JP2008252048A - プロービング方法、プローブ装置及び記憶媒体 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板を上昇させて電極パッドとプローブ針とを接触させて、次いでプローブ針の針先が電極パッド内に食い込むように、基板を鉛直方向に上昇させながら、基板を水平方向に移動させて、電極パッドの表面の酸化膜を削り取り、電極パッドとプローブ針とを導通させる。
【選択図】図4
Description
被検査体に対向し、かつ垂直となるように形成されたプローブ針を前記被検査体の電極パッドに電気的に接触させて、当該被検査体の電気的特性を測定するプローピング方法において、
前記被検査体を載置台に載置する工程(a)と、
次いで前記被検査体と前記プローブ針との位置合わせを行う工程(b)と、
その後、前記載置台を上昇させて、前記電極パッドと前記プローブ針とを接触させる工程(c)と、
続いて前記プローブ針の針先を前記電極パッド内に食い込ませるために、前記載置台を鉛直方向に上昇させながら水平方向に移動させて、前記電極パッドの表面の酸化膜を削り取り、前記電極パッドと前記プローブ針とを導通させる工程(d)と、を含むことを特徴とする。
前記導通させる工程(d)は、前記プローブ針の針先が前記偏移位置から前記電極パッドの中心位置に向かうように、前記載置台を前記偏移位置と前記中心位置との間の距離の倍の距離を直線状に水平方向に移動させる工程であることが好ましい。
前記接触させる工程(c)における前記載置台の上昇速度は、前記導通させる工程(d)における前記載置台の上昇速度よりも速いことが好ましい。
載置台に載置された被検査体に対向し、かつ垂直となるように設けられたプローブ針を、前記被検査体と当該プローブ針との位置合わせを行った後、前記被検査体の電極パッドに電気的に接触させて、当該被検査体の電気的特性を測定するプローブ装置において、
前記載置台を水平方向及び鉛直方向に移動させるための駆動機構と、
前記載置台を上昇させて、前記プローブ針と前記載置台上の被検査体の電極パッドとを接触させ、続いて前記プローブ針の針先を前記電極パッド内に食い込ませるために、前記載置台を鉛直方向に上昇させながら水平方向に移動させて、前記電極パッドの表面の酸化膜を削り取り、前記電極パッドと前記プローブ針とを導通させるように制御信号を出力する制御部と、を備えたことを特徴とする。
前記プローブ針の針先を前記電極パッド内に食い込ませる時に、前記プローブ針の針先が前記偏移位置から前記電極パッドの中心位置に向かうように、前記載置台を前記偏移位置と前記中心位置との間の距離の倍の距離を直線状に水平方向に移動させるように制御信号を出力することが好ましい。
前記制御部は、前記プローブ針の針先を前記電極パッド内に食い込ませる時の前記載置台の上昇速度を、前記プローブ針と前記電極パッドとを接触させる時までの前記載置台の上昇速度よりも遅くなるように制御信号を出力することが好ましい。
プローブ針を被検査体の電極パッドに電気的に接触させて、当該被検査体の電気的特性を測定するプロービング方法に用いられるコンピュータプログラムを格納した記憶媒体において、
前記コンピュータプログラムは、上記プロービング方法を実施するようにステップが組まれていることを特徴とする。
この時の載置台3の移動速度は、プローブ針2と電極パッド40とが接触するまでの速度よりも十分遅い低速に設定される。
その後、電極25から所定の検査信号がプローブ針2を介して電極パッド40に流されて、電気的特性の検査が行われる。また、所定の枚数のウェハWの処理毎に、図示しない画像処理装置により、電極パッド40に形成された針跡42が撮像されて、プローブ針2と電極パッド40とが接触したか否かの画像検査が行われる。
また、上記のように、プローブ針2と電極パッド40とが接触するまでは載置台3を速く移動させるようにしたが、接触後も同じ速度で移動させるようにしても良い。
3 載置台
20 プローブ装置
23 プローブカード
25 電極
40 電極パッド
41 酸化膜
42 針跡
Claims (7)
- 被検査体に対向し、かつ垂直となるように形成されたプローブ針を前記被検査体の電極パッドに電気的に接触させて、当該被検査体の電気的特性を測定するプローピング方法において、
前記被検査体を載置台に載置する工程(a)と、
次いで前記被検査体と前記プローブ針との位置合わせを行う工程(b)と、
その後、前記載置台を上昇させて、前記電極パッドと前記プローブ針とを接触させる工程(c)と、
続いて前記プローブ針の針先を前記電極パッド内に食い込ませるために、前記載置台を鉛直方向に上昇させながら水平方向に移動させて、前記電極パッドの表面の酸化膜を削り取り、前記電極パッドと前記プローブ針とを導通させる工程(d)と、を含むことを特徴とするプロービング方法。 - 前記接触させる工程(c)は、前記電極パッド内において、前記プローブ針が前記電極パッドの中心位置からずれた偏移位置に接触するように、前記載置台を上昇させる工程であり、
前記導通させる工程(d)は、前記プローブ針の針先が前記偏移位置から前記電極パッドの中心位置に向かうように、前記載置台を前記偏移位置と前記中心位置との間の距離の倍の距離を直線状に水平方向に移動させる工程であることを特徴とする請求項1に記載のプロービング方法。 - 前記接触させる工程(c)における前記載置台の上昇速度は、前記導通させる工程(d)における前記載置台の上昇速度よりも速いことを特徴とする請求項1または2に記載のプロービング方法。
- 載置台に載置された被検査体に対向し、かつ垂直となるように設けられたプローブ針を、前記被検査体と当該プローブ針との位置合わせを行った後、前記被検査体の電極パッドに電気的に接触させて、当該被検査体の電気的特性を測定するプローブ装置において、
前記載置台を水平方向及び鉛直方向に移動させるための駆動機構と、
前記載置台を上昇させて、前記プローブ針と前記載置台上の被検査体の電極パッドとを接触させ、続いて前記プローブ針の針先を前記電極パッド内に食い込ませるために、前記載置台を鉛直方向に上昇させながら水平方向に移動させて、前記電極パッドの表面の酸化膜を削り取り、前記電極パッドと前記プローブ針とを導通させるように制御信号を出力する制御部と、を備えたことを特徴とするプローブ装置。 - 前記制御部は、前記プローブ針と前記電極パッドとを接触させる時、前記電極パッド内において、前記プローブ針が前記電極パッドの中心位置からずれた偏移位置に接触するように、前記載置台を上昇させ、
前記プローブ針の針先を前記電極パッド内に食い込ませる時に、前記プローブ針の針先が前記偏移位置から前記電極パッドの中心位置に向かうように、前記載置台を前記偏移位置と前記中心位置との間の距離の倍の距離を直線状に水平方向に移動させるように制御信号を出力することを特徴とする請求項4に記載のプローブ装置。 - 前記制御部は、前記プローブ針の針先を前記電極パッド内に食い込ませる時の前記載置台の上昇速度を、前記プローブ針と前記電極パッドとを接触させる時までの前記載置台の上昇速度よりも遅くなるように制御信号を出力することを特徴とする請求項4または5に記載のプローブ装置。
- プローブ針を被検査体の電極パッドに電気的に接触させて、当該被検査体の電気的特性を測定するプロービング方法に用いられるコンピュータプログラムを格納した記憶媒体において、
前記コンピュータプログラムは、請求項1ないし3のいずれか一つに記載のプロービング方法を実施するようにステップが組まれていることを特徴とする記憶媒体。
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