JP2008277687A - 移載装置及び移載方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】第1ないし第3のテーブルT1、T2、T3間で、半導体ウエハW等の板状部材を移載する移載装置10であり、当該移載装置10は、半導体ウエハWの支持面を備えた支持手段11と、当該支持手段11を移動させる多関節型ロボット12とを含む。支持面は、シート基材SBに接着剤層Aが積層された接着シートSにより構成され、当該接着シートSと半導体ウエハWとの接着、剥離により、前記テーブルT1〜T3間で移載することができる。
【選択図】図1
Description
特許文献1には、ウエハを吸着保持するロボットアームからなる移載装置が開示されている。
本発明は、このような不都合に着目して案出されたものであり、その目的は、大型化、極薄化した半導体ウエハ等の板状部材を移載対象としても、当該板状部材の損傷原因を回避して移載することに適した移載装置及び移載方法を提供することにある。
前記板状部材の支持面を備えた支持手段と当該支持手段を移動させる移動手段とを備え、
前記支持面は、シート基材に接着剤層が積層された接着シートにより構成され、
前記接着シートと前記板状部材との接着、剥離により、前記載置手段間で板状部材を移載する、という構成を採っている。
支持手段に設けられた接着シートを載置手段に載置された板状部材に接着して当該板状部材を支持し、
前記支持手段を他の載置手段側に移動して当該載置手段に板状部材を載せ、
次いで、前記接着シートを板状部材から剥離することで前記板状部材を移載する、という方法を採っている。
また、支持手段が接着シートの繰出部と巻取部とを備えた構成によれば、接着シートの繰り出しと巻き取り動作を利用することで、支持面領域を更新することができ、安定した接着力の維持が可能となる。
更に、前記支持面を板状部材の相対する全面に接着する構成とした場合には、板状部材が数十μmの極薄タイプのウエハであっても、その外周側の垂れ下がりを確実に防止でき、テーブルに載せるときの外周側の破損が回避可能となる。
更に、接着シートの接着剤層にエネルギー線硬化型の接着剤層を用い、支持手段にエネルギー線照射手段を設けた構成では、接着シートと板状部材との分離を容易に行うことができる。
また、板状部材の端部から接着シートを接着、剥離する態様とすることで、接着シートの剥離抵抗を軽減することができる。
この一方、接着シートの面位置を部分的に変位させる変位手段を含む構成では、例えば、板状部材の側面視において、その中央部から両端部に向かうように接着シートを板状部材に接着させることができ、これにより、接着シートと板状部材との間に空気が混入することを回避することができ、確実な支持が可能となる。
なお、本実施形態における多関節型ロボット12は、本出願人によって既に出願された特願2006−115106号に記載されたものと実質的に同一のものであり、従って、ここでは更に詳細な説明を省略する。
すなわち、本発明は、主に特定の実施の形態に関して特に図示し、且つ、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上に述べた実施の形態に対し、形状、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。
従って、上記に開示した形状などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状などの限定の一部若しくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
11 支持手段
12 多関節型ロボット(移動手段)
16 繰出ローラ(繰出部)
17 巻取ローラ(巻取部)
23 ハロゲンランプ(紫外線照射手段)
30 変位手段
T1 第1のテーブル(載置手段)
T2 第2のテーブル(載置手段)
T3 第3のテーブル(載置手段)
A 接着剤層
S 接着シート(支持面)
SB シート基材
W 半導体ウエハ(板状部材)
Claims (12)
- 板状部材が載置される複数の載置手段間で前記板状部材を移載する移載装置において、
前記板状部材の支持面を備えた支持手段と当該支持手段を移動させる移動手段とを備え、
前記支持面は、シート基材に接着剤層が積層された接着シートにより構成され、
前記接着シートと前記板状部材との接着、剥離により、前記載置手段間で板状部材を移載することを特徴とする移載装置。 - 前記支持手段は、帯状の接着シートを繰出可能に支持する繰出部と、当該繰出部から繰り出される接着シートを巻き取る巻取部とを含み、これら繰出部及び巻取部間の接着シートを前記支持面とすることを特徴とする請求項1記載の移載装置。
- 前記支持面は、当該支持面に相対する板状部材の全面に接着することを特徴とする請求項1又は2記載の移載装置。
- 前記支持手段は、前記板状部材の側面視一方の端部から他方の端部に向かって、前記接着シートと板状部材とを接着及び/又は剥離することを特徴とする請求項1、2又は3記載の移載装置。
- 前記接着剤層はエネルギー線硬化型の接着剤層であり、前記支持手段は、エネルギー線照射手段を更に含むことを特徴とする請求項1ないし4の何れかに記載の移載装置。
- 前記支持手段は、前記板状部材に対して前記接着シートの面位置を部分的に変位させる変位手段を含むことを特徴とする請求項1、2又は3記載の移載装置。
- 前記変位手段は、前記接着シートを板状部材に接着するときに、前記移動手段と同期して前記板状部材の側面視中央部から両端部に向かって接着するように前記接着シートを変位させることを特徴とする請求項6記載の移載装置。
- 前記変位手段は、前記板状部材に接着された接着シートを板状部材から剥離するときに、前記移動手段と同期して前記板状部材の側面視両端部から中央部に向かって剥離するように前記接着シートを変位させることを特徴とする請求項6記載の移載装置。
- 板状部材が載置される複数の載置手段間で前記板状部材を移載する移載方法において、
支持手段に設けられた接着シートを載置手段に載置された板状部材に接着して当該板状部材を支持し、
前記支持手段を他の載置手段側に移動して当該載置手段に板状部材を載せ、
次いで、前記接着シートを板状部材から剥離することで前記板状部材を移載することを特徴とする移載方法。 - 前記接着シートと板状部材とを接着及び/又は剥離するときに、板状部材の側面視一端側から他端側に向かって接着することを特徴とする請求項9記載の移載方法。
- 前記接着シートを板状部材に接着するときに、板状部材の側面視中央部から両端部に向かって接着することを特徴とする請求項9記載の移載方法。
- 前記板状部材を移載する際に、当該板状部材に接着された接着シートを板状部材の側面視両端部から中央部に向かって剥離することを特徴とする請求項9記載の移載方法。
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