JP2008502157A - ナノスケール製造技術における流体の分配およびドロップ・オン・デマンド分配技術 - Google Patents
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Abstract
Description
n=Vt/Vu (1)
式中、VtとVuの意味は上に定義した通りである。ここで、液滴36の総数nが次式で定義される液滴36の正方行列アレイを仮定する。
n=n1×n2 (2)
式中、n1は第1の方向に数えた液滴数であり、n2は第2の方向に数えた液滴数である。第1の方向、すなわち一次元で相隣る液滴36間の間隔S1は次式で求められる。
S1=L1/n1 (3)
式中、L1は領域40の第1の方向の長さである。同様にして、上記第1の方向を横切る第2の方向で相隣る液滴36間の間隔S2は次式で求められる。
S2=L2/n2 (4)
式中、L2は領域40の第2の方向の長さである。
Claims (28)
- ある容積の液体を基板上に分配する方法であって、
各々対応した単位容積を有する複数の互いに相隔たる液滴を前記基板のある領域上に配置する配置ステップで、前記領域内の液滴の合計容積が前記領域に形成しようとするパターンの容積の関数である、前記配置ステップ、
を含む方法。 - 前記パターンの前記容積が、前記領域に形成しようとする残留層の厚さによって決まる請求項1に記載の方法。
- 前記パターンの前記容積が、前記領域に形成しようとするフィーチャのサイズによって決まる請求項1に記載の方法。
- 前記パターンの前記容積が、前記領域に形成しようとする残留層の厚さと、前記領域に形成しようとするフィーチャのサイズによって決まる請求項1に記載の方法。
- 前記パターンの前記容積がさらに、前記フィーチャが前記領域に占める割合によって決まる請求項4に記載の方法。
- 前記配置ステップがさらに、材料の複数の容積を分配することによって前記複数の互いに相隔たる液滴の中の1つの液滴を形成するステップを含む請求項1に記載の方法。
- 前記配置ステップがさらに、パターニングプロセスにおける前記複数の互いに相隔たる液滴の蒸発損を補償するように前記複数の互いに相隔たる液滴を分配するステップを含む請求項1に記載の方法。
- 前記配置ステップがさらに、前記複数の互いに相隔たる液滴の中の1つの液滴と前記複数の互いに相隔たる液滴の中の隣の1つの液滴との間の間隔を最小にするステップを含む請求項1に記載の方法。
- 前記複数の互いに相隔たる液滴が、基本的に六角形パタ―ンと三角形パターンからなる群より選択されるパターンを有する請求項1に記載の方法。
- ある容積の液体を基板上に分配する方法であって、
各々対応した単位容積を有する複数の互いに相隔たる第1の組の液滴を前記基板の第1の領域上に配置する配置ステップであって、前記第1の領域内の前記第1の組の液滴の合計容積が前記第1の領域に形成しようとする第1のパターンの容積の関数である、前記配置ステップと、
各々対応した単位容積を有する複数の互いに相隔たる第2の組の液滴を前記基板の第2の領域上に配置する配置ステップであって、前記第2の領域内の前記第2の組の液滴の合計容積が前記第2の領域に形成しようとする前記第1のパターンと異なる第2のパターンの容積の関数である、前記配置ステップと、
を含む方法。 - 前記第1のパターンの前記容積が、前記第1の領域に形成しようとする残留層の厚さによって決まる請求項10に記載の方法。
- 前記第2のパターンの前記容積が、前記第2の領域に形成しようとする残留層の厚さと前記第2の領域に形成しようとするフィーチャのサイズによって決まる請求項10に記載の方法。
- 前記第1および前記第2のパターンの前記容積が、前記第1のおよび第2の領域に形成しようとする残留層の厚さによって決まり、前記第2のパターンがさらに、前記第2の領域に形成しようとするフィーチャのサイズによって決まる請求項10に記載の方法。
- 前記第2のパターンの前記容積がさらに、前記フィーチャが前記第2の領域に占める割合によって決まる請求項13に記載の方法。
- 前記配置ステップがさらに、複数の容積の材料を分配することによって前記複数の互いに相隔たる液滴の中の1つの液滴を形成するステップを含む請求項10に記載の方法。
- 一定の全容積の液体を基板上に分配する方法であって、
各々対応した単位容積を有する複数の互いに相隔たる液滴を前記基板のある領域上に配置する配置ステップで、前記領域内の液滴の合計容積が前記領域に形成しようとする残留層の厚さの容積および前記残留層に形成しようとするパターンの容積の関数である配置ステップ、
を含む方法。 - 前記パターンの前記容積が、前記領域に形成しようとするフィーチャのサイズによって決まる請求項16に記載の方法。
- 前記パターンの前記容積がさらに、前記フィーチャが前記領域に占める割合によって決まる請求項17に記載の方法。
- 前記配置ステップがさらに、複数の容積の材料を分配することによって前記複数の互いに相隔たる液滴の中の1つの液滴を形成するステップを含む請求項18に記載の方法。
- 前記配置ステップがさらに、パターニングプロセスにおける前記複数の互いに相隔たる液滴の蒸発損を補償するように前記複数の互いに相隔たる液滴を分配するステップを含む請求項19に記載の方法。
- 液体を基板上に分配する方法であって、相隣る液滴間にガスポケットが生じる複数の互いに相隔たる液滴のパターンを前記基板上に配置する配置ステップで、前記パターンを前記複数のガスポケットの容積が最小となるように形成するステップ、を含む方法。
- 前記パターンをさらに、前記複数の各ガスポケットの前記容積の平均が最小となるように形成する請求項21に記載の方法。
- 前記パターンをさらに、前記複数の各ガスポケットの前記容積の平均および分散が最小となるように形成する請求項21に記載の方法。
- 前記パターンを配置する配置ステップがさらに、前記複数の互いに相隔たる液滴を基本的に六角形パタ―ンおよび三角形パターンからなる群より選択されるパターンに配置するステップを含む請求項21に記載の方法。
- 前記複数の互いに相隔たる各液滴が実質的に同じ容積を有する請求項21に記載の方法。
- 前記配置ステップがさらに、複数の容積の材料を分配することによって前記複数の互いに相隔たる液滴の中の1つの液滴を形成するステップを含む請求項21に記載の方法。
- 前記配置ステップがさらに、パターニングプロセスにおける前記複数の互いに相隔たる液滴の蒸発損を補償するように前記複数の互いに相隔たる液滴を分配するステップを含む請求項21に記載の方法。
- 前記配置ステップがさらに、前記複数の互いに相隔たる液滴の中の1つの液滴と前記複数の互いに相隔たる液滴の中の隣の1つの液滴との間の間隔を最小にするステップを含む請求項27に記載の方法。
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