JP2020123719A - シミュレーション方法、シミュレーション装置およびプログラム - Google Patents
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Abstract
Description
式(15)は、隣接する計算要素の値を参照するため、連立方程式を解く必要がある。
Claims (13)
- 第1部材の上に配置された硬化性組成物の複数の液滴と第2部材とを接触させ、前記第1部材の上に前記硬化性組成物の膜を形成する処理における前記硬化性組成物の挙動を予測するシミュレーション方法であって、
前記硬化性組成物の複数の液滴が1つの計算要素に収まるように複数の計算要素からなる計算格子を定義し、
各計算要素内における前記硬化性組成物の挙動を、各計算要素内における前記硬化性組成物の状態に応じたモデルに従って求める、
ことを特徴とするシミュレーション方法。 - 前記状態は、計算要素内における前記硬化性組成物の複数の液滴が相互に結合していない非結合状態と、計算要素内における前記硬化性組成物の複数の液滴が相互に結合している結合状態とを含み、前記モデルは、前記非結合状態に応じた非結合状態モデルと、前記結合状態に応じた結合状態モデルとを含む、
ことを特徴とする請求項1に記載のシミュレーション方法。 - 前記非結合状態モデルは、計算要素内における前記硬化性組成物の複数の液滴を代表する液滴の特性と、当該複数の液滴の個数とを変数とするモデルであり、
前記結合状態モデルは、計算要素内における前記硬化性組成物の複数の液滴が相互に結合して形成される結合体の特性を変数とするモデルである、
ことを特徴とする請求項2に記載のシミュレーション方法。 - 前記非結合状態モデルおよび前記結合状態モデルは、計算要素内における前記硬化性組成物が前記第2部材に与える力を決定するモデルである、
ことを特徴とする請求項3に記載のシミュレーション方法。 - 前記結合状態モデルは、計算要素内における前記硬化性組成物の複数の液滴によって膜が形成される段階に応じた複数のモデルを含む、
ことを特徴とする請求項3又は4に記載のシミュレーション方法。 - 各計算要素について、前記第1部材と前記第2部材との間の空間の体積と計算要素内の前記硬化性組成物の体積とに基づいて前記複数の液滴の状態が判定される、
ことを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載のシミュレーション方法。 - 計算要素内における前記硬化性組成物の複数の液滴の配置に基づいて、前記硬化性組成物の状態を判定するための基準が変更される、
ことを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載のシミュレーション方法。 - 前記状態は、
計算要素内における前記硬化性組成物の複数の液滴と前記第2部材とが接触していない第1状態と、
計算要素内における前記硬化性組成物の複数の液滴と前記第2部材とが接触し、当該複数の液滴が相互に結合していない第2状態と、
計算要素内における前記硬化性組成物の複数の液滴と前記第2部材とが接触し、当該複数の液滴のうち第1方向に配置された液滴が相互に結合しているが、当該複数の液滴のうち第2方向に配置された液滴が相互に結合していていない第3状態と、
計算要素内における前記硬化性組成物の複数の液滴と前記第2部材とが接触し、当該複数の液滴の全てが相互に結合して結合体を構成しているが、前記結合体の中に気泡が存在する第4状態と、
計算要素内における前記硬化性組成物の複数の液滴と前記第2部材とが接触し、当該複数の液滴の全てが相互に結合して結合体を構成し、前記結合体の中に気泡が存在しない第5状態と、を含み、
前記モデルは、前記第1状態、前記第2状態、前記第3状態、前記第4状態、前記第5状態にそれぞれ対応する第1モデル、第2モデル、第3モデル、第4モデル、第5モデルを含む、
ことを特徴とする請求項1に記載のシミュレーション方法。 - 前記第2部材は、前記硬化性組成物に転写すべきパターンを有するパターン領域を含む、
ことを特徴とする請求項1乃至8のいずれか1項に記載のシミュレーション方法。 - 前記パターンが有する凹凸を考慮して各計算要素内における前記硬化性組成物の状態が判定される、
ことを特徴とする請求項9に記載のシミュレーション方法。 - 前記第1部材の表面が有する凹凸を考慮して各計算要素内における前記硬化性組成物の状態が判定される、
ことを特徴とする請求項1乃至10のいずれか1項に記載のシミュレーション方法。 - 請求項1乃至11のいずれか1項に記載のシミュレーション方法をコンピュータに実行させることを特徴とするプログラム。
- 第1部材の上に配置された硬化性組成物の複数の液滴と第2部材とを接触させ、前記第1部材の上に前記硬化性組成物の膜を形成する処理における前記硬化性組成物の挙動を予測するシミュレーション装置であって、
前記硬化性組成物の複数の液滴が1つの計算要素に収まるように複数の計算要素からなる計算格子を定義し、
各計算要素内における前記硬化性組成物の挙動を、各計算要素内における前記硬化性組成物の状態に応じたモデルに従って求める、
ことを特徴とするシミュレーション装置。
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