JP2008260143A - スクリーン印刷装置、スクリーン印刷方法、及び前記装置或いは前記方法を用いて製造された液晶パネル - Google Patents

Abstract

【課題】スクリーン印刷によるシールパターン形成時におけるスクリーン版のメッシュパターンの転写による表示不良或いはシールパターン幅のバラツキを防ぎ安定的に液晶パネルを製造することのできるスクリーン印刷装置を得る。
【解決手段】この発明に係るスクリーン印刷装置は、スキージを走査することによりスクリーン版上のペーストを前記スクリーン版に設けられた開口パターンを介して前記スクリーン版の下部に配置された基板１の主面に塗布し、基板１を保持するステージ２が、ステージ基部２ａと、ステージ基部２ａに固定或いは取り付けられ、ステージ２の一部よりなる平面と基板１の主面の高さとの関係を調整する高さ調整部材３とから構成される。
【選択図】 図１

Description

本発明は、液晶パネルを製造する際のシールパターンを形成するスクリーン印刷装置に関するものである。

シールパターンによって額縁状に囲まれたセル構造をもった表示装置として一般的な液晶パネルの製造プロセスにおけるパネル組み立ての工程は、主にガラス基板を元に作成された液晶を駆動するスイッチング素子を載せたスイッチング素子基板とカラーフィルタの役割であるカラーフィルタ基板について、其々の基板表面に配向膜を塗布し、ラビング処理する工程と、間隔をあけて貼り合わせる工程と、所定のパネルサイズに切断する工程と、その間隔内に液晶を注入する工程がある。

基板を貼り合せる為には、スイッチング素子基板或いはカラーフィルタ基板上に、パネルの表示部分を囲むような形状にシールパターンを形成する。方法としては、スクリーン版に形成されたシールパターンの開口部からシール材を押し出すスクリーン印刷方式とノズル走査によってパターンを描くシールディスペンス方式の二つが一般的である。両者のうちスクリーン印刷方式は基板あたりのパネル数が多い場合においても生産性に優れるなどの点から広く採用されている。

この様なスクリーン印刷方式を用いたシールパターン形成工程においては、印刷条件によっては、印刷の際にスクリーン版が基板に押し付けられることになり、基板表面の配向膜にスクリーン版表面のメッシュパターンが転写される場合がある。その結果、メッシュパターンの転写部分では、配向膜による液晶の所定の配向が得られず、ムラとして視認される等、液晶パネルとして画像の表示不良を招いていた。

また、その対策として基板を固定するチャックを基板表面より上部へ張り出した状態で印刷を行うことによって、スクリーン版が先に張り出したチャックに接触することにより、スクリーン版が基板表面に押し付けられる圧力を緩和する方法が特許文献１に開示されている。

特開２０００−１４７５２４号公報

しかしながら、近年スクリーン印刷処理される大きなガラス基板において、基板表面とスクリーン版の距離の制御、及び、スクリーン版を押し付けるスキージへの印加圧力は、メッシュパターン転写による不良の発生、シールパターン幅のバラツキに敏感に影響する。これらの要因を大きな基板面の全ての位置において適正に制御する必要があり、特許文献１に記載されているような可動部分であるチャック、或いはチャックと独立に高さの決まるステージ部によってスクリーン版と基板間のギャップを制御することは、困難であり、量産時において安定的に行うことは不可能であった。

本発明は、このような問題点を解決するためになされたもので、本発明の目的は、スクリーン印刷によるシールパターン形成時におけるスクリーン版のメッシュパターンの転写による表示不良或いはシールパターン幅のバラツキを防ぎ安定的に液晶パネルを製造することのできるスクリーン印刷装置或いは液晶パネルの製造方法を得ることである。

この発明に係るスクリーン印刷装置においては、スキージを走査することによりスクリーン版上のペーストを前記スクリーン版に設けられた開口パターンを介して前記スクリーン版の下部に配置された基板の主面に塗布し、前記基板を保持するステージが、ステージ基部と、前記ステージ基部に固定或いは取り付けられ、前記ステージの一部よりなる平面と前記基板の主面の高さとの関係を調整する高さ調整部材とから構成される。

本発明によれば、スクリーン印刷によるシールパターン形成時における、スクリーン版のメッシュパターンの転写による表示不良を防ぐことができる。

実施の形態１．
本実施の形態１のスクリーン印刷装置の構成について図１のステージ部の斜視図、図２のステージを構成するギャップ調整板の斜視図及び図３のギャップ調整板の取り付け状態説明図を用いて説明する。なお、図は、模式的なものであり、示された構成要素の正確な大きさなどを反映するものではない。また、図中、既出の図において説明したものと同一の構成には同一の符号を付し、その説明を省略する。以下の図においても同様とする。

図１に示される様に、このスクリーン印刷装置を構成する基板１を保持するステージ２は、以下のステージ基部２ａと、ステージ基部２ａに取り付けられ、ステージ２の上面と基板１の主面の高さとの関係を調整する高さ調整部材の役割をするギャップ調整板３と、基板１を位置決めするアライメント機構４ａ、４ｂと、ステージ上の位置決め可能な位置まで基板１を搬送する搬送ローラ部５ａ、５ａａ（搬送ローラ部５ａと同様の構造で図中基板１の下に配置、図示せず）とから構成されている。また、ステージ２上への搬入及び搬出を行う搬送ローラ部５ｂ及び５ｃがステージ２の前後に配置されている。

また、図２の斜視図から判る様に、ギャップ調整板３は、基板形状のくり抜き部６が形成された環状であり、基板１の厚み以上であるｈの厚みを持ったブロック状である。特にある程度の強度や厚み精度を持てば、金属であっても、樹脂等であっても構わないが、ここでは、切削加工により厚み精度が確保し易く、必要な強度も確保できるステンレス材料を用いた。また、ギャップ調整板３には、必要に応じ、アライメント機構４ａ、４ｂの動作範囲に対応したくり抜き部６ａや搬送ローラ部５ａの位置に対応したくり抜き部６ｂが形成されている。

図３（ａ）は、ギャップ調整板３の取り付け状態を示す断面図であり、図１におけるＡ―Ａの位置での断面図を示している。この図より基板形状のくり抜き部６がステージ基部２ａに形成された基板１を保持する面を凸とする突出部７と勘合していることが判る。組み合う場合の寸法精度としては、取り外しが容易な程度で、ズレやガタツキが発生しない程度とすることが好ましい。また、ギャップ調整板３がある程度の厚みと重さを持ち、この様に勘合することにより取り付けられる為、特にネジなどにより固定することなく精度良く印刷することが可能である。また、ギャップ調整板３がステンレス等で基板厚み以上に形成されていることにより、ステージ基部２ａとの着脱を繰り返しても、変形などが発生し難く、耐久性に優れている。

また、処理する基板１の厚みに応じ、対応するギャップ調整板３を用意し、ギャップ調整板３を使い分けることにより、適切な印刷結果を容易に得ることができる。例えば、図３（ａ）に示す、突出部７の高さｄについては印刷装置の初期設計の固定値とし、この装置により処理する可能性のある基板１が基板厚さｔ１、ｔ２、ｔ３の三種類である場合には、０.１ｍｍ≦ｈ１−ｄ−ｔ１≦０.２ｍｍを満たす厚さｈ＝ｈ１のギャップ調整板３ａ、０.１ｍｍ≦ｈ２−ｄ−ｔ２≦０.２ｍｍを満たす厚さｈ＝ｈ２のギャップ調整板３ｂ、０.１ｍｍ≦ｈ３−ｄ−ｔ３≦０.２ｍｍを満たす厚さｈ＝ｈ３のギャップ調整板３ｃという様に、厚さの異なる三種類のギャップ調整板３を用意し、基板１の種類により交換して使い分けると良い。

続いて、図３（ｂ）は、図３（ａ）のギャップ調整板３の形状を若干変更したものについて図３（ａ）と同様に断面図を示したものである。図からわかる様に、ギャップ調整板３のくり抜き部６の一方に、斜めに面取り８を形成している。

図の様に、この面取り８がギャップ調整板３の上側になる様に取り付けることにより、基板１を収容するギャップ調整板３のくり抜き部６の開口部が上に向かって広がることになる。この構造とすることによって、ステージ２上に搬送された基板１はこの広がった開口部まで位置決めされれば、面取り８の表面にガイドされて、基板１を保持するステージ基部２ａの突出部７上の所定の位置に位置決めされる。結果として、アライメント機構４ａによる基板１の位置決め精度の許容範囲を拡げることができる。更に、搬送ローラ部５ａの精度の向上や搬送中での基板幅方向の位置あわせを行い、面取り８により広がった開口部内まで搬送することにより、アライメント機構４ａを省略することも可能となる。

続いて、本実施の形態１のスクリーン印刷装置のステージ２の動作について図１を用いて説明する。まず、図１で説明した搬送ローラ５ｂ、５ａ、５ａａによって、ステージ２上の位置決め可能な位置まで基板１が搬送される。次に、アライメント機構４ａ、４ｂが基板１を挟み込む動作することによって基板１の端部を押圧して位置決めを行う。アライメント機構４ａは基板１の幅方向、アライメント機構４ｂは基板１の長手方向の位置決めを行う。この様な位置決め動作を行うことにより、ステージ２上面に取り付けられたギャップ調整板３のくり抜き部６内に基板１が収容される。

続いて、本実施の形態１のスクリーン印刷装置の印刷に関係する部分の構成及びそれらの動作について図４を用いて説明する。先ず、構成について図４（ａ）を用い説明する。９は、スクリーン版であり、１０は、スクリーン版９に設けられた開口パターン、１１は、開口パターン１０を介して基板１上にシールパターンとして塗布されるペースト、１２は、スクリーン版９上を走査しペースト１１を開口パターン１０より基板１上に押し出し印刷塗布するスキージである。

次に、図４（ｂ）を用い、印刷動作について説明する。図１で説明した位置決め動作の後、図４（ａ）に矢印で示す方向にステージ２は上昇し、図４（ｂ）に示す様にスクリーン版９と基板１が接触する間際まで近接される。印刷動作は、この図４（ｂ）に示す様にスキージ１２がスクリーン版９上を図中に示される矢印の方向に向かって走査されペースト１１をスクリーン版９に設けられた開口パターン１０を介してスクリーン版９の下部に配置された基板１の主面に塗布することにより行われる。

続いて、本実施の形態１におけるスクリーン印刷装置の印刷処理に及ぼす作用について図５を用いて説明する。図５は図４（ｂ）におけるＢ―Ｂの位置、即ち、スキージの１２の走査方向に対し垂直な方向での断面図を示している。図５に示す様に、スキージ１２の走査方向に対し基板１の両側において、高さ調整板３の上面が基板１の主面である上面よりも張り出している。この張り出した平面がスクリーン版９を介してスキージ１２と接することにより、スキージ１２による、スクリーン版９の押し付け圧力を受け止めている。また、この平面と基板１の上面との高さの差Ｇ（図５中に図示）が設けられており、この高さの差Ｇは、スキージ１２により押し付けられ基板１の方向へ張り出したスクリーン版９が基板１に接触し難くする役割、或いは、接触した場合における接触圧を緩和する役割をする。図５では、スクリーン版９が基板１に接触しない状態を示している。

スクリーン版９が基板１の主面に強く押し付けられることになると、基板１主面の配向膜にスクリーン版９表面のメッシュパターンが強く転写され、表示不良が発生する。この為、高さの差Ｇは正であること、更にできるだけ大きい方が、スクリーン版９が基板１に接触し難くなること、或いは、接触した場合における接触圧を緩和されることから表示不良を防止でき好ましい。しかしながら、本実施の形態１では、高さの差Ｇについて、０.１ｍｍ≦Ｇ≦０.２ｍｍとなる様に、即ち基板１の厚さｔ、突出部７の高さｄに対して、ギャップ調整板３の厚さｈについて、高さの差ＧはＧ＝ｈ−ｄ−ｔで表されることから０.１ｍｍ≦ｈ−ｄ−ｔ≦０.２ｍｍを満たす様に選定している。

これは、表示不良を防止できる範囲に加えて、印刷シール幅をバラツキ少なく安定化するのに適正な範囲を選定したものである。印刷シール幅の安定化には、スキージ１２が通り過ぎた直後の基板１の主面からスクリーン版９を引き剥がす張力が安定してかかることが必要である。例えばスクリーン印刷によって液晶パネルを製造する場合として標準的なスクリーン版９の大きさが一辺１０００ｍｍ程度、基板サイズが基板幅５００ｍｍ程度の場合、高さの差Ｇが０.１ｍｍよりも小さいと張力が少なくなり版が一定の速度で剥がれなる。また、０.２ｍｍよりも大きいと基板１の主面とスクリーン版９の距離が離れ過ぎてペースト１０の滲みが発生したり、無理にスキージ１２への印加圧力を増やすとスクリーン版９の伸びが発生する。いずれの場合にも結果として安定した印刷ができなくなる。

以上説明した様に、本実施の形態１では、ギャップ調整板３の厚さｈについて、基板１の厚さｔ、突出部７の高さｄに対し、０.１ｍｍ≦ｈ−ｄ−ｔ≦０.２ｍｍを満たす様に予め用意されたギャップ調整板３を使用することにより、メッシュパターンの転写による表示不良を防止することができ、尚且つ印刷シール幅バラツキの少ない安定した印刷結果を得ることができる。

更に、ギャップ調整板はステージ基部に接する様に取り付けられていることから、基板とステージとの上面の高さの差が変動する可能性が無い為、連続して処理を続けた場合においても、適切な印刷条件が変動することが無く、安定した印刷結果が得られる。また、基板厚さを変更した場合においても、其れに対応して決まった厚さの予め用意されたギャップ調整板をステージ基部に接する様に取り付け用いるので、適切な印刷条件の再現性が良く、毎回安定した印刷結果が得られる。

以上説明した実施の形態１では、スクリーン印刷装置において、処理する基板の厚みに対応してステージ上面と基板の主面の高さとの関係を調整する高さ調整部材を備えることにより最適な印刷条件となる様に印刷を行うことが可能である。更に、スキージの走査方向に対し基板の両側において、基板の主面よりも上側に張り出した高さ調整部材が取り付けられることにより、液晶パネルの製造工程に用いた場合に、スクリーン版のメッシュパターンの転写による表示不良を発生することが無く、シールパターン幅バラツキが少ない液晶パネルを製造できるスクリーン印刷装置を得ることができる。また、高さ調整部材はステージ基部に接する様に取り付けられていることから、基板の主面とステージ上面の高さの差が変動することがなく、シール幅のバラツキや表示不良の発生を安定して防ぐことが可能である。

実施の形態２．
実施の形態１のスクリーン印刷装置では、ステージ２として、突出部７を設けたステージ基部２ａとギャップ調整板３を勘合する様に組み合わせたものを用いた。ここでは、ステージ基部に突出部を設けず、比較的薄いギャップ調整板を取り付けた実施の形態２について説明する。

本実施の形態２では、ステージ２における、ステージ基部２ａとギャップ調整板３の構造のみが実施の形態１と異なるが、この変更以外については、印刷動作、その他構造などは実施の形態１と同様である為、詳細な説明は省略する。

先ず、本実施の形態２のスクリーン印刷装置の構成について図６のステージ部の斜視図と図７のギャップ調整板及び取り付け状態説明図を用いて説明する。

実施の形態１と同様に、図６に示される様に、このスクリーン印刷装置を構成する基板１を保持するステージ２は、以下のステージ基部２ａと、ステージ基部２ａに取り付けられ、ステージ２の上面と基板１の主面の高さとの関係を調整する高さ調整部材の役割をするギャップ調整板３と、ギャップ調整板３の周辺部においてギャップ調整板３をステージ基部２ａに取り付け固定する固定ネジ１３と、基板１を位置決めするアライメント機構４ａ、４ｂと、ステージ上の位置決め可能な位置まで基板１を搬送する搬送ローラ部５ａ、５ａａ（搬送ローラ部５ａと同様の構造で図中基板１の下に配置、図示せず）とから構成されている。また、ステージ２上への搬入及び搬出を行う搬送ローラ部５ｂ及び５ｃがステージ２の前後に配置されている。

また、図７（ａ）はギャップ調整板３の斜視図であり、ギャップ調整板３には、基板形状のくり抜き部６及び固定ネジ１３の位置に対応した取り付け穴１３ａが周辺部に形成されている。また、ギャップ調整板３には、必要に応じ、アライメント機構４ａ、４ｂの動作範囲に対応したくり抜き部６ａが形成されている。図７（ｂ）は図７（ａ）のギャップ調整板３のＣ'−Ｃ'の位置における断面図を示している。この様にギャップ調整板３は厚さｈの厚みをもった薄板状である。

また、図７（ｃ）は、ギャップ調整板３の取り付け状態を示す断面図であり、図６におけるＣ―Ｃの位置での断面図を示している。この図よりステージ基部２ａには基板１の形状に掘り込み部１４が形成されており基板１を収容している。更にギャップ調整板３は基板形状のくり抜き部６が基板１の位置に対応する様に取り付けられており、ギャップ調整板３の厚さｈ、掘り込み部１４の深さｅ、基板厚さｔに対して、ステージ２の上面が基板１の主面よりも張り出す様に即ちギャップ調整板３の表面と基板１の上面との高さの差Ｇ＝ｅ＋ｈ−ｔが正となる様にギャップ調整板３の厚さが選ばれている。

この様に本実施の形態２において、ギャップ調整板３は、高さの差Ｇが少なくとも正となる様にステージ基部２ａに設けられた掘り込み部１４の深さを補充する役割をしていることから、掘り込み部１４がある場合に限らず、掘り込み部１４の深さがゼロである場合、即ちステージ基部２ａが平坦な場合まで応用が可能であり本実施の形態２と同様の効果がある。

また、実施の形態１で説明したとおり、ステージ２の上面が基板１の主面よりも張り出していること、即ちギャップ調整板３の表面と基板１の上面との高さの差Ｇが正であること、更に、Ｇの値が大きくなる程、スクリーン版のメッシュパターンの転写による表示不良を発生しにくくなり、０.１ｍｍ≦Ｇ≦０.２ｍｍとなる様に、即ち基板１の厚さｔ、掘り込み部１４の深さｅに対して、ギャップ調整板３の厚さｈについて、高さの差ＧはＧ＝ｅ＋ｈ−ｔで表されることから０.１ｍｍ≦ｅ＋ｈ−ｔ≦０.２ｍｍを満たす様に選定することによってシール幅バラツキの少ない安定した印刷結果を得ることができる。実施の形態１と同様に、処理する基板１の厚さに対応した異なるギャップ調整板３を用意し、基板１の種類により交換して使い分けることにより容易に適切な条件で印刷を行うことができる。

本実施の形態２においては、実施の形態１と異なり、ギャップ調整板３は、ステージ基部２ａの全面を覆うのではなく、基板１の周辺部のみを覆う形状とした。しかし、印刷時に影響する高さ調整の効果は、実際は、スキージが乗り上げる領域でのギャップ調整板３により生ずることから、少なくとも基板１の両側の印刷時にスキージが乗り上げる領域にギャップ調整板３が配置されれば、実施の形態１と同様の効果が得られる。また、本実施の形態２のギャップ調整板３は、実施の形態１に比較して薄く強度が無いことから、必要最小限の大きさとすることによって、交換時や保管時における破損を防止することができる。

また、実施の形態２においては、ステージ基部２ａが、実施の形態１の突出部を設けた構造の様に特別な形状ではないことから、通常のスクリーン印刷装置に対しても応用可能であり、通常のスクリーン印刷装置のステージに対して適切なギャップ調整板３を取り付けることによって同様の効果を得ることができる。更に、ギャップ調整板３の固定手段についても、固定ネジ１３に限らず、ステージ基部２ａとギャップ調整板３の間に両面テープなどを用い固定しても良く、テープなどをギャップ調整板３の端部に掛かる様にステージ基部２ａに貼り付け固定しても良い。この様な場合には、テープの厚さも含めギャップ調整板３の厚みにより基板１の主面からの張り出し量を調整するか、ギャップ調整板３のスキージが乗り上げる領域にはテープが掛からない様に固定する。また、ステージ基部２ａはステンレスなどの磁石と引き合う材質からなるのが一般的であることから、ギャップ調整板３を磁石材料により形成することにより、磁力により貼り付け固定しても良い。これらの方法についても、通常のスクリーン印刷装置に対して応用可能であり、同様の効果を得ることができる。

以上説明した実施の形態２においても実施の形態１と同様に、スクリーン印刷装置において、処理する基板の厚みに対応してステージ上面と基板の主面の高さとの関係を調整する高さ調整部材を備えることにより最適な印刷条件となる様に印刷を行うことが可能である。更に、スキージの走査方向に対し基板の両側において、基板の主面よりも上側に張り出した高さ調整部材が取り付けられることにより、液晶パネルの製造工程に用いた場合に、スクリーン版のメッシュパターンの転写による表示不良を発生することが無く、シールパターン幅バラツキが少ない液晶パネルを製造できるスクリーン印刷装置を得ることができる。また、高さ調整部材はステージ基部に固定されていることから、基板の主面とステージ上面の高さの差が変動することがなく、シール幅のバラツキや表示不良の発生を安定して防ぐことが可能である。

実施の形態３．
ギャップ調整板３をステージ基部２ａに取り付けることによって上面が基板１の主面よりも張り出した状態のステージ２を構成する為には、ステージ基部２ａとギャップ調整板３の形状を変形することにより幾つかの変形例が考えられる。これらの変形例について、本実施の形態３で説明する。

まず、第１の変形例のスクリーン印刷装置について、図８の断面図を用いて説明する。このスクリーン印刷装置の全体図は、実施の形態２について説明した図６における固定ネジ１３を省略している点以外は同様であるので省略する。

第１の変形例では、図８（ａ）に示す様に、実施の形態２について説明した図７と比較して、やや厚みｈが厚く、基板１の形状のくり抜き部６が形成された環状のギャップ調整板３と、掘り込み部１５が形成されたステージ基部２ａにより構成されており、図８（ｂ）に示す様に、ステージ基部２ａの掘り込み部１５とギャップ調整板３が勘合することにより取り付けること、図８（ａ）の矢印で示した様に着脱することが可能である。

図８（ｂ）に示す様に、ステージ基部２ａにギャップ調整板３を取り付けられた状態では、ギャップ調整板３の厚さｈ、掘り込み部１５の基板１を保持する面からの深さｆ、基板１の厚さｔに対して、ステージ２の上面が基板１の主面よりも張り出す様に即ちギャップ調整板３の表面と基板１の上面との高さの差Ｇ＝ｈ−ｆ−ｔが正となる様にギャップ調整板３の厚さが選ばれている。

また、上記説明の変形例１においては、実施の形態２においても説明したとおり、少なくとも基板１の両側の印刷時にスキージが乗り上げる領域にギャップ調整板３が配置されれば良いことから、環状のギャップ調整板３のうち、スキージの乗り上げる部分のみとすれば良い。即ち基板１のスキージの動作方向に対して両側に二枚の直方体のギャップ調整板３Ｒと３Ｌを配置しても良い。

続いて、第２の変形例のスクリーン印刷装置について、図９の断面図を用いて説明する。
第２の変形例では、図９（ａ）に示す様に、基板形状の掘り込み部１６が形成されたギャップ調整板３と、掘り込み部１５が形成されたステージ基部２ａにより構成されており、図９（ｂ）に示す様に、ステージ基部２ａの掘り込み部１５とギャップ調整板３が勘合することにより取り付けることができ、図９（ａ）の矢印で示した様に着脱が可能である。

また、図９（ｂ）に示す様に、ステージ基部２ａにギャップ調整板３を取り付けられた状態では、ギャップ調整板３の厚さｈ、基板１を収容する掘り込み部１６の深さｇ、基板１の厚さｔに対して、ステージ２の上面が基板１の主面よりも張り出す様に即ちギャップ調整板３の表面と基板１の上面との高さの差Ｇ＝ｇ−ｔが正となる様にギャップ調整板３の掘り込み部１６の深さＧが選ばれている。

続いて、第３の変形例のスクリーン印刷装置について、図１０の断面図を用いて説明する。第３の変形例では、図１０（ａ）に示す様に、基板形状の板状のギャップ調整板３と、基板形状の掘り込み部１７が形成されたステージ基部２ａにより構成されており、図１０（ｂ）に示す様に、ステージ基部２ａの掘り込み部１７とギャップ調整板３が勘合することにより取り付けることができ、図９（ａ）の矢印で示した様に着脱が可能である。

また、図１０（ｂ）に示す様に、ステージ基部２ａにギャップ調整板３を取り付けられた状態では、ギャップ調整板３の厚さｈ、基板形状の掘り込み部１７の深さk、基板１の厚さｔに対して、ステージ２の上面が基板１の主面よりも張り出す様に即ちギャップ調整板３の表面と基板１の上面との高さの差Ｇ＝k−ｈ−ｔが正となる様にギャップ調整板３の掘り込み部１７の深さＧが選ばれている。

以上説明した変形例１〜３においても、更に実施の形態１と同様に、０.１ｍｍ≦Ｇ≦０.２ｍｍとなる様に基板１の厚さに対応したギャップ調整板３を選定することによってシール幅バラツキの少ない安定した印刷結果を得ることができる。

また、実施の形態１と同様に、ギャップ調整板３がある程度の厚みと重さを持ち、ステージ基部２ａと勘合することにより取り付けられる為、特にネジなどにより固定することなく精度良く印刷することが可能である。

また、実施の形態２と同様に、ギャップ調整板３を必要最小限の大きさとすることによって、コンパクトで軽量とすることが出来ることから、交換時の持ち運びが容易で、保管時にも比較的狭いスペースに収納可能である。

以上説明した実施の形態３においても実施の形態１と同様に、スクリーン印刷装置において、処理する基板の厚みに対応してステージ上面と基板の主面の高さとの関係を調整する高さ調整部材を備えることにより最適な印刷条件となる様に印刷を行うことが可能である。更に、スキージの走査方向に対し基板の両側に、基板の主面よりも上側にステージ上面が張り出す様に高さ調整部材が取り付けられることにより、液晶パネルの製造工程に用いた場合に、スクリーン版のメッシュパターンの転写による表示不良を発生することが無く、シールパターン幅バラツキが少ない液晶パネルを製造できるスクリーン印刷装置を得ることができる。また、高さ調整部材はステージ基部に接する様に取り付けられていることから、基板の主面とステージ上面の高さの差が変動することがなく、シール幅のバラツキや表示不良の発生を安定して防ぐことが可能である。

実施の形態４．
続いて、実施の形態３の変形例１のスクリーン印刷装置において、ステージ基部２ａにギャップ調整板３を移動する移動機構を備えるように変形した実施の形態４について図１１の断面図を用い説明する。

本実施の形態４では、実施の形態３の変形例１と比較して、図１１に示す様に、基板１の形状のくり抜き部６が形成されたギャップ調整板３と、掘り込み部１５が形成されたステージ基部２ａにより構成されている点、ステージ基部２ａの掘り込み部１５とギャップ調整板３が勘合することにより取り付けられている点については同様である。実施の形態３の変形例１とは、ギャップ調整板３を図中の矢印の様に上下に移動する移動機構１８がステージ基部２ａに設けられている点が異なる。また、更に、移動後の位置においてギャップ調整板３をステージ基部２ａに固定する固定手段である固定ネジ１９が設けられている。

移動機構１８は、ギャップ調整板３を精密に上下動作させる駆動ギア２０と駆動ギア２０により上下動作に変換される回転力を与える回転ノブ２１からなる。また、ギャップ調整板３の微量の移動量を見積る為、回転ノブ２１はマイクロメータなどの移動量を見積る目盛を備えた構造とすることが望ましい。また、固定ネジ１９は、ネジ込むことによりギャップ調整板３を挟み込み、移動後の位置において、完全に固定することができる。

また、図１１に示す様に、厚さｔの基板１に対して、ステージ２の上面が基板１の主面よりも張り出す様に即ちギャップ調整板３の表面と基板１の上面との高さの差Ｇが正となる様にギャップ調整板３を移動機構１８により移動し移動量の調整を行う。

以上説明した実施の形態４においても、更に実施の形態１と同様に、０.１ｍｍ≦Ｇ≦０.２ｍｍとなる様に基板１の厚さｔに対応してギャップ調整板３を移動機構１８により移動し移動量の調整を行い、更に固定ネジ１９によって移動位置においてステージ基部２ａに固定することによってシール幅バラツキの少ない安定した印刷結果を得ることができる。

以上説明した実施の形態４においても実施の形態１と同様に、スクリーン印刷装置において、処理する基板の厚みに対応してステージ上面と基板の主面の高さとの関係を調整する高さ調整部材を備えることにより最適な印刷条件となる様に印刷を行うことが可能である。更に、スキージの走査方向に対し基板の両側に、基板の主面よりも上側に張り出した高さ調整部材が固定されることにより、液晶パネルの製造工程に用いた場合に、スクリーン版のメッシュパターンの転写による表示不良を発生することが無く、シールパターン幅バラツキが少ない液晶パネルを製造できるスクリーン印刷装置を得ることができる。また、高さ調整部材はステージ基部に固定されていることから、基板の主面とステージ上面の高さの差が変動することがなく、シール幅のバラツキや表示不良の発生を安定して防ぐことが可能である。

実施の形態５．
続いて、実施の形態４の変形例１のスクリーン印刷装置において、ステージ基部２ａへのギャップ調整板３の固定方法を変形した実施の形態５について図１２〜図１４の説明図を用い説明する。

本実施の形態５では、図１２の断面図に示す様に、実施の形態４と同様に基板１の形状のくり抜き部６が形成されたギャップ調整板３と、掘り込み部１５が形成されたステージ基部２ａにより構成されており、ギャップ調整板３はステージ基部２ａの掘り込み部１５と勘合することにより取り付けられている。また、ギャップ調整板３を図中の矢印の様に上下に移動する移動機構１８がステージ基部２ａに設けられており、ギャップ調整板３を固定する固定手段である固定ネジ１９が設けられている。実施の形態３の変形例１との相違点としては、固定ネジ１９に対応して、取り付け穴２２をギャップ調整板３の側面に設けた点が異なる。この取り付け穴２２に固定ネジ１９が差し込まれることによりギャップ調整板３をステージ基部２ａに固定することが可能である。

この取り付け穴２２と固定ネジ１９は、異なる基板１の厚さに対応して、ギャップ調整板３の高さを変更可能な様に、異なる位置において固定できる複数組設けると、一つのギャップ調整板３を交換しなくても数種類の基板の最適条件に対応することができる。この方法について、図１３および図１４を用いて詳細に説明する。

図１３（ａ）は実施の形態５のスクリーン印刷装置の図１２における上側の方向からみた平面模式図、図１３（ｂ）は（ａ）における固定ネジ側の側面からみた模式図を示している。これらの図よりステージ基部２ａの側面に複数の固定ネジ１９ａ、１９ｂが設けられていることが判る。

また、図１４（ａ）はギャップ調整板３の側面からみた模式図を示しており、図１３（ｂ）における固定ネジ１９ａ、１９ｂに対応した取り付け穴２２ａ、２２ｂがギャップ調整板３に設けられていることが判る。また、複数組の取り付け穴２２ａと複数組の取り付け穴２２ｂとは、異なる高さに設けられており、対応するステージ基部２ａに設けられた固定ネジ１９ａと固定ネジ１９ｂは同じ高さに設けられている。

続いて、図１３（ｂ）において点線で示した断面線ａ、断面線ｂにおける断面模式図である図１４（ｂ）、図１４（ｃ）を用い、取り付け穴２２ａと固定ネジ１９ａによる固定と、取り付け穴２２ｂと固定ネジ１９ｂによる固定の使い分けについて説明する。図１４（ｂ）は、取り付け穴２２ａと固定ネジ１９ａにより固定した場合を示しており、図１４（ｃ）は、取り付け穴２２ｂと固定ネジ１９ｂにより固定した場合を示している。取り付け穴２２ｂは取り付け穴２２ａよりもギャップ調整板３の低い位置に設けられていることから、図１４（ｃ）の様に取り付け穴２２ｂによる固定を選んだ場合、図１４（ｂ）の取り付け穴２２ａによる固定より固定ステージ基部２ａに対して高い位置でギャップ調整板３を固定することができる。

この様に、取り付け穴２２ａと固定ネジ１９ａによる固定と、取り付け穴２２ｂと固定ネジ１９ｂによる固定を使い分けることにより、二種類の異なる高さによる固定を行うことができる。例えば図１４（ｂ）においては、比較的薄い厚さｔ１の基板１ａに対して、ステージ２の上面が基板１ａの主面よりも張り出す様に即ちギャップ調整板３の表面と基板１の上面との高さの差Ｇが正となる様に取り付け穴２２ａと固定ネジ１９ａの位置関係を決めておき、比較的厚い厚さｔ２の基板１ｂに対しては、ステージ２の上面が基板１ｂの主面よりも張り出す様に即ちギャップ調整板３の表面と基板１の上面との高さの差Ｇが正となる様に取り付け穴２２ｂと固定ネジ１９ｂの位置関係を決めておくことにより、ギャップ調整板３を交換すること無く二種類の厚さの基板１ａ、基板１ｂに対して最適条件となる様に対応することができる。

以上説明した実施の形態５においても、更に実施の形態１と同様に、０.１ｍｍ≦Ｇ≦０.２ｍｍとなる様に基板１の厚さｔに対応してギャップ調整板３を移動機構１８により移動し移動量の調整を行い、更に固定ネジ１９によって移動位置においてステージ基部２ａに固定することによってシール幅バラツキの少ない安定した印刷結果を得ることができる。

また、本実施の形態５においては、二種類の基板厚さに対応した説明としたが、更に異なる高さに固定できる取り付け穴２２と固定ネジ１９を設けることにより、三種類以上の基板にも対応することが可能である。更に、本実施の形態５では、ステージ基部２ａに設けた固定ネジ１９の高さは同じとして、ギャップ調整板３に設けた取り付け穴２２の高さを変えた。これは、ギャップ調整板３は比較的容易に交換できることから、様々な基板厚さに対応し易い点でこの様な構成としたが、取り付け穴２２を同じ高さとして、固定ネジ１９の高さを変えた構成としても本実施の形態５と同様に異なる厚さの基板に対して最適条件で印刷を行うことができる。

また、本実施の形態５の変形例として、図１５に示す様に実施の形態５における高さ調整部材であるギャップ調整板３をギャップ調整板３ｍとギャップ調整板３ｎに分割した構成としても良い。ギャップ調整板３ｍは、実施の形態５と同様の移動機構１８により上下に移動可能であり、ギャップ調整板３ｍに設けられた取り付け穴２２により固定が可能である。これにより、実施の形態５と同様に複数の種類の異なる厚みの基板１に対応して最適な条件で印刷を行うことができる。更に、厚みの異なるギャップ調整板３ｎを用意し使い分けることで、更に様々な厚みの基板１に対応することが可能である。この変形例においては、ギャップ調整板３ｍを取り外すこと無く、ギャップ調整板３ｎのみを交換することができる為、容易に様々な厚みの基板１に対応させる変更を行うことが可能である。

以上説明した実施の形態５においても実施の形態１と同様に、スクリーン印刷装置において、処理する基板の厚みに対応してステージ上面と基板の主面の高さとの関係を調整する高さ調整部材を備えることにより最適な印刷条件となる様に印刷を行うことが可能である。更に、スキージの走査方向に対し基板の両側に、基板の主面よりも上側に張り出した高さ調整部材が固定されることにより、液晶パネルの製造工程に用いた場合に、スクリーン版のメッシュパターンの転写による表示不良を発生することが無く、シールパターン幅バラツキが少ない液晶パネルを製造できるスクリーン印刷装置を得ることができる。また、高さ調整部材はステージ基部に固定されていることから、基板の主面とステージ上面の高さの差が変動することがなく、シール幅のバラツキや表示不良の発生を安定して防ぐことが可能である。

実施の形態６．
続いて、実施の形態１或いは実施の形態２におけるキャップ調整板にアライメント機構の動作範囲に対応したくり抜き部を設けない構成である実施の形態６のスクリーン印刷装置について図１６および図１７を用いて説明する。

図１６は実施の形態６のスクリーン印刷装置のステージ上側の方向からみた平面模式図を示している。図１６に示す様に、本実施の形態６のスクリーン印刷装置においては、基板１を保持するステージ２は、以下のステージ基部２ａと、ステージ基部２ａに取り付けられ基板１のスキージの動作方向に対して両側に配置された二枚の直方体からなるギャップ調整板３Ｒ、３Ｌと、ギャップ調整板３Ｒ、３Ｌをステージ基部２ａに収納する、ステージ基部２ａに形成された掘り込み部２３と、基板１を位置決めするアライメント機構４ａ、４ｂとから構成されており、ギャップ調整板３Ｒ、３Ｌはアライメント機構４ａ、４ｂの位置決め動作時には退避する様にした。なお図中においては、退避時の位置を実線で、基板１の両側に配置された場合における位置を点線で示している。また、基板１を搬送する搬送ローラ部等については、実施の形態１と同様であることから図示および説明を省略する。

続いて、図１６における断面線Ｄ−Ｄにおける断面図である図１７を用い、位置決め動作時から印刷前の状態への動作について説明する。

図１７（ａ）に示す様に、アライメント機構４ａは図中の矢印の方向に開閉動作を行い基板１の位置決め動作を行う。この時、ギャップ調整板３Ｒ、３Ｌは、アライメント機構４ａの位置決め動作の妨げにならない様に、掘り込み部２３Ｒ、２１Ｌ内においてステージ２の外側の位置に退避する。

基板１の位置決めが完了すると図１７（ｂ）に示す様に、アライメント機構４ａは図中の矢印の方向、即ちステージ基部２ａの下部の方へ退避する。続いて、アライメント機構４ａの位置決め動作の妨げにならない様に退避していたギャップ調整板３Ｒ、３Ｌは、図１７（ｃ）に示す様に図中の矢印の方向、即ち基板１のスキージの動作方向に対して両側に配置される様に移動し、印刷時におけるステージ２の状態となる。

また印刷時においては、図１１に示す様に、厚さｔの基板１に対して、ステージ２の上面が基板１の主面よりも張り出す様に即ちギャップ調整板３Ｌ、３Ｒの表面と基板１の上面との高さの差Ｇが正となる様にギャップ調整板３Ｌ、３Ｒの厚みとステージ基部２ａに設けられた掘り込み部２３Ｒ、２１Ｌの深さが予め設計される。

以上説明した実施の形態６においても、更に実施の形態１と同様に、０.１ｍｍ≦Ｇ≦０.２ｍｍとなる様に基板１の厚さｔに対応してギャップ調整板３Ｌ、３Ｒの厚みとステージ基部２ａに設けられた掘り込み部２３Ｒ、２１Ｌの深さを予め設計することによりシール幅バラツキの少ない安定した印刷結果を得ることができる。

また、本実施の形態６におけるギャップ調整板３Ｌ、３Ｒにおいては、位置決め動作時に退避する為、アライメント機構４ａ、４ｂの動作範囲に対応したくり抜き部を形成する必要がない。この為、印刷時において、スキージがアライメント機構に対応したくり抜き部による影響を受けずに、一定の速度と圧力で印刷を行うことができる為、更にメッシュパターンの転写による表示不良が発生し難い。

以上説明した実施の形態６においても実施の形態１と同様に、スクリーン印刷装置において、処理する基板の厚みに対応してステージ上面と基板の主面の高さとの関係を調整する高さ調整部材を備えることにより最適な印刷条件となる様に印刷を行うことが可能である。更に、スキージの走査方向に対し基板の両側において、基板の主面よりも上側に張り出した高さ調整部材が取り付けられることにより、液晶パネルの製造工程に用いた場合に、スクリーン版のメッシュパターンの転写による表示不良を発生することが無く、シールパターン幅バラツキが少ない液晶パネルを製造できるスクリーン印刷装置を得ることができる。また、高さ調整部材はステージ基部に接する様に取り付けられていることから、基板の主面とステージ上面の高さの差が変動することがなく、シール幅のバラツキや表示不良の発生を安定して防ぐことが可能である。

実施の形態７．
続いて、図１８を用いて、本実施の形態７により製造される液晶パネルの構成について説明する。尚、ここでは、一例としてＴＦＴ（Ｔｈｉｎ Ｆｉｌｍ Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）方式の液晶パネルについて説明する。この液晶パネル２００は、図に示される様に、スイッチング素子基板２１０、カラーフィルタ基板２２０、及びスイッチング素子基板２１０とカラーフィルタ基板２２０との間に充填された液晶２３０から構成されている。

上述のスイッチング素子基板２１０は、ガラス基板２１１の一方の面に液晶２３０を配向させる配向膜２１２、配向膜２１２の下部に設けられ液晶２３０を駆動する電圧を印加する画素電極２１３、画素電極２１３に電圧を供給するＴＦＴなどのスイッチング素子２１４、スイッチング素子２１４を覆う絶縁膜２１５、スイッチング素子２１４に供給される信号を外部から受け入れる端子２１６、端子２１６から入力された信号を対向電極へ伝達する為のトランスファ電極２１７等を有している。また、ガラス基板２１１の他方の面には偏光板２３１を有している。

一方、上述のカラーフィルタ基板２２０は、ガラス基板２２１の一方の面に液晶２３０を配向させる配向膜２２２、配向膜２２２の下部に配置され、スイッチング素子基板２１０上の画素電極２１３との間に電界を生じ液晶２３０を駆動する共通電極２２３、共通電極２２３下部に設けられるカラーフィルタ２２４及び遮光層２２５等を有している。また、ガラス基板２２１の他方の面には偏光板２３２を有している。

また、スイッチング素子基板２１０とカラーフィルタ基板２２０はシール材２３３を介して貼り合わされている。更にトランスファ電極２１７と共通電極２２３は、トランスファ材２３４により電気的に接続されており、端子２１６から入力された信号が共通電極２２３に伝達される。この他に、液晶パネル２００は駆動信号を発生する制御基板２３５、制御基板２３５を端子２１６に電気的に接続するＦＰＣ（Ｆｌｅｘｉｂｌｅ Ｐｒｉｎｔｅｄ Ｃｉｒｃｕｉｔ）２３６、光源となるバックライトユニット（図示せず）等を備えている。

この液晶パネル２００は次の様に動作する。例えば、制御基板２３５から電気信号が入力されると、画素電極２１３及び共通電極２２３に駆動電圧が加わり、駆動電圧に合わせて液晶２３０の分子の方向が変わる。そして、バックライトユニットの発する光がスイッチング素子基板２１０、液晶２３０及びカラーフィルタ基板２２０を介して外部へ透過或いは遮断されることにより、液晶パネル２００に映像等が表示される。

尚、この液晶パネル２００は、一例であり他の構成でもよい。液晶パネル２００の動作モードは、ＴＮ（Ｔｗｉｓｔｅｄ Ｎｅｍａｔｉｃ）モードや、ＳＴＮ（Ｓｕｐｐｅｒ Ｔｗｉｓｔｅｄ Ｎｅｍａｔｉｃ）モード、強誘電性液晶モード等でもよく、駆動方法は、単純マトリックスやアクティブマトリックス等でもよく、カラーフィルタ基板２２０に設けた共通電極２２３をスイッチング素子基板２１０側に設置して、画素電極２１３との間に横方向に液晶２３０に対して電界をかける横電界方式を用いた液晶パネルでもよい。

次に、本実施の形態７にかかる液晶パネルの製造方法について説明する。スイッチング素子基板２１０及びカラーフィルタ基板２２０の製造方法については一般的な方法を用いる為、簡単に説明する。スイッチング素子基板２１０は、ガラス基板２１１の一方の面に、成膜、フォトリソグラフィー法によるパターンニング、エッチング等のパターン形成工程を繰り返し用いてスイッチング素子２１４や画素電極２１３、端子２１６、トランスファ電極２１７を形成することにより製造される。また、カラーフィルタ基板２２０は、同様に、ガラス基板２２１の一方の面に、カラーフィルタ２２４や共通電極２２３を形成することにより製造される。

続いて、本実施の形態７において特徴的な組み立て工程について図１９に示すフローチャートにしたがって説明する。まず、基板洗浄工程において、画素電極２１３が形成されているスイッチング素子基板２１０を洗浄する（Ｓ１）。次に、配向膜形成工程において、スイッチング素子基板２１０の一方の面に、配向膜２１２を形成する（Ｓ２）。この工程は、例えば、印刷法により有機膜からなる配向膜２１２を塗布し、ホットプレートなどにより焼成処理し乾燥させる。その後、ラビング工程において配向膜２１２にラビングを行い、配向膜２１２を配向させる（Ｓ３）。

また、Ｓ１からＳ３と同様に、共通電極２２３が形成されているカラーフィルタ基板２２０についても、洗浄、配向膜２２２の形成、ラビングを行う。

続いて、シール塗布工程において、実施の形態１で説明したシール印刷装置によりスイッチング素子基板２１０或いはカラーフィルタ基板２２０の一方の面にシール材２３３の塗布処理を行う（Ｓ４）。この際には、処理基板の厚さに対応した適切な高さ調整部材を用いて印刷を行った。この実施の形態１で説明したシール印刷装置を用いたことによって、配向膜２１２或いは配向膜２２２表面へのシール版の押圧が安定して緩和される様に印刷をすることができる。シール材２３３には、例えばエポキシ系接着剤等の熱硬化型樹脂や紫外線硬化型樹脂を用いた。

次に、トランスファ材塗布工程において、スイッチング素子基板２１０或いはカラーフィルタ基板２２０の一方の面にトランスファ材２３４の塗布処理を行う（Ｓ５）。そして、スペーサ散布工程において、スイッチング素子基板２１０或いはカラーフィルタ基板２２０の一方の面にスペーサを散布する（Ｓ６）。この工程は、例えば、湿式法や乾式法によりスペーサを分散させることにより行われる。

その後、貼り合わせ工程において、スイッチング素子基板２１０とカラーフィルタ基板２２０を貼り合わせる（Ｓ７）。続いて、シール硬化工程において、スイッチング素子基板２１０とカラーフィルタ基板２２０を貼り合わせた状態で、シール材２３３を完全に硬化させる（Ｓ８）。この工程は、例えば、シール材２３３の材質に合わせて熱を加えることや、紫外線を照射することにより行われる。次に、セル分断工程において、貼り合わせた基板を個別セルに分解する（Ｓ９）。そして、液晶注入工程において、液晶注入口から液晶を注入する（Ｓ１０）。この工程は、例えば、液晶２３０を液晶注入口から真空注入により充填することにより行われる。更に、封止工程において、液晶注入口を封止する（Ｓ１１）。この工程は、例えば、光硬化型樹脂で封じ、光を照射することにより行われる。

以上のＳ７〜Ｓ１３の貼り合わせから液晶封止までの工程については、通常の注入口からの液晶注入方法を一例として説明した。しかし、別の液晶注入方法として、注入口の無いシール材２３３の形状とし、液晶２３０をスイッチング素子基板２１０或いはカラーフィルタ基板２２０の上に液滴状態で滴下して形成し、この滴下した液晶２３０を挟む様にスイッチング素子基板２１０とカラーフィルタ基板２２０を貼り合わせた後にシール材２３３を硬化させる方法、所謂、滴下注入方式を用いてもかまわない。

最後に、偏光板貼付工程において、セルに偏光板２３１、２３２を貼り付け（Ｓ１２）、制御基板実装工程において、制御基板２３５を実装する（Ｓ１３）ことによって、液晶パネル２００が完成する。

以上説明した実施の形態７の液晶パネルにおいては、上述の通り、スキージの走査方向に対し基板の両側に、基板の主面よりも上側に張り出した高さ調整部材が取り付けられたステージを備えたスクリーン印刷装置を液晶パネルのシール塗布工程に用いたことにより、スクリーン版のメッシュパターンの転写による表示不良の発生の無い表示品質の高い、シールパターン幅バラツキが少ない液晶パネルを得ることができる。本実施の形態７においては、実施の形態１のスクリーン印刷装置をシール塗布工程に用いた液晶表示パネルの製造方法について説明したが、実施の形態１のスクリーン印刷装置に代えて他の実施の形態２〜６において説明したスクリーン印刷装置を用いた場合においても本実施の形態７と同様の効果を得ることができる。

本発明の実施の形態１におけるスクリーン印刷装置のステージ部の斜視図である。 本発明の実施の形態１におけるスクリーン印刷装置のステージ部を構成するギャップ調整板の斜視図である。 本発明の実施の形態１におけるスクリーン印刷装置のステージ部の断面図である。 本発明の実施の形態１におけるスクリーン印刷装置の印刷動作の状態を示す説明図である。 本発明の実施の形態１におけるスクリーン印刷装置の印刷動作の状態を示す説明図である。 本発明の実施の形態２におけるスクリーン印刷装置のステージ部の斜視図である。 本発明の実施の形態２におけるスクリーン印刷装置のステージ部を構成するギャップ調整板の説明図である。 本発明の実施の形態３における第１の変形例のスクリーン印刷装置のステージ部を構成するギャップ調整板の説明図である。 本発明の実施の形態３における第２の変形例のスクリーン印刷装置のステージ部を構成するギャップ調整板の説明図である。 本発明の実施の形態３における第３の変形例のスクリーン印刷装置のステージ部を構成するギャップ調整板の説明図である。 本発明の実施の形態４におけるスクリーン印刷装置のステージ部の断面図である。 本発明の実施の形態５におけるスクリーン印刷装置のステージ部の断面図である。 本発明の実施の形態５におけるスクリーン印刷装置のステージ部の平面図および側面図である。 本発明の実施の形態５におけるスクリーン印刷装置のステージ部を構成するギャップ調整板の説明図である。 本発明の実施の形態５におけるスクリーン印刷装置の変形例のステージ部を構成するギャップ調整板の説明図である。 本発明の実施の形態６におけるスクリーン印刷装置のステージ部の平面図である。 本発明の実施の形態６におけるスクリーン印刷装置のステージ部の動作の状態を示す説明図である。 本発明の実施の形態７における液晶パネルの構成図である。 本発明の実施の形態７における液晶パネルの製造方法における組み立て工程を示すフローチャートである。

符号の説明

１ 基板、２ ステージ、３ ギャップ調整板、６ くり抜き部、７ 突出部、９ スクリーン版、１０ 開口パターン、１１ ペースト、１２ スキージ、１５ 、１６、１７ 掘り込み部、１８ 移動機構、１９ 固定ネジ、２２ 取り付け穴、２００ 液晶パネル。

Claims (16)

1. スキージを走査することによりスクリーン版上のペーストを前記スクリーン版に設けられた開口パターンを介して前記スクリーン版の下部に配置された基板の主面に塗布するスクリーン印刷装置であって、
   前記基板を保持するステージが、ステージ基部と、前記ステージ基部に固定或いは取り付けられ、前記ステージの一部よりなる平面と前記基板の主面の高さとの関係を調整する高さ調整部材とから構成されたことを特徴とするスクリーン印刷装置。
2. 高さ調整部材は、スキージの走査方向に対し基板の両側において前記基板の主面よりも上側に張り出した前記ステージの一部よりなる平面を持つ様に固定或いは取り付けられたことを特徴とする請求項１に記載のスクリーン印刷装置。
3. 高さ調整部材は、基板形状のくり抜き部が形成された環状であり、前記くり抜き部がステージ基部に形成され基板を保持する面を凸とする突出部と勘合することにより前記ステージ基部に取り付けられることを特徴とする請求項１或いは請求項２に記載のスクリーン印刷装置。
4. ステージ基部に高さ調整部材と勘合する掘り込み部が形成されることを特徴とする請求項１或いは請求項２に記載のスクリーン印刷装置。
5. 高さ調整部材は基板形状の板状であり、ステージ基部に基板形状の掘り込み部が形成され、前記高さ調整部材と前記ステージ基部に形成された掘り込み部が勘合することを特徴とする請求項１或いは請求項２に記載のスクリーン印刷装置。
6. 高さ調整部材に基板を収容する基板形状の掘り込み部が形成され、ステージ基部に前記高さ調整部材と勘合する掘り込み部が形成されることを特徴とする請求項１或いは請求項２に記載のスクリーン印刷装置。
7. 高さ調整部材を移動する移動機構を備えたことを特徴とする請求項１或いは請求項２に記載のスクリーン印刷装置。
8. 高さ調整部材の移動量を見積る目盛を備えたことを特徴とする請求項７に記載のスクリーン印刷装置。
9. 高さ調整部材を移動後の位置において固定する固定手段を備えたことを特徴とする請求項７或いは８のいずれかに記載のスクリーン印刷装置。
10. 固定手段は高さ調整部材を固定する固定ネジとステージ基部に設けられた取り付け穴による固定であることを特徴とする請求項９に記載のスクリーン印刷装置。
11. 異なる所定の位置において固定する複数の取り付け穴を備えることを特徴とする請求項１０に記載のスクリーン印刷装置。
12. 高さ調整部材の移動はステージ上の基板の位置決めを行うアライメント機構の位置決め動作の妨げにならない位置への退避と、前記位置決め動作完了後における前記基板の主面よりも上側に張り出した平面をスキージの走査方向に対し前記基板の両側に持つ位置への移動を含むことを特徴とする請求項７に記載のスクリーン印刷装置。
13. 張り出し量が０.１〜０.２ｍｍであることを特徴とする請求項２〜１２のいずれかに記載のスクリーン印刷装置。
14. スキージを走査することによりスクリーン版上のペーストを前記スクリーン版に設けられた開口パターンを介して前記スクリーン版の下部に配置された基板の主面に塗布するスクリーン印刷装置方法であって、
    前記基板を保持するステージを構成するステージ基部に、前記ステージ基部に取り付けられ前記ステージを構成するとともに、前記ステージの一部よりなる平面と前記基板の主面の高さとの関係を調整する高さ調整部材を、前記基板の厚みに対応して、前記スキージの走査方向に対し前記基板の両側において前記基板の主面よりも上側に０.１〜０.２ｍｍ張り出す様に固定或いは取り付けて印刷することを特徴とするスクリーン印刷方法。
15. 請求項１〜請求項１３のいずれかに記載のスクリーン印刷装置を用いて製造された液晶パネル。
16. 請求項１４のスクリーン印刷方法により製造された液晶パネル。

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