み込まれ、前記同一の結像対物レンズを同様に利用する、少なくとも請求項10に記載の方法。
- 異なるチップサイズおよび同一ピクセル数を備えるかまたは異なるピクセル数および同一チップサイズまたはこの両方を備える様々なカメラが使用される、前記全ての請求項のいずれか1項に記載の方法。
- 追加の拡大または追加の縮小要素が各カメラビーム経路内に組み込まれる、前記全ての請求項のいずれか1項に記載の方法。
- 前記それぞれのカメラビームに分割するために使用される光学スプリッタは、すべてのカメラが前記同一の光強度を受けるように設計される、請求項10ないし13のいずれかいずれか1項に記載の方法。
- 明視野ビーム経路が前記全体システムに追加して組み込まれる、請求項10ないし14のいずれか1項に記載の方法。
- 評価または表示範囲の解像度に対応する画像点の必要な数は、高解像度カメラにより記録された画像から再サンプリングして計算される、前記全ての請求項のいずれか1項に記載の方法。
- 前記測定点またはビデオ画像またはX線画像および前記対応する位置、ならびに前記座標測定装置の他の技術的パラメータは、前記座標測定装置の1つまたは複数のセンサを用いて記録および記憶され、この後の評価に利用される、前記全ての請求項のいずれか1項に記載の方法。
- 測定対象物の複数の部分的画像が、
前記画像処理センサを用いて個々に測定され、結合されて、前記全体測定対象物の全体画像または前記全体対象物の部分を生成し、
記憶され、
後に個別の評価コンピュータでの評価に利用される、少なくとも請求項17に記載の方法。 - 前記座標測定装置の移動位置および/または前記画像処理センサの画像および/または前記X線センサの画像および/または前記触知センサの走査点および/または前記レーザセンサの走査点および/または別の技術的パラメータを含む、全体的な測定シーケンスは、記憶およびこの後のコンピュータ操作において補正され、あるいは、前記測定装置自体の含まれる追加の評価によりおよび/または別個のコンピュータにおけるオフライン評価により補足される、請求項17または18に記載の方法。
- 前記カメラの視野は前記所望の評価範囲(画像処理ウィンドウ)を選択することにより、前記測定対象物の画定された領域を1回で記録するには不十分である場合に画像処理センサが使用されるときは、画像は複数の部分画像から生成され、この後測定画像としてユーザに示され、評価に利用される、前記全ての請求項のいずれか1項に記載の方法。
- 前記画像処理センサを用いて測定するとき、
1.前記測定目的物の存在が検出されるまで、センサ、特に画像処理センサを、直線、螺旋形、蛇行、円形、確率的または別の幾何形状の探索路全体にわたって、前記座標測定装置の前記測定範囲内で前記測定目的物を探索することと、
2.前記測定対象物の外側輪郭を走査する(前記測定対象物の外側輪郭の幾何形状および位置を記録するための輪郭追跡)ことと、
3.前記画像処理センサを用いるラスタリングまた他のセンサを用いる走査により、前記外側輪郭内に配置される前記測定点を場合によって記録することと、
の各ステップが順次実行される、前記全ての請求項のいずれか1項に記載の方法。 - 前記画像処理ビーム経路の前記照射デバイスの特性、すなわち、前記測定装置のオペレータインタフェースのデフォルト値における前記照射強度の依存性は、前記画像処理センサを用いて前記対応するデフォルト値で照射強度を測定することにより記録される、前記全ての請求項のいずれか1項に記載の方法。
- 前記特性は、様々な照射チャネルの光強度の制御を実行するライトボックスに記憶される、少なくとも請求項22に記載の方法。
- 前記座標測定装置の前記照射システムの光特性は、標準対象物または反射挙動に関して校正されている対象物について測定することにより、複数の装置に対して標準化され、この結果、これら装置間のプログラムの移動性が保証される、前記全ての請求項のいずれか1項に記載の方法。
- 前記以前に測定された光特性は、前記座標測定装置の動作の間の補正計算に対して、線形特性がオペレータに対して利用可能である(前記デフォルト値および照射強度はこの後線形な相互関係に従う)ように考慮に入れられる、前記全ての請求項のいずれか1項に記載の方法。
- 前記線形特性の向上は補正係数により複数の装置に対して平衡な状態をもたらす、前記全ての請求項のいずれか1項に記載の方法。
- 画像処理センサを備える前記座標測定装置の動作に対するプログラムの処理の間に、個々の位置を測定するとき、
a.前記照射源または前記プログラムに記憶された照射源の所定の強度を調整することと。
b.前記画像処理センサを用いて前記照射強度を測定し、この測定値が前記記憶された所望の値またはデフォルト値に一致するがどうかをチェックすることと、
c.前記所望値と実際値とのずれが一定量を超える場合、照射強度の前記デフォルト値は、前記照射システムの前記記録された特性に従って線形補正または補正され、これにより前記プログラムに記憶される前記所望の強度値を得るようにすることと、
d.前記所望の対象物特性を測定することと、
e.このシーケンスを前記プログラムの仕様に従って繰り返すことと、
の各ステップを実行する、前記全ての請求項のいずれか1項に記載の方法。 - 調整手順が実施された後に、前記光制御手順を実現する目的で、第1画像だけが前記強度を記録するために記録され、第2画像が測定を実行するために記録される、請求項27に記載の方法。
- 複数の特性設定が前記座標測定装置内に記憶され、この特性設定は他の座標測定装置の1つ上の前記座標測定装置の測定プログラムの処理のための別の類似の座標測定装置の挙動に一致する、請求項22ないし28のいずれか1項に記載の方法。
- 加工物表面の前記輪郭は1つおよび/または複数のセンサを用いて記録される、前記全ての請求項のいずれか1項に記載の方法。
- 所定の所望の輪郭に対する直接比較が、前記座標測定装置の前記1つまたは複数のセンサにより測定された前記輪郭を用いて実行される、請求項30に記載の方法。
- 所望の輪郭と実際の輪郭との間の自動的適合が、測定された実際の輪郭と所望の輪郭とのずれの評価の間になされる、前記全ての請求項のいずれか1項に記載の方法。
- 前記所望の輪郭と実際の輪郭との間の相対位置の変化とは別に、
曲率が維持される間において、前記輪郭断面部の長さは所望の長さに対応して変化し、および/または前記輪郭の曲率は、前記実際の輪郭の前記輪郭長さが維持される間に変化し、これにより、前記所望の輪郭と実際の輪郭との間の前記最適の適合の間に、最適有効範囲が前記所望の輪郭を用いて達成されるようにする、請求項31または32に記載の方法。 - 前記実際および所望の輪郭の間、または輪郭の交点または円形構造または他の反復構造といった個々に特徴付けられる、実際および所望の輪郭のグループの間の前記適合は実行され、これにより、前記所望の輪郭を備える最適な有効範囲を達成するために、前記実際の輪郭の変形が生成される、請求項30ないし33のいずれか1項に記載の方法。
- 円筒形外被表面に前記所望の輪郭を備える最適有効範囲を生成するために、前記実際の輪郭は部分的に回転されるかまたはねじでクランプされる、前記全ての請求項のいずれか1項に記載の方法。
- 前記所望または実際の輪郭に割当てられる許容差ゾーンは、前記所望の輪郭と実際の輪郭の間のずれの前記評価の間において評価される、前記全ての請求項のいずれか1項に記載の方法。
- 前記許容差ゾーンは、測定値許容差、形状許容差および位置許容差に関して、CAD図面などの図面の測定値データから自動的に計算される、前記全ての請求項のいずれか1項に記載の方法。
- 複数の許容差ゾーンは各所望または実際の輪郭セグメントに対して割り当てられる、前記全ての請求項のいずれか1項に記載の方法。
- 前記許容差ゾーンシステムに従って、複数の異なる位置、測定および/または幾何形状の許容差の状態が、グループに結合される複数の所望または実際の輪郭領域、および/または所望の完全な加工物の所望および実際の輪郭に関して、自動的に連続して評価される、前記全ての請求項のいずれか1項に記載の方法。
- 前記様々な所望/実際に輪郭の比較の最も不都合な結果は、各所望または実際の輪郭セグメントの前面にそれぞれの許容差ゾーンと共に表示される、前記全ての請求項のいずれか1項に記載の方法。
- 自動焦点測定点が、自動焦点モードにおいて画像処理センサにより複数の半透明層上の複数の評価範囲に対して同時に生成される、前記全ての請求項のいずれか1項に記載の方法。
- 1つまたは複数の輪郭線に沿った走査が、走査モードにおいてレーザ近接センサにより前記測定対象物上で実行される、前記全ての請求項のいずれか1項に記載の方法。
- 前記座標測定装置の位置制御回路が、
前記制御レーザ近接センサの偏向表示に依存して、前記レーザ近接センサの偏向が一定を維持し、および前記座標測定装置の軸は、この目的のために、前記レーザ近接センサの測定方向に垂直またはほぼ垂直に移動する、ように制御される、前記全ての請求項のいずれか1項に記載の方法。 - 前記座標測定装置を用いて、
a.前記測定対象物上またはこの対象物上に固定して割当てられた特定の球体における、1つまたは複数、好ましくは3つの参照マークの位置を測定することと、
b.前記座標測定装置の前記コンピュータにこの位置を記憶することと、
c.1つまたは複数のセンサによりアクセス可能である、前記測定対象物上の任意の所望の点を測定することと、
d.前記座標測定装置の測定容積内での前記測定対象物の前記位置を、手動であるいは例えば組み込まれた回転軸または回転ピボット軸によって変更することと、
e.前記参照マークを再度測定し、前記座標測定装置の前記測定容積内における前記参照マークの変更された位置を決定することと、
f.最小のずれが前記ソフトウェア内の前記参照マーク間に存在するように、それぞれの参照マークを内部で平衡させることと、
g.前記座標測定装置の1つまたは複数のセンサを用いて前記測定対象物上の別の点を測定することと、
h.任意の回数で上述の手順を繰り返すことと、
i.前記測定サイクルの間に記録される座標系内の前記測定対象物の前記すべての測定点を一緒にして評価することと、
の各ステップを実行する、前記全ての請求項のいずれか1項に記載の方法。 - 球体などの前記参照マークは1つのセンサにより測定され、および前記加工物に関する前記測定はこの他のセンサの1つにより実行される、少なくとも請求項44に記載の方法。
- 触知/光センサがセンサとして使用され、
前記触知/光センサでは、センサ走査球体などの成形された走査要素の前記位置決定は、前記画像処理センサを用いる測定によって直接実行され、
前記触知/光センサは、別のすでに存在する座標軸上の前記センサの調整軸(座標軸)を用いて位置決定され、
前記光ビーム経路に対する前記触知/光センサの相対移動は前記センサのそれぞれの位置において可能である、前記全ての請求項のいずれか1項に記載の方法。 - 前記触知センサの前記成形された走査要素の前記所望の球体または所望の円筒形などの前記所望の幾何形状からの前記ずれは、外部測定中心において高精度で記録され、前記座標測定装置を使用する場合には、これらのずれを用いて補正される、前記全ての請求項のいずれか1項に記載の方法。
- 前記成形された走査要素の理想的な所望の幾何形状からの前記実際の幾何形状のずれは、前記座標測定装置内の高精度に校正された標準についての測定により記録され、前記全ての請求項のいずれか1項に記載の方法。
- 様々なセンサまたは走査要素を交換するための交換用デバイスが設けられる、前記全ての請求項のいずれか1項に記載の方法。
- 前記交換用デバイスは、別個の調整軸により前記座標測定装置の前記測定容積内に駆動される、少なくとも請求項49に記載の方法。
- 前記調整軸はスピンドルドライブを用いて構成される、前記全ての請求項のいずれか1項に記載の方法。
- 前記調整軸は2つのストップを備えるドライブを用いて実現される、前記全ての請求項のいずれか1項に記載の方法。
- 前記座標測定装置の設置場所における温度変動に起因する不良動作を補償するために、1つまたは複数の位置に様々なセンサを取り付けるのに役立つ機械構成要素の温度が測定され、
前記対応する機械構成要素の膨張が、前記様々なセンサにより記録される前記測定点を計算するときに考慮に入れられる、前記全ての請求項のいずれか1項に記載の方法。 - 前記温度補償は線形乗算により実行される、少なくとも請求項53に記載の方法。
- 前記測定対象物は、前記測定手順の間に回転軸にクランプされ、
前記回転軸またはクランピングにより生成される前記測定結果は、全体評価に含まれる、前記全ての請求項のいずれか1項に記載の方法。 - 前記測定対象物は回転軸内に配置される先端と反対側先端との間に収容される、少なくとも請求項55に記載の方法。
- 前記測定対象物は前記先端と反対側先端との間にクランプされるとき、前記反対側先端は、前記測定対象物に接触する末端スイッチにより決定される偏向が生じるまで、自動的に駆動される、請求項55または56に記載の方法。
- 前記反対側先端は引張りバネにより前記測定対象物に押し付けられる、請求項55ないし57のいずれか1項に記載の方法。
- 相互に近接して配置された前記同一種類の複数の触知センサは、前記座標測定装置の共通の機械軸上に適用される、前記全ての請求項のいずれか1項に記載の方法。
- 前記複数の触知センサは、回転ピボットユニット上に配置される、前記全ての請求項のいずれか1項に記載の方法。
- 前記走査動作において1つの軸上に配置された前記複数の触知センサにより、加工物の表面上の輪郭が同時に記録される、請求項59または60に記載の方法。
- 前記座標測定装置の座標軸の移動が、前記走査モードにおいて少なくとも1つのセンサにより、好ましくは、1つのセンサにより排他的に制御される、請求項59ないし61のいずれか1項に記載の方法。
- 複数の測定トラックを生成する測定点が別のセンサにより同時に記録される、請求項59ないし62のいずれか1項に記載の方法。
- 前記マルチセンサ配置の前記回転ピボット結合の前記制御は、前記個々のセンサの平均偏向の差により制御される、請求項59ないし61のいずれか1項に記載の方法。
- 前記マルチセンサ配置は歯車の歯面またはカムシャフトのカムを測定するために使用され、前記複数の測定トラックは各測定手順に対して同時に生成される、請求項59ないし64のいずれか1項に記載の方法。
- 前記レーザ近接センサおよび前記画像処理センサは、加工物の測定の間に、外側輪郭が前記画像処理センサにより測定されるように、使用され、
前記座標測定装置の前記軸は、前記レーザ近接センサにより、前記画像処理センサは測定される前記加工物の輪郭の前記領域内に焦点を合わせるように、同時に追跡される、前記全ての請求項のいずれか1項に記載の方法。 - 前記焦点合わせは、回転対称ツールが前記測定対象物として使用されるとき、この回転対称ツールを回転させることにより実現される、少なくとも請求項66に記載の方法。
- 前記焦点合わせは、非回転対称ツールが前記測定対象物として使用されるとき、この非回転対称ツールの測定の間、前記座標測定装置のZ軸を調整することにより実現される、少なくとも請求項66に記載の方法。
- 前記画像処理センサの前記画像評価は、前記カメラの画像の繰返し頻度と同一頻度で実行される、前記全ての請求項のいずれか1項に記載の方法。
- リアルタイムビデオにおける真円度測定を実現するために、前記測定対象物は、測定の間において回転軸を用いて回転され、前記測定対象物の外側縁上の前記カメラ測定点の前記頻度を用いて記録および評価される、少なくとも請求項69に記載の方法。
- 前記画像処理センサまたはX線センサの信号対雑音比を改善するために、前記積分時間は十分に低い信号対雑音比が生成されるまで延長される、前記全ての請求項のいずれか1項に記載の方法。
- 前記積分時間は、十分に良好な画像が記憶され、およびさらに処理され、同時に画像の前記画像点の強度は所望の値まで上昇するまで、延長される、少なくとも請求項71に記載の方法。
- 画像処理センサのズーム光学系を備えるレーザ近接光学系が共通ビーム経路を利用する、前記全ての請求項のいずれか1項に記載の方法。
- 前記使用されるズーム光学系の前記動作距離が調整可能である、請求項73に記載の方法。
- 前記レーザ近接センサの前記開口および/または動作距離および画像処理センサ光学系を修正する前置光学要素は、選択的に交換可能である、請求項73または74に記載の方法。
- 前記光学系は、前記光学部品を交換することにより前記レーザ近接センサの動作に関して最適化される、請求項73ないし75のいずれか1項に記載の方法。
- 前記前置光学要素は磁気インタフェースを介して前記ズーム光学系に接続される、請求項73ないし76のいずれか1項に記載の方法。
- 前記前置光学要素は、前記触知センサにも使用されるセンサデバイス交換器により交換されることができる、請求項73ないし77のいずれか1項に記載の方法。
- 前記画像処理センサに対して最適なコントラストを生成するために、複数画像が様々な照射源を使用して連続して記録され、
最適なコントラストを備える領域が各画像から除去され、これら領域を結合して最適なコントラストを有する全体画像を生成する、前記全ての請求項のいずれか1項に記載の方法。 - 暗視野の照射の様々な照射方向および/または暗視野の照射の様々な照射角度を使用して、および/または明視野の照射を使用して、前記同一対象物または対象物断面部の様々な画像を記録し、最適なコントラストを有する個々の画像の前記領域を結合して全体画像を生成する、請求項79に記載の方法。
- 同一位置において近接して最適なコントラストを有する前記ピクセルは、前記結果として得られる全体画像の各ピクセルに対し、または前記全体画像の各結果として得られる各位置に対して、様々な照射を有する前記個々の画像から選択される、請求項79または80に記載の方法。
- 前記最適なコントラストの前記評価は、前記それぞれの観測ピクセルと隣接ピクセルとの間の前記振幅の差を決定することにより実行される、少なくとも請求項81に記載の方法。
- 走査手順が、
すでに測定された焦点からの外挿により次の測定点の予測位置を理論的に計算し、これを新しい自動焦点により正確に確認し、ユーザ仕様に従ってこの手順を複数回数繰り返すことによって、自動焦点式センサを用いて材料表面上で実行できる、前記全ての請求項のいずれか1項に記載の方法。 - 2つの最後に測定された測定点の線形外挿が、前記次の測定点の前記外挿において使用される、前記全ての請求項のいずれか1項に記載の方法。
- 前記最後に測定された2つまたはこれ以上の点の多項式補間が、測定される前記新しい点の外挿において使用される、請求項83または84に記載の方法。
- 各焦点合わせ手順の間に複数の焦点が同時に測定され、これにより一連の測定点が生成される、請求項83ないし85のいずれか1項に記載の方法。
- これら一連の測定点の複数が間隔を空けずに配置され、この結果、完全な輪郭の走査が実現される、少なくとも請求項86に記載の方法。
- それぞれ異なる照射または放射強度を用いて対象物領域の複数画像が記録され、この後、これらを結合して全体画像を生成し、これにより、画像処理センサまたはX線断層撮影センサを用いて記録される画像の質を最適する、前記全ての請求項のいずれか1項に記載の方法。
- 各個別の画像の前記画像点の振幅(ピクセル)は、有効と定義される振幅範囲(通常0から245の間)内に配置される、少なくとも請求項88に記載の方法。
- 特に強く光る(例えば、>245)と見なすことができる振幅の値を備える前記画像点の振幅は評価において考慮に入れられない、請求項88または89に記載の方法。
- 前記標準化画像点振幅からの複数の有効画像点の存在するとき、平均値が生成される、少なくとも請求項88または89に記載の方法。
- 前記対応する計算は、前記使用された放射または照射強度に対して標準化される振幅値を生成する、請求項88ないし91のいずれか1項に記載の方法。
- 可動横軸を備え、および加工物の表面上の測定点を記録する1つまたは複数のセンサ(30)を有する座標測定装置(10)であって、
画像処理センサシステム(168、260、276)および/または切換走査システムおよび/または測定走査システム(30)および/または前記画像処理センサに組み込まれたレーザ近接センサ(262、278)および/または別個のレーザ近接センサ(290)および/または白色光干渉計および/または触知/光センサデバイスを備え、
前記成形された走査要素の位置は前記画像処理センサ(208)により直接決定され、および/または点状の動作干渉計センサおよび/または一体の回転軸を有する点状の動作干渉計センサおよび/または湾曲した視野方向を有する点状の動作干渉計センサおよび/またはX線センサ(308,314)および/または色焦点センサおよび/または共焦点走査測定ヘッドが前記センサとして取り付けられている、座標測定装置。 - 1つまたは複数のセンサ(34、36、38)が交換インタフェースに設けられ、手動または自動で交換できる、請求項93に記載の座標測定装置。
- 前記画像処理センサの前記カメラ(48)は、使用されるモニタ(52)または画像表示に使用されるモニタ断面部の解像度より高い解像度(ピクセル数)を有する、請求項93または94に記載の座標測定装置。
- 前記全体画像の特定断面部に選択的にアクセスできるカメラ、例えばCMOSカメラが使用される、請求項93ないし95のいずれか1項に記載の座標測定装置。
- 前記全体画像の1つの断面部だけが、前記座標測定装置の生の画像または観測される画像内に表示できる、請求項93ないし96のいずれか1項に記載の座標測定装置。
- 前記測定対象物(16)と前記モニタ画像との間の前記倍率は、ソフトウェアにより前記カメラ画像の前記選択された断面部を変更し、および/または前記生の画像を前記同様の方法で表示することにより制御される、請求項93ないし97のいずれか1項に記載の座標測定装置。
- 前記測定対象物(16)と前記モニタ画像との間の前記倍率は、ソフトウェアにより前記カメラ画像の前記選択された断面部を変更することにより制御され、および/または前記生の画像は、前記同様の方法で表示でき、および前記断面部サイズを操作するために回転ノブ(54)または存在するソフトウェアコントローラに接続される、請求項93ないし98のいずれか1項に記載の座標測定装置。
- 前記標準ビデオ規格より高解像度、例えば1200×600ピクセルを有するカメラが前記画像処理センサ用に使用でき、
前記カメラ画像はグラフィックカードまたは低解像度を有するグラフィック設定を有するコンピュータモニタ(52)に表示でき、
前記高解像度カメラのフルサイズに対応して割り当てられた画像メモリを有する画像処理コンピュータがデジタル画像処理のためにバックグラウンドで使用される、請求項93ないし99のいずれか1項に記載の座標測定装置。 - 前記画像処理センサ(48)の画像光学系の前記実際の光学的倍率は比較的低く(通常1倍、しかし最大でも5倍)、高解像度の光学的効果は、前記低解像度のモニタ(52)上の前記高解像度カメラ画像の1つの断面部のみの表示を備えている、請求項93ないし100のいずれか1項に記載の座標測定装置。
- 複数の、ただし少なくとも2つのカメラ(48、58)は、光学ビーム経路内にミラー系(56)を介して組み込まれ、これらカメラのビーム経路は前記同一の結像対物レンズ(46)を利用する、請求項93ないし101のいずれか1項に記載の座標測定装置。
- 前記同一の結像対物レンズ(46)を利用するレーザ近接センサ(60)が、追加でまたは少なくとも別の1つのミラー(64)を介して組み込まれている、請求項102に記載の座標測定装置。
- 異なるチップサイズおよび同一ピクセル数を備えるかまたは異なるピクセル数および同一チップサイズまたはこの両方を備えるカメラ(48、58)を使用できる、請求項100ないし103のいずれか1項に記載の座標測定装置。
- 後置拡大光学系(62)または縮小光学系が各カメラビーム経路内に組み込まれている、請求項100ないし104のいずれか1項に記載の座標測定装置。
- 前記それぞれのカメラビームに分割するために使用される光学スプリッタ(56、66)は、これらスプリッタの透過および反射に関して、すべてのカメラ(48、58)が前記同一の光強度を受けるように設計されている、請求項100ないし105のいずれか1項に記載の座標測定装置。
- 明視野ビーム経路(60、64)が前記全体システムに追加して組み込まれている、請求項100ないし106のいずれか1項に記載の座標測定装置。
- 前記座標測定装置は、測定対象物(96)の複数の個々に測定された部分画像(102、104、106、108)を記憶するための画像メモリを備え、またこれら全てのメモリ領域に一緒にアクセスでき、この領域が単一の全体画像であるか否かを評価できる、画像処理評価コンピュータを備えている、請求項100ないし107のいずれか1項に記載の座標測定装置。
- 前記座標測定装置は、
前記座標測定装置の駆動位置用のメモリ、および/または画像処理センサの画像用のメモリ、および/またはX線センサの画像用のメモリ、および/または前記レーザセンサの前記走査点用のメモリ、および/または前記座標測定装置の別の技術的パラメータ用のメモリを備え、
また、前記測定された値を接続された評価コンピュータにより記録した後に、全体評価を実行できる可能性を備えている、請求項100ないし108のいずれか1項に記載の座標測定装置。 - 画像処理メモリが実装され、このメモリ内には画像処理センサの画像用の複数のサブメモリが正しい位置に結合され、
前記座標測定装置内に含まれる前記画像処理センサの前記位置は、オペレータの対する前記標準および対応する表示を読み取ることにより、単一の全体画像の表示が生成されるように構成されている、請求項100ないし109のいずれか1項に記載の座標測定装置。 - 前記様々な照射源の前記特性用のメモリが前記座標測定装置内に存在し、
前記照射強度をリアルタイムで調整するための単一経路を有するこのメモリは、それぞれの照射源に割り当てされ、これにより、この特性メモリに依存して、前記デフォルト値を補正する、請求項100ないし103のいずれか1項に記載の座標測定装置。 - 好ましくは3つの参照マークが、前記測定対象物(190)上に適用され、および/または球体の形状の複数の、好ましくは3つの参照マークを有する支持フレーム(184、186、188)が、前記測定対象物を収容するために存在し、または対応する参照マークまたは特徴は前記測定対象物上に取り付けるための設けられている、請求項100ないし111のいずれか1項に記載の座標測定装置。
- 前記加工物フレームは回転または回転ピボット軸にクランプされている、請求項112に記載の座標測定装置。
- 前記参照フレーム(191)の任意の所望数の位置の前記参照マーク(184、186、188)の前記測定された位置用のメモリが、前記座標測定装置内に備えられている、請求項112または113に記載の座標測定装置。
- 前記触知/光センサ(206)では、前記成形された走査要素(212)の前記位置決定は、前記画像処理センサ(208)を用いる測定によって直接実行され、
前記触知/光センサは、別のすでに存在する座標軸(216)上のセンサの横軸(210)(座標軸)を用いて位置決定され、
前記光ビーム経路に対する前記触知/光センサの相対移動は前記センサのそれぞれの位置において可能である、請求項112ないし114のいずれか1項に記載の座標測定装置。 - 触知センサの前記成形された走査要素の幾何形状ずれ用のメモリが設けられ、このメモリは前記幾何形状の前記特徴を決定する前記評価コンピュータに接続されている、請求項100ないし115のいずれか1項に記載の座標測定装置。
- 様々なセンサ(34、36、38)または走査要素を交換するための交換用デバイス(42)が設けられている、請求項100ないし115のいずれか1項に記載の座標測定装置。
- 前記交換用デバイス(42)は、別個の調整軸(44)により前記座標測定装置の前記測定容積内に駆動される、請求項100ないし117のいずれか1項に記載の座標測定装置。
- 前記調整軸(44)はスピンドルドライブを用いて実現されている、請求項100ないし118のいずれか1項に記載の座標測定装置。
- 前記調整軸(44)は2つのストップを備えるドライブを用いて実現されている、請求項100ないし119のいずれか1項に記載の座標測定装置。
- 様々なセンサ(218、220)を取り付けるのに役立つ機械構成要素(244)が、1つまたは複数の温度センサ(226)を備え、
前記センサは前記座標測定装置の前記評価コンピュータに接続されている、請求項100ないし120のいずれか1項に記載の座標測定装置。 - 前記測定対象物は、前記測定手順の間、回転軸にクランプされ、
前記回転軸の前記測定結果は前記全体評価に含むことができる、請求項100ないし121のいずれか1項に記載の座標測定装置。 - 前記測定対象物は回転軸内に配置される先端(232)と反対側先端(234)との間に収容されている、請求項122に記載の座標測定装置。
- 前記測定対象物は前記先端(232)と反対側先端(234)との間にクランプされるとき、前記反対側先端は、前記測定対象物に接触する末端スイッチ(232)により決定される偏向が生じるまで、自動的に駆動されることができる、請求項123に記載の座標測定装置。
- 前記反対側先端(234)は付勢されたバネ(240)により前記測定対象物に押し付けられる、請求項123または124に記載の座標測定装置。
- 前記同一種類の複数の触知センサ(248、250、252)は、前記座標測定装置の機械軸上(254)上に相互に近接して配置されている、請求項100ないし125のいずれか1項に記載の座標測定装置。
- 前記同一種類の複数の触知センサ(248、250、252)は、回転ピボットユニット上に配置されている、請求項93ないし126のいずれか1項に記載の座標測定装置。
- マルチセンサ配置の第1検知デバイスが前記制御部の前記位置制御回路に接続され、別のセンサは前記座標測定装置の位置測定電子回路に接続されている、請求項126または127に記載の座標測定装置。
- ズーム光学系(282)を備えるレーザ近接光学系(278)が画像処理(276)のための共通ビーム経路を形成している、前記全ての請求項のいずれか1項に記載の座標測定装置。
- 前記使用されるズーム光学系(282)の前記動作距離は、調整レンズグループにより同様に調整可能である、前記全ての請求項のいずれか1項に記載の座標測定装置。
- 前置光学要素(286)は選択的に交換されることができる、請求項128ないし130のいずれか1項に記載の座標測定装置。
- 前記光学系は、前置光学要素(286)を交換することにより前記レーザ近接センサ(278)の動作に関して最適化される、少なくとも請求項131に記載の座標測定装置。
- 前記前置光学要素(286)は磁気インタフェースを介して前記ズーム光学系(282)に接続されている、請求項131に記載の座標測定装置。
- 前記前置光学要素(286)は、前記触知センサに使用されるセンサデバイス交換器により交換されることができる、請求項131に記載の座標測定装置。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102004061151 | 2004-12-16 | ||
PCT/EP2005/013526 WO2006063838A1 (de) | 2004-12-16 | 2005-12-16 | Koordinatenmessgerät sowie verfahren zum messen mit einem koordinatenmessgerät |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012055740A Division JP2012137498A (ja) | 2004-12-16 | 2012-03-13 | 座標測定装置ならびに座標測定装置を用いて加工物の幾何形状を測定する方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008524565A true JP2008524565A (ja) | 2008-07-10 |
JP2008524565A5 JP2008524565A5 (ja) | 2009-02-12 |
Family
ID=35985193
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007545955A Pending JP2008524565A (ja) | 2004-12-16 | 2005-12-16 | 座標測定装置ならびに座標測定装置を用いて測定する方法 |
JP2012055740A Pending JP2012137498A (ja) | 2004-12-16 | 2012-03-13 | 座標測定装置ならびに座標測定装置を用いて加工物の幾何形状を測定する方法 |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012055740A Pending JP2012137498A (ja) | 2004-12-16 | 2012-03-13 | 座標測定装置ならびに座標測定装置を用いて加工物の幾何形状を測定する方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20100014099A1 (ja) |
EP (5) | EP2284480B1 (ja) |
JP (2) | JP2008524565A (ja) |
WO (1) | WO2006063838A1 (ja) |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010060556A (ja) * | 2008-09-04 | 2010-03-18 | Samsung Heavy Industries Co Ltd | 曲面部材計測システム及び方法 |
JP2012137498A (ja) * | 2004-12-16 | 2012-07-19 | Werth Messtechnik Gmbh | 座標測定装置ならびに座標測定装置を用いて加工物の幾何形状を測定する方法 |
JP2012185053A (ja) * | 2011-03-07 | 2012-09-27 | Topcon Corp | パノラマ画像作成方法及び3次元レーザスキャナ |
US8363904B2 (en) | 2009-10-13 | 2013-01-29 | Mitutoyo Corporation | Offset amount calibrating method and surface texture measuring machine |
JP2014006121A (ja) * | 2012-06-22 | 2014-01-16 | Nagase Integrex Co Ltd | 距離センサ |
US8654351B2 (en) | 2009-10-13 | 2014-02-18 | Mitutoyo Corporation | Offset amount calibrating method and surface profile measuring machine |
US8650939B2 (en) | 2009-10-13 | 2014-02-18 | Mitutoyo Corporation | Surface texture measuring machine and a surface texture measuring method |
KR101906942B1 (ko) | 2013-11-28 | 2018-10-11 | 헥사곤 테크놀로지 센터 게엠베하 | 공구 중심점에 있는 보정 레이저 헤드를 사용하는 좌표 측정 기계의 보정 방법 |
Families Citing this family (39)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102007024197B4 (de) | 2007-05-24 | 2017-01-05 | Robert Bosch Gmbh | Vorrichtung und Verfahren zur Formmessung von Freiform-Flächen |
DE102007036795A1 (de) | 2007-08-03 | 2009-02-05 | Werth Messtechnik Gmbh | Verfahren zum Messen eines Objektes sowie Koordinatenmessgerät |
DE102007043741A1 (de) * | 2007-09-10 | 2009-03-12 | Eppendorf Ag | Optisches Sensorsystem an einer Vorrichtung zur Behandlung von Flüssigkeiten |
DE102007051054A1 (de) * | 2007-10-19 | 2009-04-30 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Verfahren zum Korrigieren der Messwerte eines Koordinatenmessgeräts und Koordinatenmessgerät |
DE102008037599A1 (de) | 2008-11-27 | 2010-06-02 | Werth Messtechnik Gmbh | Verfahren zum Messen eines Objektes sowie Koordinatenmessgerät |
EP2194357A1 (de) * | 2008-12-03 | 2010-06-09 | Leica Geosystems AG | Optisches Sensorelement für eine Messmaschine, und messmaschinenseitiges Kupplungselement hierfür |
US8378252B2 (en) * | 2009-05-29 | 2013-02-19 | Electro Scientific Industries, Inc. | Method and apparatus for hybrid resolution feedback of a motion stage |
DE102010017604B4 (de) * | 2009-09-01 | 2016-03-10 | Werth Messtechnik Gmbh | Verfahren zum optischen Messen von Strukturen eines Objekts |
CN102822618B (zh) * | 2009-11-26 | 2017-02-15 | 沃思测量技术股份有限公司 | 用于接触‑光学确定测量物体的几何形状的方法和装置 |
US8805035B2 (en) | 2010-05-03 | 2014-08-12 | Mim Software, Inc. | Systems and methods for contouring a set of medical images |
JP5197712B2 (ja) * | 2010-10-27 | 2013-05-15 | キヤノン株式会社 | 撮像装置 |
JP5648692B2 (ja) * | 2010-10-27 | 2015-01-07 | 株式会社ニコン | 形状測定装置、形状測定方法、構造物の製造方法およびプログラム |
DE102010054742A1 (de) | 2010-12-16 | 2012-06-21 | E. Zoller GmbH & Co. KG Einstell- und Messgeräte | Einstell- und/oder Messgerätevorrichtung |
DE102011050493A1 (de) * | 2011-05-19 | 2012-11-22 | Ludwig-Maximilians-Universität München | Vorrichtung und Verfahren zur Detektion der Auslenkung elastischer Elemente |
CN103376058A (zh) * | 2012-04-28 | 2013-10-30 | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 | 温度补偿***及方法 |
EP2847541B1 (de) * | 2012-08-07 | 2016-05-18 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik GmbH | KOORDINATENMESSGERÄT MIT WEIßLICHTSENSOR |
US9188428B2 (en) | 2012-08-07 | 2015-11-17 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Coordinate measuring machine with selectively active white light sensor |
CN103673962B (zh) * | 2012-09-12 | 2016-12-21 | 长江大学 | 轮廓线自动量测***及方法 |
US9621780B2 (en) * | 2012-10-04 | 2017-04-11 | Nvidia Corporation | Method and system of curve fitting for common focus measures |
US9392158B2 (en) | 2012-10-04 | 2016-07-12 | Nvidia Corporation | Method and system for intelligent dynamic autofocus search |
DE102013105623A1 (de) | 2013-05-31 | 2014-12-04 | Werth Messtechnik Gmbh | Verfahren zur Bestimmung von Geometriemerkmalen |
DE102014108353A1 (de) | 2013-06-13 | 2014-12-18 | Werth Messtechnik Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung von Geometrien an Messobjekten mittels eines kombinierten Sensorsystems |
CN104089655B (zh) * | 2014-07-16 | 2016-05-25 | 宁波横河模具股份有限公司 | 一种料理机综合测试装置 |
DE202015103994U1 (de) | 2015-07-30 | 2015-10-06 | Werth Messtechnik Gmbh | Anordnung mit zumindest einer verschiebbaren Wechselstation |
DE202015104971U1 (de) | 2015-09-18 | 2016-12-20 | Werth Messtechnik Gmbh | Vorrichtung, insbesondere Koordinatenmessgerät mit zumindest einer verschiebbaren Wechselstation oder Rückzugsachse |
JP6719815B2 (ja) * | 2016-03-16 | 2020-07-08 | 株式会社ミツトヨ | 表面性状測定機の制御方法 |
DE102017107343A1 (de) | 2016-06-21 | 2017-12-21 | Werth Messtechnik Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zum Betreiben eines optischen Abstandssensors |
CN106403845B (zh) * | 2016-09-14 | 2017-10-03 | 杭州思看科技有限公司 | 三维传感器***及三维数据获取方法 |
CN106767615B (zh) * | 2016-12-15 | 2019-05-21 | 北京泰诚信测控技术股份有限公司 | 一种变速器轴承垫片检测装置 |
DE102017203084B4 (de) | 2017-02-24 | 2020-10-29 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Verfahren zur Ermittlung von Korrekturdaten zur Korrektur von temperaturabhängigen Messdaten eines optischen Sensors |
EP3450909A1 (en) | 2017-09-05 | 2019-03-06 | Renishaw PLC | Non-contact optical tool setting apparatus and method |
TWI645157B (zh) * | 2017-11-24 | 2018-12-21 | 國立高雄應用科技大學 | 工件輪廓的光學量測系統及量測方法 |
DE102018111473B4 (de) * | 2018-05-14 | 2022-01-13 | Trumpf Laser- Und Systemtechnik Gmbh | Verfahren und Erfassungseinrichtung zur Ermittlung der Konturtreue einer kinematischen Baugruppe |
CN109556519A (zh) * | 2018-11-07 | 2019-04-02 | 西北工业大学 | 一种延展变形高精度测量装置及方法 |
JP7219056B2 (ja) * | 2018-11-09 | 2023-02-07 | 株式会社キーエンス | 変位測定装置 |
CN109648400B (zh) * | 2019-01-25 | 2020-07-10 | 上海交通大学 | 基于白光共焦在位测量的阀芯工作边毛刺形态重构方法 |
DE102022118320A1 (de) | 2021-07-23 | 2023-01-26 | Werth Messtechnik Gmbh | Vorrichtung umfassend ein Koordinatenmessgerät und Verfahren zum Betreiben |
DE102023117023A1 (de) | 2022-06-30 | 2024-01-04 | Werth Messtechnik Gmbh | Verfahren zum Betreiben eines Koordinatenmessgeräts und Vorrichtung zur Ausführung |
CN116839499B (zh) * | 2022-11-03 | 2024-04-30 | 上海点莘技术有限公司 | 一种大视野微尺寸2d及3d测量标定方法 |
Citations (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01501024A (ja) * | 1986-10-22 | 1989-04-06 | ドイチエ トムソン―ブラント ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング | ビームによって走査する走査装置 |
US4908951A (en) * | 1988-03-02 | 1990-03-20 | Wegu-Messtechnik Gmbh | Coordinate measuring and testing machine |
JPH05215971A (ja) * | 1991-10-18 | 1993-08-27 | Carl Zeiss:Fa | 計算器に支援された定位形けんび外科用の手術けんび鏡ならびにその操作法 |
EP0877225A2 (en) * | 1997-03-12 | 1998-11-11 | Brown & Sharpe Limited | Optical surface measurement apparatus and methods |
JP2000329531A (ja) * | 1999-03-17 | 2000-11-30 | Minolta Co Ltd | 三次元形状計測装置および同方法 |
JP2002207163A (ja) * | 2001-01-05 | 2002-07-26 | Fuji Photo Optical Co Ltd | テレビレンズの測距装置 |
JP2002318104A (ja) * | 2001-04-20 | 2002-10-31 | Victor Co Of Japan Ltd | 光学撮像装置、光学測距装置 |
JP2003270523A (ja) * | 2002-03-18 | 2003-09-25 | Fuji Photo Optical Co Ltd | 可視赤外撮像カメラ |
JP2004509345A (ja) * | 2000-09-20 | 2004-03-25 | ベルス・メステヒニーク・ゲーエムベーハー | 構造の光学的触感式測定を実行するための装置と方法 |
WO2004040234A2 (de) * | 2002-11-01 | 2004-05-13 | Werth Messtechnik Gmbh | Anordnung zur messung der geometrie bzw. struktur eines objektes |
WO2004055475A2 (de) * | 2002-12-13 | 2004-07-01 | Werth Messtechnik Gmbh | Verfahren zum scannenden messen einer kontur eines werkstücks |
WO2004057266A2 (de) * | 2002-12-20 | 2004-07-08 | Carl Zeiss | Interferometersystem für optische kohärenztomographie |
US20040234025A1 (en) * | 2000-07-08 | 2004-11-25 | Mario Schroeder | Processes and a device for determining the actual position of a structure of an object to be examined |
DE10356412A1 (de) * | 2003-11-24 | 2005-06-23 | Universität Stuttgart | Multifokales konfokales Verfahren und konfokale Anordnung für wenig kooperative Objekte |
Family Cites Families (29)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS58122414A (ja) * | 1982-01-18 | 1983-07-21 | Toshiba Corp | 微小寸法測定方法 |
IT1198660B (it) * | 1983-08-02 | 1988-12-21 | Ottica Ist Naz | Profilometro ottico multifocale per dispersione |
JPS6117011A (ja) * | 1984-07-03 | 1986-01-25 | Komatsu Ltd | 門型工作機械における寸法測定方法 |
DE3634689A1 (de) * | 1986-10-11 | 1988-04-14 | Zeiss Carl Fa | Anordnung fuer den gleichzeitigen anschluss mehrerer tastkoepfe vom schaltenden typ an den messarm eines koordinatenmessgeraetes |
JP2791020B2 (ja) * | 1987-09-21 | 1998-08-27 | 株式会社日立製作所 | 信号対雑音比改善方法および走査電子顕微鏡 |
DE8813875U1 (de) * | 1988-11-05 | 1988-12-22 | Fa. Carl Zeiss, 7920 Heidenheim | Taster für Koordinatenmeßgeräte |
DE3841488A1 (de) * | 1988-12-09 | 1990-06-13 | Zeiss Carl Fa | Koordinatenmessgeraet mit einem oder mehreren fuehrungselementen aus aluminium |
GB2227563B (en) * | 1989-01-28 | 1992-07-01 | Ferranti Int Signal | Error determination for multi-axis apparatus due to thermal distortion |
DE4026942A1 (de) * | 1990-08-25 | 1992-02-27 | Zeiss Carl Fa | Verfahren zur beruehrungslosen vermessung von objektoberflaechen |
GB9126269D0 (en) * | 1991-12-11 | 1992-02-12 | Renishaw Metrology Ltd | Temperature sensor for coordinate positioning apparatus |
JPH05223526A (ja) * | 1992-02-10 | 1993-08-31 | Hitachi Ltd | 板厚測定装置 |
DE4327250C5 (de) * | 1992-09-25 | 2008-11-20 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Verfahren zur Koordinatenmessung an Werkstücken |
JPH0727572A (ja) * | 1993-07-08 | 1995-01-27 | Mitsutoyo Corp | 測長装置 |
JPH07229733A (ja) * | 1994-02-15 | 1995-08-29 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | ロールプロフィール測定装置 |
JP3544589B2 (ja) * | 1995-09-05 | 2004-07-21 | 株式会社ミツトヨ | 測長装置 |
JP3335857B2 (ja) * | 1996-12-12 | 2002-10-21 | 株式会社東芝 | 耐熱型計測器 |
DE19747027A1 (de) * | 1997-04-21 | 1998-10-22 | Wegu Messtechnik | Multisensor-Tasteinrichtung |
EP0988505B1 (de) | 1997-06-12 | 2002-01-09 | Werth Messtechnik GmbH | Koordinatenmessgerät mit biegeelastischer Tasterverlängerung und optischem Sensor |
DE19811202C2 (de) * | 1998-03-09 | 2002-01-17 | Gf Mestechnik Gmbh | Konfokales Scanmikroskop |
JP2001082950A (ja) * | 1999-09-13 | 2001-03-30 | Toshiba Corp | 厚み計 |
JP2001169155A (ja) * | 1999-12-14 | 2001-06-22 | Minolta Co Ltd | デジタルカメラおよび記録媒体 |
EP1128156A1 (en) * | 2000-02-10 | 2001-08-29 | General Electric Company | Method and apparatus for automatically compensating for measurement error |
ATE284528T1 (de) * | 2000-07-13 | 2004-12-15 | Werth Messtechnik Gmbh | Verfahren zum berührungslosen messen von geometrien von gegenständen |
DE10215135A1 (de) * | 2001-04-18 | 2002-10-24 | Zeiss Carl | Verfahren zur automatischen Regelung von Fokus und Beleuchtung, sowie zur objektivierten Antastung des Kantenortes in der optischen Präzisionsmesstechnik |
DE10211760A1 (de) * | 2002-03-14 | 2003-10-02 | Werth Messtechnik Gmbh | Anordnung und Verfahren zum Messen von Geometrien bzw. Strukturen von im Wesentlichen zweidimensionalen Objekten mittels Bildverarbeitungssenorik |
DE10212004A1 (de) * | 2002-03-18 | 2003-10-02 | Zoller Gmbh & Co Kg | Verfahren und Vorrichtung zur Erfassung zumindest eines Abschnitts eines Werkstücks oder eines Werkzeugs |
JP2004023632A (ja) * | 2002-06-19 | 2004-01-22 | Fuji Photo Film Co Ltd | デジタルカメラ |
DE10313038B4 (de) * | 2003-03-24 | 2005-02-17 | Klingelnberg Gmbh | Vorrichtung zur Erfassung der Lage eines Tastelements in einem Mehrkoordinatenmessgerät |
EP2284480B1 (de) * | 2004-12-16 | 2014-08-27 | Werth Messtechnik GmbH | Koordinatenmessgerät sowie Verfahren zum Messen mit einem Koordinatenmessgerät |
-
2005
- 2005-12-16 EP EP10185231.7A patent/EP2284480B1/de active Active
- 2005-12-16 US US11/721,854 patent/US20100014099A1/en not_active Abandoned
- 2005-12-16 JP JP2007545955A patent/JP2008524565A/ja active Pending
- 2005-12-16 EP EP10185239.0A patent/EP2284486B1/de not_active Not-in-force
- 2005-12-16 EP EP10165895.3A patent/EP2224204B1/de active Active
- 2005-12-16 EP EP05819689A patent/EP1846729A1/de not_active Ceased
- 2005-12-16 WO PCT/EP2005/013526 patent/WO2006063838A1/de active Application Filing
- 2005-12-16 EP EP10185234.1A patent/EP2284485B1/de not_active Not-in-force
-
2012
- 2012-03-13 JP JP2012055740A patent/JP2012137498A/ja active Pending
Patent Citations (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01501024A (ja) * | 1986-10-22 | 1989-04-06 | ドイチエ トムソン―ブラント ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング | ビームによって走査する走査装置 |
US4908951A (en) * | 1988-03-02 | 1990-03-20 | Wegu-Messtechnik Gmbh | Coordinate measuring and testing machine |
JPH05215971A (ja) * | 1991-10-18 | 1993-08-27 | Carl Zeiss:Fa | 計算器に支援された定位形けんび外科用の手術けんび鏡ならびにその操作法 |
EP0877225A2 (en) * | 1997-03-12 | 1998-11-11 | Brown & Sharpe Limited | Optical surface measurement apparatus and methods |
JP2000329531A (ja) * | 1999-03-17 | 2000-11-30 | Minolta Co Ltd | 三次元形状計測装置および同方法 |
US20040234025A1 (en) * | 2000-07-08 | 2004-11-25 | Mario Schroeder | Processes and a device for determining the actual position of a structure of an object to be examined |
JP2004509345A (ja) * | 2000-09-20 | 2004-03-25 | ベルス・メステヒニーク・ゲーエムベーハー | 構造の光学的触感式測定を実行するための装置と方法 |
JP2002207163A (ja) * | 2001-01-05 | 2002-07-26 | Fuji Photo Optical Co Ltd | テレビレンズの測距装置 |
JP2002318104A (ja) * | 2001-04-20 | 2002-10-31 | Victor Co Of Japan Ltd | 光学撮像装置、光学測距装置 |
JP2003270523A (ja) * | 2002-03-18 | 2003-09-25 | Fuji Photo Optical Co Ltd | 可視赤外撮像カメラ |
WO2004040234A2 (de) * | 2002-11-01 | 2004-05-13 | Werth Messtechnik Gmbh | Anordnung zur messung der geometrie bzw. struktur eines objektes |
JP2006504941A (ja) * | 2002-11-01 | 2006-02-09 | ベルス・メステヒニーク・ゲーエムベーハー | 物体の幾何学的形状又は構造の測定のための装置 |
WO2004055475A2 (de) * | 2002-12-13 | 2004-07-01 | Werth Messtechnik Gmbh | Verfahren zum scannenden messen einer kontur eines werkstücks |
US20060007449A1 (en) * | 2002-12-13 | 2006-01-12 | Ralf Christoph | Method for measuring a contour of a workpiece by scanning |
WO2004057266A2 (de) * | 2002-12-20 | 2004-07-08 | Carl Zeiss | Interferometersystem für optische kohärenztomographie |
DE10356412A1 (de) * | 2003-11-24 | 2005-06-23 | Universität Stuttgart | Multifokales konfokales Verfahren und konfokale Anordnung für wenig kooperative Objekte |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012137498A (ja) * | 2004-12-16 | 2012-07-19 | Werth Messtechnik Gmbh | 座標測定装置ならびに座標測定装置を用いて加工物の幾何形状を測定する方法 |
JP2010060556A (ja) * | 2008-09-04 | 2010-03-18 | Samsung Heavy Industries Co Ltd | 曲面部材計測システム及び方法 |
US8363904B2 (en) | 2009-10-13 | 2013-01-29 | Mitutoyo Corporation | Offset amount calibrating method and surface texture measuring machine |
US8654351B2 (en) | 2009-10-13 | 2014-02-18 | Mitutoyo Corporation | Offset amount calibrating method and surface profile measuring machine |
US8650939B2 (en) | 2009-10-13 | 2014-02-18 | Mitutoyo Corporation | Surface texture measuring machine and a surface texture measuring method |
JP2012185053A (ja) * | 2011-03-07 | 2012-09-27 | Topcon Corp | パノラマ画像作成方法及び3次元レーザスキャナ |
JP2014006121A (ja) * | 2012-06-22 | 2014-01-16 | Nagase Integrex Co Ltd | 距離センサ |
KR101906942B1 (ko) | 2013-11-28 | 2018-10-11 | 헥사곤 테크놀로지 센터 게엠베하 | 공구 중심점에 있는 보정 레이저 헤드를 사용하는 좌표 측정 기계의 보정 방법 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP1846729A1 (de) | 2007-10-24 |
EP2224204A2 (de) | 2010-09-01 |
EP2284480B1 (de) | 2014-08-27 |
EP2284480A3 (de) | 2013-05-15 |
EP2284485B1 (de) | 2015-09-16 |
EP2284486B1 (de) | 2018-04-11 |
EP2224204A3 (de) | 2013-05-15 |
EP2284485A2 (de) | 2011-02-16 |
EP2284486A3 (de) | 2013-10-02 |
EP2284486A2 (de) | 2011-02-16 |
WO2006063838A1 (de) | 2006-06-22 |
JP2012137498A (ja) | 2012-07-19 |
EP2224204B1 (de) | 2021-05-26 |
EP2284480A2 (de) | 2011-02-16 |
US20100014099A1 (en) | 2010-01-21 |
EP2284485A3 (de) | 2013-05-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2008524565A (ja) | 座標測定装置ならびに座標測定装置を用いて測定する方法 | |
US8711365B2 (en) | Coordinate measuring device and method for measuring with a coordinate measuring device | |
JP6604769B2 (ja) | テスト表面の高精度高さマップを測定する方法 | |
US7532333B2 (en) | Method and apparatus for determining the shape and the local surface normals of specular surfaces | |
US7443513B2 (en) | Apparatus for optical measurement of an object | |
JP4246071B2 (ja) | 座標測定機械における案内誤差を求めかつ補正する方法 | |
JP5982144B2 (ja) | 落射照明画像用のエッジ位置測定値補正 | |
JP3427236B2 (ja) | ズーム光学系の倍率の測定法と手段 | |
JP2011526375A (ja) | 光学検査プローブ | |
JP2008524565A5 (ja) | ||
US7869060B2 (en) | Jig for measuring an object shape and method for measuring a three-dimensional shape | |
JP3678915B2 (ja) | 非接触三次元測定装置 | |
US10120163B2 (en) | Auto-focus method for a coordinate-measuring apparatus | |
JPH1183438A (ja) | 光学式測定装置の位置校正方法 | |
EP1627202B1 (en) | Surface profiling apparatus | |
US20110085177A1 (en) | Offset amount calibrating method and surface profile measuring machine | |
JP2017150993A (ja) | 内壁測定装置及びオフセット量算出方法 | |
EP2549222B1 (en) | Use of an abscissa calibration jig, abscissa calibration method and laser interference measuring apparatus | |
US11499817B2 (en) | Coordinate measuring machine with vision probe for performing points-from-focus type measurement operations | |
JP4751156B2 (ja) | オートコリメータ及びそれを用いた角度測定装置 | |
JP7323443B2 (ja) | 平面状傾斜パターン表面を有する較正物体を用いて可変焦点距離レンズシステムを較正するためのシステム及び方法 | |
JP2758760B2 (ja) | 硬度測定方法 | |
JP2007292617A (ja) | 三次元形状測定装置 | |
JP2012242085A (ja) | 曲率半径測定機の被測定体保持位置補正方法および曲率半径測定機 | |
JP2001289619A (ja) | 表面形状測定方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20081216 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20081216 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110913 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20111213 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20111220 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120313 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20120529 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20121204 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130304 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20140107 |