JP2008285281A - Device and method for conveying flexible substrate - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、可撓性基板搬送装置及び可撓性基板の搬送方法に関するものである。 The present invention relates to a flexible substrate transport apparatus and a flexible substrate transport method.
近年、液晶表示装置等の表示装置では、従来から用いられてきたガラス基板に代えて可撓性基板であるプラスチックフィルム基板（以下、フィルム基板ともいう）を用いたものが開発されている。 In recent years, a display device such as a liquid crystal display device has been developed that uses a plastic film substrate (hereinafter also referred to as a film substrate), which is a flexible substrate, instead of a conventionally used glass substrate.
このフィルム基板を用いた表示装置を製造する場合には、生産効率を向上させる観点から、ロールツーロール方式の搬送装置を用いてフィルム基板を複数のローラーにより搬送しながら連続して処理することが好ましい。 When manufacturing a display device using this film substrate, from the viewpoint of improving production efficiency, the film substrate can be continuously processed while being transported by a plurality of rollers using a roll-to-roll transport device. preferable.
ロールツーロール方式の搬送装置を用いて液晶表示装置を製造する方法が、例えば特許文献１に開示されている。この特許文献１では、まず、第１巻き出しロールから巻き出された第１フィルム基板に対して、連続的に、印刷法により電極パターン及び配向膜を形成して上記電極パターン上に液晶材料を滴下する。続いて、第２巻き出しロールから巻き出されて第１フィルム基板とは別個の工程により電極パターン及び配向膜が形成された第２フィルム基板と、上記第１フィルム基板とをそれぞれ搬送しながら貼り合わせることによって、液晶表示装置を製造するようにしている。この製造方法によれば、連続的に液晶セルが生産される。 For example, Patent Document 1 discloses a method of manufacturing a liquid crystal display device using a roll-to-roll type transport device. In Patent Document 1, first, an electrode pattern and an alignment film are continuously formed on a first film substrate unwound from a first unwinding roll by a printing method, and a liquid crystal material is placed on the electrode pattern. Dripping. Subsequently, the second film substrate unwound from the second unwinding roll and formed with the electrode pattern and the alignment film in a process separate from the first film substrate, and the first film substrate are respectively attached while being conveyed. By combining them, a liquid crystal display device is manufactured. According to this manufacturing method, liquid crystal cells are continuously produced.
しかし、ロールツーロール方式の搬送装置を用いて表示装置を製造する場合には、複数のローラーがそれぞれ互いに完全に平行な状態を保ちながらフィルム基板（第１フィルム基板及び第２フィルム基板）を搬送することが難しいため、フィルム基板の搬送中にその基板搬送方向が所望の基板搬送方向から僅かにずれることがある。そうすると、特許文献１のように、第１フィルム基板と第２フィルム基板とを搬送しながら貼り合わせた場合には、第１フィルム基板及び第２フィルム基板の互いの表示領域となる有効領域がずれた状態で貼り合わせられやすい。 However, when manufacturing a display device using a roll-to-roll type transport device, the plurality of rollers transport the film substrates (the first film substrate and the second film substrate) while maintaining a state of being completely parallel to each other. Since it is difficult to do so, the substrate transport direction may slightly deviate from the desired substrate transport direction during transport of the film substrate. Then, as in Patent Document 1, when the first film substrate and the second film substrate are bonded together while being transported, the effective areas serving as the display areas of the first film substrate and the second film substrate are shifted. Easy to stick together.
これに対して、対向物である金型に対する封止テープのテープ搬送方向に斜めの位置ずれを修正する方法として、特許文献２が開示されている。特許文献２の封止テープ供給装置は、封止テープをロールツーロール方式で搬送しながら、巻き出しロール及び巻き取りロールの少なくとも一方の回転軸を通常搬送時の軸方向に対して傾けるθ補正機構により、封止テープのテープ搬送方向に斜めの位置ずれを修正している。
しかし、液晶表示装置を製造する場合には、特許文献１に開示されているように、フィルム基板を連続して複数の工程にかけることが好ましい。ロールツーロール方式の搬送装置によりフィルム基板を連続して複数の工程にかける場合には、フィルム基板が撓むことを抑制するために、巻き出しロールと巻き取りロールとの間にフィルム基板を支持すると共に搬送する複数のローラーを配置する必要がある。 However, when manufacturing a liquid crystal display device, as disclosed in Patent Document 1, it is preferable that the film substrate is continuously subjected to a plurality of steps. When a film substrate is subjected to a plurality of processes continuously by a roll-to-roll type conveying device, the film substrate is supported between the unwinding roll and the take-up roll in order to prevent the film substrate from being bent. In addition, it is necessary to arrange a plurality of rollers to be conveyed.
複数のローラーによりフィルム基板を搬送するロールツーロール方式の搬送装置において、ローラーの間でのフィルム基板の基板搬送方向に対して斜めの位置ずれを修正する場合には、特許文献２の封止テープ供給装置と同様にして、ローラーの回転軸を通常搬送時の軸方向に対して傾けることにより修正することが考えられる。 In a roll-to-roll system conveying apparatus that conveys a film substrate by a plurality of rollers, when correcting an oblique positional deviation with respect to the substrate conveying direction of the film substrate between the rollers, the sealing tape of Patent Document 2 As in the case of the supply device, it is conceivable to correct by tilting the rotation axis of the roller with respect to the axial direction during normal conveyance.
しかし、特許文献２のロールとは異なり各ローラーにはフィルム基板が巻回されていないため、ローラーの回転軸を通常搬送時の軸方向に対して傾けるときに、フィルム基板が回転軸を傾けるローラーの外周面を滑るおそれがある。フィルム基板が回転軸を傾けるローラーの外周面を滑った場合には、フィルム基板の位置ずれを適切に修正することが困難となる。 However, unlike the roll of Patent Document 2, since the film substrate is not wound around each roller, when the rotation axis of the roller is tilted with respect to the axial direction during normal conveyance, the roller on which the film substrate tilts the rotation axis There is a risk of slipping on the outer peripheral surface of the. When the film substrate slides on the outer peripheral surface of the roller that tilts the rotation axis, it is difficult to appropriately correct the positional deviation of the film substrate.
本発明は、斯かる諸点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、対向物に対する可撓性基板の基板搬送方向に斜めの位置ずれを適切に修正しようとすることにある。 The present invention has been made in view of such various points, and an object of the present invention is to appropriately correct an oblique displacement in the substrate transport direction of the flexible substrate with respect to the opposing object.
上記の目的を達成するために、この発明では、回転軸を傾けるローラーの外周面と可撓性基板の表面との間の摩擦力を増大させる摩擦力増大手段を備えるようにした。 In order to achieve the above object, the present invention is provided with a frictional force increasing means for increasing the frictional force between the outer peripheral surface of the roller tilting the rotation axis and the surface of the flexible substrate.
具体的に、本発明に係る可撓性基板搬送装置は、軸方向が互いに平行である複数のローラーを備え、上記複数のローラーが回転することにより可撓性基板を搬送するように構成された可撓性基板搬送装置であって、上記可撓性基板に対向して配置された対向物に対する上記可撓性基板の位置ずれを検出する検出部と、上記検出部によって上記可撓性基板の位置ずれが検出された場合に、少なくとも１つの上記ローラーである修正ローラーの回転軸を、通常搬送時の軸方向に対して傾けることによって、上記可撓性基板の位置ずれを修正する修正機構と、上記修正ローラーの外周面と上記可撓性基板の表面との間の摩擦力を増大させる摩擦力増大手段とを備える。 Specifically, a flexible substrate transport apparatus according to the present invention includes a plurality of rollers whose axial directions are parallel to each other, and is configured to transport the flexible substrate by rotating the plurality of rollers. A flexible substrate transport apparatus, comprising: a detection unit that detects a displacement of the flexible substrate with respect to an opposing object that is disposed to face the flexible substrate; and the detection unit that detects the position of the flexible substrate. A correction mechanism that corrects the positional deviation of the flexible substrate by tilting the rotation axis of the correction roller, which is at least one of the rollers, with respect to the axial direction during normal conveyance when a positional deviation is detected; And a frictional force increasing means for increasing a frictional force between the outer peripheral surface of the correction roller and the surface of the flexible substrate.
上記摩擦力増大手段は、上記修正ローラーに設けられた静電チャックを有していてもよい。 The frictional force increasing means may have an electrostatic chuck provided on the correction roller.
上記摩擦力増大手段は、上記修正ローラーに上記可撓性基板を介して対向して配置され、上記可撓性基板を上記修正ローラーに押圧しながら、上記修正ローラーに連動して上記修正ローラーの回転軸が傾く方向と同じ方向に回転軸が傾く押圧ローラーを有していてもよい。 The frictional force increasing means is disposed to face the correction roller via the flexible substrate, and presses the flexible substrate against the correction roller while interlocking with the correction roller. You may have the press roller in which a rotating shaft inclines in the same direction as the direction in which a rotating shaft inclines.
上記摩擦力増大手段は、上記修正ローラーの回転軸方向の少なくとも一方の端部における外周面に突出して形成された複数の凸部と、上記可撓性基板の幅方向の少なくとも一方の端部に形成されて上記複数の凸部にそれぞれ噛合する複数の貫通孔とにより構成されていてもよい。 The frictional force increasing means includes a plurality of protrusions formed on the outer peripheral surface of at least one end of the correction roller in the rotation axis direction, and at least one end of the flexible substrate in the width direction. You may be comprised by the several through-hole which is formed and each meshes | engages with said several convex part.
上記押圧ローラーは、外周面が樹脂により構成されていることが好ましい。 The pressing roller preferably has an outer peripheral surface made of resin.
上記修正ローラーには、上記可撓性基板が巻き掛けられることが好ましい。 It is preferable that the flexible substrate is wound around the correction roller.
上記修正機構は、上記修正ローラーの一端又は他端を基点として、上記修正ローラーの回転軸を傾けるように構成されていてもよい。 The correction mechanism may be configured to tilt the rotation axis of the correction roller with one end or the other end of the correction roller as a base point.
上記修正機構は、上記修正ローラーの基点と反対側となる先端を上記可撓性基板の搬送方向上手側に移動させるように構成されていてもよい。 The correction mechanism may be configured to move the tip opposite to the base point of the correction roller to the upper side in the conveyance direction of the flexible substrate.
上記修正機構は、上記修正ローラーの基点と反対側となる先端を上記可撓性基板側に移動させるように構成されていてもよい。 The correction mechanism may be configured to move a tip opposite to a base point of the correction roller to the flexible substrate side.
上記修正機構は、上記修正ローラーと、上記修正ローラーにおける上記可撓性基板の搬送方向下手側に並ぶ上記ローラーとを同時に回転軸方向に移動させるように構成されていてもよい。 The correction mechanism may be configured to simultaneously move the correction roller and the roller arranged on the correction roller on the lower side in the conveyance direction of the flexible substrate in the rotation axis direction.
上記検出部は、上記可撓性基板に対向して配置された撮像手段を備え、上記撮像手段により上記可撓性基板に形成されたアライメントマークの位置を検出してもよい。 The detection unit may include an imaging unit arranged to face the flexible substrate, and may detect a position of an alignment mark formed on the flexible substrate by the imaging unit.
上記検出部は、上記可撓性基板にレーザー光を出射する出射部と、上記可撓性基板で反射又は透過した上記レーザー光を受光する受光部とを備え、上記受光部で受光された上記レーザー光に基づいて上記可撓性基板の位置ずれを検出してもよい。 The detection unit includes an emitting unit that emits laser light to the flexible substrate, and a light receiving unit that receives the laser light reflected or transmitted by the flexible substrate, and the light receiving unit receives the laser light. The positional deviation of the flexible substrate may be detected based on laser light.
また、本発明における可撓性基板の搬送方法は、軸方向が互いに平行である複数のローラーを回転させて可撓性基板を搬送する方法であって、上記可撓性基板に対向して配置された対向物に対する上記可撓性基板の位置ずれを検出する検出工程と、上記検出工程で上記可撓性基板の位置ずれが検出された場合に、少なくとも１つの上記ローラーである修正ローラーの回転軸を、通常搬送時の軸方向に対して傾けることによって、上記可撓性基板の位置ずれを修正する修正工程とを有し、上記修正工程では、上記修正ローラーの外周面と上記可撓性基板の表面との間の摩擦力を増大させた状態で上記修正ローラーの回転軸を傾ける。 Further, the method for transporting the flexible substrate in the present invention is a method for transporting the flexible substrate by rotating a plurality of rollers whose axial directions are parallel to each other, and is disposed to face the flexible substrate. A detecting step for detecting a positional deviation of the flexible substrate with respect to the opposed object, and rotation of a correction roller that is at least one of the rollers when the positional deviation of the flexible substrate is detected in the detecting step A correction step of correcting the positional deviation of the flexible substrate by tilting the shaft with respect to the axial direction during normal conveyance. In the correction step, the outer peripheral surface of the correction roller and the flexibility The rotational axis of the correction roller is tilted in a state where the frictional force with the surface of the substrate is increased.
上記修正工程では、上記修正ローラーに設けられた静電チャックにより、上記修正ローラーに上記可撓性基板を吸着させてもよい。 In the correction step, the flexible substrate may be attracted to the correction roller by an electrostatic chuck provided on the correction roller.
上記修正工程では、上記修正ローラーに上記可撓性基板を介して対向して配置された押圧ローラーにより、上記可撓性基板を上記修正ローラーに押圧しながら、上記修正ローラーに連動して上記押圧ローラーの回転軸を上記修正ローラーの回転軸を傾ける方向と同じ方向に傾けてもよい。 In the correction step, the pressing roller disposed in opposition to the correction roller with the flexible substrate interposed therebetween presses the flexible substrate against the correction roller while pressing the flexible substrate against the correction roller. The rotation axis of the roller may be tilted in the same direction as the direction of tilting the rotation axis of the correction roller.
上記修正工程では、上記修正ローラーの回転軸方向の少なくとも一方の端部における外周面に突出して形成された複数の凸部を、上記可撓性基板の幅方向の少なくとも一方の端部に形成された複数の貫通孔にそれぞれ噛合させてもよい。 In the correction step, a plurality of protrusions formed on the outer peripheral surface of at least one end of the correction roller in the rotation axis direction are formed at at least one end in the width direction of the flexible substrate. The plurality of through holes may be engaged with each other.
上記押圧ローラーは、外周面が樹脂により構成されていることが好ましい。 The pressing roller preferably has an outer peripheral surface made of resin.
上記修正ローラーには、上記可撓性基板が巻き掛けられていることが好ましい。 It is preferable that the flexible substrate is wound around the correction roller.
上記修正工程では、上記修正ローラーの一端又は他端を基点として上記修正ローラーの回転軸を傾けてもよい。 In the correction step, the rotation axis of the correction roller may be inclined with one end or the other end of the correction roller as a base point.
上記修正工程では、上記修正ローラーの基点と反対側となる先端を上記可撓性基板の搬送方向上手側に移動させてもよい。 In the correction step, the tip opposite to the base point of the correction roller may be moved to the upper side in the transport direction of the flexible substrate.
上記修正工程では、上記修正ローラーの基点と反対側となる先端を上記可撓性基板側に移動させてもよい。 In the correction step, the tip opposite to the base point of the correction roller may be moved to the flexible substrate side.
上記修正工程では、上記修正ローラーと、上記修正ローラーにおける上記可撓性基板の搬送方向下手側に並ぶ上記ローラーとを同時に回転軸方向に移動させてもよい。 In the correction step, the correction roller and the roller arranged on the correction roller on the lower side in the conveyance direction of the flexible substrate may be simultaneously moved in the rotation axis direction.
上記検出工程では、上記可撓性基板に対向して配置された撮像手段により、上記可撓性基板に形成されたアライメントマークの位置を検出してもよい。 In the detection step, the position of the alignment mark formed on the flexible substrate may be detected by an imaging unit arranged to face the flexible substrate.
上記検出工程では、出射部から上記可撓性基板に出射されて上記可撓性基板で反射又は透過したレーザー光を受光部で受光することにより、上記受光部で受光した上記レーザー光に基づいて上記可撓性基板の位置ずれを検出してもよい。 In the detection step, a laser beam emitted from the emitting unit to the flexible substrate and reflected or transmitted by the flexible substrate is received by the light receiving unit, and based on the laser light received by the light receiving unit. A positional deviation of the flexible substrate may be detected.
上記可撓性基板は、表示装置を構成することが好ましい。 The flexible substrate preferably constitutes a display device.
−作用−
本発明の可撓性基板搬送装置によると、検出部は、可撓性基板に対向して配置された対向物に対する可撓性基板の位置ずれを検出する。修正機構は、検出部によって可撓性基板の位置ずれが検出された場合に、少なくとも１つのローラーである修正ローラーの回転軸を、通常搬送時の軸方向に対して傾けることによって、可撓性基板の位置ずれを修正する。そのことにより、検出部により対向物に対する可撓性基板の基板搬送方向に斜めの位置ずれが検出された場合には、修正機構により回転軸を傾ける修正ローラーの一端側に接触する可撓性基板の張力と修正ローラーの他端側に接触する可撓性基板の張力とに差を生じさせることが可能になる。
-Action-
According to the flexible substrate transport apparatus of the present invention, the detection unit detects a positional shift of the flexible substrate with respect to an opposing object disposed to face the flexible substrate. The correction mechanism is flexible by tilting the rotation axis of the correction roller, which is at least one roller, with respect to the axial direction during normal conveyance when the detection unit detects a displacement of the flexible substrate. Correct the misalignment of the board. As a result, when the detection unit detects an oblique displacement in the substrate transport direction of the flexible substrate with respect to the opposite object, the flexible substrate contacts the one end side of the correction roller that tilts the rotation axis by the correction mechanism. It is possible to make a difference between the tension of the flexible substrate and the tension of the flexible substrate contacting the other end of the correction roller.
修正ローラーの一端側に接触する可撓性基板の張力を修正ローラーの他端側に接触する可撓性基板の張力よりも大きくする場合には、修正ローラーの一端側に接触する可撓性基板が修正ローラーの他端側に接触する可撓性基板に比べて搬送され難くなるため、修正ローラーの一端側に接触する可撓性基板の搬送速度が修正ローラーの他端側に接触する可撓性基板の搬送速度よりも遅くなる。 When the tension of the flexible substrate that contacts one end of the correction roller is greater than the tension of the flexible substrate that contacts the other end of the correction roller, the flexible substrate that contacts one end of the correction roller Is less likely to be conveyed than a flexible substrate that contacts the other end of the correction roller, so that the conveyance speed of the flexible substrate that contacts one end of the correction roller is flexible to contact the other end of the correction roller. It becomes slower than the transfer speed of the conductive substrate.
一方、逆に、修正ローラーの他端側に接触する可撓性基板の張力を修正ローラーの一端側に接触する張力よりも大きくする場合には、修正ローラーの他端側に接触する可撓性基板が修正ローラーの一端側に接触する可撓性基板に比べて搬送され難くなるため、修正ローラーの他端側に接触する可撓性基板の搬送速度が修正ローラーの一端側に接触する可撓性基板の搬送速度よりも遅くなる。 On the other hand, when the tension of the flexible substrate that contacts the other end of the correction roller is larger than the tension that contacts the one end of the correction roller, the flexibility that contacts the other end of the correction roller. Since the substrate is less likely to be conveyed than a flexible substrate that contacts one end of the correction roller, the flexible substrate that contacts the other end of the correction roller has a flexible conveyance speed that contacts the one end of the correction roller. It becomes slower than the transfer speed of the conductive substrate.
したがって、修正ローラーの一端側に接触する可撓性基板の張力と修正ローラーの他端側に接触する可撓性基板の張力とに差を生じさせることにより、修正ローラーの一端側に接触する可撓性基板の搬送速度と修正ローラーの他端側に接触する可撓性基板の搬送速度とに差が生じるため、対向物に対する可撓性基板の基板搬送方向に斜めの位置ずれを修正することが可能になる。そのことにより、対向物に対する可撓性基板の基板搬送方向に斜めの位置ずれを防止して、可撓性基板を適切に搬送することが可能となる。 Therefore, by making a difference between the tension of the flexible substrate that contacts one end of the correction roller and the tension of the flexible substrate that contacts the other end of the correction roller, it is possible to contact one end of the correction roller. Since there is a difference between the conveyance speed of the flexible substrate and the conveyance speed of the flexible substrate that contacts the other end of the correction roller, correcting the oblique displacement in the substrate conveyance direction of the flexible substrate with respect to the opposite object Is possible. As a result, it is possible to prevent the position of the flexible substrate from being obliquely displaced in the substrate transport direction with respect to the opposite object, and to transport the flexible substrate appropriately.
それに加えて、修正ローラーの外周面と可撓性基板の表面との間の摩擦力を増大させる摩擦力増大手段を備えているため、修正ローラーの回転軸を傾けるときに、可撓性基板が修正ローラーの外周面を滑ることが抑制される。そのことにより、対向物に対する可撓性基板の基板搬送方向に斜めの位置ずれを適切に修正することが可能になる。 In addition, since a frictional force increasing means for increasing the frictional force between the outer peripheral surface of the correction roller and the surface of the flexible substrate is provided, when the rotation axis of the correction roller is tilted, the flexible substrate is Slip on the outer peripheral surface of the correction roller is suppressed. As a result, it is possible to appropriately correct an oblique positional shift in the substrate transport direction of the flexible substrate with respect to the opposite object.
上記摩擦増大手段が修正ローラーに可撓性基板を介して対向して配置され、可撓性基板を修正ローラー側に押圧する押圧ローラーを有し、その押圧ローラーの外周面が樹脂により構成されている場合には、押圧ローラーの外周面と可撓性基板の表面との間の摩擦力が増大する。そのことにより、修正ローラーに連動して押圧ローラーの回転軸を傾けるときに、可撓性基板が押圧ローラーの外周面を滑ることが抑制される。 The friction increasing means is arranged to face the correction roller through the flexible substrate, has a pressing roller for pressing the flexible substrate to the correction roller side, and the outer peripheral surface of the pressing roller is made of resin. When it exists, the frictional force between the outer peripheral surface of a press roller and the surface of a flexible substrate increases. This suppresses the flexible substrate from sliding on the outer peripheral surface of the pressing roller when the rotation axis of the pressing roller is tilted in conjunction with the correction roller.
修正ローラーに可撓性基板が巻き掛けられる場合には、回転軸を傾けることにより修正ローラーの一端側に接触する可撓性基板の張力と修正ローラーの他端側に接触する可撓性基板の張力とに差を生じさせやすくなるため、修正ローラーの一端側に接触する可撓性基板の搬送速度と修正ローラーの他端側に接触する可撓性基板の搬送速度とに差を生じさせることが容易になる。 When the flexible substrate is wound around the correction roller, by tilting the rotation axis, the tension of the flexible substrate contacting one end of the correction roller and the flexible substrate contacting the other end of the correction roller are tilted. Since it is easy to cause a difference in tension, a difference is caused between the conveyance speed of the flexible substrate that contacts one end of the correction roller and the conveyance speed of the flexible substrate that contacts the other end of the correction roller. Becomes easier.
修正機構が修正ローラーと修正ローラーの基板搬送方向下手側に並ぶローラーとを同時に回転軸方向に移動させるように構成されている場合には、検出部によって可撓性基板におけるローラーの回転軸方向の位置ずれが検出された場合に、修正ローラと修正ローラーの基板搬送方向下手側のローラーとを同時に回転軸方向に移動させることにより、可撓性基板におけるローラーの回転軸方向の位置ずれを修正することが可能になる。 When the correction mechanism is configured to simultaneously move the correction roller and the roller arranged on the lower side of the substrate conveyance direction of the correction roller in the rotation axis direction, the detection unit causes the roller in the flexible substrate to move in the rotation axis direction. When a misalignment is detected, the misalignment of the roller on the flexible substrate in the rotational axis direction is corrected by simultaneously moving the correction roller and the lower roller of the correction roller in the substrate transport direction in the rotational axis direction. It becomes possible.
また、本発明の可撓性基板の搬送方法によると、検出工程では、可撓性基板に対向して配置された対向物に対する可撓性基板の位置ずれを検出する。 Further, according to the flexible substrate transport method of the present invention, in the detection step, the displacement of the flexible substrate with respect to the opposing object arranged to face the flexible substrate is detected.
修正工程では、検出工程で可撓性基板の位置ずれが検出された場合に、少なくとも１つのローラーである修正ローラーの回転軸を、通常搬送時の軸方向に対して傾けることによって、可撓性基板の位置ずれを修正するため、検出工程で対向物に対する可撓性基板の基板搬送方向に斜めの位置ずれが生じたときに、修正ローラーの一端側に接触する可撓性基板の張力と他端側に接触する可撓性基板の張力とに差を生じさせることが可能になる。修正ローラーの一端側に接触する可撓性基板の張力と他端側に接触する可撓性基板の張力とに差を生じさせることにより、修正ローラーの一端側に接触する可撓性基板の搬送速度と修正ローラーの他端側に接触する可撓性基板の搬送速度とに差が生じるため、対向物に対する可撓性基板の基板搬送方向に斜めの位置ずれを修正することが可能になる。したがって、対向物に対する可撓性基板の基板搬送方向に斜めの位置ずれを防止して、可撓性基板を適切に搬送することが可能となる。 In the correction process, when the displacement of the flexible substrate is detected in the detection process, the rotation axis of the correction roller, which is at least one roller, is tilted with respect to the axial direction at the time of normal conveyance, thereby providing flexibility. In order to correct the displacement of the substrate, when the oblique displacement occurs in the substrate transport direction of the flexible substrate with respect to the opposing object in the detection process, the tension of the flexible substrate that contacts one end of the correction roller and the other It is possible to make a difference between the tension of the flexible substrate contacting the end side. Transporting a flexible substrate that contacts one end of the correction roller by creating a difference between the tension of the flexible substrate that contacts one end of the correction roller and the tension of the flexible substrate that contacts the other end Since there is a difference between the speed and the conveyance speed of the flexible substrate that contacts the other end of the correction roller, it is possible to correct the oblique displacement in the substrate conveyance direction of the flexible substrate with respect to the opposite object. Therefore, it is possible to prevent the positional displacement of the flexible substrate with respect to the opposite object from being oblique and to convey the flexible substrate appropriately.
それに加えて、修正工程では、修正ローラーの外周面と可撓性基板の表面との間の摩擦力を増大させた状態で修正ローラーの回転軸を傾けるため、可撓性基板が修正ローラーの外周面を滑ることが抑制される。そのことにより、対向物に対する可撓性基板の基板搬送方向に斜めの位置ずれを適切に修正することが可能になる。 In addition, in the correction process, since the rotation axis of the correction roller is tilted while the frictional force between the outer peripheral surface of the correction roller and the surface of the flexible substrate is increased, the flexible substrate is arranged on the outer periphery of the correction roller. Slip on the surface is suppressed. As a result, it is possible to appropriately correct an oblique positional shift in the substrate transport direction of the flexible substrate with respect to the opposite object.
修正工程において可撓性基板を修正ローラーに押圧する押圧ローラーの外周面が樹脂により構成されている場合には、押圧ローラーの外周面と可撓性基板の表面との間の摩擦力が増大するため、修正ローラーに連動して押圧ローラーの回転軸を傾けるときに可撓性基板が押圧ローラーの外周面を滑ることが抑制される。 When the outer peripheral surface of the pressing roller that presses the flexible substrate against the correcting roller in the correction process is made of resin, the frictional force between the outer peripheral surface of the pressing roller and the surface of the flexible substrate increases. Therefore, the flexible substrate is prevented from slipping on the outer peripheral surface of the pressing roller when the rotation axis of the pressing roller is tilted in conjunction with the correction roller.
修正ローラーに可撓性基板が巻き掛けられている場合には、回転軸を傾けることにより修正ローラーの一端側に接触する可撓性基板の搬送速度と修正ローラーの他端側に接触する可撓性基板の搬送速度とに差を生じさせることが容易になる。 When the flexible substrate is wound around the correction roller, the flexible substrate is brought into contact with one end of the correction roller by tilting the rotation axis, and the flexible substrate is in contact with the other end of the correction roller. It is easy to make a difference between the transport speed of the conductive substrate.
修正工程において、修正ローラーと、修正ローラーの基板搬送方向下手側に並ぶローラーとを同時に回転軸方向に移動させる場合には、検出工程で可撓性基板におけるローラーの回転軸方向の位置ずれが検出された場合に、その可撓性基板におけるローラーの回転軸方向の位置ずれを修正することが可能になる。 In the correction process, when the correction roller and the roller aligned on the lower side in the substrate transport direction of the correction roller are simultaneously moved in the rotation axis direction, the detection process detects the positional deviation of the roller in the rotation axis direction on the flexible substrate. In such a case, it is possible to correct the positional deviation in the rotation axis direction of the roller on the flexible substrate.
可撓性基板が表示装置を構成する場合には、表示装置を連続して製造することが可能になるため、生産性を向上させることが可能となる。 When the flexible substrate constitutes the display device, the display device can be continuously manufactured, and thus productivity can be improved.
本発明によれば、修正ローラーの外周面と可撓性基板の表面との間の摩擦力を増大させる摩擦力増大手段を備えているため、修正ローラーの回転軸を傾けるときに、可撓性基板が修正ローラーの外周面を滑ることを抑制できる。その結果、対向物に対する可撓性基板の基板搬送方向に斜めの位置ずれを適切に修正することができる。 According to the present invention, since the frictional force increasing means for increasing the frictional force between the outer peripheral surface of the correction roller and the surface of the flexible substrate is provided, when the rotation axis of the correction roller is tilted, the flexibility is increased. It can suppress that a board | substrate slips on the outer peripheral surface of a correction roller. As a result, it is possible to appropriately correct an oblique displacement in the substrate transport direction of the flexible substrate with respect to the opposing object.
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。尚、本発明は、以下の実施形態に限定されるものではない。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. The present invention is not limited to the following embodiment.
《発明の実施形態１》
図１〜図７は、本発明の実施形態１を示している。図１〜図５は、本実施形態１の可撓性基板搬送装置の要部を示す概略図である。図６は、第１フィルム基板１５に位置ずれが生じた状態の貼り合わせフィルム基板を第２フィルム基板１６側から示す図である。図７は、可撓性基板搬送装置により製造される液晶表示装置Ｓを概略的に示す断面図である。尚、図２については、反射ミラー１９の図示を省略した。また、図４については、第１フィルム基板１５と第１フィルム基板１５を搬送する一対のローラー１０とのみを図示した。
Embodiment 1 of the Invention
1 to 7 show Embodiment 1 of the present invention. 1 to 5 are schematic views showing the main part of the flexible substrate carrying apparatus of the first embodiment. FIG. 6 is a diagram showing the bonded film substrate in a state where the
まず、表示装置である液晶表示装置Ｓの製造に用いる本実施形態１の可撓性基板搬送装置について説明する。 First, the flexible substrate transfer apparatus according to the first embodiment used for manufacturing the liquid crystal display device S as a display device will be described.
可撓性基板搬送装置は、図１〜図３に示すように、軸方向が互いに平行である複数のローラー１０を備え、複数のローラー１０が回転することによりそれぞれ可撓性基板基板である第１フィルム基板１５及び第２フィルム基板１６を搬送するように構成されている。
As shown in FIGS. 1 to 3, the flexible substrate transport apparatus includes a plurality of
上記複数のローラー１０は、それぞれ通常搬送時の軸方向が基板搬送方向に対して９０°に配置されている。また、各ローラー１０は、例えばアルミニウム等により形成されており、直径が、例えば７６．２ｍｍ以上且つ２００ｍｍ以下等の大きさである。
The plurality of
上記第１フィルム基板１５及び第２フィルム基板１６は、図示は省略するが、それぞれ第１巻き出しロール及び第２巻き出しロールから巻き出されて搬送される。すなわち、第１巻き出しロール及び第２巻き出しロールは、ロール状に巻かれた第１フィルム基板１５及び第２フィルム基板１６がそれぞれリールに取り付けられて構成されている。そうして、可撓性基板搬送装置は、これら第１巻き出しロール及び第２巻き出しロールからそれぞれ第１フィルム基板１５及び第２フィルム基板１６をそれぞれ巻き出すと共に複数のローラー１０により支持しながら搬送することにより、より長尺な第１フィルム基板１５及び第２フィルム基板１６に対して連続して所定の処理を施すことが可能になっている。
Although illustration is abbreviate | omitted, the said 1st film board |
上記可撓性基板搬送装置は、搬送される第１フィルム基板１５にＴＦＴ（薄膜トランジスタ）、画素電極及びカラーフィルタ等を形成する素子基板領域形成部と、搬送される第２フィルム基板１６に共通電極等を形成する対向基板領域形成部と、第１フィルム基板１５と第２フィルム基板１６とを貼り合わせる貼り合わせ部とを備えている。
The flexible substrate transport device includes an element substrate region forming unit that forms TFTs (thin film transistors), pixel electrodes, color filters, and the like on the transported
素子基板領域形成部は、対向物であるマスク１８を介して第１フィルム基板１５を露光する第１露光部を備え、対向基板領域形成部は、マスクを介して第２フィルム基板１６を露光する第２露光部を備えている。
The element substrate region forming unit includes a first exposure unit that exposes the
上記第１露光部は、図１及び図２に示すように、一対のローラー１０により第１フィルム基板１５を搬送しながら、第１フィルム基板１５にマスク１８を介してプロキシミティ露光を施すように構成されている。図２の２４は、第１フィルム基板１５の搬送方向を示している。
As shown in FIGS. 1 and 2, the first exposure unit performs proximity exposure on the
すなわち、第１露光部には、第１フィルム基板１５を搬送する一対のローラー１０の間に板状のステージ１７が設置されており、このステージ１７に第１フィルム基板１５を介して対向するようにマスク１８が配置されている。このマスク１８には、所定のパターンが描かれている。マスク１８の第１フィルム基板１５と反対側には、マスク１８に対して傾けて設置され、基板搬送方向２４から照射された光をマスク１８側に反射する反射ミラー１９が配置されている。
That is, the first exposure unit is provided with a plate-
この反射ミラー１９の基板搬送方向２４側には反射ミラー１９に向かって均一照度の平行光を出射する光学系及び光源２０が設置されている。この光学系及び光源２０は、第１フィルム基板１５を搬送する上記一対のローラー１０における基板搬送方向２４側のローラー１０上に配置されている。
An optical system and a
さらに、反射ミラー１９とマスク１８との間には、照射された光を平行光にするコリメーター２１が配置されている。そうして、第１露光部は、光源２０から反射ミラー１９に向かって照射された平行光が反射ミラー１９で反射することにより、コリメーター２１及びマスク１８を順に介して第２フィルム基板１６を所定パターンで露光するようになっている。図１及び図２の２２は、光の進行方向を示している。
Further, a
さらに、第１露光部は、第１フィルム基板１５に対向して配置されたマスク１８に対する第１フィルム基板１５の位置ずれを検出する検出部と、検出部によって第１フィルム基板１５の位置ずれが検出された場合に、１つのローラー１０である修正ローラー１１の回転軸を、通常搬送時の軸方向に対して傾けることによって、第１フィルム基板１５の位置ずれを修正する修正機構と、修正ローラー１１の外周面と第１フィルム基板１５の表面との間の摩擦力を増大させる摩擦力増大手段とを備えている。
Further, the first exposure unit detects a positional deviation of the
上記検出部は、第１フィルム基板１５に対向配置された撮像手段２３を備え、その撮像手段２３により第１フィルム基板１５に形成されたアライメントマーク２１の位置を検出する。撮像手段２３は、例えばＣＣＤカメラ等であり、マスク１８及びコリメーター２１における第１フィルム基板１５の幅方向外側に複数設置され、搬送される第１フィルム基板１５の有効領域の四隅に形成されたアライメントマーク２８にそれぞれ対向するように配置されている。アライメントマーク２８は、例えば第１フィルム基板１５の表面に予め形成された電極パターン等である。そうして、検出部は、アライメントマーク２８の位置を検出することによってマスク１８に対する第１フィルム基板１５の位置ずれを検出するようになっている。
The detection unit includes an
上記修正機構は、検出部によって第１フィルム基板１５の基板搬送方向２４に斜めの位置ずれが検出された場合に、図４に示すように、第１フィルム基板１５を搬送する一対のローラー１０における基板搬送方向２４上手側の修正ローラー１１の一端側又は他端側を基点として、修正ローラー１１の回転軸を傾け、その修正ローラー１１の基点と反対側となる先端を第１フィルム基板１５の搬送方向２４上手側に移動させるように構成されている。
The correction mechanism includes a pair of
上記修正ローラー１１は、例えば従動ローラーであり、回転軸が通常搬送時の軸方向に対して例えば２°以下等の範囲で傾けることが可能になっている。また、修正ローラー１１には、第１フィルム基板１５が巻き掛けられる。
The
上記修正機構により修正ローラー１１の一端を基点として、修正ローラー１１の回転軸を傾け、修正ローラー１１の基点と反対側となる先端を第１フィルム基板１５の搬送方向２４上手側に移動させた場合には、修正ローラー１１が２点鎖線で示す修正ローラー１１の位置２５に配置する。そのことにより、修正ローラー１１の他端側に接触する第１フィルム基板１５の張力が修正ローラー１１の一端側に接触する第１フィルム基板１５の張力よりも大きくなり、修正ローラー１１の他端側に接触する第１フィルム基板１５が修正ローラー１１の一端側に接触する第１フィルム基板１５よりも搬送され難くなる。そうすると、修正ローラー１１の他端側に接触する第１フィルム基板１５の搬送速度が修正ローラー１１の一端側に接触する第１フィルム基板１５の搬送速度よりも遅くなる。
When the
一方、修正機構により修正ローラー１１の他端を基点として、修正ローラー１１の回転軸を傾け、修正ローラー１１の基点と反対側となる先端を第１フィルム基板１５の搬送方向２４上手側に移動させた場合には、修正ローラー１１が２点鎖線で示す修正ローラー１１の位置２６に配置する。そのことにより、修正ローラー１１の一端側に接触する第１フィルム基板１５の張力が修正ローラー１１の他端側に接触する第１フィルム基板１５の張力よりも大きくなり、修正ローラー１１の一端側に接触する第１フィルム基板１５の搬送速度が修正ローラー１１の他端側に接触する第１フィルム基板１５の搬送速度よりも遅くなる。
On the other hand, the correction mechanism tilts the rotation axis of the
そうして、修正機構は、検出部により位置ずれが検出された第１フィルム基板１５の領域を修正ローラー１１よりも基板搬送方向２４とは反対側に搬送した後に、修正ローラー１１の回転軸を通常搬送時の軸方向に対して傾けて、修正ローラー１１の一端に接触する第１フィルム基板１５の搬送速度と他端側に接触する第１フィルム基板１５の搬送速度とに差を生じさせることによって、マスク１８に対する第１フィルム基板１５の基板搬送方向２４に斜めの位置ずれを修正するように構成されている。
Then, after the correction mechanism transports the region of the
さらに、修正機構は、修正ローラー１１と、修正ローラー１１の第１フィルム基板１５の搬送方向下手側に並ぶローラー１０とを同時に回転軸方向に移動させるように構成されている。すなわち、修正機構は、検出部によってマスク１８に対する第１フィルム基板１５におけるローラー１０の回転軸方向の位置ずれが検出された場合に、修正ローラー１１と修正ローラー１１の基板搬送方向下手側のローラー１０とを、マスク１８に対して第１フィルム基板１５がずれた方向とは反対側の回転軸方向に移動させることにより、第１フィルム基板１５の回転軸方向の位置ずれを修正するようになっている。
Further, the correction mechanism is configured to simultaneously move the
尚、上記修正機構は、各ローラー１０の回転速度を必要に応じて変化させるように構成されている。すなわち、修正機構は、検出部によりマスク１８に対する第１フィルム基板１５の基板搬送方向の位置ずれが検出された場合に、各ローラー１０の回転速度を変化させることによって第１フィルム基板１５の基板搬送方向の位置ずれを修正するようになっている。このように、第１露光部は、マスク１８に対する第１フィルム基板１５の位置ずれを修正すると共に第１フィルム基板１５に露光を施すように構成されている。
In addition, the said correction mechanism is comprised so that the rotational speed of each
上記摩擦力増大手段は、修正ローラー１１に設けられた静電チャック１３を有している。静電チャック１３は、修正ローラー１１の外縁に設けられている。また、静電チャック１３は、修正ローラー１１の内部に修正ローラー１１の外周面に沿って埋設された電極１４を備えている。この静電チャック１３は、電極１４に電圧を印加することにより発生する静電力により、第１フィルム基板１５を修正ローラー１１の外周面に静電吸着する。そのことにより、修正ローラー１１の外周面と第１フィルム基板１５の表面との間の摩擦力を増大させる。
The frictional force increasing means has an
尚、本明細書において修正ローラー１１の外周面と第１フィルム基板１５の表面との間の摩擦力を増大させるとは、修正ローラー１１の外周面と第１フィルム基板１５の表面との間の摩擦力を摩擦力増大手段を備えていない場合よりも増大させることを意味する。
In this specification, increasing the frictional force between the outer peripheral surface of the
上記第２露光部は、上記第１露光部と同様に構成されている。すなわち、第２露光部は、第１露光部と同様の検出部、修正機構及び摩擦力増大手段を有し、一対のローラー１０により第２フィルム基板１６を搬送しながら、マスク１８に対する第２フィルム基板１６の位置ずれを修正すると共に第２フィルム基板１６にマスク１８を介してプロキシミティ露光を施すように構成されている。
The second exposure unit is configured in the same manner as the first exposure unit. That is, the second exposure unit has the same detection unit, correction mechanism, and frictional force increasing means as the first exposure unit, and the second film with respect to the
上記貼り合わせ部は、図３に示すように、それぞれ一対のローラー１０により第１フィルム基板１５及び第２フィルム基板１６を搬送しながら、第１フィルム基板１５に第２フィルム基板１６を対向配置させて貼り合わせるように構成されている。すなわち、第２フィルム基板１６は、第１フィルム基板１５の対向物である。ここで、図３の２５は、第２フィルム基板１６の搬送方向を示している。
As shown in FIG. 3, the bonding unit causes the
貼り合わせ部には、第１フィルム基板１５を搬送する一対のローラー１０の間に、搬送される第１フィルム基板１５の一方の表面に沿うように板状のステージ２７が配置されている。また、第２フィルム基板１６を搬送する一対のローラー１０の間には、第２フィルム基板１６を第１フィルム基板１５側に押圧するローラー１２が、ステージ２７の表面に対向して配置されている。そうして、貼り合わせ部は、一対のローラー１０により搬送される第２フィルム基板１６をローラー１２により第１フィルム基板１５を介してステージ２７に押しつけることにより、第１フィルム基板１５と第２フィルム基板１６とを貼り合わせるようになっている。
A plate-
この貼り合わせ部も、上記第１露光部及び第２露光部と同様に、検出部、修正機構及び摩擦力増大手段を備え、第２フィルム基板１６に対する第１フィルム基板１５の位置ずれを修正すると共に第１フィルム基板１５と第２フィルム基板１６とを貼り合わせるように構成されている。
Similarly to the first exposure unit and the second exposure unit, the bonding unit also includes a detection unit, a correction mechanism, and a frictional force increasing unit, and corrects the positional deviation of the
貼り合わせ部の検出部は、図５に示すように、第１フィルム基板１５と、第２フィルム基板１６とが貼り合わせられた貼り合わせフィルム基板に対向して配置されたＣＣＤカメラ等の撮像手段２３を備え、その撮像手段２３により第１フィルム基板１５及び第２フィルム基板１６の表面にそれぞれ形成されたアライメントマーク２８，２９をそれぞれ検出する。そうして、検出された第１フィルム基板１５及び第２フィルム基板１６のそれぞれのアライメントマーク２８，２９の位置に基いて第２フィルム基板１６に対する第１フィルム基板１５の位置ずれを検出するようになっている。
As shown in FIG. 5, the detection unit of the bonding unit is an imaging unit such as a CCD camera disposed so as to face the bonded film substrate on which the
貼り合わせ部の修正機構は、上記第１露光部の修正機構と同様に、検出部によって第２フィルム基板１６に対する第１フィルム基板１５の位置ずれが検出された場合に、第１フィルム基板１５を搬送する一対のローラー１０における基板搬送方向２４上手側の修正ローラー１１の回転軸を、通常搬送時の軸方向に対して傾けることによって、第２フィルム基板１６に対する第１フィルム基板１５の基板搬送方向２４に斜めの位置ずれを修正するように構成されている。
Similar to the correction mechanism of the first exposure unit, the correction unit of the bonding unit moves the
また、貼り合わせ部の修正機構は、上記第１露光部の修正機構と同様に、検出部によって第２フィルム基板１６に対する第１フィルム基板１５のローラー１０の回転軸方向の位置ずれが検出された場合には、修正ローラー１１と、修正ローラー１１の基板搬送方向下手側のローラー１０とを同時に回転軸方向に移動させるように構成されている。そのことにより、第２フィルム基板１６に対する第１フィルム基板１５の回転軸方向の位置ずれを修正するようになっている。
Further, in the correction mechanism of the bonding unit, as in the correction mechanism of the first exposure unit, the detection unit detects a displacement in the rotation axis direction of the
尚、この修正機構は、上記第１露光部の修正工程と同様に、必要に応じて各ローラー１０の回転速度を変化させることによって、第２フィルム基板１６に対する第１フィルム基板１５の基板搬送方向の位置ずれを修正するように構成されている。
In addition, this correction | amendment mechanism changes the board | substrate conveyance direction of the 1st film board |
さらに、可撓性基板搬送装置は、第２フィルム基板１６の各有効領域にシール部材３７を供給するシール供給部と、第２フィルム基板１６に供給されたシール部材３７の内側に液晶材料を滴下する滴下部と、貼り合わせフィルム基板を各有効領域毎に分断する分断部とを備えている。そうして、可撓性基板搬送装置は、第１巻き出しロール及び第２巻き出しロールからそれぞれ巻き出された第１フィルム基板１５及び第２フィルム基板１６に連続して所定の処理を施して液晶表示装置Ｓを製造するようになっている。
Furthermore, the flexible substrate transport device drops a liquid crystal material inside the seal supply unit that supplies the
次に、上記可撓性基板搬送装置により製造する液晶表示装置Ｓについて説明する。 Next, the liquid crystal display device S manufactured by the flexible substrate transfer device will be described.
液晶表示装置Ｓは、図７に示すように、素子基板３０と、素子基板３０に対向して設けられた対向基板３１と、これら素子基板３０と対向基板３１との間に形成された液晶層３２とを備えている。
As shown in FIG. 7, the liquid crystal display device S includes an
上記素子基板３０は、図示は省略するが、第１フィルム基板１５の表面に複数の画素が設けられ、各画素毎にＴＦＴ、画素電極及びカラーフィルタが形成された構造を有する。また、素子基板３０には、液晶層３２側の表面に配向膜３３が設けられていると共に、液晶層３２とは反対側の表面に偏光板３４が積層されている。
Although not shown, the
上記対向基板３１は、図示は省略するが、第２フィルム基板１６の表面にＩＴＯからなる共通電極が形成された構造を有する。また、対向基板３１には、液晶層３２側の表面に配向膜３５が設けられていると共に、液晶層３２とは反対側の表面に偏光板３６が積層されている。
Although not shown, the
上記液晶層３２は、素子基板３０と対向基板３１との間に介在されたシール部材３７によって封止されている。こうして、液晶表示装置Ｓは、ＴＦＴにより液晶層３２における液晶分子の配向を制御して所望の表示を行うようになっている。
The
−製造方法−
次に、上記液晶表示装置Ｓの製造方法と共に液晶表示装置Ｓを構成する第１フィルム基板１５及び第２フィルム基板１６の搬送方法について説明する。
-Manufacturing method-
Next, the conveyance method of the
液晶表示装置Ｓの製造方法には、素子基板領域形成工程と、対向基板領域基板形成工程と、貼り合わせ工程と、分断工程とが含まれ、第１フィルム基板１５及び第２フィルム基板１６を、それぞれ軸方向が互いに平行である複数のローラー１０により搬送しながら、素子基板領域形成工程、対向基板領域形成工程、貼り合わせ工程及び分断工程にかけて液晶表示装置Ｓを製造する。第１フィルム基板１５及び第２フィルム基板１６の搬送速度は、それぞれ例えば毎分６００ｍｍ以上且つ９００ｍｍ以下等である。
The manufacturing method of the liquid crystal display device S includes an element substrate region forming step, a counter substrate region substrate forming step, a bonding step, and a dividing step. The
第１フィルム基板１５及び第２フィルム基板１６は、基板長さ方向に並んで液晶表示装置Ｓの表示領域を構成する複数の有効領域を有し、例えば幅が５００ｍｍ等であり、厚みが５０μｍ以上且つ１００μｍ以下等である。また、第１フィルム基板１５及び第２フィルム基板１６は、例えば、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）と、ＰＥＮ（ポリエチレンナフタレート）と、ＰＥＳ（ポリエチレンサルファイル）と、ガラス繊維が混入された樹脂との少なくとも１つ等から形成されている。
The 1st film board |
上記素子基板領域形成工程では、まず、第１巻き出しロールから巻き出した第１フィルム基板１５の有効領域に連続してＴＦＴ、画素電極及びカラーフィルタ等を形成する。この素子基板領域形成工程には、露光工程が含まれる。
In the element substrate region forming step, first, a TFT, a pixel electrode, a color filter, and the like are formed continuously in an effective region of the
露光工程では、図１及び図２に示すように、一対のローラー１０により第１フィルム基板１５を支持しながら搬送すると共に、第１フィルム基板１５の有効領域をマスク１８を介して露光する。
In the exposure step, as shown in FIGS. 1 and 2, the
この露光工程には、第１フィルム基板１５とマスク１８との位置ずれを検出する検出工程と、検出工程で第１フィルム基板１５の位置ずれが検出された場合に、上記一対のローラー１０における基板搬送方向２４上手側の修正ローラー１１の回転軸を、通常搬送時の軸方向に対して傾けることによって、第１フィルム基板１５の位置ずれを修正する修正工程とが含まれる。
The exposure process includes a detection process for detecting a positional deviation between the
上記検出工程では、第１フィルム基板１５に対向配置された撮像手段２３により、第１フィルム基板１５に形成されたアライメントマーク２８を検出する。そうして、検出された第１フィルム基板１５のアライメントマーク２８の位置に基づいてマスク１８に対する第１フィルム基板１５の位置ずれを検出する。
In the detection step, the
上記修正工程では、図４に示すように、修正ローラー１１の一端又は他端を基点として、修正ローラー１１の回転軸を傾け、修正ローラー１１の基点と反対側となる先端を第１フィルム基板１５の搬送方向２４上手側に移動させる。そのことにより、修正ローラー１１の一端側に接触する第１フィルム基板１５の搬送速度と修正ローラー１１の他端側に接触する第１フィルム基板１５の搬送速度とに差を生じさせ、マスク１８に対する第１フィルム基板１５の基板搬送方向２４に斜めの位置ずれを修正する。
In the correction step, as shown in FIG. 4, the rotation axis of the
すなわち、検出工程によりマスク１８に対する第１フィルム基板１５の基板搬送方向２４に斜めの位置ずれを検出した場合には、まず、複数のローラー１０を逆回転させて第１フィルム基板１５を基板搬送方向２４とは反対方向に搬送することにより、位置ずれが検出された有効領域を修正ローラー１１よりも基板搬送方向２４と反対側に配置させる。
That is, when an oblique position shift is detected in the
続いて、検出工程により検出された第１フィルム基板１５の位置ずれが、図２で示す第１フィルム基板１５の搬送方向２４に対して斜め上の位置ずれである場合には、修正ローラー１１の一端を基点として、修正ローラー１１の回転軸を傾けることにより、修正ローラー１１の一端側に接触する第１フィルム基板１５の張力よりも修正ローラー１１の他端側に接触する第１フィルム基板１５の張力を大きくする。そのことにより、修正ローラー１１の他端側に接触する第１フィルム基板１５を修正ローラー１１の一端側に接触する第１フィルム基板１５よりも搬送され難くした状態で、第１フィルム基板１５を基板搬送方向２４に搬送して、修正ローラー１１の他端側に接触する第１フィルム基板１５の搬送速度を修正ローラー１１の一端側に接触する第１フィルム基板１５の搬送速度よりも遅くする。そうして、修正ローラー１１の一端側に接触する第１フィルム基板１５を修正ローラー１１の他端側に接触する第１フィルム基板１５よりも速く搬送することにより、マスク１８に対する第１フィルム基板１５の上記基板搬送方向２４に対して斜め上の位置ずれを修正する。
Subsequently, when the positional deviation of the
一方、検出工程により検出された第１フィルム基板１５の位置ずれが、図２で示す第１フィルム基板１５の搬送方向２４に対して斜め下の位置ずれである場合には、修正ローラー１１の他端を基点として、修正ローラー１１の回転軸を傾けることにより、修正ローラー１１の他端側に接触する第１フィルム基板１５の張力よりも一端側に接触する第１フィルム基板１５の張力を大きくした状態で、第１フィルム基板１５を基板搬送方向２４に搬送して、修正ローラー１１の一端側に接触する第１フィルム基板１５の搬送速度を修正ローラー１１の他端側に接触する第１フィルム基板１５の搬送速度よりも遅くする。そうして、マスク１８に対する第１フィルム基板１５の上記基板搬送方向２４に対して斜め下の位置ずれを修正する。
On the other hand, when the positional deviation of the
この修正工程では、修正ローラー１１に設けられた静電チャック１３により、修正ローラー１１に第１フィルム基板１５を静電吸着させる。そのことにより、修正ローラー１１の外周面と第１フィルム基板１５との間の摩擦力を増大させた状態で修正ローラー１１の回転軸を傾ける。
In this correction step, the
また、修正工程では、修正ローラー１１と、修正ローラー１１の第１フィルム基板１５の搬送方向下手側に並ぶローラー１０とを同時に回転軸方向に移動させる。すなわち、検出工程により、マスク１８に対する第１フィルム基板１５におけるローラー１０の回転軸方向の位置ずれが検出された場合には、修正ローラー１１と、修正ローラー１１の基板搬送方向下手側のローラー１０とを第１フィルム基板１５がずれた方向とは反対側の回転軸方向に移動させることにより、第１フィルム基板１５の回転軸方向の位置ずれを修正する。
In the correction process, the
尚、検出工程により、マスク１８に対する第１フィルム基板１５の基板搬送方向２４の位置ずれが検出された場合には、必要に応じて修正ローラー１１の回転速度を変化させることにより、第１フィルム基板１５における基板搬送方向の位置ずれを修正する。このようにして、露光工程では、マスク１８に対する第１フィルム基板１５の位置ずれを修正すると共に第１フィルム基板１５に露光を施す。
In addition, when the position shift of the board |
その後、第１フィルム基板１５を搬送しながら、第１フィルム基板１５のＴＦＴ及び画素電極等が形成された有効領域に、例えば印刷法等により配向膜３３を形成する。
Thereafter, while the
上記対向基板領域形成工程では、まず、第２巻き出しロールから送り出された第２フィルム基板１６の有効領域に連続して共通電極等を形成する。この対向基板領域形成工程には、素子基板領域形成工程の露光工程と同様の露光工程が含まれる。すなわち、対向基板領域形成工程における露光工程は、検出工程及び修正工程を有し、修正ローラー１１の外周面と第２フィルム基板１６の表面との間の摩擦力を増大させた状態で修正ローラー１１の回転軸を傾けることにより、マスク１８に対する第２フィルム基板１６の位置ずれを修正すると共にマスク１８を介して第２フィルム基板１６を露光する。
In the counter substrate region forming step, first, a common electrode or the like is continuously formed in the effective region of the
次に、第２フィルム基板１６を搬送しながら、第２フィルム基板１６の共通電極等が形成された有効領域に、例えば印刷法等により配向膜３５を形成する。続いて、第２フィルム基板１６の配向膜３５が形成された表面に硬化していないシール部材３７を枠状に供給した後、シール部材３７の内側に液晶材料を滴下する。
Next, while transporting the
次に行う貼り合わせ工程では、図３に示すように、それぞれ一対のローラー１０により第１フィルム基板１５と第１フィルム基板１５の対向物である第２フィルム基板１６を搬送しながら、第１フィルム基板１５と第２フィルム基板１６とを貼り合わせる。
In the bonding process performed next, as shown in FIG. 3, the
すなわち、第２フィルム基板１６を搬送する一対のローラー１０の間に配置されたローラー１２により第２フィルム基板１６を、第１フィルム基板１５を介して第１フィルム基板１５を搬送する一対のローラー１０の間に配置されたステージ２７に押しつけることによって、第１フィルム基板１５と第２フィルム基板１６とを貼り合わせる。ここで、第１フィルム基板１５と第２フィルム基板１６とは、それぞれ配向膜３３，３５が形成された表面を対向させて貼り合わせる。このとき、第１フィルム基板１５と第２フィルム基板１６との間のシール部材３７に囲まれた領域に液晶層３２が形成される。
That is, the pair of
この貼り合わせ工程は、上記露光工程と同様に、検出工程と修正工程とが含まれる。 This bonding step includes a detection step and a correction step, similar to the exposure step.
貼り合わせ工程における検出工程では、図５に示すように、貼り合わせフィルム基板に対向して配置された撮像手段２３により、第１フィルム基板１５及び第２フィルム基板１６にそれぞれ形成されたアライメントマーク２８，２９を検出する。そうして、第２フィルム基板１６のアライメントマーク２９に対する第１フィルム基板１５のアライメントマーク２８の位置ずれを検出することにより、第２フィルム基板１６に対する第１フィルム基板１５の位置ずれを検出する。
In the detection step in the bonding step, as shown in FIG. 5, the alignment marks 28 formed on the
修正工程では、上記露光工程の修正工程と同様に、検出工程で第２フィルム基板１６に対する第１フィルム基板１５の基板搬送方向２４に斜めの位置ずれが検出された場合に、第１フィルム基板１５を搬送する一対のローラー１０における基板搬送方向２４上手側の第１フィルム基板１５が巻き掛けられた修正ローラー１１の一端又は他端を基点として、修正ローラー１１の回転軸を傾け、修正ローラー１１の基点と反対側となる先端を第１フィルム基板１５の搬送方向２４上手側に移動させる。
In the correction step, similarly to the correction step in the exposure step, when the oblique displacement is detected in the
この貼り合わせ工程の修正工程でも、修正ローラー１１に設けられた静電チャック１３により、修正ローラー１１に第１フィルム基板１５を静電吸着させ、修正ローラー１１の外周面と第１フィルム基板１５の表面との間の摩擦力を増大させた状態で修正ローラー１１の回転軸を傾ける。そうして、第２フィルム基板１６に対する第１フィルム基板１５の基板搬送方向２４に斜めの位置ずれを修正する。
Even in the correction step of the bonding step, the
すなわち、検出工程により第２フィルム基板１６に対する第１フィルム基板１５の基板搬送方向２４に斜めの位置ずれを検出した場合には、まず、複数のローラー１０を逆回転させて第１フィルム基板１５を基板搬送方向２４とは反対方向に搬送することにより、位置ずれが検出された有効領域を修正ローラー１１よりも基板搬送方向２４と反対側に配置させる。
That is, in the case where an oblique positional shift is detected in the
続いて、検出工程により検出された第１フィルム基板１５の位置ずれが、図６（ａ）に示すように、第１フィルム基板１５の搬送方向２４に対して斜め上の位置ずれである場合には、修正ローラー１１の一端を基点として、修正ローラー１１の回転軸を傾けることにより、修正ローラー１１を図４に２点差線で示す位置２５に配置させる。そのことにより、修正ローラー１１の一端側に接触する第１フィルム基板１５の張力よりも修正ローラー１１の他端側に接触する第１フィルム基板１５の張力を大きくした状態で、第１フィルム基板１５を基板搬送方向２４に搬送して、修正ローラー１１の他端側に接触する第１フィルム基板１５の搬送速度を修正ローラー１１の一端側に接触する第１フィルム基板１５の搬送速度よりも遅くする。そうして、第２フィルム基板１６に対する第１フィルム基板１５の上記基板搬送方向２４に対して斜め上の位置ずれを修正する。
Subsequently, when the positional deviation of the
一方、検出工程により検出された第１フィルム基板１５の位置ずれが、図６（ｂ）に示すように、第１フィルム基板１５の搬送方向２４に対して斜め下の位置ずれである場合には、修正ローラー１１の他端を基点として、修正ローラー１１の回転軸を傾けることにより、修正ローラー１１を図４に２点差線で示す位置２６に配置させる。そのことにより、修正ローラー１１の一端側に接触する第１フィルム基板１５の搬送速度を修正ローラー１１の他端側に接触する第１フィルム基板１５の搬送速度よりも遅くする。そうして、第２フィルム基板１６に対する第１フィルム基板１５の上記基板搬送方向２４に対して斜め下の位置ずれを修正する。
On the other hand, when the positional deviation of the
また、修正工程では、露光工程における修正工程と同様に、修正ローラー１１と、修正ローラー１１の第１フィルム基板１５の搬送方向下手側に並ぶローラー１０とを同時に回転軸方向に移動させる。すなわち、検出工程によって第２フィルム基板１６に対する第１フィルム基板１５におけるローラー１０の回転軸方向の位置ずれが検出された場合には、修正ローラー１１と、修正ローラー１１の基板搬送方向下手側のローラー１０とを第１フィルム基板１５がずれた方向とは反対側の回転軸方向に移動させることにより、第１フィルム基板１５の回転軸方向の位置ずれを修正する。
Further, in the correction process, similarly to the correction process in the exposure process, the
尚、検出工程により、第２フィルム基板１６に対する第１フィルム基板１５の基板搬送方向２４の位置ずれが検出された場合には、必要に応じて修正ローラー１１の回転速度を変化させることにより、第１フィルム基板１５における基板搬送方向の位置ずれを修正する。そうして、貼り合わせ工程では、第２フィルム基板１６に対する第１フィルム基板１５の位置ずれを修正すると共に第１フィルム基板１５と第２フィルム基板１６とを貼り合わせる。
In addition, when a position shift in the
その後、貼り合わせ工程により形成された貼り合わせフィルム基板に対して、紫外線の照射や加熱処理を行うことにより、シール部材３７を硬化させる。
Thereafter, the sealing
次に行う分断工程では、貼り合わせ工程により形成された貼り合わせフィルム基板を有効領域毎にカッター又はレーザーにより分断して複数の個別貼り合わせフィルム基板を形成する。その後、各個別貼り合わせフィルム基板の両面にそれぞれ偏光板３４，３６を積層する。以上のようにして、複数のローラー１０を回転させて第１フィルム基板１５及び第２フィルム基板１６をそれぞれ搬送しながら、これら第１フィルム基板１５及び第２フィルム基板１６に連続して所定の処理を施して複数の液晶表示装置Ｓを製造する。
In the next dividing step, the bonded film substrate formed by the bonding step is divided by a cutter or a laser for each effective area to form a plurality of individually bonded film substrates. Thereafter,
−実施形態１の効果−
したがって、この実施形態１によると、第１露光部及び貼り合わせ部が修正ローラー１１の外周面と第１フィルム基板１５の表面との間の摩擦力を増大させる摩擦力増大手段をそれぞれ備えているため、修正ローラー１１の回転軸を傾けるときに、第１フィルム基板１５が修正ローラー１１の外周面を滑ることを抑制できる。その結果、マスク１８及び第２フィルム基板１６のそれぞれに対する第１フィルム基板１５の基板搬送方向に斜めの位置ずれを適切に修正することができる。
-Effect of Embodiment 1-
Therefore, according to the first embodiment, each of the first exposure unit and the bonding unit includes a friction force increasing unit that increases the frictional force between the outer peripheral surface of the
さらに、第２露光部が第１露光部と同様の摩擦力増大手段を備えているため、マスクに対する第２フィルム基板１６の基板搬送方向に斜めの位置ずれを適切に修正できる。
Furthermore, since the second exposure unit includes the same frictional force increasing means as that of the first exposure unit, it is possible to appropriately correct an oblique positional shift in the substrate transport direction of the
さらに、第１露光部及び貼り合わせ部では、修正ローラー１１に第１フィルム基板１５が巻き掛けられるため、回転軸を傾けることにより修正ローラー１１の一端側に接触する第１フィルム基板１５の張力と修正ローラー１１の他端側に接触する第１フィルム基板１５の張力とに差を生じさせやすくなる。したがって、修正ローラー１１の一端側に接触する第１フィルム基板１５の搬送速度と修正ローラー１１の他端側に接触する第１フィルム基板１５の搬送速度とに差を生じさせることが容易にできる。
Furthermore, in the 1st exposure part and the bonding part, since the 1st film board |
第２露光部においても、修正ローラー１１に第２フィルム基板１６が巻き掛けられるため、修正ローラー１１の一端側に接触する第２フィルム基板１６の搬送速度と修正ローラー１１の他端側に接触する第２フィルム基板１６の搬送速度とに差を生じさせることが容易にできる。
Also in the second exposure unit, since the
また、第１露光部及び貼り合わせ部における修正機構が修正ローラー１１と修正ローラー１１の基板搬送方向下手側に並ぶローラー１０とを同時に回転軸方向に移動させるようにそれぞれ構成されているため、マスク１８及び第２フィルム基板１６のそれぞれに対する第１フィルム基板１５におけるローラー１０の回転軸方向の位置ずれを修正することができる。
In addition, since the correction mechanism in the first exposure unit and the bonding unit is configured to simultaneously move the
第２露光部においても、第１露光部と同様の修正機構を備えているため、第２フィルム基板１６におけるローラー１０の回転軸方向の位置ずれを修正することができる。
Since the second exposure unit also includes a correction mechanism similar to that of the first exposure unit, the positional deviation of the
また、素子基板領域形成工程の露光工程と貼り合わせ工程とのそれぞれに含まれる修正工程では、修正ローラー１１の外周面と第１フィルム基板１５の表面との間の摩擦力を増大させた状態で修正ローラー１１の回転軸を傾けるため、第１フィルム基板１５が修正ローラー１１の外周面を滑ることを抑制できる。その結果、マスク１８及び第２フィルム基板１６のそれぞれに対する第１フィルム基板１５の基板搬送方向に斜めの位置ずれを適切に修正できる。
Moreover, in the correction process included in each of the exposure process and the bonding process of the element substrate region forming process, the frictional force between the outer peripheral surface of the
さらに、対向基板領域形成工程の露光工程に含まれる修正工程でも、修正ローラー１１の外周面と第２フィルム基板１６の表面との間の摩擦力を増大させた状態で修正ローラー１１の回転軸を傾けるため、マスクに対する第２フィルム基板１６の基板搬送方向に斜めの位置ずれを適切に修正できる。
Further, even in the correction process included in the exposure process of the counter substrate region forming process, the rotational axis of the
さらに、素子基板領域形成工程及び貼り合わせ工程における修正工程では、修正ローラー１１に第１フィルム基板１５が巻き掛けられているため、回転軸を傾けることにより修正ローラー１１の一端側に接触する第１フィルム基板１５の張力と修正ローラー１１の他端側に接触する第１フィルム基板１５の張力とに差を生じさせやすくなる結果、修正ローラー１１の一端側に接触する第１フィルム基板１５の搬送速度と修正ローラー１１の他端側に接触する第１フィルム基板１５の搬送速度とに差を生じさせることが容易にできる。
Furthermore, in the correction process in the element substrate region forming process and the bonding process, since the
また、対向基板領域形成工程における修正工程においても、修正ローラー１１に第２フィルム基板１６が巻き掛けられているため、修正ローラー１１の一端側に接触する第２フィルム基板１６の搬送速度と修正ローラー１１の他端側に接触する第２フィルム基板１６の搬送速度とに差を生じさせることが容易にできる。
Further, also in the correction step in the counter substrate region forming step, the
素子基板領域形成工程及び貼り合わせ工程の修正工程において、修正ローラー１１と、修正ローラー１１の基板搬送方向下手側に並ぶローラー１０とを同時に回転軸方向に移動させるため、マスク１８及び第２フィルム基板１６のそれぞれに対する第１フィルム基板１５におけるローラー１０の回転軸方向の位置ずれを修正することができる。
In the correction process of the element substrate region formation process and the bonding process, the
対向基板領域形成工程の修正工程においても、修正ローラー１１と、修正ローラー１１の基板搬送方向下手側に並ぶローラー１０とを同時に回転軸方向に移動させるため、第２フィルム基板１６におけるローラー１０の回転軸方向の位置ずれを修正することができる。
Also in the correction process of the counter substrate region forming process, the rotation of the
さらに、第１フィルム基板１５及び第２フィルム基板１６がそれぞれ液晶表示装置Ｓを構成するため、液晶表示装置Ｓを連続して製造することが可能になる結果、生産性を向上させることができる。
Furthermore, since the
《発明の実施形態２》
図８及び図９は、本発明の実施形態２を示している。尚、以降の各実施形態では、図１〜図７と同じ部分については同じ符号を付して、その詳細な説明を省略する。図８は、本実施形態２の可撓性基板搬送装置の貼り合わせ部を概略的に示す側面図である。図９は、押圧ローラー４０を修正ローラー１１とは反対側から概略的に示す図である。
<< Embodiment 2 of the Invention >>
8 and 9 show Embodiment 2 of the present invention. In the following embodiments, the same portions as those in FIGS. 1 to 7 are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof is omitted. FIG. 8 is a side view schematically showing a bonding portion of the flexible substrate carrying device according to the second embodiment. FIG. 9 is a diagram schematically showing the
上記実施形態１では、貼り合わせ部の摩擦力増大手段が静電チャック１３を有しているとしたが、本実施形態２では、貼り合わせ部の摩擦力増大手段は、図８及び図９に示すように、修正ローラー１１に第１フィルム基板１５を介して対向して配置され、第１フィルム基板１５を修正ローラー１１に押圧する押圧ローラー４０を有している。
In Embodiment 1 described above, the frictional force increasing means of the bonding portion has the
上記押圧ローラー４０は、修正ローラー１１の回転軸方向の両端部に対向する位置にそれぞれ設けられた一対のホイール４１が軸部材４２により同一の回転軸を有するように接続されて一体に形成されている。また、押圧ローラー４０は、外周面が樹脂により構成されている。この押圧ローラー４０は、修正機構により修正ローラー１１を傾けるときに、第１フィルム基板１５を修正ローラー１１に押圧しながら、修正ローラー１１に連動して修正ローラー１１を傾ける方向と同じ方向に傾くようになっている。
The
すなわち、貼り合わせ工程における修正工程では、少なくとも修正機構により修正ローラー１１を傾けるときに、押圧ローラー４０により、第１フィルム基板１５を修正ローラー１１に押圧する。そのことにより、修正ローラー１１の外周面と第１フィルム基板１５の表面との間の摩擦力を増大させる。そうして、押圧ローラー４０により第１フィルム基板１５を修正ローラー１１に押圧しながら、修正ローラー１１に連動して押圧ローラー４０の回転軸を修正ローラー１１の回転軸を傾ける方向と同じ方向に傾けることによって、第２フィルム基板１６に対する第１フィルム基板１５の基板搬送方向に斜めの位置ずれを修正する。
That is, in the correction process in the bonding process, at least when the
−実施形態２の効果−
したがって、この実施形態２の摩擦力増大手段によっても、修正ローラー１１の外周面と第１フィルム基板１５の表面との間の摩擦力を増大させることができるため、上記実施形態１と同様の効果を得ることができる。
-Effect of Embodiment 2-
Therefore, since the frictional force increasing means of the second embodiment can also increase the frictional force between the outer peripheral surface of the
さらに、押圧ローラー４０の外周面が樹脂により構成されているため、押圧ローラー４０の外周面と第１フィルム基板１５の表面との間の摩擦力を増大させることができる。その結果、押圧ローラー４０の回転軸を傾けるときに、第１フィルム基板１５が押圧ローラー４０の外周面を滑ることを抑制できる。
Furthermore, since the outer peripheral surface of the
《発明の実施形態３》
図１０〜図１２は、本発明の実施形態３を示している。図１０は、修正ローラー１１を回転軸方向から概略的に示す図である。図１１及び図１２は、修正ローラー１１の凸部が貫通孔４５に噛合した状態の第１フィルム基板１５を示す図である。
<< Embodiment 3 of the Invention >>
10 to 12 show Embodiment 3 of the present invention. FIG. 10 is a diagram schematically illustrating the
上記実施形態１では、摩擦力増大手段が静電チャックを有しているとした。また、上記実施形態２では、摩擦力増大手段が押圧ローラー４０を有しているとしたが、本実施形態３では、図１０〜図１２に示すように、摩擦力増大手段は、修正ローラー１１の外周面に突出して形成された複数の凸部４４と、第１フィルム基板１５に形成されて上記複数の凸部４４にそれぞれ噛合する複数の貫通孔４５とにより構成されている。
In the first embodiment, the frictional force increasing means has the electrostatic chuck. In the second embodiment, the frictional force increasing unit includes the
上記複数の凸部４４は、修正ローラー１１の回転軸方向の両端部における外周面に形成されている。上記複数の貫通孔４５は、第１フィルム基板１５の幅方向の両端部に形成されている。そうして、可撓性基板搬送装置は、第１フィルム基板１５を搬送したときに修正ローラー１１に設けられた複数の凸部４４がそれぞれ貫通孔４５に噛合するようになっている。
The plurality of
すなわち、修正工程では、修正ローラー１１の外周面に形成された複数の凸部４４を、第１フィルム基板１５に形成された複数の貫通孔４５にそれぞれ噛合させる。そのことにより、修正ローラー１１の外周面と第１フィルム基板１５の表面との間の摩擦力を増大させる。そうして、修正ローラー１１の凸部４４を第１フィルム基板１５の貫通孔４５に噛合させた状態で、修正機構により修正ローラー１１の回転軸を傾けることによって、第２フィルム基板１６に対する第１フィルム基板１５の基板搬送方向に斜めの位置ずれを修正する。
That is, in the correction process, the plurality of
−実施形態３の効果−
したがって、この実施形態３の摩擦力増大手段によっても、修正ローラー１１の外周面と第１フィルム基板１５の表面との間の摩擦力を増大させることができる結果、上記実施形態１と同様の効果を得ることができる。
-Effect of Embodiment 3-
Therefore, the frictional force increasing means of the third embodiment can increase the frictional force between the outer peripheral surface of the
《発明の実施形態４》
図１３及び図１４は、本発明の実施形態４を示している。図１３は、本実施形態４の貼り合わせ部における検出部を概略的に示す断面図である。図１４は、本実施形態４のアライメントマーク２８，２９を貼り合わせフィルム基板の第２フィルム基板１６側から示す図である。
<< Embodiment 4 of the Invention >>
13 and 14 show Embodiment 4 of the present invention. FIG. 13 is a cross-sectional view schematically showing a detection unit in the bonding unit of the fourth embodiment. FIG. 14 is a view showing the alignment marks 28 and 29 of the fourth embodiment from the
上記実施形態１では、貼り合わせ部における検出部は、撮像手段２３を備え、その撮像手段２３により第１フィルム基板１５及び第２フィルム基板１６にそれぞれ形成されたアライメントマーク２８，２９の位置を検出するとしたが、本実施形態４では、図１３に示すように、貼り合わせ部における検出部は、第１フィルム基板１５と第２フィルム基板１６とが貼り合わせられて形成された貼り合わせフィルム基板にレーザー光を出射する出射部５０と、第１フィルム基板１５及び第２フィルム基板１６を透過したレーザー光を受光する受光部５１とを備え、受光部５１で受光されたレーザー光に基づいて第１フィルム基板１５の位置ずれを検出する。
In the first embodiment, the detection unit in the bonding unit includes the
出射部５０と受光部５１とは、貼り合わせフィルム基板を介して貼り合わせフィルム基板の表面に垂直な方向に対向して配置されている。ここで、図１３の５２は、レーザー光の進行方向を示している。アライメントマーク２８，２９は、図１４に示すように、例えば第１フィルム基板１５及び第２フィルム基板１６の有効領域の四隅に形成された貫通孔等である。
The
本実施形態４の貼り合わせ工程における検出工程では、出射部５０から第１フィルム基板１５及び第２フィルム基板１６に出射されて第１フィルム基板１５及び第２フィルム基板１６を透過したレーザー光を受光部５１で受光する。そうして、受光部５１で受光したレーザー光に基づいて第２フィルム基板１６に対する第１フィルム基板１５の位置ずれを検出する。
In the detection process in the bonding process of the fourth embodiment, the laser beam emitted from the
第２フィルム基板１６に対して第１フィルム基板１５が位置ずれしていない場合には、第１フィルム基板１５及び第２フィルム基板１６にそれぞれ形成されたアライメントマーク２８，２９が出射部５０と受光部５１とが対向する方向に重なって貼り合わせフィルム基板に貫通孔が形成されているため、貼り合わせフィルム基板におけるアライメントマーク２８，２９が設けられた領域ではレーザー光が第１フィルム基板１５及び第２フィルム基板１６に吸収及び反射されることなく透過して受光部５１で受光される。したがって、この場合には、強度が比較的高いレーザー光が受光部で受光される。
When the
一方、第２フィルム基板１６に対して第１フィルム基板１５が位置ずれしている場合には、第１フィルム基板１５及び第２フィルム基板１６にそれぞれ形成されたアライメントマーク２８，２９が出射部５０と受光部５１とが対向する方向に重ならないため、貼り合わせフィルム基板のアライメントマーク２８，２９が形成された領域においてもレーザー光は第１フィルム基板１５又は第２フィルム基板１６に吸収及び反射されて減衰する。したがって、この場合には、強度が比較的低いレーザー光が受光部５１で受光される。このように受光部５１で受光されるレーザー光に基づいて、第２フィルム基板１６に対する第１フィルム基板１５の位置ずれを検出する。
On the other hand, when the
−実施形態４の効果−
したがって、この実施形態４によっても、第１フィルム基板１５対向して配置される第２フィルム基板１６に対する第１フィルム基板１５の位置ずれを検出することができるため、上記実施形態１と同様の効果を得ることができる。
-Effect of Embodiment 4-
Therefore, also in the fourth embodiment, since the positional deviation of the
《その他の実施形態》
上記実施形態２では、貼り合わせ部の摩擦増大手段が押圧ローラー４０を有しているとした。また、上記実施形態３では、貼り合わせ部の摩擦増大手段が修正ローラー１１に形成された複数の凸部４４と、第１フィルム基板１５に形成された複数の貫通孔４５により構成されているとしたが、本発明はこれに限られず、第１露光部及び第２露光部における摩擦増大手段が、上記押圧ローラー４０を有していてもよく、また、修正ローラー１１に形成された複数の凸部４４と第１フィルム基板１５に形成された貫通孔４５により構成されていてもよい。
<< Other Embodiments >>
In the second embodiment, it is assumed that the friction increasing means of the bonded portion has the
上記実施形態１では、第１露光部の修正機構は、修正ローラー１１の基点と反対側となる先端を第１フィルム基板１５の搬送方向２４上手側に移動させるように構成されているとしたが、本発明はこれに限られず、第１露光部の修正機構は、図１５（ａ）及び（ｂ）に示すように、修正ローラー１１の一端又は他端を基点として修正ローラー１１の回転軸を傾け、修正ローラー１１の基点と反対側となる先端を第１フィルム基板１５側に移動させて、２点鎖線で示す修正ローラー１１の位置６０，６１に配置させるように構成されていてもよい。
In Embodiment 1 described above, the correction mechanism of the first exposure unit is configured to move the tip opposite to the base point of the
この構成によっても、修正ローラー１１の一端側に接触する第１フィルム基板１５の張力と修正ローラー１１の他端側に接触する第１フィルム基板１５の張力とに差を生じさせることが可能であるため、上記実施形態１と同様の効果を得ることができる。
Also with this configuration, it is possible to make a difference between the tension of the
さらに、修正ローラー１１は、外径が可変のエキスパンダロールであってもよい。エキスパンダロールは、図１６に示すように、例えば、修正ローラー１１の軸部分が比較的高い弾性率を有する部材により構成され、修正ローラー１１内部の空気圧を増加させてその外径を大きくすることによって、修正ローラー１１を、２点鎖線で示す中央に向かって外径がなだらかに大きくなる形状６２にすることが可能になっている。したがって、修正ローラー１１がエキスパンダロールである場合には、第１フィルム基板１５の幅方向の全体が修正ローラー１１に支持された状態を維持しながら、修正ローラー１１の基点と反対側となる先端を第１フィルム基板１５側に移動させることができる。
Furthermore, the
上記実施形態１では、第１露光部が１つの修正ローラー１１の回転軸を、通常搬送時の軸方向に対して傾けることによって、第１フィルム基板１５の位置ずれを修正する修正機構を備えているとしたが、本発明はこれに限られず、第１露光部は、複数の修正ローラー１１の回転軸を、それぞれ通常搬送時の軸方向に対して傾けることによって、各修正ローラー１１の一端側に接触する第１フィルム基板１５の張力と修正ローラー１１の他端側に接触する第１フィルム基板１５の張力とに差を生じさせて、第１フィルム基板１５の位置ずれを修正する修正機構を備えていてもよく、少なくとも１つの修正ローラー１１の回転軸を、通常搬送時の軸方向に対して傾けることによって、第１フィルム基板１５の位置ずれを修正する修正機構を備えていればよい。
In the first embodiment, the first exposure unit includes a correction mechanism that corrects the positional deviation of the
また、第２露光部及び貼り合わせ部についても、第１露光部と同様に、少なくとも１つの修正ローラー１１の回転軸を、通常搬送時の軸方向に対して傾けることによって、第１フィルム基板１５又は第２フィルム基板１６の位置ずれを修正する修正機構を備えていればよい。
As for the second exposure unit and the bonding unit, similarly to the first exposure unit, the
上記実施形態２では、アライメントマーク２８，２９が第１フィルム基板１５及び第２フィルム基板１６の有効領域の四隅に形成された貫通孔であるとしたが、本発明はこれに限られず、アライメントマーク２８，２９は、例えばＩＴＯ又はＩＺＯ等からなるデポ膜であってもよい。アライメントマーク２８，２９がデポ膜であると、第２フィルム基板１６に対して第１フィルム基板１５が位置ずれしていない場合には、アライメントマーク２８，２９がレーザー光の出射方向に重なっていることにより、レーザー光がデポ膜に一部吸収されるため、受光部５１で受光されるレーザー光の強度が比較的低くなる。
In the second embodiment, the alignment marks 28 and 29 are the through holes formed at the four corners of the effective area of the
一方、第２フィルム基板１６に対して第１フィルム基板１５が位置ずれしている場合には、アライメントマーク２８，２９がレーザーの出射方向に重なっていないことにより、デポ膜に吸収されるレーザー光が減少するため、受光部５１で受光されるレーザー光の強度が比較的高くなる。したがって、アライメントマーク２８，２９が、デポ膜であっても、受光部５１で受光されたレーザー光に基づいて第２フィルム基板１６に対する第１フィルム基板１５の位置ずれを検出することが可能である。
On the other hand, when the
また、アライメントマーク２８，２９はレーザー光を反射する膜（Ａｌ膜等）で構成されていてもよく、第１露光部及び貼り合わせ部における検出部は、受光部が第１フィルム基板１５で反射したレーザー光を受光することにより、受光部で受光されたレーザー光に基づいて第１フィルム基板１５の位置ずれを検出するように構成されていてもよく、第２露光部における検出部も同様に構成されていてもよい。
In addition, the alignment marks 28 and 29 may be formed of a film (Al film or the like) that reflects laser light, and the light-receiving part is reflected by the
上記実施形態１では、貼り合わせ部の修正機構が第２フィルム基板１６に対する第１フィルム基板１５の位置ずれを修正するように構成されているとしたが、本発明はこれに限られず、貼り合わせ部の修正機構は、第２フィルム基板１６を搬送する一対のローラー１０における基板搬送方向２５と反対側のローラー１０を修正ローラー１１として、その修正ローラー１１の回転軸を通常搬送時の軸方向に対して傾けることによって、第２フィルム基板１６の対向物である第１フィルム基板１５に対する第２フィルム基板１６の位置ずれを修正するように構成されていてもよい。
In Embodiment 1 described above, the correction mechanism of the bonding unit is configured to correct the positional deviation of the
また、貼り合わせ部の修正機構は、第１フィルム基板１５を搬送する一対のローラー１０における基板搬送方向２４と反対側のローラー１０と、第２フィルム基板１６を搬送する一対のローラー１０における基板搬送方向２５と反対側のローラー１０とをそれぞれ修正ローラー１１として、それら修正ローラー１１の回転軸をそれぞれ通常搬送時の軸方向に対して傾けることによって、第１フィルム基板１５及び第２フィルム基板１６のそれぞれが互いに対する位置ずれを修正するように構成されていてもよい。
Further, the correction mechanism of the bonding unit is such that the
上記実施形態１では、第１フィルム基板１５と第２フィルム基板１６とを貼り合わせる前にシール部材３７の内側に液晶材料を滴下する、いわゆる滴下注入法により液晶層３２を形成するとしたが、本発明はこれに限られず、第１フィルム基板１５と第２フィルム基板１６とを貼り合わせた後にシール部材３７に設けられた注入口から液晶材料を注入する真空注入法により液晶層３２を形成してもよい。
In the first embodiment, the
上記実施形態１では、第１フィルム基板１５及び第２フィルム基板１６は、液晶表示装置Ｓを構成するとして説明したが、本発明はこれに限られず、第１フィルム基板１５及び第２フィルム基板１６は、有機エレクトロルミネッセンス表示装置等の他の表示装置を構成してもよい。
In the first embodiment, the
以上説明したように、本発明は、可撓性基板搬送装置及び可撓性基板の搬送方法について有用であり、特に、対向物に対する可撓性基板の基板搬送方向に斜めの位置ずれを適切に修正する場合に適している。 As described above, the present invention is useful for a flexible substrate transport apparatus and a flexible substrate transport method, and in particular, it is possible to appropriately correct an oblique positional shift in the substrate transport direction of the flexible substrate with respect to the opposite object. Suitable for correcting.
Ｓ 液晶表示装置
１０ ローラー
１１ 修正ローラー（ローラー）
１３ 静電チャック
１５ 第１フィルム基板（可撓性基板）
１６ 第２フィルム基板（可撓性基板）
２３ 撮像手段
２４ 第１フィルム基板の搬送方向
２５ 第２フィルム基板の搬送方向
２８ 第１フィルム基板のアライメントマーク
２９ 第２フィルム基板のアライメントマーク
４０ 押圧ローラー
４４ 凸部
４５ 貫通孔
５０ 出射部
５１ 受光部
S Liquid
13
16 Second film substrate (flexible substrate)
23 Imaging means 24 First film
Claims (25)
上記可撓性基板に対向して配置された対向物に対する上記可撓性基板の位置ずれを検出する検出部と、
上記検出部によって上記可撓性基板の位置ずれが検出された場合に、少なくとも１つの上記ローラーである修正ローラーの回転軸を、通常搬送時の軸方向に対して傾けることによって、上記可撓性基板の位置ずれを修正する修正機構と、
上記修正ローラーの外周面と上記可撓性基板の表面との間の摩擦力を増大させる摩擦力増大手段とを備える
ことを特徴とする可撓性基板搬送装置。 A flexible substrate transport apparatus comprising a plurality of rollers whose axial directions are parallel to each other and configured to transport a flexible substrate by rotating the plurality of rollers,
A detection unit for detecting a positional shift of the flexible substrate with respect to an opposing object disposed to face the flexible substrate;
When the displacement of the flexible substrate is detected by the detection unit, the flexible shaft is tilted with respect to the axial direction during normal conveyance by tilting the rotation shaft of the correction roller, which is at least one of the rollers. A correction mechanism for correcting the positional deviation of the substrate;
A flexible substrate transport apparatus comprising: friction force increasing means for increasing a friction force between the outer peripheral surface of the correction roller and the surface of the flexible substrate.
上記摩擦力増大手段は、上記修正ローラーに設けられた静電チャックを有している
ことを特徴とする可撓性基板搬送装置。 In claim 1,
The flexible substrate transfer apparatus, wherein the frictional force increasing means includes an electrostatic chuck provided on the correction roller.
上記摩擦力増大手段は、上記修正ローラーに上記可撓性基板を介して対向して配置され、上記可撓性基板を上記修正ローラーに押圧しながら、上記修正ローラーに連動して上記修正ローラーの回転軸が傾く方向と同じ方向に回転軸が傾く押圧ローラーを有している
ことを特徴とする可撓性基板搬送装置。 In claim 1,
The frictional force increasing means is disposed to face the correction roller via the flexible substrate, and presses the flexible substrate against the correction roller while interlocking with the correction roller. A flexible substrate transport apparatus comprising a pressing roller whose rotation axis is inclined in the same direction as the rotation axis is inclined.
上記摩擦力増大手段は、上記修正ローラーの回転軸方向の少なくとも一方の端部における外周面に突出して形成された複数の凸部と、上記可撓性基板の幅方向の少なくとも一方の端部に形成されて上記複数の凸部にそれぞれ噛合する複数の貫通孔とにより構成されている
ことを特徴とする可撓性基板搬送装置。 In claim 1,
The frictional force increasing means includes a plurality of protrusions formed on the outer peripheral surface of at least one end of the correction roller in the rotation axis direction, and at least one end of the flexible substrate in the width direction. A flexible substrate transport apparatus comprising: a plurality of through holes formed and meshed with the plurality of convex portions, respectively.
上記押圧ローラーは、外周面が樹脂により構成されている
ことを特徴とする可撓性基板搬送装置。 In claim 3,
The said press roller is a flexible substrate conveying apparatus characterized by the outer peripheral surface being comprised with resin.
上記修正ローラーには、上記可撓性基板が巻き掛けられる
ことを特徴とする可撓性基板搬送装置。 In claim 1,
The flexible substrate transport apparatus, wherein the flexible substrate is wound around the correction roller.
上記修正機構は、上記修正ローラーの一端又は他端を基点として、上記修正ローラーの回転軸を傾けるように構成されている
ことを特徴とする可撓性基板搬送装置。 In claim 1,
The flexible substrate transport apparatus, wherein the correction mechanism is configured to tilt a rotation axis of the correction roller with one end or the other end of the correction roller as a base point.
上記修正機構は、上記修正ローラーの基点と反対側となる先端を上記可撓性基板の搬送方向上手側に移動させるように構成されている
ことを特徴とする可撓性基板搬送装置。 In claim 7,
The flexible substrate transport apparatus, wherein the correction mechanism is configured to move a tip opposite to a base point of the correction roller to the upper side in the transport direction of the flexible substrate.
上記修正機構は、上記修正ローラーの基点と反対側となる先端を上記可撓性基板側に移動させるように構成されている
ことを特徴とする可撓性基板搬送装置。 In claim 7,
The flexible substrate transport apparatus, wherein the correction mechanism is configured to move a tip opposite to a base point of the correction roller to the flexible substrate side.
上記修正機構は、上記修正ローラーと、上記修正ローラーにおける上記可撓性基板の搬送方向下手側に並ぶ上記ローラーとを同時に回転軸方向に移動させるように構成されている
ことを特徴とする可撓性基板搬送装置。 In claim 1,
The said correction mechanism is comprised so that the said correction roller and the said roller located in the conveyance direction lower side of the said flexible substrate in the said correction roller may be simultaneously moved to a rotating shaft direction, It is characterized by the above-mentioned. Substrate transfer device.
上記検出部は、上記可撓性基板に対向して配置された撮像手段を備え、上記撮像手段により上記可撓性基板に形成されたアライメントマークの位置を検出する
ことを特徴とする可撓性基板搬送装置。 In claim 1,
The detection unit includes an imaging unit arranged to face the flexible substrate, and detects a position of an alignment mark formed on the flexible substrate by the imaging unit. Substrate transfer device.
上記検出部は、上記可撓性基板にレーザー光を出射する出射部と、上記可撓性基板で反射又は透過した上記レーザー光を受光する受光部とを備え、上記受光部で受光された上記レーザー光に基づいて上記可撓性基板の位置ずれを検出する
ことを特徴とする可撓性基板搬送装置。 In claim 1,
The detection unit includes an emitting unit that emits laser light to the flexible substrate, and a light receiving unit that receives the laser light reflected or transmitted by the flexible substrate, and the light receiving unit receives the laser light. A flexible substrate transport apparatus that detects a displacement of the flexible substrate based on a laser beam.
上記可撓性基板に対向して配置された対向物に対する上記可撓性基板の位置ずれを検出する検出工程と、
上記検出工程で上記可撓性基板の位置ずれが検出された場合に、少なくとも１つの上記ローラーである修正ローラーの回転軸を、通常搬送時の軸方向に対して傾けることによって、上記可撓性基板の位置ずれを修正する修正工程とを有し、
上記修正工程では、上記修正ローラーの外周面と上記可撓性基板の表面との間の摩擦力を増大させた状態で上記修正ローラーの回転軸を傾ける
ことを特徴とする可撓性基板の搬送方法。 A method of conveying a flexible substrate by rotating a plurality of rollers whose axial directions are parallel to each other,
A detection step of detecting a positional shift of the flexible substrate with respect to an opposing object disposed to face the flexible substrate;
When the displacement of the flexible substrate is detected in the detection step, the flexible shaft is tilted with respect to the axial direction during normal conveyance by tilting the rotation axis of the correction roller, which is at least one of the rollers. A correction step of correcting the positional deviation of the substrate,
In the correction step, the flexible substrate is transported by tilting the rotation axis of the correction roller in a state where the frictional force between the outer peripheral surface of the correction roller and the surface of the flexible substrate is increased. Method.
上記修正工程では、上記修正ローラーに設けられた静電チャックにより、上記修正ローラーに上記可撓性基板を静電吸着させる
ことを特徴とする可撓性基板の搬送方法。 In claim 13,
In the correcting step, the flexible substrate is electrostatically attracted to the correcting roller by an electrostatic chuck provided on the correcting roller.
上記修正工程では、上記修正ローラーに上記可撓性基板を介して対向して配置された押圧ローラーにより、上記可撓性基板を上記修正ローラーに押圧しながら、上記修正ローラーに連動して上記押圧ローラーの回転軸を上記修正ローラーの回転軸を傾ける方向と同じ方向に傾ける
ことを特徴とする可撓性基板の搬送方法。 In claim 13,
In the correction step, the pressing roller disposed in opposition to the correction roller with the flexible substrate interposed therebetween presses the flexible substrate against the correction roller while pressing the flexible substrate against the correction roller. A method of transporting a flexible substrate, wherein the rotation axis of the roller is tilted in the same direction as the direction of tilting the rotation axis of the correction roller.
上記修正工程では、上記修正ローラーの回転軸方向の少なくとも一方の端部における外周面に突出して形成された複数の凸部を、上記可撓性基板の幅方向の少なくとも一方の端部に形成された複数の貫通孔にそれぞれ噛合させる
ことを特徴とする可撓性基板の搬送方法。 In claim 13,
In the correction step, a plurality of protrusions formed on the outer peripheral surface of at least one end of the correction roller in the rotation axis direction are formed at at least one end in the width direction of the flexible substrate. A flexible substrate transport method comprising engaging a plurality of through holes with each other.
上記押圧ローラーは、外周面が樹脂により構成されている
ことを特徴とする可撓性基板の搬送方法。 In claim 15,
The said press roller is that the outer peripheral surface is comprised with resin, The conveying method of the flexible board | substrate characterized by the above-mentioned.
上記修正ローラーには、上記可撓性基板が巻き掛けられている
ことを特徴とする可撓性基板の搬送方法。 In claim 13,
The method for transporting a flexible substrate, wherein the flexible substrate is wound around the correction roller.
上記修正工程では、上記修正ローラーの一端又は他端を基点として上記修正ローラーの回転軸を傾ける
ことを特徴とする可撓性基板の搬送方法。 In claim 13,
In the correction step, the flexible substrate carrying method is characterized in that the rotation axis of the correction roller is inclined with one end or the other end of the correction roller as a base point.
上記修正工程では、上記修正ローラーの基点と反対側となる先端を上記可撓性基板の搬送方向上手側に移動させる
ことを特徴とする可撓性基板の搬送方法。 In claim 19,
In the correction step, the tip of the correction roller opposite to the base point is moved to the upper side in the transport direction of the flexible substrate.
上記修正工程では、上記修正ローラーの基点と反対側となる先端を上記可撓性基板側に移動させる
ことを特徴とする可撓性基板の搬送方法。 In claim 19,
In the correction step, the tip of the correction roller opposite to the base point is moved to the flexible substrate side.
上記修正工程では、上記修正ローラーと、上記修正ローラーにおける上記可撓性基板の搬送方向下手側に並ぶ上記ローラーとを同時に回転軸方向に移動させる
ことを特徴とする可撓性基板の搬送方法。 In claim 13,
The said correction process WHEREIN: The said correction roller and the said roller arranged in the conveyance direction lower side of the said flexible substrate in the said correction roller are simultaneously moved to a rotating shaft direction, The conveyance method of the flexible substrate characterized by the above-mentioned.
上記検出工程では、上記可撓性基板に対向して配置された撮像手段により、上記可撓性基板に形成されたアライメントマークの位置を検出する
ことを特徴とする可撓性基板の搬送方法。 In claim 13,
In the detecting step, the position of the alignment mark formed on the flexible substrate is detected by an imaging unit arranged to face the flexible substrate.
上記検出工程では、出射部から上記可撓性基板に出射されて上記可撓性基板で反射又は透過したレーザー光を受光部で受光することにより、上記受光部で受光した上記レーザー光に基づいて上記可撓性基板の位置ずれを検出する
ことを特徴とする可撓性基板の搬送方法。 In claim 13,
In the detection step, a laser beam emitted from the emitting unit to the flexible substrate and reflected or transmitted by the flexible substrate is received by the light receiving unit, and based on the laser light received by the light receiving unit. A method for transporting a flexible substrate, comprising detecting a displacement of the flexible substrate.
上記可撓性基板は、表示装置を構成する
ことを特徴とする可撓性基板の搬送方法。 In claim 13,
The flexible substrate comprises a display device, wherein the flexible substrate is conveyed.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2007131792A JP2008285281A (en) | 2007-05-17 | 2007-05-17 | Device and method for conveying flexible substrate |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2008285281A true JP2008285281A (en) | 2008-11-27 |
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010261081A (en) * | 2009-05-08 | 2010-11-18 | V Technology Co Ltd | Vapor deposition method and vapor deposition apparatus |
| JP2016541016A (en) * | 2013-11-18 | 2016-12-28 | コーニング精密素材株式会社Corning Precision Materials Co., Ltd. | Flexible substrate bonding method |
| CN106783682A (en) * | 2016-12-15 | 2017-05-31 | 武汉华星光电技术有限公司 | Flexible display screen producing device and preparation method |
| CN115159216A (en) * | 2022-06-27 | 2022-10-11 | 广西广盛新材料科技有限公司 | Strip steel deviation rectifying method and device, terminal equipment and storage medium |
-
2007
- 2007-05-17 JP JP2007131792A patent/JP2008285281A/en active Pending
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