JP2008309204A - 真空防振装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】円筒状ベローズの両端に、一体的に一対のフランジが取り付けられた真空維持部材と、その一対のフランジ間に複数個の弾性部材とを配置して振動の抑制を図る真空防振装置において、前記フランジ9に複数の穴11が開けられた複数の腕部10(図では4本)を形成し、弾性部材3を取り付ける穴11の位置を変更して所望の振動を抑制できるようにし、さらには振動可視化手段2を取り付けることで、その防振効果を簡単に目で確認できるようにする。
【選択図】図1
Description
(θ:回転振幅、M:回転力、k:バネ定数、L:回転中心からバネまでの距離、I:慣性モーメント、ω:振動周波数)
上式の分母にはバネを設置する位置Lが含まれることから、回転振動の大きさはバネ定数だけでは決まらないことが分かる。振動物体の場合は通常、回転,並進など考えられる全ての振動モードが重なった状態で振動する。このため、弾性体を設置する位置も重要となる。
したがって、この発明の課題は、防振装置の防振効果を振動物体の振動状態に合うように変更可能とし、かつその防振効果を簡単に確認できるようにすることにある。
前記弾性部材の位置を調整する調整機構と、振動を光に変える振動可視化手段とを設けたことを特徴とする。
この請求項1の発明においては、前記フランジには、フランジ中心で点対称となるようにフランジから突出し、前記弾性部材を支持するための複数の腕部を設けることができ(請求項2の発明)、この請求項2の発明においては、前記腕部には、前記弾性部材の取付け位置を調整するための複数の穴を形成することができる(請求項3の発明)。また、上記請求項1〜3の発明においては、前記振動可視化手段は、前記腕部の外側に設けることができる(請求項4の発明)。
これは、主として防振装置を、真空配管等につながるフランジ16と、フランジ16から突出し図示されない弾性部材を設置するための腕部17と、この腕部17の先端を連結する同心円状部材19とから構成したものである。
すなわち、穴23は長方形の穴に対し、図3(b)のように厚さ方向の段差を設けた点が特徴である。そして、この段差の径の大きい方で図1(a)のようなスペーサーを支持し、径の小さい方でナット等を支持するものである。
Claims (9)
- 円筒状ベローズの両端に一体的に一対のフランジが接続された真空維持部材と、その一対のフランジ間に複数個の弾性部材とを配置して振動を抑制する真空防振装置において、
前記弾性部材の位置を調整する調整機構と、振動を光に変える振動可視化手段とを設けたことを特徴とする真空防振装置。 - 前記フランジには、フランジ中心で点対称となるようにフランジから突出し、前記弾性部材を支持するための複数の腕部を設けたことを特徴とする請求項1に記載の真空防振装置。
- 前記腕部には、前記弾性部材の取付け位置を調整するための複数の穴を形成したことを特徴とする請求項2に記載の真空防振装置。
- 前記振動可視化手段は、前記腕部の外側に設けたことを特徴とする請求項1〜3のいずれか1つに記載の真空防振装置。
- 前記フランジは、フランジ中心で点対称となるようにフランジから突出し、前記弾性部材を支持するための複数の腕部を介して、同心円状部材と連結されていること特徴とする請求項1に記載の真空防振装置。
- 前記腕部には、前記弾性部材の取付け位置を調整するための長方形状の穴を形成することを特徴とする請求項5に記載の真空防振装置。
- 前記長方形の穴には、厚さ方向に段差を形成することを特徴とする請求項6に記載の真空防振装置。
- 前記振動可視化手段は、前記同心円状部材の外側に設けることを特徴とする請求項5〜7のいずれか1つに記載の真空防振装置。
- 前記振動可視化手段を、応力発光体とすることを特徴とする請求項1〜8のいずれか1つに記載の真空防振装置。
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