JP2008281624A - 光ファイバ実装導波路素子及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板上にアンダークラッド層3uとコア4とオーバークラッド層3oとを形成してなる光ファイバ実装導波路素子1において、ファイバ実装導波路素子1に光ファイバ6を実装するための光ファイバ実装溝2を形成し、光ファイバ実装溝2に臨むオーバークラッド層3oの端面を有し、該光ファイバ実装溝側において上記オーバークラッド層3oの端面よりも、上記コア4と上記アンダークラッド層3uとが突出している。
【選択図】図1
Description
2 光ファイバ実装溝
3 クラッド
4 コア
Claims (12)
- 基板上にアンダークラッド層とコアとオーバークラッド層とを形成してなる光ファイバ実装導波路素子において、上記ファイバ実装導波路素子に光ファイバを実装するための光ファイバ実装溝を形成し、上記光ファイバ実装溝に臨むオーバークラッド層の端面を有し、該光ファイバ実装溝側において上記オーバークラッド層の端面よりも、上記コアと上記アンダークラッド層とが突出していることを特徴とする光ファイバ実装導波路素子。
- 基板上にアンダークラッド層とコアとオーバークラッド層とを形成してなる光ファイバ実装導波路素子において、上記ファイバ実装導波路素子に光ファイバを実装するための光ファイバ実装溝を形成し、上記光ファイバ実装溝に臨むオーバークラッド層の端面を有し、該光ファイバ実装溝側において上記オーバークラッド層の端面よりも、上記コアが突出し、かつ、上記光ファイバ実装溝の底面までL字状に形成されていることを特徴とする光ファイバ実装導波路素子。
- 上記コアを複数有し、これらのコアが上記オーバークラッド層の端面より外でコア同士が連結されていることを特徴とする請求項1又は2記載の光ファイバ実装導波路素子。
- 上記コアを複数有し、これらのコアが上記オーバークラッド層の端面より外で隣接するコアの方向に広がっていることを特徴とする請求項1又は2記載の光ファイバ実装導波路素子。
- 上記光ファイバ実装溝に光ファイバが実装され、該光ファイバの端面が上記コアに接し、上記光ファイバの端面と上記オーバークラッド層、コア層及びアンダークラッド層の端面との間に接着剤を充填し、硬化させることにより、上記コアと上記光ファイバとが接続され、上記コアと硬化後の上記接着剤の屈折率の差が±0.005の範囲内であることを特徴とする請求項1〜4いずれか記載の光ファイバ実装導波路素子。
- 上記コアと上記接着剤が同材料であることを特徴とする請求項5記載の光ファイバ実装導波路素子。
- 基板上にアンダークラッド層とコアとオーバークラッド層とを順次形成してなる光ファイバ実装導波路素子の製造方法において、上記ファイバ実装導波路素子に光ファイバを実装するための光ファイバ実装溝を形成し、該光ファイバ実装溝に対向する位置に所定の上記アンダークラッド層及び上記コアを順次形成後、上記光ファイバ実装溝に臨むクラッドの端面を有し、該光ファイバ実装溝側において上記オーバークラッド層の端面よりも、上記コアと上記アンダークラッド層とが突出するようなマスクパターンを形成し、上記アンダークラッド層及び上記コア上にクラッド材を塗布後、露光することにより上記オーバークラッド層を形成することを特徴とする光ファイバ実装導波路素子の製造方法。
- 基板上にアンダークラッド層とコアとオーバークラッド層とを順次形成してなる光ファイバ実装導波路素子の製造方法において、上記ファイバ実装導波路素子光ファイバを実装するための光ファイバ実装溝を形成し、該光ファイバ実装溝に対向する位置に所定の上記アンダークラッド層を形成後、上記光ファイバ実装溝側の基板及び上記アンダークラッド層上にコア材を塗布し、直接露光することにより、上記アンダークラッド層から上記光ファイバ実装溝側の上記基板表面までを覆うL字状の上記コアを形成し、上記光ファイバ実装溝に臨むオーバークラッド層の端面を有し、該光ファイバ実装溝側において上記オーバークラッド層の端面よりも、上記コアが突出するようなマスクパターンを形成し、上記アンダークラッド層及び上記コア上にクラッド材を塗布後、露光することにより上記オーバークラッド層を形成することを特徴とする光ファイバ実装導波路素子の製造方法。
- 上記コアを複数形成し、これらのコアが上記オーバークラッド層の端面より外でコア同士が連結されているようにすることを特徴とする請求項6又は7記載の光ファイバ実装導波路素子の製造方法。
- 上記コアを複数形成し、これらのコアが上記オーバークラッド層の端面より外で隣接するコアの方向に広がっているようにすることを特徴とする請求項6又は7記載の光ファイバ実装導波路素子の製造方法。
- 上記光ファイバ実装溝に光ファイバを実装し、該光ファイバの端面を上記コアに接するようにし、上記光ファイバの端面と上記オーバークラッド層、コア層及びアンダークラッド層の端面との間に接着剤を充填し、硬化させることにより、上記コアと上記光ファイバとを接続し、上記コアと硬化後の上記接着剤の屈折率の差を±0.005の範囲内とすることを特徴とする請求項7〜10いずれか記載の光ファイバ実装導波路素子の製造方法。
- 上記コアと上記接着剤に同材料を用いることを特徴とする請求項11記載の光ファイバ実装導波路素子の製造方法。
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