JP2004132971A - プローブカード - Google Patents
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Abstract
【解決手段】直線状のプローブ針5を、上案内板2と回転案内板3と下案内板4とに通す。回転案内板3をわずかにずらして、プローブ針5の中央部を撓ませる。この状態で、ウエハを載せたステージを上昇させて、プローブ針5の先端部とウエハ表面のパッドとを接触させる。回転案内板3には、案内溝7が設けてあるので、回転案内板3を水平面内で動かすと、固定案内ピン8が案内溝7に沿って動き、プローブ針5が首振り的に回転して、パッド上に付着した自然酸化膜などを突き破る。これにより、プローブ針5の圧力のばらつきを無くして、ウエハのパッドに針径以上の傷をつけることなく測定できる。また、プローブ針5のピッチを狭くできるし、組立ても簡単になる。
【選択図】図1
Description
2 上案内板
3 回転案内板
4 下案内板
5 プローブ針
6 駆動装置
7 案内溝
8 固定案内ピン
9 ウエハ
10 パッド
11 ステージ
12 案内孔
13 湾曲部
14 偏心軸受
Claims (6)
- 先端部が被測定物に接触する導電性で直線状のプローブ針と、前記プローブ針の上端部が電気的に接続される配線基板と、前記プローブ針の上端部と中央部との間に水平に固定的に保持されていて前記プローブ針を案内する案内孔を有する上案内板と、前記プローブ針の中央部と下端部との間に水平に固定的に保持されていて前記プローブ針を案内する案内孔を有する下案内板と、前記プローブ針の中央部に水平に可動的に保持されていて前記プローブ針を案内する案内孔を有する回転案内板と、前記プローブ針が直線状となる初期位置に前記回転案内板を一時的に固定して保持するための初期位置保持手段と、前記プローブ針の中央部が撓む状態となる位置に前記回転案内板を可動的に保持するための可動保持手段と、前記回転案内板を水平面内で動かすための駆動手段とを具備することを特徴とするプローブカード。
- 前記回転案内板に円弧部を有する案内溝を設け、前記可動保持手段を、前記案内溝に挿入する固定案内ピンとしたことを特徴とする請求項1記載のプローブカード。
- 前記回転案内板に偏心軸受を設け、前記可動保持手段を、前記偏心軸受に挿入する固定案内ピンとしたことを特徴とする請求項1記載のプローブカード。
- 前記上案内板と前記下案内板に偏心軸受を設け、前記可動保持手段を、前記回転案内板に固定され前記偏心軸受に挿入される固定案内ピンとしたことを特徴とする請求項1記載のプローブカード。
- 前記回転案内板に段差をつけたことを特徴とする請求項1記載のプローブカード。
- 電源用のプローブ針の径を信号用のプローブ針の径より大きくしたことを特徴とする請求項1記載のプローブカード。
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